JPS63140525U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63140525U JPS63140525U JP1987033439U JP3343987U JPS63140525U JP S63140525 U JPS63140525 U JP S63140525U JP 1987033439 U JP1987033439 U JP 1987033439U JP 3343987 U JP3343987 U JP 3343987U JP S63140525 U JPS63140525 U JP S63140525U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- outline
- glass mask
- pattern
- wafer
- transferring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 9
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
Description
第１図は本考案の一実施例としてのガラスマス
クの平面図、第２図は前記ガラスマスクによつて
パターニングがなされた半導体ウエハの平面図で
ある。第３図は従来例のガラスマスクの平面図、
第４図はこの従来例のガラスマスクでパターニン
グがされた半導体ウエハの平面図、第５図は他の
従来例のガラスマスクの平面図、第６図は第５図
のガラスマスクによつてパターニングがなされた
半導体ウエハの平面図である。 １…ガラスマスク、２…ガラス、３…輪郭、４
…パターン、Ａ…ウエハ。
クの平面図、第２図は前記ガラスマスクによつて
パターニングがなされた半導体ウエハの平面図で
ある。第３図は従来例のガラスマスクの平面図、
第４図はこの従来例のガラスマスクでパターニン
グがされた半導体ウエハの平面図、第５図は他の
従来例のガラスマスクの平面図、第６図は第５図
のガラスマスクによつてパターニングがなされた
半導体ウエハの平面図である。 １…ガラスマスク、２…ガラス、３…輪郭、４
…パターン、Ａ…ウエハ。
Claims (1)
- ウエハの外形と同じ形状の輪郭を備えるととも
に、該輪郭内に正形ペレツトのみの転写用パター
ンを具備してなることを特徴とするガラスマスク
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987033439U JPS63140525U (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987033439U JPS63140525U (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63140525U true JPS63140525U (ja) | 1988-09-16 |
Family
ID=30841052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987033439U Pending JPS63140525U (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63140525U (ja) |
-
1987
- 1987-03-06 JP JP1987033439U patent/JPS63140525U/ja active Pending