SU1567872A1 - Оптический датчик перемещений объекта - Google Patents
Оптический датчик перемещений объекта Download PDFInfo
- Publication number
- SU1567872A1 SU1567872A1 SU884460616A SU4460616A SU1567872A1 SU 1567872 A1 SU1567872 A1 SU 1567872A1 SU 884460616 A SU884460616 A SU 884460616A SU 4460616 A SU4460616 A SU 4460616A SU 1567872 A1 SU1567872 A1 SU 1567872A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- radiation
- changes
- sleeve
- temperature
- compensating
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени перемещений в услови х переменных температур. Цель изобретени - повышение точности за счет компенсации температурных погрешностей путем изменени наклона отражающей поверхности. Источник 1 излучени создает световой поток Фпр, который отражаетс упругой отражающей пластиной 4. Отраженный поток Фотр поступает на приемники 2 и 3 излучени , с выхода которых снимаетс электрический сигнал, пропорциональный перемещению Х объекта. При изменении температуры окружающей среды измен етс длина втулки 5, что ведет к изменению формы упругой отражающей пластины 4, а это в свою очередь - к изменению величины потока излучени , принимаемого приемниками 2 и 3 излучени , компенсиру тем самым температурную нестабильность источника излучени . 1 з.п.ф-лы, 1 ил.
Description
„-
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени перемещений в услови х переменных температур,
Цель изобретени - повышение точности за счет компенсации температурных погрешностей путем изменени наклона отражсощей поверхности.
На чертеже схематически представ- лен предлагаемый оптический датчик перемещений объекта,
Оптический датчик перемещений объекта содержит источник 1 излучени приемники 2 и 3 излучени , упругую отражающую пластину 4, втулку 5, гайку 6, Втулка 5 благодар внешней резьбе имеет возможность перемещени по резьбе гайки 6 вдоль оси упругой отражающей пластины 4, изготовленной, например , из фторопласта и вдоль оптической оси датчика. Упруга отражающа пластина 4 и гайка 6 жестко закреплены на перемещающейс части объекта 7. Перемещением втулки 5 по резьбе гайки 6 измен ют рассто ние от поверхности гайки 6 до упругой отражающей пластины 4 за счет измерени эффективной длины 10 втулки 5, Таким образом измен ют форму отражающей поверхности, Втулку 5 изготавливают из материала t с большим коэффициентом температурног расширени ,
Датчик работает следующим образом,
Источник 1 излучени создает свето вой поток г Пр, который распростран етс в направлении X к контролируемому объекту 7, Отраженный от поверхности упругой отражающей пластины 4 световой поток Ф поступает на приемники 2 и 3 излучени , с выхода которых снимаетс -электрический сигнал, пропорциональный контролируемому перемещению X.
При изменении температуры окружающей среды измен етс излучающа спо- собность излучател , а следовательно , и освещенность ФП измен етс на величину ДЕ, определ емую выражени ми (дл ТИП) и (6) (дл РИИ).
АЕ
- AI t х« p. k- cos i ,
(1) (2)
ДЕ -|-°-. p.k-cos i.
Из выражений (l) и (2 следует, что уменьшить температурную погрешность , обусловленную изменением ДЕ, можно, уменьшив значение cos i, т.е. изменив наклон отражающей поверхнос20
25
10
, 0
35
45 50
40
55
ти. Этого достигают изменением формы отражател при действии температуры.
При изменении температуры окружающей среды измен етс эффективна дли-1 на 10 втулки 5 на величину
.cl. At,(3)
где (L - температурный коэффициент расширени материала втулки 4;
&t - диапазон изменени температуры окружающей среды, Указанное изменение длины втулки ь-ецет к изменению формы отражающей пластины, т.е, она принимает вид шарового сегмента,
Дл простейших инженерных расчетов можно считать, что отражатель принимает вид равнобедренного треугольника ОВС (см, чертеж).
Из треугольника ОАВ
cos .-.)
41. (
где D - диаметр отр t/кател ,. величина посто нна , поэтому, чтобы уменьшить cos i, необходимо увеличить Д10 и в соответствии с выражением (3) - 10,
Так как в реальных услови х достаточно трудно вывести аналитическое соотношение , определ ющее необходимую длину 1б, то на практике производ т следующую температурную регулировку датчика.
Снимают градуировочные характеристики (ГХ) в нормальных услови х при повышенной и пониженной температурах дл R Оо с плоской отражающей пластиной ). Характеристика, которой соответствует наименьший.диапазон изменени выходного сигнала, принимаетс за исходную (основную). Перемещением втулки 5 по резьбе гайки 6 выставл ют некоторое значение 10, а затем вновь снимают ГХ в нормальных услови х и при пониженной температуре, Если ГХ проход т ниже основной, то увеличивают длину 10, если выше, то уменьшают,
i
Указанные операции провод т до
тех пор, пока погрешность от изменени температуры, рассчитанна относительно исходной характеристики, не будет наименьшей,
Claims (1)
- Формула изобретен-иОптический датчик перемещений объекта, содержащий источник излуче515678726ки и расположенные последовательноженной за отражателем гайкой, предпо ходу излучени отражатель, пред-назначенной дл соединени с объекназначенный дл св зи с объектом, итом, и втулкой, установленной в гай;приемник излучени , а также регистритсоосно с направлением излучени сруемый блок, электрически св занныйвозможностью прод льного перемещенис приемником излучени , отлича-и фиксации, а отражатель выполнен вю щ и и с тем, что, с целью повы-виде упругой пластины, взаимодействуюшени точности, он снабжен располо-ющей с втулкой,
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884460616A SU1567872A1 (ru) | 1988-07-14 | 1988-07-14 | Оптический датчик перемещений объекта |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884460616A SU1567872A1 (ru) | 1988-07-14 | 1988-07-14 | Оптический датчик перемещений объекта |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1567872A1 true SU1567872A1 (ru) | 1990-05-30 |
Family
ID=21389809
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884460616A SU1567872A1 (ru) | 1988-07-14 | 1988-07-14 | Оптический датчик перемещений объекта |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1567872A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0493827A2 (en) * | 1990-12-31 | 1992-07-08 | Texas Instruments Incorporated | Sensor for semiconductor device manufacturing process control |
-
1988
- 1988-07-14 SU SU884460616A patent/SU1567872A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 225464, кл. G 01 В 11/00, 1968. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0493827A2 (en) * | 1990-12-31 | 1992-07-08 | Texas Instruments Incorporated | Sensor for semiconductor device manufacturing process control |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4744661A (en) | Device for measuring small distances | |
US4670649A (en) | Optical transducer and measuring device | |
SU1567872A1 (ru) | Оптический датчик перемещений объекта | |
JP2002243503A (ja) | 光学式エンコーダ | |
US3538772A (en) | Monitoring apparatus | |
SU1707471A1 (ru) | Оптический датчик перемещений | |
GB2042168A (en) | Optical pick-up and transmission of a parameter being measured | |
SU1388720A1 (ru) | Компаратор линейных перемещений | |
JPS57190202A (en) | Device for reading optical scale | |
SU1767327A1 (ru) | Оптический датчик перемещений | |
JPS6319505A (ja) | 携帯形多目的精密長さ測定方法 | |
SU1589046A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных перемещений | |
SU1080013A1 (ru) | Светопроекционный дальномер | |
RU2164662C2 (ru) | Оптический датчик перемещений | |
SU1698645A1 (ru) | Оптический датчик перемещений | |
SU868340A1 (ru) | Преобразователь линейных перемещений | |
SU763680A1 (ru) | Фотоэлектрический блок к устройству дл измерени перемещений | |
SU1093889A1 (ru) | Датчик линейных перемещений | |
RU2032142C1 (ru) | Измерительная микрометрическая головка "тубор" | |
SU1776989A1 (ru) | Датчик угла скручивания | |
GB2153524A (en) | Sensing strain in transparent fibre | |
EP0271024A2 (en) | Optical focus sensor system | |
SU1698644A1 (ru) | Оптико-электронное устройство дл измерени диаметров нагретых крупногабаритных деталей | |
JPS57190203A (en) | Device for reading optical scale | |
RU2044264C1 (ru) | Оптический датчик перемещений |