JPS6366408A - 長さ測定装置 - Google Patents
長さ測定装置Info
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- JPS6366408A JPS6366408A JP62196513A JP19651387A JPS6366408A JP S6366408 A JPS6366408 A JP S6366408A JP 62196513 A JP62196513 A JP 62196513A JP 19651387 A JP19651387 A JP 19651387A JP S6366408 A JPS6366408 A JP S6366408A
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- Japan
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- connecting rod
- scanning unit
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- housing
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- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 5
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 abstract description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 239000002775 capsule Substances 0.000 description 1
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000011796 hollow space material Substances 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、ハウジングに固定された担持体の寸法具体化
物が、ハウジングに支承された走査ユニットにより走査
されて、走査信号が発生され、さらにハウジングが第一
の物体にかつ取付は部片が他の物体に固定され、走査ユ
ニットが取付は部片と連接棒を介して連結されている、
互いに可動な二つの物体の相対位置を測定するための長
さ測定装置に関する。
物が、ハウジングに支承された走査ユニットにより走査
されて、走査信号が発生され、さらにハウジングが第一
の物体にかつ取付は部片が他の物体に固定され、走査ユ
ニットが取付は部片と連接棒を介して連結されている、
互いに可動な二つの物体の相対位置を測定するための長
さ測定装置に関する。
このような長さ測定装置は、特に、数値制御される加工
iMで加工片と工具の相対位置を探知するために用いら
れる。
iMで加工片と工具の相対位置を探知するために用いら
れる。
(従来技術)
ドクトル、ヨハネス・ハイデンハイン有限会社の198
2年2月版のパンフレット[カプセルに包まれた万能−
長さ測定システムULS 、ロール隙間−測定システム
WMS Jからそのような長さ測定装置が知られている
。寸法の具体化されたものの担持体としてガラス目盛り
スケールが光電走査ユニットにより透過光を用いて走査
される。走査ユニットが、ハウジングに摩擦なく測定方
向に搬送可能に支承されてし)る。走査ユニットは、担
持体の一方の側に配置されたランフ。
2年2月版のパンフレット[カプセルに包まれた万能−
長さ測定システムULS 、ロール隙間−測定システム
WMS Jからそのような長さ測定装置が知られている
。寸法の具体化されたものの担持体としてガラス目盛り
スケールが光電走査ユニットにより透過光を用いて走査
される。走査ユニットが、ハウジングに摩擦なく測定方
向に搬送可能に支承されてし)る。走査ユニットは、担
持体の一方の側に配置されたランフ。
と・測定方向にずらされていてかつ担持体の他方の側に
配置された四つの受信器とからなる。
配置された四つの受信器とからなる。
ランプの電圧供給と受信器による走査信号の受取がケー
ブルの電気的リード線を介して行われる。ケーブルの一
端が走査ユニットに接続され、かつ他端が、ハウジング
に取りつけられた接続モジュールとしてのブツシュに接
続されている。
ブルの電気的リード線を介して行われる。ケーブルの一
端が走査ユニットに接続され、かつ他端が、ハウジング
に取りつけられた接続モジュールとしてのブツシュに接
続されている。
走査ユニットとハウジングの間に相対運動があると、走
査ユニットとブシュの間の距離が絶えず変化する。これ
は、走査ユニットとブシュの間のケーブルが絶えず動か
されることを意味する。この運動を妨げないで行うこと
ができるためには、ハウジングの内側に自由な空間を必
要とし、そのため測定装置の大きさが増大する。
査ユニットとブシュの間の距離が絶えず変化する。これ
は、走査ユニットとブシュの間のケーブルが絶えず動か
されることを意味する。この運動を妨げないで行うこと
ができるためには、ハウジングの内側に自由な空間を必
要とし、そのため測定装置の大きさが増大する。
ケーブルが制限された自由なハウジング空間で動くこと
により、ケーブルが損傷し、従って測定装置が故障する
ことになる。
により、ケーブルが損傷し、従って測定装置が故障する
ことになる。
同様に、本願より先の刊行物ではないドイツ特許出願p
3613755.3 (DE−os 361375)
から、ガラススケールが、棒に固定された走査ユニット
により光電的に走査される長さ測定装置がすでに知られ
ている。ガラススケールは第一の物体と連結され、かつ
棒が第一の物体に対して相対的に可動な他の物体と連結
されている。
3613755.3 (DE−os 361375)
から、ガラススケールが、棒に固定された走査ユニット
により光電的に走査される長さ測定装置がすでに知られ
ている。ガラススケールは第一の物体と連結され、かつ
棒が第一の物体に対して相対的に可動な他の物体と連結
されている。
棒には軸方向の穿孔が形成され、その穿孔内を走査ユニ
ットから外側へ達するリード線が導かれている。
ットから外側へ達するリード線が導かれている。
その棒の両端が直接、機械ベットと連結されている。リ
ード線が制限されずに軸方向穿孔から導き出され、引っ
張り応力がリード線に作用し、従って力が走査ユニット
に作用しうる。
ード線が制限されずに軸方向穿孔から導き出され、引っ
張り応力がリード線に作用し、従って力が走査ユニット
に作用しうる。
(発明の目的)
本発明の目的は、コンパクトに構成され、かつ信頼し得
る作動が保証される、冒頭に述べた種類の長さ4J定装
置を提供することである。
る作動が保証される、冒頭に述べた種類の長さ4J定装
置を提供することである。
(発明の構成)
上記の目的を解決するには、本発明により、a)少なく
とも一つのリード線が走査ユニットから走査信号を伝達
するために連接棒内を取付は部片へ導かれ、 b)取付は部片が少なくとも取りつけ中連接捧の縦軸線
を中心として連接棒に対して相対的に角度運動可能であ
り、 C)取付は部片が、リード線がらせん状に巻かれている
室を有するようにすればよい。
とも一つのリード線が走査ユニットから走査信号を伝達
するために連接棒内を取付は部片へ導かれ、 b)取付は部片が少なくとも取りつけ中連接捧の縦軸線
を中心として連接棒に対して相対的に角度運動可能であ
り、 C)取付は部片が、リード線がらせん状に巻かれている
室を有するようにすればよい。
(発明の効果)
本発明で達成される利点は、特に、走査ユニットと接続
モジュールの間のリード線が不変に敷設されていること
にある。リード線の磨滅やそれにより引き起こされる測
定操作の故障が避けられる。さらに、本発明では、取付
は部片が連接棒を物体と連結して、この取付は部片内を
リード線を導くことにより測定装置の構造形式を小さく
することができる。取付は部片は、角運動の可能性によ
り、許容しがたい力が連接棒におよび走査ユニットに作
用しないように、各取りつけ面に取りつけることができ
る。
モジュールの間のリード線が不変に敷設されていること
にある。リード線の磨滅やそれにより引き起こされる測
定操作の故障が避けられる。さらに、本発明では、取付
は部片が連接棒を物体と連結して、この取付は部片内を
リード線を導くことにより測定装置の構造形式を小さく
することができる。取付は部片は、角運動の可能性によ
り、許容しがたい力が連接棒におよび走査ユニットに作
用しないように、各取りつけ面に取りつけることができ
る。
本発明の有利な介層は、実施態様項に記載されている。
(実施例)
以下、本発明の実施例について図面により説明する。
インクレメンタル目盛り2を有するガラス目盛りスケー
ル1が、寸法の具体化されたものとしてハウジング3の
中に貼りつけられている。
ル1が、寸法の具体化されたものとしてハウジング3の
中に貼りつけられている。
光電走査ユニット4が、ロール5によりガラス目盛りス
ケール1の上をならびに内側のハウジング面に沿って摩
擦なしで案内される。二つの機械部分の相対位置を測定
するために、ハウジング3が機械ベット6に固定され、
かつ取付は部片7が機械スライド8に固定されている。
ケール1の上をならびに内側のハウジング面に沿って摩
擦なしで案内される。二つの機械部分の相対位置を測定
するために、ハウジング3が機械ベット6に固定され、
かつ取付は部片7が機械スライド8に固定されている。
連接棒9が取付は部片7を走査ユニット4と連結してい
るので、機械スライド8の測定方向の相対運動が走査ユ
ニット8に伝達される。インクレメンタル目盛り2が走
査ユニット4のランプlOにより照明され、かつ調節さ
れた光が、測定方向にずらして配置された四つの受信器
により受は取られる。図面には、受信器が示されてない
。ケーブル11が走査ユニット4から取付は部片7まで
、管として形成された連接棒9に敷設されている。取付
は部片7にブシュ12が固定されており、このブシュと
ケーブル11のリード線が接続されている。ケーブル1
1にはリード線がランプのエネルギーを具体化するため
におよび受信機−走査信号を受は取るために存在してい
る。ハウジング3が走査部片7に対して測定方向に相対
運動したときに、ケーブル11は静止している。なぜな
ら、走査ユニット4とブシュ12の間隔が一定のままで
あるからである。ブシュ12には、接続ケーブルをコネ
クターにより取りつけることができる。この図示されて
ない接続ケーブルに、外部のエネルギー源から出発する
リード線ならびに表示ユニットまたは評価ユニットへ導
くリード線をまとめることができる。
るので、機械スライド8の測定方向の相対運動が走査ユ
ニット8に伝達される。インクレメンタル目盛り2が走
査ユニット4のランプlOにより照明され、かつ調節さ
れた光が、測定方向にずらして配置された四つの受信器
により受は取られる。図面には、受信器が示されてない
。ケーブル11が走査ユニット4から取付は部片7まで
、管として形成された連接棒9に敷設されている。取付
は部片7にブシュ12が固定されており、このブシュと
ケーブル11のリード線が接続されている。ケーブル1
1にはリード線がランプのエネルギーを具体化するため
におよび受信機−走査信号を受は取るために存在してい
る。ハウジング3が走査部片7に対して測定方向に相対
運動したときに、ケーブル11は静止している。なぜな
ら、走査ユニット4とブシュ12の間隔が一定のままで
あるからである。ブシュ12には、接続ケーブルをコネ
クターにより取りつけることができる。この図示されて
ない接続ケーブルに、外部のエネルギー源から出発する
リード線ならびに表示ユニットまたは評価ユニットへ導
くリード線をまとめることができる。
直方体形の取付は部片7が連接棒9の縦軸線を中心とし
て回転可能に支承されている。これには、取付は部片7
を機械スライド8に任意に取りつけることができるとい
う利点がある。ブシュ12を要求に応じて配向させるこ
とができ、かつ機械ベット6および機械スライド8の取
りつけ面の誤配向を補償することができる。
て回転可能に支承されている。これには、取付は部片7
を機械スライド8に任意に取りつけることができるとい
う利点がある。ブシュ12を要求に応じて配向させるこ
とができ、かつ機械ベット6および機械スライド8の取
りつけ面の誤配向を補償することができる。
取付は部片7は、図示した例では、測定装置全体を機械
に取りつけた後、ねじ13を介して連接棒9と堅く結合
することができる。しかしながら、この結合は、測定操
作中取付は部片7が連接棒9の縦軸線を中心として回転
できるように実施することができる。それにより、許容
しがたい反作用力が連接棒9に、従って走査ユニット4
に及ぼされずに、機械部品のリード誤差により引き起こ
される測定誤差を除去することができる。しかしながら
、全ての場合に取付は部片7と連接棒9の間の結合を、
測定方向の剛性が保証されるように実施することができ
なければならない。
に取りつけた後、ねじ13を介して連接棒9と堅く結合
することができる。しかしながら、この結合は、測定操
作中取付は部片7が連接棒9の縦軸線を中心として回転
できるように実施することができる。それにより、許容
しがたい反作用力が連接棒9に、従って走査ユニット4
に及ぼされずに、機械部品のリード誤差により引き起こ
される測定誤差を除去することができる。しかしながら
、全ての場合に取付は部片7と連接棒9の間の結合を、
測定方向の剛性が保証されるように実施することができ
なければならない。
ケーブル11が取付は部片7の内部で連接棒9から側方
へ中空室に出て、ブシュ12へ導かれている。この中空
室で、ケーブル11が一つまたは複数のループを形成し
ていて、連接棒9の縦軸線を中心とする取付は部片7の
回転運動が妨げられないように保証する。取付は部片7
の角度位置に応じて、ケーブル11が小さい半径のまた
はいっそう大きい半径のループを形成する。盤14が連
接棒9と堅く結合されていて、ケーブル11にループの
好ましい方向を与える。
へ中空室に出て、ブシュ12へ導かれている。この中空
室で、ケーブル11が一つまたは複数のループを形成し
ていて、連接棒9の縦軸線を中心とする取付は部片7の
回転運動が妨げられないように保証する。取付は部片7
の角度位置に応じて、ケーブル11が小さい半径のまた
はいっそう大きい半径のループを形成する。盤14が連
接棒9と堅く結合されていて、ケーブル11にループの
好ましい方向を与える。
しかしながら、この盤14のない実施例も考えることが
できる。
できる。
盤14にある当接部片15と取付は部片7にある対向部
片16とがほぼ360度に回転運動を制限する。この当
接により、許容しがたい引っ張り応力がケーブル11に
加えられないように保証される。
片16とがほぼ360度に回転運動を制限する。この当
接により、許容しがたい引っ張り応力がケーブル11に
加えられないように保証される。
連接棒9の管壁と、連接棒9に存在するケーブル11と
の間のシール17が、流体や塵がハウジング3に侵入し
ないように防止する。
の間のシール17が、流体や塵がハウジング3に侵入し
ないように防止する。
図示してない実施例では、ブシュを連接棒の縦軸線に対
し垂直な取付は部片の面にまたは面内にも固定すること
ができる。また、ブシュを連接棒の端部に固定すること
を考えることもでき、その際ブシュ自体は延長可能な接
続モジュールとして形成することができる。
し垂直な取付は部片の面にまたは面内にも固定すること
ができる。また、ブシュを連接棒の端部に固定すること
を考えることもでき、その際ブシュ自体は延長可能な接
続モジュールとして形成することができる。
本発明は、図示したインクレメンタル光電測定装置に限
定されない。本発明は他の測定装置、例えばインクレメ
ンタルなまたは絶対的な種類の容量的、磁気的および誘
導的な装置も含む。
定されない。本発明は他の測定装置、例えばインクレメ
ンタルなまたは絶対的な種類の容量的、磁気的および誘
導的な装置も含む。
走査ユニットから取付は部片へ導かれる操作信号は電気
的な種類である必要はなく、他の伝達可能な信号、例え
ば光学的な光ビーム信号も考えることができる。それに
相応して、リード線も敷設しなければならないが、今あ
げた例では光ビーム波導体を用いることができよう。
的な種類である必要はなく、他の伝達可能な信号、例え
ば光学的な光ビーム信号も考えることができる。それに
相応して、リード線も敷設しなければならないが、今あ
げた例では光ビーム波導体を用いることができよう。
第1図は本発明による長さ測定装置の縦断面図、第2図
は第1図の線■−■に沿って切断した断面図である。 1・・・担持体 2・・・寸法具体化物 3・・・ハウジング 4・・・走査ユニット 6.8・・・物体 7・・・取付は部片 9・・・連接棒 11・・・リード線
は第1図の線■−■に沿って切断した断面図である。 1・・・担持体 2・・・寸法具体化物 3・・・ハウジング 4・・・走査ユニット 6.8・・・物体 7・・・取付は部片 9・・・連接棒 11・・・リード線
Claims (4)
- (1)ハウジングに固定された担持体の寸法具体化物が
、ハウジングに支承された走査ユニットにより走査され
て、走査信号が発生され、さらにハウジングが第一の物
体にかつ取付け部片が他の物体に固定され、走査ユニッ
トが取付け部片と連接棒を介して連結されている、互い
に可動な二つの物体の相対位置を測定するための長さ測
定装置において、 a)少なくとも一つのリード線(11)が走査ユニット
(4)から走査信号を伝達するために連接棒(9)内を
取付け部片(7)へ導かれ、 b)取付け部片(7)が少なくとも取りつけ中連接棒(
9)の縦軸線を中心として連接棒(9)に対して相対的
に角度運動可能であり、c)取付け部片(7)が、リー
ド線(11)がらせん状に巻かれている室を有すること
を特徴とする長さ測定装置。 - (2)少なくとも一つのリード線が電気的ケーブル(1
1)または光ビーム波導体である、特許請求の範囲第1
項に記載の長さ測定装置。 - (3)取付け部片(7)が連接棒(9)に対して相対的
に連接棒(9)の縦軸線を中心としてほぼ360度の範
囲を角運動可能である、特許請求の範囲第1項または第
2項に記載の長さ測定装置。 - (4)リード線(11)が取付け部片(7)の室内で連
接棒(9)から側方へ出て、その室に少なくとも一つの
ループを形成し、さらに取付け部片(7)に、リード線
(11)が接続される接続モジュール(12)が取りつ
けられている、特許請求の範囲第1項から第3項までの
うちのいずれか一つに記載の長さ測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3627079A DE3627079C1 (de) | 1986-08-09 | 1986-08-09 | Laengenmesseinrichtung |
| DE3627079.2 | 1986-08-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6366408A true JPS6366408A (ja) | 1988-03-25 |
| JPH0476604B2 JPH0476604B2 (ja) | 1992-12-04 |
Family
ID=6307082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62196513A Granted JPS6366408A (ja) | 1986-08-09 | 1987-08-07 | 長さ測定装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4818111A (ja) |
| EP (1) | EP0256230B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6366408A (ja) |
| AT (1) | ATE70909T1 (ja) |
| DE (2) | DE3627079C1 (ja) |
| ES (1) | ES2027992T3 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB8902763D0 (en) * | 1989-02-08 | 1989-03-30 | Smiths Industries Plc | Seals |
| DE9001767U1 (de) * | 1990-02-15 | 1990-04-19 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Positionsmeßeinrichtung |
| AT399223B (de) * | 1990-10-05 | 1995-04-25 | Rsf Elektronik Gmbh | Gekapseltes längenmesssystem |
| US5700668A (en) † | 1995-12-08 | 1997-12-23 | Italfarmaco Sud S.P.A. | Process for the industrial preparation of phosphatidylserine |
| DE19711216C1 (de) * | 1997-03-18 | 1998-05-07 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren und Vorrichtung zur Übertragung von Daten zwischen einer Positionsmeßeinrichtung und einer Auswerteeinheit |
| DE102013213003A1 (de) * | 2013-07-03 | 2015-01-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Abtasteinheit zur Abtastung eines Maßstabs und Positionsmesseinrichtung |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1548871A1 (de) * | 1966-09-10 | 1969-09-11 | Wenczler & Heidenhain | Anordnung zum Messen von Laengen |
| US3816003A (en) * | 1973-03-12 | 1974-06-11 | Dynamics Res Corp | Sealed linear encoder |
| DE2505585C3 (de) * | 1975-02-11 | 1978-06-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längenmeßeinrichtung |
| DD120707A1 (ja) * | 1975-07-24 | 1976-06-20 | ||
| JPS5866001A (ja) * | 1981-10-15 | 1983-04-20 | Sony Magnescale Inc | 磁気スケ−ル装置 |
| CH646783A5 (en) * | 1982-02-08 | 1984-12-14 | Compac | Device for measuring linear dimensions or variations in these dimensions using an optical reader |
| DE3311118C2 (de) * | 1983-03-26 | 1986-04-17 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte lichtelektrische Meßeinrichtung |
| JPS60191908U (ja) * | 1984-05-29 | 1985-12-19 | 株式会社ソキア | リニアスケ−ル |
| JPH0236683Y2 (ja) * | 1985-04-30 | 1990-10-04 |
-
1986
- 1986-08-09 DE DE3627079A patent/DE3627079C1/de not_active Expired
-
1987
- 1987-05-26 EP EP87107630A patent/EP0256230B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1987-05-26 DE DE8787107630T patent/DE3775491D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1987-05-26 ES ES198787107630T patent/ES2027992T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1987-05-26 AT AT87107630T patent/ATE70909T1/de not_active IP Right Cessation
- 1987-07-16 US US07/074,524 patent/US4818111A/en not_active Expired - Fee Related
- 1987-08-07 JP JP62196513A patent/JPS6366408A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0256230A3 (de) | 1991-01-23 |
| US4818111A (en) | 1989-04-04 |
| DE3627079C1 (de) | 1987-10-08 |
| JPH0476604B2 (ja) | 1992-12-04 |
| EP0256230B1 (de) | 1991-12-27 |
| DE3775491D1 (de) | 1992-02-06 |
| ATE70909T1 (de) | 1992-01-15 |
| ES2027992T3 (es) | 1992-07-01 |
| EP0256230A2 (de) | 1988-02-24 |
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