JPS6366846U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6366846U JPS6366846U JP1986161670U JP16167086U JPS6366846U JP S6366846 U JPS6366846 U JP S6366846U JP 1986161670 U JP1986161670 U JP 1986161670U JP 16167086 U JP16167086 U JP 16167086U JP S6366846 U JPS6366846 U JP S6366846U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aligner
- mark
- photomask
- utility
- marks
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案によるアライナマーク部分の実
施例の平面図、第２図から第５図にかけては本考
案の他の実施例の平面図、第６図は従来のフオト
マスクの平面図、第７図と第８図はそれぞれ従来
のアライナマークの平面図と断面図、第９図は従
来のアライナマークがずれたところを示す平面図
である。 １……基板、３……アライナマーク部、４，５
……アライナマーク、７……視野、８……顕微鏡
、９……印。
施例の平面図、第２図から第５図にかけては本考
案の他の実施例の平面図、第６図は従来のフオト
マスクの平面図、第７図と第８図はそれぞれ従来
のアライナマークの平面図と断面図、第９図は従
来のアライナマークがずれたところを示す平面図
である。 １……基板、３……アライナマーク部、４，５
……アライナマーク、７……視野、８……顕微鏡
、９……印。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) アライナマークを有するフオトマスクにお
いて、アライナマークの存在する方向を示す印を
直線状に複数個並べた列を、アライナマークを中
心として、放射状に複数列設けたことを特徴とす
るフオトマスク。 (2) 印を複数個並べた列の長さは、フオトマス
クをアライナにセツトした時に、アライナマーク
を見るための顕微鏡とアライナマークとがずれる
距離の最大値よりも長いことを特徴とする実用新
案登録請求の範囲第１項記載のフオトマスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986161670U JPS6366846U (ja) | 1986-10-22 | 1986-10-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986161670U JPS6366846U (ja) | 1986-10-22 | 1986-10-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6366846U true JPS6366846U (ja) | 1988-05-06 |
Family
ID=31088199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986161670U Pending JPS6366846U (ja) | 1986-10-22 | 1986-10-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6366846U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09166866A (ja) * | 1995-12-18 | 1997-06-24 | Nec Corp | フォトマスクの目合わせマーク及び半導体装置 |
-
1986
- 1986-10-22 JP JP1986161670U patent/JPS6366846U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09166866A (ja) * | 1995-12-18 | 1997-06-24 | Nec Corp | フォトマスクの目合わせマーク及び半導体装置 |
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