JPS6381939A

JPS6381939A - 収納装置

Info

Publication number: JPS6381939A
Application number: JP61225949A
Authority: JP
Inventors: Masaru Ebara; 江原　勝
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1986-09-26
Filing date: 1986-09-26
Publication date: 1988-04-12

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、収納技術、特に、複数種類の物品を収納する
技術に関し、例えば、半導体装置の製造工程において、
半導体装置（以下、ＩＣという。

）を選別検査するＩＣハンドラで処理する際に各種規格
のＩＣに対応する複数ｒｉ類のマガジンを収納するのに
利用して有効な技術に関する。

〔従来の技術〕

一般に、半導体装置の製造工程において、電気的特性試
験によってＩＣの選別検査を実施するＩＣハンドラとし
て、複数個のＩＣを複数本のラインにおいて同時にテス
トし、そのテスト結果に基づいて良品、不良品および再
検査製品等に分類することによって選別検査するように
構成されているものがある。

このようなＩＣハンドラにおいて、ＩＣの測定部に対す
る供給および排出は実マガジンまたは空マガジンがハン
ドラにセットされて行われる。この場合、実マガジンま
たは空マガジンを収納する装置は設定された一種類のＩ
Ｃの大きさく例えば、パッケージの大きさ）に対応する
マガジンのみしか使用できないため、マガジンの種類毎
に収納装置が設置されている。

なお、ＩＣハンドラを述べである例としては、株式会社
工業門査会発行「電子材料１９８４年１１月号別冊」昭
和５９年１１月２０日発行　Ｐ２Ｏ３〜Ｐ２Ｏ３、があ
る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、このようなマガジンの収納装置においては、取
り扱うことができるマガジンが固定されているため、Ｉ
Ｃの種類によって収納装置をそれぞれ用意する必要があ
るという問題点があることが、本発明者によって明らか
にされた。

本発明の目的は、複数［ｔｌｉの物品を取り扱うことが
できる収納技術を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

〔問題点を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を説明すれば、次の通りである。

すなわち、複数種類の切欠部が種類毎に規則的に配され
ている保持板と、その保持板の一番大きい切欠部に合わ
せて選択用の切欠部が規則的に開設されている選択板と
を設りたちのである。

〔作用〕

前記した手段によれば、収納されるＩＣにそれぞれ対応
した複数ｆｉｔ類のマガジンがそれらに対応する切欠部
にそれぞれセットされる。Ｌ２かも、それらのセフ１・
は選択板における切欠部の保持板に対する位置調整によ
り誤りなく行うことができる。

その結果、−４類のＩＣ以外のものについては収納でき
ないという不便を解消することができる。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例である収納製置を示す斜視図
、第２図は第１図のｎ−ｎ線に沿う縦断面図、第３図は
第１図の■部を示す拡大平断面図である。

本実施例において、収納装置は７ガジン１を収納するも
のとして構成されており、い」′れも略円板形状に形成
された上側保持板２と下側保持板３とを備えている。下
側保持板３の下方に位置する床面４上には駆動部５を備
えた機台６が構築されており、機台６には回転軸７が垂
直方向に配されて回転自在に支承されている。回転軸７
は駆動部５によって回転駆動されるように構成されてい
る。

回転軸７の中間部には鍔部８が軸心と直角に配されて外
向き（こ突没されており、この鍔部８には下側保持板３
が回転軸１１に嵌合された上で下面に当接されてボルト
９により締結されている９回転軸７には円板形状に形成
された支持板１０が下側保持板３の下方位置に配されて
嵌合されており、この支持板１０は下側保持板３のボル
ト１１により固定されている。支持板１０はその外径が
両保持板２．３と略同−寸法に形成されており、両保持
板２．３に挿入された各マガジン１を下から支え得るよ
うに構成されている。

回転軸１１の上端部には雄ねじ部１２が刻設されており
、その基端部には鍔部１３が軸心と直角に配されて外向
きに突設されている。この鍔部１３には上側保持板２が
雄ねじ部１２に嵌合さた上で、上面に当接されて、雄ね
じ部１２に螺合されたナラ）１４により締結されている
。上側保持板２上には略同−外径の円板形状に形成され
た選択板１５が同心的Ｖこ配されて周方向に回動自在に
載置されており、選択板１５にはガイド孔１７が後記す
る切欠部の種類に対応する数（本実施例においては３個
）だけ、同−半径上において周方向に所定のピッチに配
されて、上側保持板２上に突設されたビン１６をそれぞ
れ嵌入し得るように開設されている。各ガイド孔１７の
片脇には見出し記号１８が各切欠部に対応するように（
］されている。

本実施例において、この収納装置は口径寸法が大、中、
小と異なる３種類（３規格）のマガジンを取り扱うよう
に構成されており、各規格のマガジンは平面形状寸法が
大、中、小と異なる規格のミニ・スクウスア・パッケー
ジ型ＩＣ＜以下、Ｍｓｐｒｃという、）をそれぞれ収納
するように設定されている。そして、マガジン１は樹脂
等を用いた押し出し成型法等により、両端が開口した略
正方形の角筒形状に一体成形されており、多数個のＭＳ
ＰＩＣを１段宛積み重ねて収容し得るように形成されて
いる。また、マガジン１には横倒れ防止用の凹部１ａが
一側面の略中央部に配されて長手方向に延びるように没
設されている。

前記上側保持板２の外周辺部には大中小と３種類の口径
の切欠部２１ａ、２１ｂ、２１ｃが、周方向に前記ガイ
ド孔１７のピッチに対応するピッチをもって大中小の順
が繰り返すように並べられて複数個宛開設されており、
大中小の切欠部２１ａ、２１ｂ、２１ｃはそれらの口径
寸法が大中小のマガジンｌのそれぞれを抜き差し自在に
嵌入し得るように設定されている。また、各切欠部には
係合爪２０がマガジンにおける外側面の凹部１ａに係合
し得るようにそれぞれ突設されている。そして、下側保
持板３の外周辺部にも大中小の３種類の切欠部２２ａ、
２２ｂ、２２ｃが上側保持板２の切欠部２１ａ、２１ｂ
、２１ｃにそれぞれ対応するように開設されている。

前記選択板１５の外周辺部には選択用切欠部２３が周方
向に前記ガイド孔１７のピッチの３倍のピッチをもって
上側保持板２における切欠部の一群にそれぞれ整合する
ように配されて開設されており、この切欠部２３はその
口径寸法が保持板における切欠部の最大径寸法以上に設
定されている。

この収納装置にはＭＳＰＩＣ１９をマガジン１との間で
受は渡すための受は渡し装置２４が設備されており、こ
の装置２４は真空吸着ヘッド２５によってＭＳＰＩＣ１
９を吸着保持して移送装置（一部のみ図示）２６により
移送するように構成されている。また、この収納装置に
はＭＳＰＩＣ１９をマガジン１から取り出すための取り
出し装置２７が下部に設備されており、この装置２７は
機枠６内に設けられた駆動装置２８によっζ上下動され
る突き上げ欅２９によりＭＳＰＩＣ１９を支持板１０に
開設された挿通孔３０を通して１個宛突き上げるように
構成されている。

次に作用を説明する。

まず、大口径の空マガジン１に所定のＭＳＰＩＣを収納
して行く場合について説明する。

この場合、選択板１５はその゛７ガジンｌに対応する見
出し記号１８が付されたガイド孔１７に上側保持板２の
ピン１６が挿入するように調整される。これにより、選
択板１５における切欠部２３群は上下保持板２．３にお
ける大口径の切欠部２１ａ、２２ｃ群のそれぞれに整合
してこれらの上方を開放させることにより、この群を実
質的に選択することになる。

このようにして選択された保持板２．３における大口径
の切欠部２１ａ、２２ａに大口径のマガジン１が、選択
板１５の上方からその凹部１ａと係合爪２０とが係合す
るように配されて手動または自動操作により１本宛挿入
されて行く、このとき、他の中、小の切欠部２１ｂ、２
１ｃは選択板１５の外周辺部によって隠蔽されているた
め、誤挿入されることは防止される。

挿入されたマガジン１は支持ｗｔｉｏによっテ下から支
えられるとともに、切欠部２１ａ、２２ａにおいて凹部
１ａに係合した係合爪２０によって横倒れを防止される
ことになる。

このようにして収納装置にセントされた空マガジン１に
はその上端部にゴム栓３１が嵌入されると、例えば、Ｉ
Ｃハンドラ（図示せず）によって測定を完了したＭＳＰ
ＩＣ１９が受は渡し装置２４における吸着ヘッド２５に
よって吸着保持されて移送装置２６により空マガジン１
の真上に移送される。続いて、吸着ヘッド２５が下降さ
れると、ＩＣ１９は空マガジン１内へ上端開口からゴム
栓３１を押し込むようにして収容されるとともに、吸着
保持を解除されることになる。このとき、ＩＣ１９はゴ
ム栓３０に下から受けられる状態になるため、落下の衝
撃に伴うパッケージの破損等が防止される。

以後、ＩＣ１９は前回収納されたＩＣの上に重ねられて
マガジン１内に押し込まれるようにして１ｔＩＩ宛収納
されて行く、１本のマガジン１がＩＣ１９で満杯になる
と、駆動装置５により回転軸１１が切欠部全群について
の３ピッチ分回動される。

これにより吸着へラド２５は前回と同一位置において次
の切欠部２１ａ、２２ａに対向することになるため、受
は渡し装置２４側は同一作動を維持すればよいことにな
る。

以降、前記作動が空マガジンの全てについてＩＣが満杯
になるまで繰り返されることにより、収納作業が継続さ
れて行く。

その後、検査規程の変更等の事情によって中口径の空マ
ガジンをセットしたい場合、先にセットされて、いたマ
ガジンが上下の保持板２．３から上方に引き抜かれる。

続いて、選択板１５はその中口径のマガジンに対応する
見出し記号１８が付されたガイド孔１７に上側保持板２
のビン１６が挿入するように調整される。これにより、
選択板１５における切欠部２３群は上下保持Ｆｉ２．３
における中口径の切欠部２１ｂ、２２ｂ群のそれぞれに
整合することにより、この群を実質的に選択することに
なる。

このようにして選択された保持板２．３における中口径
の切欠部２１ｂ、２２ｂに中口径のマガジン１が前述と
同様にセットされて行く、このとき、他の大、小の切欠
部２１ａ、２１Ｃは選択板工５の外周部によって隠蔽さ
れているため、誤掃入されることはない。

以後、前述と同様にして、中口径の空マガジンに中サイ
ズのＭＳＰＩＣが順次収納されて行くことになる。

次ぎに、実マガジン１に収納されたＭＳＰＩＣ１９を取
り出す場合について説明する。

この場合、取り出し装置２７、実マガジン１および受は
渡し装置２４が上下において一直線に位置される。そし
て、取り出し装置２７における突き上げ棒２９が駆動装
置２８によって１ピッチ突き上げられると、突き上げ棒
２９はゴム栓３１を介して実マガジン１内のＩＣ１９を
１個分押し上げるため、最上段のＩＣ１９は実マガジン
１から押し出されることになる。同時に、受は渡し装置
２４における吸着ヘッド２５がそのＩＣ１９を吸着保持
することにより、ＩＣ１９は実マガジンｌから取り出さ
れることになる。

以降、ＭＳＰＩＣ１９は実マガジン１に対して１個宛押
し上げられて取り出されて行き、１本のマガジン１が空
になったところで、回転軸１１が前述のように歩道送り
され、取り出し作業が継続されて行く。

前記実施例によれば次の効果が得られる。

（１１保持板に複数種類の切欠部を覆類毎に規則的に配
することにより、種類毎の差し替えが可能になるため、
複数ｆＩ！類の物品を単一の装置で取り扱うことができ
、設備費、運転費等の節減により生産性を高めることが
できる。

（２）複数種類の切欠部を複数ｆ！！類のＩＣマガジン
を挿入し得るように構成することにより、ＩＣの規程別
生産の変動に対応して、各規程のマガジンを収納するこ
とができるため、ＩＣハンドラの処理能力を高めること
ができる。

（３）　　選択板を用いることにより、マガジンのセッ
トミスを回避することができるため、装置の稼働率の低
下を防止することができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

例えば、保持板および選択板は環状に設けるに限らず、
直列型に設けてもよい。

切欠部は、種類毎に順に繰り返して配設するだけでなく
、同じ種類のものを一箇所に集めて配設するようにして
もよい。

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景とな５った利用分野であるＩＣハンドラの収
納装置に適用した場合について説明したが、それに限定
されるものではなく、セパレータ、切断機、マーク機、
検査装置および自動装着装置等のようにマガジン処理を
必要とする装置全般に通用することができる。また、Ｍ
ＳＰＩＣ以外の各種パッケージ、ＩＣや電子部品、電子
機器等のような小物品を取り扱うのに使用されて優れた
効果を発揮する。

（発明の効果〕本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、次の通りである。

複数ａｉｍの切欠部が種類毎に規則的に配されている保
持板と、その保持板の一番大きい切欠部に合わせて選択
用の切欠部が規則的に開設されている選択板とを設ける
ことにより、種類毎の差し替えをミスなしに実行するこ
とができるため、複数ｉＭＭの物品を取り扱うことがで
き、その結果、設備費１．運転費等の節約により生産性
を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である収納装置を示す斜視図
、第２図は第１図のｎ−ｎ線に層縦断面図、第３図は第り
図の１部を示す拡大平断面図である。１・・・マガジン（被収納物品）、２・・・上側保持板
、３・・・下側保持板、４・・・床面、５・・・駆動部
、６・・・機台、７・・・回転軸、８・・・鍔部、９・
・・ボルト、１０・・・支持板、１１・・・ボルト、１
２・・・雄ねじ部、１３・・・鍔部、１４・・・ナンド
、１５・・・選択板、１６・・・ピン、１７・・・ガイ
ｌ、１８・・・見出し記号、１９・・・ＭＳＰＩＣ，２
０・・・係合爪、２１ａ〜２２ｃ・・・切欠部、２３・
・・選択用切欠部、２４・・・受は渡し装置、２５・・
・真空吸着ヘッド、２６・・・移送袋！、２７・・・取
り出し装置、２８・・・駆動装置、２９・・・突き上げ
棒、３ｏ・・・挿通孔、３１・・・ゴム栓。第　　１　　図１」Ｖ第　　３　　図

Claims

【特許請求の範囲】１、複数種類の切欠部が種類毎に規則的に配されている
保持板と、その保持板の一番大きい切欠部に合わせて選
択用の切欠部が規則的に開設されている選択板とを備え
ている収納装置。２、複数種類の切欠部が、切欠部の大きさ順に規則的に
繰り返して配されていることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の収納装置。３、複数種類の切欠部が、種類毎に同一種類の切欠部を
複数箇所にまとめて配されていることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の収納装置。４、保持板が、複数種類の切欠部に対応して歩進される
ように設けられていることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の収納装置。