JPS62207945A - ガス漏れ検知装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、空気中に放出されたときに燃焼する性質を
有するガスが、配管から漏洩したことを検知し、警報を
発するガス漏れ検知装置に関する。

「従来の技術」 例えば、半導体製造工場等においては、シラン（Ｓｉｌ
！、）ガスが多く使用されている。このシランガスは空
気中に放出されると燃焼する性質を有しているため、配
管から漏洩した場合、設備器材に延焼して大火災に発展
する恐れがある。したがって、シランガスを導く管路が
設けられた区域内にはシランガスの漏洩を検知する検知
装置を設けなければならない。

「発明が解決しようとする問題点」 ところで、従来、シランガスのガス漏れを検知する方法
としては、定電位電解式のセンサによってシランの生ガ
スそのものを直接検出する方法や、シランガスの燃焼に
伴って生じるンリカ（ＳｉＯ＝）の煙粒子を光学式の煙
感知器によって検知する方法などが採られていた。しか
しながら、これらの検出方法を適用した場合、検知装置
が高価となり、また開放された空間内においては、ガス
漏洩を確実に検知することができなかった。

この発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、安価
な構成で、かつ開放された空間内においてもガス漏れを
確実に検知することができるガス漏れ検知装置を提供す
ることを目的としている。

「問題点を解決するための手段」 この発明は、空気中に放出されたときに燃焼する性質を
有するガスが配管から漏れたことを検知するガス帰れ検
知装置において、前記配管に極めて接近もしくは接触し
て設けられ、前記配管自体及び配管周囲の温度変化また
は前記ガスの燃焼に伴って生じる燃焼生成物を検知する
検知手段と、前記検知手段の検知結果に基づいて警報を
発生する警報手段とを具備することを特徴としている。

「作用」 配管からガスが漏洩した場合に、配管自体及び配管の周
囲に生じる二次的な環境変化、すなわち漏洩したガスの
燃焼に伴う温度上昇や燃焼生成物の発生が検知手段によ
って即座に検知されて警報が発せられる。

「実施例」 以下、図面を参照し、この発明の実施例について説明す
る。

第１図はこの発明の一実施例の構成を示す斜視図である
。この図において、ｌは空気中に放出されると燃焼する
性質を有するシランガスを導くガス管である。このガス
管ｌには、全長に渡って所定間隔置きに複数（ｎ個）の
感知素子ＳＡ、〜ＳＡ。が取付支持具３によって各々取
り付けられている。この取付支持具３は、ヒンジによっ
て連結された一対の半割り円筒からなり、ガス管１に取
り付けられる基部３ａと、この基部３ａに固着され、先
端がコ字状に折り曲げられた支持棒３ｂとから構成され
ており、各支持棒３ｂの先端部には感知素子Ｓ　Ａ　Ｉ
−Ｓ　Ａ　ｎが各々固着されている。

これらの各感知素子Ｓ　Ａ　ｌ−Ｓ　Ａ　ｎは周囲の温
度変化を感知する感温素子からなるもので、これらの各
感知素子ＳＡ、〜ＳＡｎの検出信号はケーブル′４を介
して警報盤５に各々供給される。警報盤５は各感知素子
ＳＡ、−９Ａ、から各々供給される検出信号に基づいて
警報を発するものであり、平常時において各感知素子Ｓ
　Ａ　＋−Ｓ　Ａ　ｎから各々供給された検出信号を、
基準となる温度分布データとして記憶保持する記憶回路
と、この記憶回路から読み出した基準となる温度分布デ
ータと各感知素子ＳＡ、−９Ａｎから供給された検出信
号とを比較する比較回路と、この比較回路の比較結果に
基づいて警報ブザー及び警報ランプを駆動する駆動回路
等から構成されている。

以上の構成において、ガス管１の図にＰで示す個所から
シランガスが漏洩した場合の動作を説明する。

ガス管ｌのＰで示す個所からシランガスが漏洩し、漏洩
したシランガスが燃焼すると、この燃焼によって生じた
熱か、空気やガス管ｌを伝わって周囲に広がる。そして
、燃焼によって生じた熱が、ガス漏れ個所Ｐに最ら近い
位置の感知素子ＳＡ。

に伝わった時点で、感知素子ＳＡ、の検出信号か変化す
る。ここで、警報盤５は、前述した通り各感知素子ＳＡ
、〜ＳＡｎから各々供給された検出信号と、記憶回路か
ら読み出した基準となる温度分布データとを比較してい
るが、感知素子ＳＡ、から供給された検知信号が基準と
なる温度分布データと一致しないことから、感知素子Ｓ
Ａ、の周囲でガス漏れに伴う燃焼が生じたことを検知す
る。

そして、警報ブザーを鳴らし、警報ランプを点灯してガ
ス漏れの発生を知らせる。

ここで、上述した一実施例においては、感知素子ＳＡ、
〜ＳＡｎとして、周囲の温度変化を感知する感温素子を
用いたが、これに代えて、シランガスの燃焼生成物であ
るシリカを検出する検出素子を用いてもよい。また、各
感知素子ＳＡ、〜ＳＡｎから各々供給された検出信号と
、平常時におけろ温度分布データとを比較してガス漏れ
に伴う燃焼を検知するようにしたが、各感知素子ＳＡ、
〜ＳＡｎから供給された検出信号を相互に比較して、ガ
ス漏れに伴う燃焼を検知するようにしてもよい。

次に、上述した一実施例の変形例について説明する。

第２図は、熱を感知する感熱素子Ｓ　Ｂ　＋〜５Ｉ３ｎ
を熱伝導体によって構成される筒状部材６上に各々固着
し、これらの各筒状部材６をガス管１の外周面に所定間
隔置きに密着して取り付けた場合の変形例を示している
。この場合、各感熱素子ＳＢ１〜５Ｉ３ｎをガス管ｌの
外周面に直接固着しても構わない。

また、第３図は、温度変化に伴って内部抵抗が変化する
針金状の感熱線ＳＣ７〜ＳＣｎを、ガス管ｌの外周面に
所定間隔置きに巻き付けるようにした場合の変形例を示
している。

上述した実施例によれば、ガス管１のある個所からシラ
ンガスが漏洩し、漏洩したシランガスが燃焼した場合に
、ガス管Ｉの周囲に局部的に生じる二次的な環境変化、
すなわちガス管ｌ自体やガス管ｌの周囲の温度上昇、ま
たはシランガスの燃焼生成物のンリカの発生などが、ガ
ス管ｌに直接または取付支持具３等を介して取り付けら
れた感知素子ＳＡ、〜ＳΔ。、感熱素子ＳＩ３．〜Ｓ謬
。、感熱線ＳＣ３〜ＳＣ１によって即座に検出されるの
で、開放された区域内にガス管Ｉが設けられている場合
においてら確実にガス漏れを検知することができる。

なお、上述した実施例においては、シランガスのガス漏
れを検知する場合を例にして説明したが、その他の可燃
性ガスのガス漏れ検知に適用することら勿論可能である
。

「発明の効果」 以上説明したように、この発明によれば、空気中に放出
されたときに燃焼する性質を有ずろガスを導く配管に極
めて接近もしくは接触して設けられ、前記配管自体及び
配管周囲の温度変化または前記ガスの燃焼に伴って生じ
る燃焼生成物を検知する検知手段と、前記検知手段の検
知結果に基ついて警報を発生する警報手段とを設けたの
で、この配管からガスが漏洩した場合に、配管自体及び
配管の周囲に生じる二次的な環境変化、すなわち漏洩し
たガスの燃焼に伴う温度上昇や燃焼生成物の発生が検知
手段によって即座に検知され、この結果、配管が開放さ
れた空間内に設けられている場合においてら、ガス漏れ
が確実に検知されて警報が発仕られ°るという効果が得
られ、また従来の定電位電解式のセンサによってシラン
ガスを直接検出する方法などと比較して安価に構成する
ことができるという効果ら得られる。

【図面の簡単な説明】 第１図はこの発明の一実施例の構成を示す図、第２図及
び第３図は同実施例の変形例の構成を示す図である。 ＳＡ、〜ＳＡ、・・・・・・感知素子、ＳＩＮ、〜ＳＢ
ｎ・・・・・・感熱素子、ｓｃ、−５ｃｎ・・・・・・
感熱線、■・・・・・・ガス管、３・・・・・・取付支
持具、３ａ・・・・・・基部、３ｂ・・・・・・支持部
材、４・・・・・ケーブル、５・・・・・・警報盤、６
・・・・・・筒状部材。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）空気中に放出されたときに燃焼する性質を有する
   ガスが、配管から漏れたことを検知するガス漏れ検知装
   置において、前記配管に極めて接近もしくは接触して設
   けられ、前記配管自体及び配管周囲の温度変化または前
   記ガスの燃焼に伴って生じる燃焼生成物を検知する検知
   手段と、前記検知手段の検知結果に基づいて警報を発生
   する警報手段とを具備することを特徴とするガス漏れ検
   知装置。
2. （２）前記検知手段は前記配管の複数個所に各々設けら
   れた複数の検知素子からなり、前記警報手段は前記各検
   知素子の各々から供給される検知信号を相互に比較し、
   または前記各検知素子の各々から供給される検知信号を
   基準値と比較し、この比較結果に基づいて警報を発生す
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のガス漏
   れ検知装置。