JPS6380839A - 真空容器 - Google Patents
真空容器Info
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- JPS6380839A JPS6380839A JP22192486A JP22192486A JPS6380839A JP S6380839 A JPS6380839 A JP S6380839A JP 22192486 A JP22192486 A JP 22192486A JP 22192486 A JP22192486 A JP 22192486A JP S6380839 A JPS6380839 A JP S6380839A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flange
- metal container
- container
- protective layer
- metal
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 33
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 33
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 claims 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 abstract description 18
- 239000007769 metal material Substances 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 abstract description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010285 flame spraying Methods 0.000 abstract 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 abstract 1
- 229910052770 Uranium Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 238000007750 plasma spraying Methods 0.000 description 3
- JFALSRSLKYAFGM-UHFFFAOYSA-N uranium(0) Chemical compound [U] JFALSRSLKYAFGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000005524 ceramic coating Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は例えば粒子加速器等に用いられる真空容器に関
する。
する。
（従来の技術）
現在、ウランを光の速さ近くまで加速してウランに衝突
させて諸現象を解明するための高エネルギ重イオン装置
の開発が進められている。重イオン装置は、ウランのよ
うな重イオンを真空中で強い電界によって高いエネルギ
に加速するものであるから、超高真空容器が必要である
。しかも、この真空容器の周囲には、強電界を作るため
の電磁石が配置されるので、真空容器は非磁性で且つ超
薄肉１例えば０．１ｍ程度の金属材料で作って、うず電
流積を極小にすることが必要である。しかし、超薄肉材
料で作った真空容器では、外圧によるバックリングを防
ぐ必要がある。
させて諸現象を解明するための高エネルギ重イオン装置
の開発が進められている。重イオン装置は、ウランのよ
うな重イオンを真空中で強い電界によって高いエネルギ
に加速するものであるから、超高真空容器が必要である
。しかも、この真空容器の周囲には、強電界を作るため
の電磁石が配置されるので、真空容器は非磁性で且つ超
薄肉１例えば０．１ｍ程度の金属材料で作って、うず電
流積を極小にすることが必要である。しかし、超薄肉材
料で作った真空容器では、外圧によるバックリングを防
ぐ必要がある。
そこで、第４図に示したように金属容器■の外側にプラ
ズマ溶射によりセラミックスを積層コーティングして保
護層■を形成し、この保護層■によって金属容器を機械
的に補強する方策が考えられた。この場合、溶射セラミ
ックスの剛性が金属材料の剛性に比して低いので、保護
層■の厚さは数ｍ以上にする必要があるが、このセラミ
ックスは非磁性で且つ絶縁体なので、うず電流積の問題
は生じないから保護層■として有効であると考えられて
いる。
ズマ溶射によりセラミックスを積層コーティングして保
護層■を形成し、この保護層■によって金属容器を機械
的に補強する方策が考えられた。この場合、溶射セラミ
ックスの剛性が金属材料の剛性に比して低いので、保護
層■の厚さは数ｍ以上にする必要があるが、このセラミ
ックスは非磁性で且つ絶縁体なので、うず電流積の問題
は生じないから保護層■として有効であると考えられて
いる。
（発明が解決しようとする問題点）
ところで、超薄肉筒状に形成された金属容器■の両端は
フランジ■に溶接部（イ）を介して固着され、また保護
層■がフランジ（■と金属容器■の側角部を埋めるよう
に、セラミックスを？＆Ｗコーティングして形成される
ため、フランジ（：５が金属容器■に接する側に、未固
着部■が存在する。この未固着部には、保護層■の形成
にともなって空気が閉じ込められる６一般に溶射セラミ
ックスは多孔質であり、気密性は良くないが、極細粒の
セラミックス粉を用いた場合未固着部■が密閉に近い状
態となる可能性がある。
フランジ■に溶接部（イ）を介して固着され、また保護
層■がフランジ（■と金属容器■の側角部を埋めるよう
に、セラミックスを？＆Ｗコーティングして形成される
ため、フランジ（：５が金属容器■に接する側に、未固
着部■が存在する。この未固着部には、保護層■の形成
にともなって空気が閉じ込められる６一般に溶射セラミ
ックスは多孔質であり、気密性は良くないが、極細粒の
セラミックス粉を用いた場合未固着部■が密閉に近い状
態となる可能性がある。
さて前記の通り金属容器■内部は供用時に超高真空に保
つ必要があるが、金属容器壁面からの脱ガスを促進する
目的で高温ベーキングを施しながら真空排気をする場合
が多い、すると、前記の通り未固着部■に密閉された空
気は膨張するので、例えば３００℃のベーキング時には
第６図に示すように大気圧の約２倍の内圧（Ｐ）が発生
することになる。その結果、この未固着部■を起点とし
て金属容器■と保護層■の界面■がはく離し、金属容器
のが破損する危険がある。
つ必要があるが、金属容器壁面からの脱ガスを促進する
目的で高温ベーキングを施しながら真空排気をする場合
が多い、すると、前記の通り未固着部■に密閉された空
気は膨張するので、例えば３００℃のベーキング時には
第６図に示すように大気圧の約２倍の内圧（Ｐ）が発生
することになる。その結果、この未固着部■を起点とし
て金属容器■と保護層■の界面■がはく離し、金属容器
のが破損する危険がある。
そこで本発明の目的は、うず電流損を極力小さくすると
ともに、金属容器（ト）と保護層■との機械−的補強が
充分で、ベーキング時にはく離の発生のない真空容器を
提供することにある。
ともに、金属容器（ト）と保護層■との機械−的補強が
充分で、ベーキング時にはく離の発生のない真空容器を
提供することにある。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、上記目的を達成するために、開口部にフラン
ジを溶接固着した非磁性材料で超薄肉筒状に作った金属
容器の外側にプラズマ溶射によりセラミックスを積層コ
ーティングした保護層を有する真空容器において、フラ
ンジ内に金属容器■側の未固着部■と大気側を連通ずる
孔を設ける。
ジを溶接固着した非磁性材料で超薄肉筒状に作った金属
容器の外側にプラズマ溶射によりセラミックスを積層コ
ーティングした保護層を有する真空容器において、フラ
ンジ内に金属容器■側の未固着部■と大気側を連通ずる
孔を設ける。
（作用）
このようにすると未固着部■の内圧はベーキング時にも
大気圧以上に増加することないため、従来のようにベー
キング時の内圧上昇によって金属容器■と保護層■の界
面０がはく離することがなｔ洩。
大気圧以上に増加することないため、従来のようにベー
キング時の内圧上昇によって金属容器■と保護層■の界
面０がはく離することがなｔ洩。
（実施例）
以下、本発明の第１の実施例について第１図を参照して
説明する。金属容器■は例えば５ＵＳ３０４ステンレス
鋼のような非磁性金属材料で０．１ｗｍ程度の超薄肉の
筒状に作り、その両端にフランジ■を溶接部ゆで固着す
る。そして、フランジ■の内部には金属容器壁面の未固
着部■と大気側を連通ずる孔■を設ける。また、保護層
■はフランジ■と金属容器ωの側角部を埋めるように、
セラミックスを積層コーティングして形成する。
説明する。金属容器■は例えば５ＵＳ３０４ステンレス
鋼のような非磁性金属材料で０．１ｗｍ程度の超薄肉の
筒状に作り、その両端にフランジ■を溶接部ゆで固着す
る。そして、フランジ■の内部には金属容器壁面の未固
着部■と大気側を連通ずる孔■を設ける。また、保護層
■はフランジ■と金属容器ωの側角部を埋めるように、
セラミックスを積層コーティングして形成する。
このようにすると、極細粒のセラミックス粉を用いて保
護層■を形成して未固着部■が形成されても、大気が密
閉されることはなく、従ってベーキング時に高温にさら
されても、この未固着部■内に圧力が大気以上に上昇す
ることがない。
護層■を形成して未固着部■が形成されても、大気が密
閉されることはなく、従ってベーキング時に高温にさら
されても、この未固着部■内に圧力が大気以上に上昇す
ることがない。
以上のように、この実施例による真空容器では、未固着
部■内の圧力は大気圧以上に増加することはないのでベ
ーキング時に未固着部■を起点として金属容器■と保！
１Ｍ４■がはく離することがない信頼性の高い真空容器
が得られる。
部■内の圧力は大気圧以上に増加することはないのでベ
ーキング時に未固着部■を起点として金属容器■と保！
１Ｍ４■がはく離することがない信頼性の高い真空容器
が得られる。
第２図に示す第２の実施例では、フランジ（３）の側面
の大気側と金属容器■側を連通ずるＬ型の孔が設けられ
ている。このようにしても第１の実施例と同様に、はく
離を防止でき、信頼性を増すことができる。
の大気側と金属容器■側を連通ずるＬ型の孔が設けられ
ている。このようにしても第１の実施例と同様に、はく
離を防止でき、信頼性を増すことができる。
第３図に示す第３の実施例では、第１図に示した連通孔
の大気側端が排気管０に固着され、排気管■の他端は、
金属容器ωの真空排気系とは異なる排気装置（１０）に
固着されている。このようにして未固着部■内は負圧に
なり金属容器■はフランジ■にむしろ引きつけられるの
で、ベーキング時に金属容器■と保護層■がはく離する
ことはない。
の大気側端が排気管０に固着され、排気管■の他端は、
金属容器ωの真空排気系とは異なる排気装置（１０）に
固着されている。このようにして未固着部■内は負圧に
なり金属容器■はフランジ■にむしろ引きつけられるの
で、ベーキング時に金属容器■と保護層■がはく離する
ことはない。
また、排気装置（ｌＯ）は金属容器■の真空排気系とは
異なる別系統であるので、万−保ｍＭ■の気密性が劣化
し未固着部■内の真空度が低下しても、金属容器ω内の
超高真空状態に悪影響を及ぼすことはない、このように
して、第１の実施例よりもはく離防止を強化でき信頼性
を増すことができる。
異なる別系統であるので、万−保ｍＭ■の気密性が劣化
し未固着部■内の真空度が低下しても、金属容器ω内の
超高真空状態に悪影響を及ぼすことはない、このように
して、第１の実施例よりもはく離防止を強化でき信頼性
を増すことができる。
以上のように１本発明では、非磁性金属材料で超薄肉筒
状に作った金属容器の外側にプラズマ溶射によりラセミ
ックスを積層コーティングして保ｆ１層を形成する真空
容器において、金属容器の両端に溶接結合されたフラン
ジ内に金属容器側の未固着部と大気側を連通ずる孔を設
けるので、ベーキング時に未固着部内の圧力増加によっ
てこの未固着部を起点として金属容器と保護層のはく離
が生ずることがない。
状に作った金属容器の外側にプラズマ溶射によりラセミ
ックスを積層コーティングして保ｆ１層を形成する真空
容器において、金属容器の両端に溶接結合されたフラン
ジ内に金属容器側の未固着部と大気側を連通ずる孔を設
けるので、ベーキング時に未固着部内の圧力増加によっ
てこの未固着部を起点として金属容器と保護層のはく離
が生ずることがない。
第１図、第２図および第３図は本発明の真空容器のそれ
ぞれ異なる実施例を示す要部断面図、第４図は従来の真
空容器断面図、第５図は従来のもののベーキング時のは
く前状態を示す断面図である。 １・・・金属容器 ２・・・保護層３・・・フラ
ンジ ４・・・溶接部７・・・未固着部 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 三俣弘文 第１図 第２図 第３図
ぞれ異なる実施例を示す要部断面図、第４図は従来の真
空容器断面図、第５図は従来のもののベーキング時のは
く前状態を示す断面図である。 １・・・金属容器 ２・・・保護層３・・・フラ
ンジ ４・・・溶接部７・・・未固着部 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 三俣弘文 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 非磁性超薄肉筒状の金属容器の外面に溶射によりセラミ
ックスをコーティングし開口部にフランジを接合した真
空容器において、前記接合面をフランジ外に連通する連
通孔をフランジ内に設けたことを特徴とする真空容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22192486A JPS6380839A (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 | 真空容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22192486A JPS6380839A (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 | 真空容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6380839A true JPS6380839A (ja) | 1988-04-11 |
Family
ID=16774289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22192486A Pending JPS6380839A (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 | 真空容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6380839A (ja) |
-
1986
- 1986-09-22 JP JP22192486A patent/JPS6380839A/ja active Pending
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