JPS628630U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS628630U JPS628630U JP10005785U JP10005785U JPS628630U JP S628630 U JPS628630 U JP S628630U JP 10005785 U JP10005785 U JP 10005785U JP 10005785 U JP10005785 U JP 10005785U JP S628630 U JPS628630 U JP S628630U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mark
- pattern
- substrate
- mask
- positive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
Description
図面は本考案の実施例が示され、第1図はパタ
ーン合せ装置の要部外観斜視図、第2図は第1の
パターンと位置合せマークが描かれた基板の平面
図、第3図は第2のパターンと位置合せマークが
描かれた金属マスクの平面図、第4図は他の実施
例外観斜視図、第5図は他の位置合せマークの平
面図、第6図から第8図は更に他の位置合せマー
クの平面図、第9図から第14図は従来の位置合
せマークの平面図である。 1…第1のパターン、2…基板、3…第2のパ
ターン、4…マスク、5…有限長の幅を有するス
トライプ状のポジ型マーク、6…ネガ型マーク。
ーン合せ装置の要部外観斜視図、第2図は第1の
パターンと位置合せマークが描かれた基板の平面
図、第3図は第2のパターンと位置合せマークが
描かれた金属マスクの平面図、第4図は他の実施
例外観斜視図、第5図は他の位置合せマークの平
面図、第6図から第8図は更に他の位置合せマー
クの平面図、第9図から第14図は従来の位置合
せマークの平面図である。 1…第1のパターン、2…基板、3…第2のパ
ターン、4…マスク、5…有限長の幅を有するス
トライプ状のポジ型マーク、6…ネガ型マーク。
Claims (1)
- 第1のパターンが形成された基板と、この基板
に被覆して第2のパターンを形成するためのマス
クとのいずれか一方に、有限長の幅を有するスト
ライプ状のポジ型マークを形成すると共に、他方
に上記ポジ型マークと同形状のネガ型マークを形
成し、このネガ型マークと上記ポジ型マークとを
重合して上記基板と上記マスクとのパターンを位
置合せさせたパターン合せ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10005785U JPS628630U (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10005785U JPS628630U (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS628630U true JPS628630U (ja) | 1987-01-19 |
Family
ID=30969513
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10005785U Pending JPS628630U (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS628630U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006165359A (ja) * | 2004-12-09 | 2006-06-22 | Canon Inc | ウエハのダイシング方法および液体吐出ヘッド |
-
1985
- 1985-07-02 JP JP10005785U patent/JPS628630U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006165359A (ja) * | 2004-12-09 | 2006-06-22 | Canon Inc | ウエハのダイシング方法および液体吐出ヘッド |
JP4617150B2 (ja) * | 2004-12-09 | 2011-01-19 | キヤノン株式会社 | ウエハのダイシング方法 |