JPS639831A - ガス漏れ検知方法及びガス漏れ検知装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、空気中に放出された時に自然燃焼、あるい
は気化等して周囲の温度を変化させる性質を有するガス
が、配管から漏洩したことを検知するためのガス漏れ検
知方法及びガス漏れ検知装置に関する。

「従来の技術およびその問題点」 従来、例えば半導体製造工場等においては、シランガス
（ＳｉＨ，）が多用されている。しかし、このシランガ
スは、空気中に放出されると自然燃焼する性質を有して
いるため、配管からンランガスが漏洩した場合、設備機
器等に延焼して大火災に発展する恐れがある。従って、
シランガスを導く配管が配設された区域内には、このシ
ランガスの漏洩を検知するガス漏れ検知装置を設置する
必要がある。

従来、シランガスのガス漏れを検知する方法として、定
電位電解式のセンサによってシランガスそのものを直接
検知する方法や、シランガスの燃焼に伴って生成される
シリカ（Ｓｉｎ、）の煙粒子を光学的に検知する方法等
が知られている。しかし、これら検知方法においては、
その検知装置が大掛かりで高価となると共に、開放され
た空間内でのガス漏れ検知精度が確保しにくい、という
欠点が存在していた。

この発明は、前記問題点に鑑みてなされたもので、その
目的とするところは、安価でかつ簡易な構成で、また開
放された空間内においてもガス漏れを確実に検知するこ
との可能なガス漏れ検知方法及びガス漏れ検知装置を提
供することである。

「問題点を解決するための手段」 この発明のうち第１の発明は、空気中に放出された時に
自然燃焼あるいは気化等して周囲の温度を変化せしめる
ガスを導く配管自体及び配管周囲の温度変化を少なくと
も２点の測定点において監視すると共に、前記測定点間
の温度差もそれぞれ監視し、これら測定点での温度変化
ないしは測定点間の温度差及びこれらの経時的変化と基
準値との差により前記配管からのガス漏れを検知するよ
うなガス漏れ検知方法により、前記問題点を解決してい
る。

また、第２の発明は、複数個の温度検知素子を内蔵した
検知装置本体を設けると共に、熱伝導率の良好な物質で
形成される熱伝導部を、前記温度検知素子に連続しかつ
前記本体から外方に延出させて少なくとも２個設け、さ
らに前記本体からの検知信号に基づいて警報を発生する
警報手段を設け、かつ前記熱伝導部に該熱伝導部を前記
配管の表面に接触して取り付けるための取付部を設けた
ようなガス漏れ検知装置を構成して、前記第１の発明を
実現している。

「実施例」 以下、この発明の実施例について図面を参照して説明す
る。

第１図及び第３図は、この発明のうち第２の発明である
ガス漏れ検知装置を示す図である。第１図及び第３図に
おいて、符号ｌは、空気中に放出されると自然燃焼する
シランガスを導くガス管である。このガス管ｌは、その
配管継手部２において互いに接合されることで、所定の
場所まで前記シランガスを導くと共に、ガス管ｌには、
前記継手部２を跨ぐように、ガス漏れ検知装置３が取り
付けられている。このガス漏れ検知装置３は、２個の温
度センサ（温度検知素子）４．４が内蔵された検知装置
本体５と、前記温度センサ４．４に連設されると共に、
前記本体５から外方に延出されて設けられた熱伝導部６
．６とから概略構成されている。

前記熱伝導部６は、銅等熟伝導率の良好な物質で形成さ
れ、その先端部（取付部）６ａが、前記ガス管ｌの外形
に対応したいわゆるクランプ状に形成されることで、こ
の熱伝導部６が前記ガス管ｌの表面に接触して取り付け
られるように構成されている。即ち、熱伝導部６は、そ
の先端部６ａで得られるガス管ｌの表面温度を、速やか
に温度センサ４に伝達するのである。

前記本体５内には、前記２個の温度センサ４．４から得
られた検知信号を比較演算する比較演算回路７が設けら
れている。そして、前記温度センサ４．４の検知信号及
び比較演算回路７がらの比較信号は、ケーブル８を介し
て警報盤９に各々供給される。この警報盤９は、前記検
知信号及び比較信号に基づいて警報を発するものであり
、平常時において前記温度センサ４．４から各々供給さ
れた検知信号及び比較演算回路７から供給された比較信
号を、基準となる温度分布ないしは温度差分布データと
して記憶保持する記憶回路と、この記憶回路から読み出
した基準となる温度分布データと各温度センサ４．４か
ら供給された検知信号、ないしは温度差分布データと比
較演算回路７から供給された比較信号とを比較する比較
回路と、この比較回路の比較結果に基づいて警報ブザー
や警報ランプを駆動する駆動回路等から構成されている
。

次に、前述したガス漏れ検知装置３を使用して、この発
明のうち第１の発明の一実施例であるガス漏れ検知方法
について説明す４゜ 平常時、すなわちガス管ｌからシランガスが漏洩してい
ない場合、ガス管ｌの表面温度は室温とほぼ同一である
と考えられる。また、各温度センサ４．４から得られる
検知信号（ｉ！Ｌ度データ　）の差も、その絶対値が各
熱伝導部６．６の設置場所等の条件に左右されるものの
、経時的には一定と考えることができる。従って、前記
警報盤９の記憶回路により、平常時の温度分布データ及
び温度差分布データを記憶保持しておく。さらに、警報
盤９内の比較回路により、常時前記温度センサ４．４か
らの検知信号及び比較演算回路７からの比較信号を、前
記基準となる温度分布データ及び温度差分布データと比
較しておく。

さて、ガス管ｌの配管継手部２においてシランガスが漏
洩し、この漏洩したシランガスが自然燃焼すると、この
燃焼によって生じた熱が、空気やガス管！により伝導さ
れて周囲に広がる。そして、燃焼によって生じた熱が、
ガス漏れ箇所（配管継手部２　）に最も近い位置の熱伝
導部６に伝導された段階で、温度センサ４の検知信号が
変化し、比較演算回路７の比較信号も変化する。すると
、前記警報盤９の比較回路が、供給された検知信号及び
比較信号が基準となる温度分布及び温度差分布データと
一致しないことから、前記熱伝導部６の周囲でガス漏れ
に伴う自然燃焼が生じたことを検知する。そして、警報
ブザーを鳴らし、警報ランプを点灯してガス漏れの発生
を知らせる。

よって、前述した実施例によれば、ガス管１のある箇所
からシランガスが漏洩し、この漏洩したシランガスが自
然燃焼した場合に、ガス管ｌの周囲の温度上昇が前記熱
伝導部６．６及び温度センサ４．４により即時に検知さ
れるので、開放された区域内においても確実にガス漏れ
を検知することが可能となると共に、前記従来の定電位
電解式センナによってシランガスを直接検知する方法等
と比較して、検知装置を安価にかつ簡易に構成すること
ができる。

特に、本体５の比較演算回路７から供給される比較信号
によれば、各温度センサ４．４から供給される検知信号
よりも鋭敏にその異常を検知することが可能であると共
に、ガス漏れ箇所と熱伝導部６との距離の遠近も精確に
特定することが可能となる。つまり、熱伝導部６．６か
ら等距離の位置にガス漏れ箇所が存在すれば、周囲の環
境が同等であれば熱伝導部６．６の温度上昇は共にほぼ
同一であり、また、いずれかの熱伝導部６がガス漏れ箇
所に接近していれば、この熱伝導部６の温度上昇が時間
的に最も早く発生するからである。

また、前記検知装置３は、温度センサ４．４を直接ガス
管１に取り付けることでその表面温度を検知せず、先端
部６ａがガス管ｌに取り付けやすい形状に成形された熱
伝導部６を介して前記表面温度を検知しているので、温
度センサ４．４の取り付けが容易となると共に、前記本
体５内に温度センサ４．４をまとめて収納できるので、
構成が簡易になり、またケーブル８への接続も容易とな
る。

従って、前述した実施例によれば、安価でかつ簡易な構
成で、また開放された空間内においてもガス漏れを確実
に検知することの可能なガス漏れ検知方法及びガス漏れ
検知装置を実現することが可能となる。

また、第２図は、この発明の変形実施例を示す図であり
、２個の熱伝導部６．６を配管継手部２付近に連設して
取り付けたものである。

なお、前記実施例においては、熱伝導部６を２個設けた
ような構成であったが、１つの本体５に設けられる熱伝
導部６の個数は２ｇに限定されず、それ以上であっても
良い。また、前記検知装置３は配管継手部２付近のみに
設置されるばかりでなく、シランガス漏洩の危険性が高
い箇所に適宜設置されれば良い。さらに、前記熱伝導部
６は、いわゆるヒートバイブを用いたような構成でも良
く、要はその熱伝導率が良好であるように構成されれば
良い。そして、前記ガス漏れ検知方法及びガス漏れ検知
装置は、シランガスの漏洩の検知のみにその使用が限定
されず、可燃性ガスやフロンガス等の冷媒ガスに用いて
も好適な方法及び装置である。

「発明の効果」 以上詳細に説明したように、この発明のうち第１の発明
によれば、空気中に放出された時に自然燃焼あるいは気
化等して周囲の温度を変化せしめるガスを導く配管自体
及び配管周囲の温度変化を少なくとも２点の測定点にお
いて監視すると共に、前記測定点間の温度差もそれぞれ
監視し、これら測定点での温度変化ないしは測定点間の
温度差及びこれらの経時的変化と基準値との差により前
記配管からのガス漏れを検知するようなガス漏れ検知方
法を構成したので、漏洩した前記ガスが自然燃焼あるい
は気化した場合に、配管の周囲の温度変化かに即時に検
知されるので、開放された区域内においても確実にガス
漏れを検知することが可能となると共に、前記従来の定
電位電解式センナによってシランガスを直接検知する方
法等と比較して、検知装置を安価にかつ簡易に構成する
ことができる。特に、前記各測定点間の温度差によるガ
ス漏れ検知は、測定点での温度変化による検知よりも鋭
敏にその異常を検知することが可能であると共に、ガス
漏れ箇所と萌紀測定点との距離の遠近ら精確に特定する
ことが可能となる。従って、安価でかつ簡易な構成で、
また開放された空間内においてもガス漏れを確実に検知
することの可能なガス漏れ検知方法を実現することが可
能となる。

また、第２の発明によれば、複数個の温度検知素子を内
蔵した検知装置本体を設けると共に、熱伝導率の良好な
物質で形成される熱伝導部を、前記温度検知素子に連続
しかつ前記本体から外方に延出させて少なくとも２個設
け、さらに前記本体からの検知信号に基づいて警報を発
生する警報手段を設け、かつ前記熱伝導部に該熱伝導部
を前記配管の表面に接触して取り付けるための取付部を
設けたようなガス漏れ検知装置を構成したので、該検知
装置により前記第１の発明であるガス漏れ検知方法を実
現することが可能となると共に、前記温度検知素子の固
定を容易にし、また前記本体内にこの温度検知素子をま
とめて収納できるので、構成が簡易である、という利点
を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明のうち第２の発明の一実施例であるガ
ス漏れ検知装置を示す正面図、第２図は同変形実施例で
あるガス漏れ検知装置を示す正面図、第３図はこの発明
のうち第１の発明の一実施例であるガス漏れ検知方法を
説明するための図である。 ′１・・・・・・ガス管（配管）、３・・・・・・ガス
漏れ検知装置、４・・・・・温度センサ（温度検知素子
）、５・・・・・・本体、６・・・・・・熱伝導部、６
ａ・・・・・・先端部（取付部）、９・・・・・・警報
盤（警報手段）。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）空気中に放出された時に自然燃焼、あるいは気化
   等して周囲の温度を変化せしめるガスが配管から漏洩し
   たことを検知するガス漏れ検知方法において、前記配管
   自体及び配管周囲の温度変化を少なくとも２点の測定点
   において監視すると共に、前記測定点間の温度差もそれ
   ぞれ監視し、これら測定点での温度変化ないしは測定点
   間の温度差及びこれらの経時的変化と基準値との差によ
   り前記配管からのガス漏れを検知することを特徴とする
   ガス漏れ検知方法。
2. （２）空気中に放出された時に自然燃焼、あるいは気化
   等して周囲の温度を変化せしめるガスが配管から漏洩し
   たことを検知するガス漏れ検知装置において、該検知装
   置は、複数個の温度検知素子が内蔵された検知装置本体
   と、前記温度検知素子に連設されると共に前記本体から
   外方に延出されて設けられ、熱伝導率の良好な物質で形
   成される少なくとも２個の熱伝導部と、前記本体からの
   検知信号に基づいて警報を発生する警報手段とからなり
   、かつ前記熱伝導部には、該熱伝導部が前記配管の表面
   に接触して取り付けられるための取付部が設けられてい
   ることを特徴とするガス漏れ検知装置。