JPS637204A - スピンステ−シヨンの可動ジヨ−チヤツク用の平衡機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明は、ウェーハをジョーの間で把持する種類のウェ
ーハ処理スピンステーションに関し、スピンステーショ
ンの回転動作中は比較的漏速で回転するスピンステーシ
ョンに関するものである。

本発明は、特に、可動ジョー及び平衡機構をＭするウェ
ーハ処理スピンステーションに関するものである。ここ
で平衡機構は１回転動作中に可動ジョーチャックによる
遠心力によって実質的に影響を受けることなく、可動ジ
ョーチャックによるウェーハへの握持力を維持するもの
である。

いろいろな呼び寸法１例えば直径がｌＱＱｓｍ。

１２５　ｊｌｌｍ、１５０　ｊｍ、　２００　ｔａｘ、
のウェーハが製造されている。このようなウェーハは一
つのフラット（ｍｍａｔ）を有している場合や、またそ
れ以上のフラットを有している場合がある。ウェーハの
周囲に関するフラットの向きの角度はまた。いろいろ異
なシ得る。

したがって、直径がいろいろ異なり、フラットの数や向
きが固定していないウェーハに対して一つの機械で回転
動作をなすためには、その装置はウェーハの縁がどのよ
うになっていても収納可能なジョー手段を有する必要が
ある。

握持ジョーの一つ又は複数個が、装填のための開放位置
と回転中締付けるため閉鎖位置の間を移動できなければ
ならない。可動ジョーは、ジョーがウェーハの円形縁以
外のフラットと係合するときに、必要なだけ更に移動で
きなければならない。

可動ジョーはまた、ウェーハの中心がスピンステーショ
ンの回転中心からいろいろにずらしても収納できなけれ
ばならない。

したがって、実際上可動ジョーは、フラットの向きの変
化や、締付はジョーや回転軸線に関するウェーハのさま
ざ１表ずれに対応できるように最終的な締付は位置へと
多少調節できなければならない。

可動ジョー要素の最終的位置が変化すると１回転動作に
必要な回転の間における可動ジョーによる遠心力につい
てのバランスが問題となる。

遠心力が強くて平衡が非常に崩れると、可動ジョーは外
側に移動し、ウェーハへの締付は力は弱まる。

遠心力が弱くて平衡が崩れると、可動ジョーは内側に移
動し、ウェーハは押しつぶされる。

可動ジョーの位置を正確に知っているときは。

可動ジョーによる遠心力の平衡を保つことは、比較的簡
単なことである。しかし、ジョーに関するフラットの向
きが変わシ１回転軸線に関するウェーハの中心のずれが
変わるため、可動ジョーの最終的な位置を正確に知るこ
とができない。また、可動ジョーの締付は位置はいろい
ろなウェーハの大きさの違いに応じて調整できなければ
ならないが、このようなとき可動ジョーが移動しウェー
ハを放出しないように、あるいは可動ジョーが内側に移
動してウェーハを押しつぶすことのないように、可動ジ
ョーによる遠心力の平衡を保たなければならないという
問題が生じてくる。

発明の概要 本発明の主目的は、可動ジョーチャックを従来のスピン
ステーションの平衡の問題を解消することである。

本発明の目的は１回転動作中のあらゆる回転速度に対し
、そして可動ジョーチャックの締付は位置の範囲内で、
可動ジョーチャックによる遠心力によって実質的な影響
を受けることのなく、可動ジョーチャックによるウェー
ハへの握持力を維持して可動ジョーチャックの平衡を保
つことである。

本発明の一実施例に従って構成されたウェーハ処理スピ
ンステーションはジョー取付はプレート及びそのジョー
取付はプレートを回転させるために結合されたスピンド
ルから成る。

ウェーハ握持ジョーけ１回転動作中にウェーハをジョー
の間の適所に保持するためにウェーハの外縁を握持し、
ジョー取付はプレートと協働するものである。

ジョー握持手持は、開放位置と締付は位置との間で可動
で、７ラツトの向きによって必要とされる移動量の変化
や１個々のウェーハの中心からのずれの童の変化に対応
して締付は位置も便宜調節できる、少なくとも一つの可
動ジョーチャックを含む。

本発明に従うと、平衡８１！！構は、可動ジョーチャッ
クと連動して動作し、回転動作中のあらゆる回転速度に
対して、そして可動ジョーチャックの締付は位置の範囲
内で、可動ジョーチャックによる遠心力によって実質的
な影響を受けることのなく。

可動ジョーナヤツクによるウェーハへの握持力を有効に
維持する。

平衡機構はピボット軸線のまわりに枢動運動をなすよう
に取り付けられ、そのピボット軸線のまわシの回転体内
に組み込まれる。

平衡機構は、ピボット軸線のまわりについての平衡機構
の回転角にかかわらず、ピボット軸線に関し正味の回転
運動を生じさせないように回転体内に分布する重りを有
する。スピンドルの中心線は平衡機構のピボット軸線に
垂直で且つ平衡機構を通過する平面にある。

本発明のある実施例において、平衡機構は側面からみる
と星形となっておシ、可動ジョーは星形の一つの先端に
位置している。

本発明の他の実施例においては、平衡機構は釣合い重り
を有する一つの星形形状のものに限らず連続したディス
ク形のものに近づけてもよいものである。

上述しｆｃ特徴を組め通入、上述した機能をもつクエー
ハ処理スピンステーション装随及び方法は本発明の他の
目的も達成できる。

本発明の他の目的は、以下の記載及び特許請求の範囲か
ら明らかになるであろう。そして、また添付図面には本
発明の好適実施例、その動作原理及びその原理を鼓もよ
く表わした例が示されている。同−又は同等の原理を実
施する本発明の他の実施例を適用することもできるし、
また特許請求の範囲の発明から逸脱することなく当業者
がなし得る構造的な変更を加えることもできる。

実施例 本発明の一つの実施例に従って構成された平衡機構を有
するウェーハ処理ビンステーションが符号２１（第１及
び第２図）で示されている。

ピンステーション２１けジョー取付プレート２３を有す
る。プレート２３は、キャップネジ２７によってスピン
ドル取付ハブ２５に取り付けられ。

ハブ２５は、プレート２３がスピンドル２９によって回
転されるようにキャップネジ３１及びキー３３によって
スピンドル２９に着設されている。

第１及び第２図に示されているように、プレート２３に
は、半径方向の線３７．３９及び４１にそったある場所
に開口部３５が設けられ、そのため、キャップネジ４３
を、対になった固定ジョーチャック（第１図の固定ジョ
ーチャックのようなもの）を取付プレート２３の上面上
に取・夛付けるだめに使用できる。

第１及び第２図に示した特定の実施例において。

二つの固定ジョー及び一つの可動ジョーがウェーハを握
持するために使用されている。

第２図において、直径２００簡のクエー／Ｎ用の二つの
固定ジョーが線３７上に取り付けられ、直径１５０　ｘ
ｘのウェーハ用の二つの固定ジョーが線３９上に取り付
けられ、そして直径１００１１ｍのウェーハ用の二つの
固定ジョーが線４１上に取シ付けられている。

他の実施例としてＨＪＡ３７及び４１上に四つの固定ジ
ョーを用い、線３９上にはジョーを用いないものである
。この実施例では、ウェーハの直径が２００１１から１
５０　ｍＷ　、　　１２５　ｕそして１００ＩＬＩＩに
変るときに、固定ジョーは線３７及び４１にそって半径
方向内側に移動する。

ＷＪｚ図にも図示されているように、二つの固定釣合せ
重りが、２００００所の位置にある固定ジョーを平衡に
保つために、プレート２３の下で符号４７で示された位
置に取り付は得る。

平衡釣合せ重りが１直径１５０．１２５及び１００　ｔ
ｍのウェーハを固定するジョーの位置にある固定ジヨー
を補償するため、プレート２３の下方で第２図で符号４
９で示された位置に堰シ付けられてもよい。

本発明に従うと、図示されたスピンステーション２１の
特定の実施例には一つの可動なジョーチャック５１が組
み込まれる。そのチャック５１は。

ウェーハ４１の外側の縁を掘持し１回転動作中に固定ジ
ョーと可動ジョーとの間の適切な位置に保持するために
二つの固定ジョー４４と協動する。

可動ジョー５１は、第１図の破線５１Ａ及び５１Ｂによ
って示された二つの位置の間で移動可能である。破線５
１Ａによって示された位置は直径２００ｎのウェーハを
受は取る囲放位ジ、であり、破線５１Ｂによって示され
た位置は半径１００顛のウェーノ１を握持する締付は位
置である。可動ジョー５１は、第１図のそれぞれの握持
位置へと移動できる。

第６．第８．及びＷＳ９図に示されているように、可動
ジョーチャック５１の形状は、握持すべくウェーハの直
径に依存して変えてもよい。

各可動ジョーチャック５１ｉ／（は、ビン５５を収納す
る下方スロット５３が設けられている。

各可動ジョーチャック５１の重心ＣＧを通る垂線は、第
６及び第８−９図に示されているようにスロット５３の
中心を通る。

ジョーチャック５１は、プレート２３のスロット５６（
第１及び第４図参照）と係合する正面及び背面摺動要素
５４を有する。その摺動要紫はネジ５８で正しい位置に
保持される。

第３及び第４図に最もよく示されているように。

ビン５５の各外端がバネ５７に連結されている。

各バネ５７けハブ２５の対応した開口部５９を貫通して
伸び、各バネ５７の他端は、プレート２３の下側の所定
位置に取付はブロック６３により保持されているビン６
１の対応した端に接続されている。

したがって、バネ５７は、ウェーハ４５の縁と係合した
可動ジョーチャック５１を引っ張り１回転動作中に固定
ジョー４４と可動ジョー５１の間の所定位置に握持又は
締付けられたウェーハ４５を保持するために、可動ジョ
ーチャックに力を作用する。

第４及び第５図に示されているように、可動ジョーチャ
ック５１の移動のためのスロット６７を有する窓プレー
ト６５がスロット５６の上でプレート２３に取り付けら
れている。

可動ジョーチャック５１は位置５１Ａと５１Ｂ（第１図
参照）との間で移動可能であり、そのため、一つの可動
ジョーは、第１図の上方の説明によって示された四つの
直径のいずれのウェーノーをも握持するために（関連し
た対の固定ジョー４４とともに）使用することができる
。

例えば、スピンステーションが直径２００１１１のウェ
ーハ用にセットされると、二つの固定ジョーは第２図の
線３７上に示された位置に配置され、他の全ての固定ジ
ョーは外される。

スピンステーションを直径Ｚｏｏ　Ｋｌのウェーノ１の
ために使用すると、二つの固定ジョーは第２図の線４１
に示された位置に取シ付けられ、他の全ての固定ジョー
は外される。

したがって、可動ジョー５１は、開放位置と各サイズの
ウェーハ用の締付は位置との間を移動できる。

上述したように、個々のウェーハのため可動ジョーの締
付は位置を調節する必要がある。ウェーハのフラン）　
（ｍｍａｔ）の数及び向きはウェーハの設計とともに変
化する。あるウェーハ（いかなる直径でも）は一つのフ
ラットをＭするであろう。

ある直径の他のウェーノ・は数個のフラットを有するで
あろう。フラットの数及びフラットの向きによす、（ウ
ェーハがスピンステーションに移送され、配置されるこ
とから）ウェーハの縁とジョーとの保合は変化する。可
動ジョーがフラットと係合すると、ジョーの移動は、可
動ジョーが円形縁と係合したときよりも大きくなる。’
ｌ上、ウェーハの中心と２ビンドル２９０回転軸線とを
正確に整合するように各々のウェーハをスピンステーシ
ョンに配置することもまた不可能である。通常ウェーハ
の中心と回転軸との間にある程度のずれがある。

したがって、可動ジョーは、固定ジョーが動くことがで
きないので、フラットの方向やずれに対応しているいろ
に調節されなければならない。

特定のウェーハを握持するために可動ジョーに対して必
要とされる移動量は、ウェーハが回転動作の実行中にジ
ョーの中に締め付けられたときに。

可動ジョー５１が位置する最終的な位置を決定する。

可動ジョー５１がスピンドル２９の回転軸から半径方向
外側に配置されるので、スピンドル２９の回転は、可動
なジョーチャック５１の重さによる遠心力を生じさせる
。この遠心力は、可動ジョーチャックによる遠心力の実
質的な影響を受けることなく、可動ジョーチャックによ
るウェーハへの握持力を維持するために、スピンステー
ション２１のあらゆる回転速度に対しても、可動ジョー
チャックの締付は位置の範囲内のいかなる位置にある可
動ジョーチャックに対しても力学的にそして正確に平衡
を保たなけり、ばならない。

ウェーハに作用するのに心壁な握持力はまさにバネ５７
作用の力である烏 可動ジョーチャック５１による遠心力が強く平衡を保て
ないと、可動ジョーチャック５１は外側に移動すること
になる。このようになると、ウェーハ４５への締付けは
開放され、ウェーハはスピンステーションが飛び出し破
損することになる。

可動ジョーチャック５１による遠心力が弱く平衡を保て
ないと、可動ジョーチャックは内側のカを受け、ウェー
ハ４５は押しつぶされる。

可動ジョーチャック５１の付議゛が正確に知られていれ
ば、可動ジョーチャック５１の遠心力を正確に平衡に保
つことは比較的簡単なことである。

しかしく上述したように）、ある名目的な直径をもった
ウェーハに対して可動なジョーチャックの最終的な締付
は位置は正確に知多兄ない。そのため、可動ジョーチャ
ック５１の締付は位ｌｉｔは、フラットの方向やいろい
ろな直径のウェーハによる中心のずれの量に対応して騨
節しなければならない。

したがって、可動ジョーチャンク５１の重放による遠心
力が、可動ジョーチャックによる遠心力の実質的な影響
を受けることなく、可動ジョーチャックによるウェーハ
への握持力を維持するために、スピンステーション２工
のあらゆる回転に対しても、可動ジョーチャックの締付
は位置の範囲内のいかなる位置にある可動ジョーチャッ
クに対しても力学的にそして正確に平衡を保つことは本
発明の重要な特徴でおる。

このことは１本発明に従って、第１、第２及び第４図で
符号７１によシ示された平衡機構により成し遂げられる
。

平衡機構７１け星形組立体７３．生釣合い重シフ５及び
その組立体７３をハブ２５に取シ付ける二つの王パ〜７
７から成る。

第４図に示されているように、パー７７はハブ２５にあ
る凹所７９に嵌合する。生釣合い重り７５は屋形組立体
７３及び可動ジョー５１を平衡に保つ。

星形組立体７３は可動ジョー５１による遠心力に対して
平衡を保つ。

第１及び第２図に最良に示されているように。

星形組立体７３は、スピンドル２９の回転の軸線に対し
直角に伸びた軸線８１のまゎシに時計回シにも反時計回
シにも回転し得る。星形組立体７３は中央シャフト８３
を有する。そのシャフト８３は、王バー７７の左端（第
１及び第２図参照）にあるブツシュ８７内に取り付けら
れた直径が縮小したエンド部材を有する。これらのブツ
シュにょジ、スター組立体７３の固定又は時計回シ又は
反Ｆｇｉ計Ｉ′Ｐ１りに枢動が可能となる。

第１図に示されているように、星形組立体７３は、ピボ
ットピン８１の中心及びビン５５の中心を通る第１の軸
線９１を有する。

星形組立体７３け、軸線９１に應直で且つピボットピン
８１の中心を通過する第２の軸線９３を有する。

星形組立体７３は、図示の如く栴方向に間隔があけられ
た二つの星形の部材９５を有している。

各星形部材９５は玉方脚９５−１．下方脚９５−２、右
側脚９５−３．左側脚９５−４をＭする（第１図参照）
。

小さな釣合い重量９７が２つの脚９５−２の間に取り付
けられている。小さな釣合い重量９８が２つの脚９５−
３の間に取り付けられ、小さな釣合い重量９９が２つの
脚９５−４の間に取り付けられている。各型り９７．９
８及び９９の重ｆは。

可動なジョーチャック５１０重量と正確に等しい。

各型ｐ９７．９８及び９９の重心はピボット軸線８１か
らピン５５の中心までの距離と正確に等しい距離だけピ
ボット軸線８１から離れて位置している。

上述したように（第６図参照）、可動ジョーチャック５
１の中心はビン５５の中心と正確に垂直に整合されてい
る。

その結果、星形組立体７３は放射状となり、二つの直交
軸線９１及び９３に関して対称的となる。

可動ジョー５１は、星形の先端に設けられている。

実際上、可動ジョーチャック５１は、釣合い重量９７．
９Ｂ及び９９が各々の抑に結合されたのと同じようにし
て１脚９５−１の先端にビン止めされている。

この取付けについては第８及び第９図に詳細に図示され
ている。

第１図に示した実施例では、ピン５５を約２．５４σ（
１１ｎｃｈ）だけ移動させるため、下方脚９５−２を約
３９の角度だけ回転すればよいことがわかるだろう。各
可動ジョーに対して、開放位置から締付は範囲への移動
量は１．５９　Ｃｍ　（Ｎ　Ｉｎｃｈ）で、その締付は
範囲は０．９５　Ｃｍ　（Ｋ　Ｉｎｃｈ）であり、全体
で最大移動距離が２．５４ｃＷＩとなる。この最大の移
動距離ｚ５４ｃｒｒ１は窓６７によシ限定される。

位ｒＲ５１Ａと５１Ｂは７．６３　ｃｍ　（３１ｎｃｈ
）だけ離れ（第１図）、２００ｆｉから１００　ｔｘの
ラニーハラ使用する場合の位置の範囲となる。

平衡機構７１の動作は第８及び第９図に説明されている
。

第８図に示されているように１重り５１，９７゜９８及
び９９の各々が単位重量とすると、星形組立体７３がピ
ボット軸線８１ｆ７）！わシで重９の位置人から重量の
Ｂ位置へと回転しても１機構の平衡状態は変化しない。

重り５１及び９８による遠心力によって生ずる反時計回
りのモーメン）Ｆ＋及びＦ４は反時計回シのモーメント
ｐｇ及びＦｊに正確に等しく、平衡に保たれているから
である。

遠心力はスピンドルの中心線からの重量及び距離に比例
する。位置Ｂでのチャック５１０重量は、重量９７より
も大きな遠心力を生じさせ、星形組立体を反時計回りに
回転させようとする。他方。

重量９９け１重り９８よシもよ、り大きな力を生じさせ
１足形組立体を時計回シに回転させようとする。このよ
うな反時計回りの運動と時計回シの運動とはいかなる角
度においても等しく、組立体は常に平衡が保た、れでい
ることがわかるだろう。

第９図は、第８図に似たものであるが、開放位置からウ
ェーハの締付は又は握持位置へと移動する場合のジョー
５１の移動（第９図では反時計回り）を示している。第
９図に図示した平衡機構において１反時計回りの運動が
時引回りの運動と平衡となることから、可動チャック５
１の全ての位置（締付けを行う位置の範囲内）で装置は
平衡を保っている。

したがって、可動ジョーチャック５１の最終的な締付は
位置に僅かな変化（個々のウェーハの縁の物理的な変化
又はジョー内にあるウェーハのフラットの向きから生ず
る）が生じても、その変化は可動ジョーチャック５１に
よる非平衡遠心力にいかなるＶ　ＩＭ：５も及ぼさない
。したがって、可動ジョーチャック５１による遠心力も
また、可動ジョーチャック５１０ウエーハを握持する力
にいかなる影砦を及ぼさない。

ここで、不発明の好適実施例を説明してきたけれども、
これらは限定を加えるものではなく特許請求の範囲から
逸脱することなくいろいろに変形、変更をなし得ること
は明らかである。

【図面の簡単な説明】

第１ｖは、不発明・の−実施例に従って構成された可動
ジョーナヤツク及び平衡激賛を有するウェーハ処理スピ
ンステーションの部分断面側面図である。 第２図は、直径が１００　ｍ翼から２００　ｍ罵のウェ
ーハを握持するために利用された固定ジョーの位置を示
す、ステーションの部分切取端面図である。 第３図は、可動ジョーチャックによりウェーハに作用す
る握持力を生じさせるバネ機構を示す、第１図の矢印３
−３で示された方向から見た部分端面図である。 第４図は、第１図の矢印４−４で示された方向から見た
部分端面図である。 第５図は、第４図の矢印５−５で示された方向から見た
、第１図の災施例の可動ジョーチャックと関連した窓プ
レートの平面図である。 第６図は、直径２００　＊ｘの半導体に使用した可動チ
ャック（第１図の平衡機構とともに使用した可動ジョー
チャック）の側面図である。 第７図は、第６図の矢印７−７から見た。第６図の可動
ジョーチャックの端面図である。 第８図は、可動ジョーチャックの移動範囲内で可動ジョ
ーチャックがどの位置にあっても平衡機構がどのように
平衡状態に保たれているから示す図解の図である（平衡
８！！構による時計回りのモーメントが、可動ジョーチ
ャックがスピンドルの回転軸線からどのような距離にあ
っても、また、スピンドル機構のどのような回転速度で
あっても。 反時計回りのモーメントに等しいととを示す）。 第９図は、最初の開放位置から締付は位置へと移動した
可動ジョーチャックを示す、第８図に似た図解の図であ
る。 〔主要符号の説明〕 ２１−−スピンステーション　　２３−−ジョーＪ＆＃
ｔ７’レート２９−−スピンドル　　　　４４−一固定
ジヨー５１−−可動ジヨー　　　　７１−一平衡機構７
３−−星形組立体　　　　７５−一重り９７．９８．９
９−一重量 特許出原人　　シリコン・バレー・グループ・インコー
ホレイテッド

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ウェーハをジョーの間で握持し、スピンステーショ
   ンにおけるウェーハの回転動作において比較的高速の回
   転をなす種類のウェーハ処理スピンステーションであつ
   て、 ａ）ジョー取付けプレートと、 ｂ）該ジョー取付けプレートを回転するように連結され
   たスピンドルと、 ｃ）スピン動作中にウェーハをジョー手段の中の適切な
   位置に保持するために、ウェーハの外縁を握持するため
   の、ジョー取付けプレートと協働するジョー手段であつ
   て、 開放位置と締付け位置との間を移動することができ、且
   つ ウェーハの直径の公差並びに／又はウェーハのフラット
   の数による差異及び若しくはジョー手段の位置に対する
   ウェーハのフラットの向きの差異によつて、中心がスピ
   ンドルの回転軸からずれたウェーハをジョー手段によつ
   て握持できるように締付け位置を適所に調節できる、少
   なくとも一つの可動ジョーチャックを含む、 ところのジョー手段と、 ｄ）可動ジョーチャックと協働し、 回転動作中に生ずるあらゆる回転速度及び可動ジョーの
   締付け位置の範囲にわたつて可動ジョーチャックによる
   遠心力によつて実質的に影響を受けることなく、可動ジ
   ョーチャックによるウェーハ握持力を有効に維持するた
   めの平衡手段と、 から成るウェーハ処理スピンステーション。 ２、特許請求の範囲第１項に記載されたスピンステーシ
   ョンであつて、 平衡手段がピボット軸線に関して枢動するように取り付
   けられた平衡機構を有し、 該平衡機構は、ピボット軸線のまわりに形成された回転
   体の中に組み込まれ、ピボット軸線に関する平衡機構の
   回転角にかかわらずピボット軸線に関して正味の回転運
   動を生じさせないように回転体の中に分布する釣合い重
   りを有する、 ところのスピンステーション。 ３、特許請求の範囲第２項に記載されたスピンステーシ
   ョンであつて、 スピンドルの中心線が平衡機構のピボット軸線に垂直で
   平衡機構を通過する平面内にある、 ところのスピンステーション。 ４、特許請求の範囲第２項に記載されたスピンステーシ
   ョンであつて、 平衡機構が、側面から見ると星形となつており、 可動ジョーチャックが平衡機構の星形の頂上の一点に設
   けられている。 ところのスピンステーション。 ５、特許請求の範囲第２項に記載されたスピンステーシ
   ョンであつて、 平衡機構は可動ジョーチャックとピン結合し、 そのピン結合の中心はスピンドルの回転軸線と平行で且
   つ可動ジョーチャックの重心を通過する線上に位置して
   いる、 ところのスピンステーション。 ６、特許請求の範囲第５項に記載されたスピンステーシ
   ョンであつて、 平衡機構は、重心が前記ピン結合及び前記ピボット軸線
   の両方を通過する線上に位置し、可動ジョーチャックの
   重さと等しい重さを有する第１の平衡重りを有し、 第１の平衡重りの重心は、ピボット軸線からピン結合ま
   で距離と同じ距離だけピボット軸線から横方向にずれた
   点に位置している、ところのスピンステーション。 ７、特許請求の範囲第６項に記載されたスピンステーシ
   ョンであつて、 平衡機構は、各々が可動ジョーチャックの重さと等しい
   重さの第２及び第３の平衡重りを有し、 各重りの重心は、前記ピン結合及び前記ピボット軸線の
   両方を通過する線上に位置し、第２及び第３の平衡重り
   の各々の重心は、 ピボット軸線からピン結合までの距離と同じ距離だけピ
   ボット軸線から横方向にずれている、 ところのスピンステーション。 ８、特許請求の範囲第１項に記載されたスピンステーシ
   ョンであつて、 可動ジョーチャックは、直径が１００ｍｍから２００ｍ
   ｍまでのウェーハを握持するのに十分な動作範囲全体に
   わたつて移動可能である、ところのスピンステーション
   。 ９、ウェーハをジョーチャックの間で握持し、ウェーハ
   の回転動作において比較的高速でウェーハを回転させる
   、ジョー取付けプレート及び回転動作中にジョー取付け
   プレートを回転させるように取り付けられたスピンドル
   を有したウェーハ処理ステーションにおいて、ウェーハ
   を握持する力を制御して実質的に一定となるように維持
   する方法であつて、 回転動作中にウェーハをジョーチャックの間の適切な位
   置で保持するべく、ウェーハの外縁を有効に握持するた
   めに、ジョーチャックをジョー取付けプレートの適切な
   位置に取り付ける工程と、 少なくとも一つのジョーチャックを移動可能に取り付け
   、開放位置と締付け位置との間を移動できるようにし、
   ウェーハの直径の公差、並びに／又はウェーハのフラッ
   トの数による差異及び／若しくはジョーチャックの位置
   に対するウェーハのフラットの向きの差異によつて、中
   心がスピンドルの回転軸線からずれたウェーハをジョー
   チャックによつて握持できるように締付け位置を適所に
   調節する工程と、 回転動作中に生ずるあらゆる回転速度及び可動ジョーの
   締付け位置の移動範囲にわたつて、可動ジョーチャック
   による遠心力によつて実質的に影響を受けることなく、
   可動ジョーチャックによるウェーハ握持力を有効に維持
   するように、平衡機構と可動ジョーチャックとを連結す
   る工程と、 から成る方法。