JPS6367411A - ストロ−クセンサ内蔵型シリンダ装置 - Google Patents
ストロ−クセンサ内蔵型シリンダ装置Info
- Publication number
- JPS6367411A JPS6367411A JP21340886A JP21340886A JPS6367411A JP S6367411 A JPS6367411 A JP S6367411A JP 21340886 A JP21340886 A JP 21340886A JP 21340886 A JP21340886 A JP 21340886A JP S6367411 A JPS6367411 A JP S6367411A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylinder
- piston
- recess
- stroke sensor
- piston rod
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract description 4
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 5
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011499 joint compound Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- -1 criminals Substances 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Actuator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は各種装置の７クチエエータとして使用される油
圧または空気圧シリンダ装置に関する。
圧または空気圧シリンダ装置に関する。
従来の技術
ピストンロッドの移動量〔ストローク〕を検出するには
、従来では第３図のようにシリンダ装置（１）の近傍に
ストロークセンサ（２）を配設し、このストロークセン
サ（２）の可動部（３）を前記シリンダ装置（１）のピ
ストンロッド（４）に接続して検出している。
、従来では第３図のようにシリンダ装置（１）の近傍に
ストロークセンサ（２）を配設し、このストロークセン
サ（２）の可動部（３）を前記シリンダ装置（１）のピ
ストンロッド（４）に接続して検出している。
つまシ、ピストンロッド（４）の出退に伴って前記可動
部（３）が固定部（５）に対してスライドし、可動部（
３）のスライド位置からピストンロッド（４）のストロ
ークを検出している。
部（３）が固定部（５）に対してスライドし、可動部（
３）のスライド位置からピストンロッド（４）のストロ
ークを検出している。
発明が解決しようとする問題点
このような従来の構成では、シリンダ装置（１）の使用
環境によってはストロークセンサ（２）に水、泥、薬品
が降りかかったり、その他の物体が衝突したりする。
環境によってはストロークセンサ（２）に水、泥、薬品
が降りかかったり、その他の物体が衝突したりする。
このような悪条件はストロークセンサ（２）が特に静電
容量式の場合に問題となる。
容量式の場合に問題となる。
第４図は静電容量式ストロークセンサの基本構成を示す
。固定部（５）は誘電体から成る外筒本体（６）とこの
外筒本体（６）の外周面に接着あるいはメッキされた［
極（７）とで形成されている。可動部（３）は導電体で
形成された内筒（８）で形成されておシ、内筒（８）は
外筒本体（６）にスライド自在に挿入されている。
。固定部（５）は誘電体から成る外筒本体（６）とこの
外筒本体（６）の外周面に接着あるいはメッキされた［
極（７）とで形成されている。可動部（３）は導電体で
形成された内筒（８）で形成されておシ、内筒（８）は
外筒本体（６）にスライド自在に挿入されている。
電極（７）と内筒（８）は外筒本体（６）を介して対向
することでコンデンサを形成しておシ、その静電容量値
Ｃｖは対向面積、つまｐは重なシ合っている長さである
Ｉヌトローク／に比例する。
することでコンデンサを形成しておシ、その静電容量値
Ｃｖは対向面積、つまｐは重なシ合っている長さである
Ｉヌトローク／に比例する。
このような静電容量式のストロークセンサ（２）が前記
悪条件下で使用された場合には、水、犯、薬品がストロ
ークセンサ（２）の内部に侵入して！ ［（７）と内筒
（８）を短絡、あるいは絶縁を劣化させ、ストロークｌ
の検出値に誤差が発生する。
悪条件下で使用された場合には、水、犯、薬品がストロ
ークセンサ（２）の内部に侵入して！ ［（７）と内筒
（８）を短絡、あるいは絶縁を劣化させ、ストロークｌ
の検出値に誤差が発生する。
本発明は悪条件下においても長期間にわたって正確なス
トローク測定を行うことができ、しかもその他の物体か
らストロークセンサを保獲できるストロークセンサ内蔵
型シリンダ装置を提供することを目的とする。
トローク測定を行うことができ、しかもその他の物体か
らストロークセンサを保獲できるストロークセンサ内蔵
型シリンダ装置を提供することを目的とする。
問題点を解決するための手段
本発明のストロークセンサ内蔵型シリンダ装置は、ピス
トンとピストンロッドからなる可動部のピストンシリン
ダの内側に位置する端部に前記ピストンロッド長手方向
に伸びる凹部を設け、一端が前記ピストンシリンダの内
側で支持固定され他端が前記凹部に挿入され、導電部が
前記ピストンロッド長手方向に伸びる固定４ＪｉｌＩ！
極を設け、この固定側電極と可動部の前記凹部の内面と
の少なくとも一方に誘電体材料の絶縁層を設け、前記ピ
ストンロッドと固定側ｔｉとの間の静電容量値を検出す
るよう構成したことを特徴とする。
トンとピストンロッドからなる可動部のピストンシリン
ダの内側に位置する端部に前記ピストンロッド長手方向
に伸びる凹部を設け、一端が前記ピストンシリンダの内
側で支持固定され他端が前記凹部に挿入され、導電部が
前記ピストンロッド長手方向に伸びる固定４ＪｉｌＩ！
極を設け、この固定側電極と可動部の前記凹部の内面と
の少なくとも一方に誘電体材料の絶縁層を設け、前記ピ
ストンロッドと固定側ｔｉとの間の静電容量値を検出す
るよう構成したことを特徴とする。
作用
この構成によると、ピストンシリンダ内に静電容量式ス
トローク検出センサの固定側電極を内蔵し、この対向電
極としてピストンとピストンロッドからなる可動部を使
用して、ピストンシリンダ内にストロークセンサを内蔵
する。
トローク検出センサの固定側電極を内蔵し、この対向電
極としてピストンとピストンロッドからなる可動部を使
用して、ピストンシリンダ内にストロークセンサを内蔵
する。
実施例
以下、本発明の一実施例を第１図と第２図に基づいて説
明する。
明する。
第１図と第２図はピストンロッド（９）の出退前後の様
子を示す。ピストンシリンダαＱにはピストン（ロ）と
前記ピストンロッド（９）から成る可動部０が摺動自在
に取り付けられている。（１３ａ）はピストンシリンダ
Ｑｌと前記ピストン＠とで区切られた第１のシリンダ室
０４に連通ずる第１のボー）、 （１３ｂ）はピストン
シリンダαＱと前記ピストンα力とで区切られた第２の
シリンダ室（至）に連通ずる第２のポートである。
子を示す。ピストンシリンダαＱにはピストン（ロ）と
前記ピストンロッド（９）から成る可動部０が摺動自在
に取り付けられている。（１３ａ）はピストンシリンダ
Ｑｌと前記ピストン＠とで区切られた第１のシリンダ室
０４に連通ずる第１のボー）、 （１３ｂ）はピストン
シリンダαＱと前記ピストンα力とで区切られた第２の
シリンダ室（至）に連通ずる第２のポートである。
前記可動部（６）のピストンロッドの端部囚から他端（
Ｂ）に向って凹部００が穿設されており、この凹部ＱＱ
の内周面には誘電体材料から成る絶縁層としての筒体α
ηが接着されている。（至）は固定側′ｆＩＬ極で、ブ
ラケット０９と（１）を介してピストンシリンダαＱに
支固定側電極（至）と内筒本体Ｑｐとは前記凹部αＱに
差し込まれて、筒体αηを介在させて固定側室Ｘａａと
可動部いとが対向してコンデンサを形成している。
Ｂ）に向って凹部００が穿設されており、この凹部ＱＱ
の内周面には誘電体材料から成る絶縁層としての筒体α
ηが接着されている。（至）は固定側′ｆＩＬ極で、ブ
ラケット０９と（１）を介してピストンシリンダαＱに
支固定側電極（至）と内筒本体Ｑｐとは前記凹部αＱに
差し込まれて、筒体αηを介在させて固定側室Ｘａａと
可動部いとが対向してコンデンサを形成している。
なお、この実施例では内筒本体ぐυの先端部には固定側
電極（ト）とは分離して７ＩＬＲＡ（イ）が設けられて
おシ、この電極（イ）と可動部＠との静電容量値は、固
定側電極（至）と可動部＠とで形成される前記コンデン
サのストローク量への変換時の温度補正用に使用される
。
電極（ト）とは分離して７ＩＬＲＡ（イ）が設けられて
おシ、この電極（イ）と可動部＠との静電容量値は、固
定側電極（至）と可動部＠とで形成される前記コンデン
サのストローク量への変換時の温度補正用に使用される
。
固定側電極（財）と電＊Ｗはリード線Ｉ２３＠によって
内筒本体Ｑｐの内部通路（ハ）とプヲケッ）Ｑｌ）の中
央を貫通してピストンシリンダαＱの外部に引き出され
てコネクターに接続されている。
内筒本体Ｑｐの内部通路（ハ）とプヲケッ）Ｑｌ）の中
央を貫通してピストンシリンダαＱの外部に引き出され
てコネクターに接続されている。
このように構成したため、ピストンロッド（９）の出退
量に比例して固定電ｌｆｔ５（至）と可動部＠との対向
面積が変化し、その静電容量値からピストンロッド（９
）のストローク量を演算できる。更に、固定側電極（至
）はピストンシリンダＱＯＫよって包まれているため、
悪条件下においてもこの部分に水、泥、薬品が降りかか
るようなことがまく、固定側！ｆｆ１（ト）と可動部＠
との間の絶縁を長期間にわたって維持でき、正確表スト
ロークの検出を期待できる。
量に比例して固定電ｌｆｔ５（至）と可動部＠との対向
面積が変化し、その静電容量値からピストンロッド（９
）のストローク量を演算できる。更に、固定側電極（至
）はピストンシリンダＱＯＫよって包まれているため、
悪条件下においてもこの部分に水、泥、薬品が降りかか
るようなことがまく、固定側！ｆｆ１（ト）と可動部＠
との間の絶縁を長期間にわたって維持でき、正確表スト
ロークの検出を期待できる。
上記実施例では凹部αＱの内周面側にのみ絶ｅ！層が設
けられていたが、これは固定側電極θ枠の外周面のみあ
るいはその両方に誘電体からなる絶縁層を設けても同様
である。
けられていたが、これは固定側電極θ枠の外周面のみあ
るいはその両方に誘電体からなる絶縁層を設けても同様
である。
発明の効果
以上説明したように、ピストンとピストンロッドから成
る可動部をピストンシリンダに８退自在に取り付けたシ
リンダ装置において、ピストンシリンダ内に静電容量式
ストロークセンサの固定側電極を内蔵し、この対向電極
として前記可動部を使用するように凹部を可動部に形成
し、との凹部に固定側１！極を挿入したため、静電容量
式ストロークセンサをピストンシリンダ内に内蔵させる
ことができ、従来のように、静電容量式ストロークセン
サをピストンシリンダの外部に設けていたものに比べて
悪条件下での使用の信頼性が高く、長期間にわたって安
定した動作を期待できるものである。
る可動部をピストンシリンダに８退自在に取り付けたシ
リンダ装置において、ピストンシリンダ内に静電容量式
ストロークセンサの固定側電極を内蔵し、この対向電極
として前記可動部を使用するように凹部を可動部に形成
し、との凹部に固定側１！極を挿入したため、静電容量
式ストロークセンサをピストンシリンダ内に内蔵させる
ことができ、従来のように、静電容量式ストロークセン
サをピストンシリンダの外部に設けていたものに比べて
悪条件下での使用の信頼性が高く、長期間にわたって安
定した動作を期待できるものである。
第１図は本発明のシリンダ装置の一実施例の縦断面図、
第２図は第１図のピストンロッドが移動した状因の縦断
面図、第３図は従来のストロークセンサ付きシリンダ装
置の構成図、第４図は一般的な静電容量式ストロークセ
ンサの縦断面図である。 （９）・・・ピストンロッド、ＧＯ・・・ピストンシリ
ンダ、αη・・・ピストン、（６）・・・可動部、αＱ
・・・凹部、αη・・・筒体〔絶縁層〕、（至）・・・
固定側電極、ｅ２Ｄ・・・内筒本体。
第２図は第１図のピストンロッドが移動した状因の縦断
面図、第３図は従来のストロークセンサ付きシリンダ装
置の構成図、第４図は一般的な静電容量式ストロークセ
ンサの縦断面図である。 （９）・・・ピストンロッド、ＧＯ・・・ピストンシリ
ンダ、αη・・・ピストン、（６）・・・可動部、αＱ
・・・凹部、αη・・・筒体〔絶縁層〕、（至）・・・
固定側電極、ｅ２Ｄ・・・内筒本体。
Claims (1)
- １、ピストンとピストンロッドからなる可動部のピスト
ンシリンダの内側に位置する端部に前記ピストンロッド
長手方向に伸びる凹部を設け、一端が前記ピストンシリ
ンダの内側で支持固定され他端が前記凹部に挿入され、
導電部が前記ピストンロッド長手方向に伸びる固定側電
極を設け、この固定側電極と可動部の前記凹部の内面と
の少なくとも一方に誘電体材料の絶縁層を設け、前記ピ
ストンロッドと固定側電極との間の静電容量値を検出す
るよう構成したストロークセンサ内蔵型シリンダ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21340886A JPS6367411A (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | ストロ−クセンサ内蔵型シリンダ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21340886A JPS6367411A (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | ストロ−クセンサ内蔵型シリンダ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6367411A true JPS6367411A (ja) | 1988-03-26 |
Family
ID=16638732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21340886A Pending JPS6367411A (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | ストロ−クセンサ内蔵型シリンダ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6367411A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6415706B1 (en) * | 1996-04-12 | 2002-07-09 | Festo Ag & Co. | Actuator |
| EP1435462A1 (en) * | 2002-12-31 | 2004-07-07 | Caterpillar Inc. | Position sensing cylinder cap for ease of service and assembly |
| JP2007524841A (ja) * | 2003-07-01 | 2007-08-30 | タイアックス エルエルシー | 容量性位置センサー及び感知方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5427512A (en) * | 1977-07-29 | 1979-03-01 | Bayer Ag | Separation method of solution containing vinyloxilane |
| JPS6098208A (ja) * | 1983-09-24 | 1985-06-01 | ボ−ゲ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツンク | ピストン行程測定装置 |
-
1986
- 1986-09-10 JP JP21340886A patent/JPS6367411A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5427512A (en) * | 1977-07-29 | 1979-03-01 | Bayer Ag | Separation method of solution containing vinyloxilane |
| JPS6098208A (ja) * | 1983-09-24 | 1985-06-01 | ボ−ゲ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツンク | ピストン行程測定装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6415706B1 (en) * | 1996-04-12 | 2002-07-09 | Festo Ag & Co. | Actuator |
| EP1435462A1 (en) * | 2002-12-31 | 2004-07-07 | Caterpillar Inc. | Position sensing cylinder cap for ease of service and assembly |
| JP2007524841A (ja) * | 2003-07-01 | 2007-08-30 | タイアックス エルエルシー | 容量性位置センサー及び感知方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5952423U (ja) | 容量式測定値検出装置 | |
| JP2011017704A (ja) | ピストン・シリンダユニット | |
| ATE66739T1 (de) | Struktur einer kapazitiven zelle zum messen von differenzdruecken. | |
| JPS62502565A (ja) | 圧力測定装置を持つ点火プラグ | |
| JPS6367411A (ja) | ストロ−クセンサ内蔵型シリンダ装置 | |
| US3171213A (en) | Electrolytic tilt sensor | |
| KR101525429B1 (ko) | 압력 센서 및 압력 센서를 구비하는 위치 지시기 | |
| SU449317A1 (ru) | Емкостный датчик | |
| JP2660517B2 (ja) | 静電容量型レベルセンサー | |
| JPS62203403U (ja) | ||
| JPH03225203A (ja) | シリンダの静電容量式伸縮位置検出装置 | |
| JPH05176998A (ja) | 行程距離測定のためのシリンダコンデンサとして構成された呼吸気送出のためのピストン−シリンダユニット | |
| SU1796880A1 (ru) | Emkocthый диффepehциaльhый пpeoбpaзobateль пepemeщehий | |
| JPH0428027Y2 (ja) | ||
| JPH04106706U (ja) | 油圧シリンダの伸縮位置検出装置 | |
| JPH0518655Y2 (ja) | ||
| JPS6214306U (ja) | ||
| JPS60252804A (ja) | シリンダ装置 | |
| SU733638A1 (ru) | Датчик давлени | |
| JPS5930446Y2 (ja) | 差圧・圧力検出器 | |
| JPS6214304U (ja) | ||
| JPS6367502A (ja) | 静電容量式ストロ−クセンサの温度補正方法 | |
| JPH01126501A (ja) | ストロークセンサ | |
| JP2542222B2 (ja) | 静電容量式レベルセンサ―の電極構成 | |
| JPH0558910U (ja) | 流体圧機器 |