JPS6368361A - 磁気デイスク媒体の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、磁気ディスク媒体（以下、「媒体」という）
の製造装置に係り、特に媒体を高い清浄度に保持し、媒
体にバーニッシュ処理を施すために好適な媒体の製造装
置に関する。

［従来の技術］ 従来、この種媒体にバーニッシュ処理を施す技術として
は、特開昭５４−８０７２８号公報に開示されている技
術がある。

この従来のバーニッシュ技術では、浮動へラドスライダ
の表面に、任意形状の凹部を形成し、この浮動へラドス
ライダを媒体の表面かられずかな距離のところに浮上さ
せ、媒体を回転させ、浮動へラドスライダに衝突または
接触する媒体の表面の突起、うねり等を削り取るように
している。

一方、この種媒体をクリーニングする特開昭５６−２９
８９４号公報に開示されている技術がある。

この従来のクリーニング技術では、高硬度のクリーニン
グヘッドをキャリッジにより媒体上に浮上させて支持し
、前記クリーニングヘッドによって捕集されたごみを吸
気機構により吸引するようにしている。

［発明が解決しようとする問題点コ しかし、前記特開昭５４−８０７２．３号公報に開示さ
れている従来技術では、媒体の表面の突起やうねりを除
去することにより、浮動へラドスライダ自体が汚れ、処
理中の媒体に損傷を与えることについては配慮がされて
いない。

また、前記特開昭５６−２９８９４号公報に開示されて
いる従来技術では、媒体にバーニッシュ処理を施し、こ
のバーニッシュ処理によって生じる媒体の削り粉を除去
する技術については示されていない。

本発明の目的は、媒体を常に高い清浄度に保持しつつ媒
体にバーニッシュ処理を施し得る媒体の製造装置を提供
することにある。

［問題点を解決するための手段］ 前記目的は、媒体に少なくともバーニッシュおよびクリ
ーニング処理を施す第１のユニットを設置し、この第１
のユニットの一方の側に、バーニッシュヘッドの清浄処
理を行う第２のユニットを設置し、前記第１のユニット
の他方の側に、クリーニングヘッドの清浄処理を行う第
３のユニットを設置するとともに、前記第２のユニット
により清浄化されたバーニッシュヘッドと前記第３のユ
ニットにより清浄化されたクリーニングヘッドとを、第
１のユニットに交互に移送するヘッド移送手段を配置し
たことにより、達成される。

［作用］ 本発明では、第３のユニットにより清浄化されたクリー
ニングヘッドにより、媒体の成形時や保管時等に媒体に
付着した付着物を除去する。

前記媒体への付着物を除去した後、ヘッド移送手段を介
して使用済みのクリーニングヘッドを第３のユニットに
戻す。

その間、第２のユニットによりバーニッシュヘッドを清
浄処理する。この清浄処理されたバーニッシュヘッドを
第１のユニットに配置されたヘッド移送手段に装着し、
第１のユニットに配置されている媒体の装着位置まで移
送する。

前記第１のユニットでは、媒体を回転させ、前記バーニ
ッシュヘッドにより媒体の突出物を削り取るバーニッシ
ュ処理を施す。

前記媒体にバーニッシュ処理を施した後、バーニッシュ
ヘッドをヘッド移送手段により前記第２のユニットに戻
す。そして、第２のユニットにより、前記使用済みのバ
ーニッシュヘッドに清浄処理を施す。

前記第１のユニットでバーニッシュ処理を行っている間
に、第３のユニットによりクリーニングヘッドを清浄処
理する。ここで、清浄化されたクリーニングヘッドを第
１のユニットに配置されているヘッド移送手段に装着す
る。

ついで、前記使用済みのバーニッシュヘッドを第２のユ
ニットに戻した後、前記ヘッド移送手段により、クリー
ニングヘッドを前記第１のユニットに配置されている媒
体の装着位置に移送する。

続いて、媒体を回転させ、前記クリーニングヘッドによ
り媒体をクリーニング処理する。

前記媒体にクリーニング処理を施した後、クリーニング
ヘッドをヘッド移送手段により、第３のユニットに戻し
、この第３のユニットにおいて、前記使用済みのクリー
ニングヘッドに再び清浄処理を施す。

以上の動作を繰り返し行うことによって、媒体の表面を
常に清浄状態に保持しつつ媒体に所期のバーニッシュ処
理を施すことができる。

［実施例］ 以下１本発明の実施例を図面により説明する。

第１図〜第４図は本発明の一実施例を示すもので、第１
図はこの実施例の製造装置全体を平面から見た概念図、
第２図は第２．第３のユニットの清浄度チェック部の詳
細を示す図、第３図は同洗浄部の詳細を示す図、第４図
は同清掃部の詳細を示す図である。

これらの図に示す実施例では、その第１図に示すように
、第１．第２．第３のユニット１．ＩＩ。

■に区分されて設置されている。

前記第１のユニットＩには、媒体１の浮上テストヘッド
４と、媒体１の回転駆動部７と、ヘッド移送手段８，９
とが配置されている。前記浮上テストヘッド４は、媒体
１の表面を走査し、媒体１の浮上特性を検査するように
なっている。前記回転駆動部７は、媒体１を第１図の矢
印ａ方向に回転駆動させるようになっている。前記ヘッ
ド移送手段８は、第２のユニット■との間でバーニッシ
ュヘッド２の授受を行う位置と媒体１の装着位置との間
を往復移動し、かつ媒体１の装着位置でバーニッシュ処
理を行う所定時間、停止可能に構成されている。前記ヘ
ッド移送手段９は、覧第３のユニット■との間でクリー
ニングヘッド３の授受を行う位置と媒体１の装着位置と
の間を往復移動し、かつ媒体１の装着位置でクリーニン
グ処理を行う所定時間、停止可能に構成されている。そ
して、両ヘッド移送手段８，９は、媒体１の装着位置に
バーニッシュ処理とクリーニング処理に要する時間をお
いて、交互に移動可能に構成されている。

前記ヘッド移送手段８，９には、ロボットを使用すると
有効である。

したがって、この第１のユニットＩは媒体１の浮上テス
トと、媒体１の突出物を削り取るバーニッシュ処理と、
このバーニッシュ処理時に媒体１に付着する削り粉を除
去するクリーニング処理を行い得るようになっている。

前記第２のユニット■は、第１のユニットＩの一方の側
にｆｉｌされている。この第２のユニット■は、バーニ
ッシュヘッド２のヘッド移載機５を備えている。このヘ
ッド移載機５の周りには、第１図において時計方向に、
前記ヘッド移送手段８との間でバーニッシュヘッド２の
授受を行う脱着部■と、バーニッシュヘッド２の清浄度
チェック部■と、同洗浄部■と、同清浄部■、■と、同
清浄度チェック部■とが配置されている。そして、この
第２のユニット■はバーニッシュヘッド２の洗浄、清掃
処理を行い、清浄化されたバーニッシュヘッド２を前記
ヘッド移送手段８に引き渡すようになっている。

前記第３のユニット■は、第１のユニット■の他方の側
に設置されている。この第３のユニット■は、クリーニ
ングヘッド３のヘッド移載機６を備えている。このヘッ
ド移載機６の周りには、第１図において反時計方向に、
ヘッド移送手段９との間でクリーニングヘッド３の授受
を行う脱着部■と、クリーニングヘッド３の清浄度チェ
ック部■と、同洗浄部■と、同清掃部■、■と、同清浄
度チェック部■とが配置されている。しかして、この第
３のユニット■はクリーニングヘッド３の洗浄、清掃処
理を行い、清浄化されたクリーニングヘッド３を前記ヘ
ッド移送手段９に引き渡すように構成されている。

前記バーニッシュヘッド２は、媒体１の突出物を効率よ
く削るため、スライダ２３の表面に溝が設けられ、かつ
硬度の高い材料により形成されている。

前記クリーニングヘッド３は、媒体１に付着している付
着物や削り粉等の残存物を媒体１から飛散させ、または
クリーニングヘッド３に付着させて除去するようになっ
ている。したがって、このクリーニングヘッド３のスラ
イダ２３は、媒体１から前記残存物を飛散させやすい形
状もしくは材料、またはスライダ２３自体に前記残存物
を付着させやすい形状もしくは材料により形成されてい
る。

前記浮上テストヘッド４は、スライダ部に圧電素子（図
示せず）等が設けられている。そして、浮上テストヘッ
ド４は前記スライダ部に設けられた圧電素子等と媒体１
との接触または圧力変動を検出することによって、媒体
１の浮上底を測定し得るようになっている。

前記第２．第３のユニット■、■に配置されている清浄
度チェック部■、■は、第２図に示すように、光学顕微
鏡１０と、ＴＶカメラ１１と、ＴＶモニタ１２とを備え
て構成されている。前記光学顕微鏡１０とＴＶカメラ１
１とは、この実施例では対象物であるバーニッシュヘッ
ド２やクリーニングヘッド３のスライダ２３の表面が３
平面からなっていることに伴い、３式配置されていて、
スライダ２３の当該表面を拡大して撮影し、その映像を
ＴＶモニタ１２に送り込むようになっている。前記ＴＶ
モニタ１２は、ＴＶカメラ１１からスライダ２３の表面
の映像を取り込み、その映像の中から汚れ部を測定し、
この汚れ部の大きさＡ１と設定値Ａ、とを比較する。

比較の結果、Ａｉ≧Ａ、の時は当該ヘッド移載機５゜６
に指令を送り、ヘッド移載機５，６はスライダ２３を洗
浄部■および清掃部の、■に送り、スライダ２３に清浄
処理を施す。比較の結果、Ａ１くＡ！の時は脱着部■に
指令を送り、清浄なるスライダ２３のバーニッシュヘッ
ド２またはクリーニングヘッド３を当該ヘッド移送手段
８，９に引き渡し、装着するようになっている。なお、
光学顕微鏡１０とＴＶカメラ１１を１式設け、この光学
顕微［１０とＴＶカメラ１１とを一緒に首振り運動させ
、スライダ２３の表面全体を撮影するようにしてもよい
。

前記洗浄部■は、第３＠に示すように、洗浄槽１３と、
これに設けられた超音波発振器１４とを備えている。前
記洗浄槽１３には、フレオン、アルコールまたはアセト
ン等の溶剤１５が収容されている。

前記超音波発振器１４は、例えば振動周波数＝１０〜１
００１１ｚ、時間＝１〜１００秒等の範囲で調整可能に
構成されている。この洗浄部■は、バーニッシュヘッド
２またはクリーニングヘッド３のスライダ２３を洗浄槽
１３内の溶剤１５内に浸漬させ、超音波発振器１４によ
り超音波振動を与えて洗浄するようになっている。

前記清掃部■は、第４図に示すように、溶剤１７を滴下
する容器１６と、清掃テープ１８とを備えている。前記
溶剤１７には、前記洗浄部■と同様、フレオン、アルコ
ール、アセトン等が用いられる。前記清掃テープ１８は
、ガーゼ等により形成され、かつ第４図に示す矢印す方
向に走行可能に設けられている。この清掃テープ１８に
は、前記容器１６から溶剤１７を滴下させるようになっ
ている。また、この清掃テープ１８には、押し付は手段
（図示せず）によりスライダ２３を押し付は方Ｗで押し
付けるようになっている。この押し付は手段は、押し付
は方Ｗを調整可能になっている。前記清掃部■は、清掃
テープ１８に溶剤１７を滴下し、かつスライダ２３を押
し付け、清掃テープ１８を第４図の矢印す方向に走行さ
せ、スライダ２３を湿式により清掃するようになってい
る。なお、バーニッシュヘッド２またはクリーニングヘ
ッド３のスライダ２３に細かい溝が設けられている場合
には、ホイスカを植え付けた清掃テープを用いると、有
効である。また、乾式の場合には、微粒の砥粒を付着さ
せた清掃テープを用いることも有効である。

前記清掃部■は、第４図に示す清掃部■により清掃後、
ガーゼ等で形成されかつ走行可能に設けられた清掃テー
プにより、スライダ２３を払拭するように構成されてい
る。

前記実施例の媒体の製造装置は、次のように制御され、
作用する。

まず、第１のユニット■に配置された回転駆動部７に媒
体１を装着し１回転駆動部７により媒体１を第１図に示
す矢印ａ方向に回転させる。

ついで、第３のユニット■で清浄化されたクリーニング
ヘッド３をヘッド移送手段９に装着し、このヘッド移送
手段９を介してクリーニングヘッド３を媒体１の装着位
置まで移送する。そして、前記クリーニングヘッド３に
より、媒体１の成形時や保管時等に、媒体１に付着した
ごみ等の付着物を除去する。

前記クリーニングヘッド３により、媒体１への付着物を
除去した後、ヘッド移送手段９を介してクリーニングヘ
ッド３を第３のユニット■との授受位置まで移送し、第
３のユニット■の脱着部■に使用済みのクリーニングヘ
ッド３を引き渡し、脱着部■でヘッド移載ｆｉ６にクリ
ーニングヘッド３を装着する。

前記クリーニングヘッド３により、媒体１に付着してい
る付着物の除去を行っている間に、第２のユニット■の
ヘッド移載機５によりバーニッシュヘッド２を脱着部■
から清浄度チェック部■を経て洗浄部■および清掃部■
、■に送り、バーニッシュヘッド２に清浄処理を施す。

ついで、バーニッシュヘッド２を清浄度チェック部■に
送り、清浄度の検査を行う、この検査において、汚れ部
の大きさＡ工と設定値Ａ、とを比較し、Ａ１≧Ａ、の時
は、バーニッシュヘッド２を再び洗浄部■および清掃部
■、■に送って清浄処理を行い、Ａ１＜Ａ、の時は脱着
部■により、待機しているヘッド移送手段８にバーニッ
シュヘッド２を引き渡し、装着する。

前記使用済みのクリーニングヘッド３を第３のユニット
■との授受位置に移送した後、清浄化されたバーニッシ
ュヘッド２を装着しているヘッド移送手段８を媒体１の
装着位置に移送する。ついで、このバーニッシュヘッド
２により、媒体１の突出物を削り取るバーニッシュ処理
を行う。媒体１に一定時間、バーニッシュ処理を施した
後、ヘッド移送手段８を介して使用済みのバーニッシュ
ヘッド２を第２のユニット■との授受位置に移送する。

ついで、第２のユツト■の脱着部■によりヘッド移送手
段８からバーニッシュヘッド２を取り外し、ヘッド移載
機５に装着する。

前記バーニッシュヘッド２により、媒体１の突出物を取
り除いている間に、第３のユニット■のヘッド移載機６
によりクリーニングヘッド３を脱着部■、清浄度チェッ
ク部■を経て洗浄部■および清掃部■、■に送り、クリ
ーニングヘッド３の清浄処理を行い、清浄度チェック部
■により清浄度の検査を行う、そして、この第３のユニ
ット■の清浄度チェック部■においても、汚れ部の大き
さＡ１と設定値Ａ、とを比較し、Ａ□≧Ａ、の時は再び
クリーニングヘッド３の清浄処理を行い、Ａ１＜　Ａｔ
の時は脱着部■により、待機中のヘッド移送手段９にク
リーニングヘッド３を引き渡し、装着する。

ついで、前記バーニッシュヘッド２を第２のユニット■
との授受位置に移送した後、ヘッド移送手段９により再
びクリーニングヘッド３を媒体１の装着位置に移送し、
バーニッシュ処理時に媒体１に付着した削り粉を前記ク
リーニングヘッド３により除去する。

前述のごとく、この実施例では第３のユニット■により
清浄化されたクリーニングヘッド３により媒体１にクリ
ーニング処理を施した後、第２のユニット■により清浄
化されたバーニッシュヘッド２により媒体１にバーニッ
シュ処理を施すようにしているので、媒体１を常に高い
清浄度に保持しつつ媒体１にバーニッシュ処理を施すこ
とができる。

前記媒体１にバーニッシュ処理を施し、クリーニング処
理を施した後、浮上テストヘッド４により媒体１の浮上
特性の検査を行う。検査の結果、所定の浮上度に達しな
い時は、媒体１に再度バーニッシュ処理とクリーニング
処理とを施す。一方、検査の結果、所定の浮上度に達し
た時は、回転駆動部７から製品としての媒体を取り外し
、各部を初期状態に戻す。

前述のごとく、この実施例では第３のユニット■により
清浄化されたクリーニングヘッド３により媒体１をクリ
ーニングした後、浮上テストヘッド４により媒体１の検
査を行うことが可能となり。

したがって清浄な状態で媒体１を検査でき、かつ浮上テ
ストヘッド４の汚染を防止することもできるので、浮上
特性検査の精度の向上を図ることができる。

なお、本発明では第２．第３のユニット■、■の各部の
構造は、図面に示す実施例に限らず、所期の機能を有す
るものであればよい。

また、本発明では媒体１の表、裏面を同時にバーニッシ
ュ処理し、クリーニング処理するように構成してもよい
。

［発明の効果コ 以上説明した本発明では、媒体に少なくともバーニッシ
ュおよびクリーニング処理を施す第１のユニットを設置
し、この第１のユニットのニガの側に、バーニッシュヘ
ッドの清浄処理を行う第２のユニットを設置し、前記第
１のユニットの他方の側に、クリーニングヘッドの清浄
処理を行う第３のユニットを設置するとともに、前記第
２のユニットにより清浄化されたバーニッシュヘッドと
前記第３のユニットにより清浄化されたクリーニングヘ
ッドとを、第１のユニットに交互に移送するヘッド移送
手段を配置している。その結果、本発明によれば媒体に
清浄化されたクリーニングヘッドによりクリーニング処
理を施し、このクリーニング処理後、清浄化されたバー
ニッシュヘッドによりバーニッシュ処理を行うことがで
きるので、媒体を常に高い清浄度に保持しつつバーニッ
シュ処理を施すことができ、したがって処理時に付着物
により媒体に損傷を与える不具合を解消し得る効果を有
する外、精度および信頼性の高い媒体を製造し得る効果
がある。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第４図は本発明の一実施例を示すもので、第１
図はこの実施例の脛造装誼全体を平面から見た概念図、
第２図は第２．第３のユニットの清浄度チェック部の詳
細を示す図、第３図は同洗浄部の詳細を示す図、第４図
は同清掃部の詳細を示す図である。 １・・・媒体、１．ｎ、ＩＩＩ・・・第１．第２．第３
のユニット、２・・・バーニッシュヘッド、３・・・ク
リーニングヘッド、４・・・浮上テストヘッド、５，６
・・・ヘッド移載機、７・・・媒体の回転駆動部、８，
９・・・ヘッド移送手段、■・・・第２．第３のユニッ
トにおけるヘッドの脱着部、■・・・同清浄度チェック
部、■・・・同洗浄部、■、■・・・同清掃部、■・・
・同清浄度チェック部、１０・・・清浄度チェック部の
光学顕微鏡。 １１・・・同ＴＶカメラ、１２・・・同ＴＶモニタ、１
３・・・洗浄部の洗浄槽、１４・・・同超音波発振器、
１５・・・同溶剤、１７・・・清浄部で用いる溶剤、１
８・・・同清掃テープ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、磁気ディスク媒体に、少なくともバーニッシュおよ
   びクリーニング処理を施す第１のユニットを設置し、こ
   の第１のユニットの一方の側に、バーニッシュヘッドの
   清浄処理を行う第２のユニットを設置し、前記第１のユ
   ニットの他方の側に、クリーニングヘッドの清浄処理を
   行う第３のユニットを設置するとともに、前記第２のユ
   ニットにより清浄化されたバーニッシュヘッドと前記第
   ３のユニットにより清浄化されたクリーニングヘッドと
   を、第１のユニットに交互に移送するヘッド移送手段を
   配置したことを特徴とする磁気ディスク媒体の製造装置
   。 ２、特許請求の範囲第１項において、前記第１のユニッ
   トは磁気ディスク媒体の浮上テストヘッドを備えている
   ことを特徴とする磁気ディスク媒体の製造装置。 ３、特許請求の範囲第１項において、前記第２、第３の
   ユニットはそれぞれヘッド移載機を備え、このヘッド移
   載機の周りに少なくともヘッドの脱着部と、ヘッドの洗
   浄・清掃部と、清浄度チェック部とを配置したことを特
   徴とする磁気ディスク媒体の製造装置。 ４、特許請求の範囲第３項において、前記ヘッドの洗浄
   ・清掃部は超音波洗浄を利用したものであることを特徴
   とする磁気ディスク媒体の製造装置。 ５、特許請求の範囲第３項において、洗浄・清掃部はホ
   イスカを植え付けかつ走行可能に設けた清掃テープであ
   ることを特徴とする磁気ディスク媒体の製造装置。 ６、特許請求の範囲第３項において、洗浄・清掃部は走
   行可能に設けた研磨テープであることを特徴とする磁気
   ディスク媒体の製造装置。