JPS6376933A - 磁気ダンパ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、精密位置決めなどに用いられる磁気ダンパ装
置）こ関する。

（従来の技術） 一般に、機械の可動部分の感動を除去する装置として、
ダンパ装置層が用いられている。このダンパ装置には、
大別すると、渦電流を利用するもの、油、グリセリ゛ン
１強硫酸、空気等の流体の粘性を利用するもの、がある
。これらのうち、渦電流を利用するものは、磁気ダンパ
装置として知られているもので、制振部を比較的容易に
調整し得る点で広く用いられている。

ところで、磁気ダンパ装置においては、振動除去に必要
な粘性力の大きさ、っまり制振作用は、可動部分の速度
に比例する。換言すれば、制振作用は、制振されるべき
可動部分自身の速度に依存する。だから、振幅が小さく
、低周波の振動に対しては、十分な割振作用を及ぼすこ
とが困難であった０ （発明が解決しようとする問題点） 本発明は、上述したように、制振作用が可動部分の速度
に比例することにともなう種々の不具合を参酌してなさ
れたもので、従来よりもはるかにすぐれた割振作用を有
する磁気ダンパ装置を提供することを目的とする。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段と作用）渦電流が誘起さ
れる電気的良導体部を有し移動自在に設けられた被制振
部と、良導体部により横切られる磁束を発生する磁束発
生部及びこの磁束発生部が一体的に取付けられた加振器
からなる制振部と、被制振部の制振部に対する相対速度
を増大させる制御部とからなり、割振性能を向上させた
ものである。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳述する〇 第１図は、この実施例の磁気ダンパ装置を示している。

この装置は、制振されるべき被制振部（１）と、この被
制振部（１）を渦電流を利用して制振する制振部（２）
と、被制振部（１）の変位を検出して制振作用を高める
ための制御信号８人を制振部（２）に出力する制御部ｆ
３）とからなっている。しかして、被制振部（１）は、
長手方向が矢印（４）方向に設けられた案内棒（５）と
、この案内棒（５）に矢印（４）方向に摺動自在に貫装
されたテーブル（６）と、このテーブル（６）の進退駆
動を行う駆動機構（図示せず）と、テーブル（６）の一
方の側面に突設された例えば銅などの電気的良導体から
なる突片（７）とからなっている。一方、制振部（１）
は、案内棒（５）の突片（７）側に隣接して設けられた
板状の水平式加振器（８）と、との加振器（８）上に一
体的に取付けられ丸断面コの字状の永久磁石からなる磁
石コア（９）とから々っている。そうして、前記突片（
力は、磁石コア（９）を遊挿して通過できるように設定
されている。さらに、制御部１３）は、テーブル（６）
に取付けられた加速度ピックアップ翰と、この加速度ピ
ックアップ（１（Ｉから出力されたテーブル（６）の加
速度を示す電気信号ＳＢを入力して積分する第１の積分
回路αυと、この第１の積分回路αυから出力されたテ
ーブル（６）の速度を示す電気信号ＳＣを入力して積分
する第２の積分回路（Ｌ７Ｊと、この第２の積分回路０
７Ｊから出力されたテーブル（６）の変位を示す電気信
号ＳＤを入力して反転処理し上記テーブル（６）の振動
変化と反対の位相を有する電気信号ＳＥを出力する波形
反転回路（１３と、この波形反転回路（Ｉ３から出力さ
れた電気信号ＳＥを増幅して増幅された電気信号ＳＡを
加振器（８）に出力する増幅回路Ｉとからなっている。

しかして、電気信号８Ａを入力した加振器（８）は、テ
ーブル（６）の振動に対して、振幅がほぼ同じで、かつ
、反対の位相で振動するように設定されている。

つぎに、上記構成の磁気ダンパ装置の作動について、第
２図を参照しながら説明する。

まず、図示せず駆動機構によりテーブル（６）を磁石コ
ア（９）位置に位置決めする。すると、突片（７）が磁
石コア（９）の磁束を切ることにより、突片（力に渦電
流が発生する。その結果、この渦電流により突片（７）
には、粘性力が作用する。このとき、テーブル（６）は
、矢印（４）方向に微小振動している。この微小振動は
、加速度ピックアップａ１により加速度変化として検出
される。しかして、加速度ピックアップ０Ｑから出力さ
れた加速度検出信号ＳＢは、第１の積分回路σＤを通過
することにより積分され、テーブル（６）の速度を示す
電気信号ＳＣに変換される。ついで、この電気信号ＳＣ
は、第２の積分回路０υにてさらに積分され、テーブル
（６）の変位を示す電気信号ＳＤに変換される。つぎに
、この電気信号ＳＤは、波形反転回路１．３にて反転処
理され、テーブル（６）の振動に対して逆位相の電気信
号ＳＥが増幅回路Ｉに出力される。しかして、この増幅
回路側からは、電気信号ＳＥが増幅された電気信号ＳＦ
が加振器号゛８）に印加される。すると、電気信号ＳＡ
を入力した加振器（８）は、テーブル（６）の振動に対
して、振幅が等しく且つ逆位相で振動する。

その結果、テーブル（６）に突設された突片（力の磁石
コア（９）に対する相対的速度は、はぼ２倍となる０し
たがって、磁石コア（９）が固定されている場合にくら
べ、２倍の粘性（制振）力をテーブル（６）に対して及
ぼすことができる。その結果、テーブル（６）の振幅が
小さく、かつ低周波であっても、十分なダンパ機能を有
することができる。

以上のように、この実施例の磁気ダンパ装置は、被制振
部（１）の制振部（２）に対する相対速度をほぼ２倍に
なるように構成しているので、制振部（２）が固定され
ている場合にくらべ２倍の粘性力を得ることができるの
で、ダンパ機能が大幅に向上する。

なお、上記実施例において、電気信号８人は、加振器（
８）の振幅を突片（７）の振幅にほぼ等しく制御するよ
うにしているが、その倍率は、例えば１０倍というよう
に任意に設定してよい。さらに、加速度ピックアップの
代りに、差動変圧器形、光学式非接触形、コンデンサ非
接触形の変位形を用いてもよく、この場合は、第１及び
第２の積分回路α１）、１１２は省略することができる
。さらに、磁石コアは、永久磁石の代りに、電磁石を用
いてもよい。

〔発明の効果〕

本発明の磁気ダンパ装置は、被制振部の振動を検出し、
検出結果に基づいて、被制振部の制振部（こ対する相対
速度が実際よりも大きくなるように制振部を加振するよ
うにしているので、制振部が被制振部に対して及ぼす制
振（粘性）作用が増大し、ダンパ機能が大幅に向上する
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の磁気ダンパ装置の構成図、
第２図は第１図の磁気ダンパ装置の作動説明のためのタ
イミングチャートである。 （１）：被制振部、　　　　（２）　：制振部。 （３）二制御部、　　　　（カニ突片（良導体部）。 １８）：加振器、　　　　　ｉ９）　：磁石コア（磁束
発生部）。 （ＩＩ：加速度ピックアンプ。 αυ、ａ３：積分回路（積分器）。 ０■：波形反転回路。 代理人　弁理士　則　近　憲　佑 同　　　　竹　花　喜久男 第１ｒ：Ａ 第２図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）電気的良導体部を有し案内方向に沿って移動自在
   に設けられた被制振部と、上記良導体部が遊挿し且つ上
   記良導体部が遊挿したときに横切られる磁束を発生する
   磁束発生部及びこの磁束発生部が取付けられこの磁束発
   生部に振動を印加する加振器を有する制振部と、上記被
   制振部の移動時の振動を検出して上記加振器に上記被制
   振部の上記制振部に対する相対速度を増大させる方向に
   振動させる制御信号を印加する制御部とを具備すること
   を特徴とする磁気ダンパ装置。
2. （２）制御部は、被制振部に取付けられこの被制振部の
   加速度を検出する加速度検出器と、この加速度検出器か
   ら出力された検出信号を積分して上記被制御部の変位を
   示す変位信号を出力する積分器と、この積分器から出力
   された変位信号の波形を反転する波形反転器とからなる
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気ダン
   パ装置。