SU1567872A1 - Оптический датчик перемещений объекта - Google Patents

Оптический датчик перемещений объекта Download PDF

Info

Publication number
SU1567872A1
SU1567872A1 SU884460616A SU4460616A SU1567872A1 SU 1567872 A1 SU1567872 A1 SU 1567872A1 SU 884460616 A SU884460616 A SU 884460616A SU 4460616 A SU4460616 A SU 4460616A SU 1567872 A1 SU1567872 A1 SU 1567872A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
radiation
changes
sleeve
temperature
compensating
Prior art date
Application number
SU884460616A
Other languages
English (en)
Inventor
Татьяна Ивановна Мурашкина
Николай Дмитриевич Конаков
Владимир Федорович Роганов
Анжелика Олеговна Хаева
Original Assignee
Предприятие П/Я А-1891
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-1891 filed Critical Предприятие П/Я А-1891
Priority to SU884460616A priority Critical patent/SU1567872A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1567872A1 publication Critical patent/SU1567872A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  перемещений в услови х переменных температур. Цель изобретени  - повышение точности за счет компенсации температурных погрешностей путем изменени  наклона отражающей поверхности. Источник 1 излучени  создает световой поток Фпр, который отражаетс  упругой отражающей пластиной 4. Отраженный поток Фотр поступает на приемники 2 и 3 излучени , с выхода которых снимаетс  электрический сигнал, пропорциональный перемещению Х объекта. При изменении температуры окружающей среды измен етс  длина втулки 5, что ведет к изменению формы упругой отражающей пластины 4, а это в свою очередь - к изменению величины потока излучени , принимаемого приемниками 2 и 3 излучени , компенсиру  тем самым температурную нестабильность источника излучени . 1 з.п.ф-лы, 1 ил.

Description

„-
Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  перемещений в услови х переменных температур,
Цель изобретени  - повышение точности за счет компенсации температурных погрешностей путем изменени  наклона отражсощей поверхности.
На чертеже схематически представ- лен предлагаемый оптический датчик перемещений объекта,
Оптический датчик перемещений объекта содержит источник 1 излучени  приемники 2 и 3 излучени , упругую отражающую пластину 4, втулку 5, гайку 6, Втулка 5 благодар  внешней резьбе имеет возможность перемещени  по резьбе гайки 6 вдоль оси упругой отражающей пластины 4, изготовленной, например , из фторопласта и вдоль оптической оси датчика. Упруга  отражающа  пластина 4 и гайка 6 жестко закреплены на перемещающейс  части объекта 7. Перемещением втулки 5 по резьбе гайки 6 измен ют рассто ние от поверхности гайки 6 до упругой отражающей пластины 4 за счет измерени  эффективной длины 10 втулки 5, Таким образом измен ют форму отражающей поверхности, Втулку 5 изготавливают из материала t с большим коэффициентом температурног расширени ,
Датчик работает следующим образом,
Источник 1 излучени  создает свето вой поток г Пр, который распростран етс  в направлении X к контролируемому объекту 7, Отраженный от поверхности упругой отражающей пластины 4 световой поток Ф поступает на приемники 2 и 3 излучени , с выхода которых снимаетс  -электрический сигнал, пропорциональный контролируемому перемещению X.
При изменении температуры окружающей среды измен етс  излучающа  спо- собность излучател , а следовательно , и освещенность ФП измен етс  на величину ДЕ, определ емую выражени ми (дл  ТИП) и (6) (дл  РИИ).
АЕ
- AI t х« p. k- cos i ,
(1) (2)
ДЕ -|-°-. p.k-cos i.
Из выражений (l) и (2 следует, что уменьшить температурную погрешность , обусловленную изменением ДЕ, можно, уменьшив значение cos i, т.е. изменив наклон отражающей поверхнос20
25
10
, 0
35
45 50
40
55
ти. Этого достигают изменением формы отражател  при действии температуры.
При изменении температуры окружающей среды измен етс  эффективна  дли-1 на 10 втулки 5 на величину
.cl. At,(3)
где (L - температурный коэффициент расширени  материала втулки 4;
&t - диапазон изменени  температуры окружающей среды, Указанное изменение длины втулки ь-ецет к изменению формы отражающей пластины, т.е, она принимает вид шарового сегмента,
Дл  простейших инженерных расчетов можно считать, что отражатель принимает вид равнобедренного треугольника ОВС (см, чертеж).
Из треугольника ОАВ
cos .-.)
41. (
где D - диаметр отр t/кател  ,. величина посто нна , поэтому, чтобы уменьшить cos i, необходимо увеличить Д10 и в соответствии с выражением (3) - 10,
Так как в реальных услови х достаточно трудно вывести аналитическое соотношение , определ ющее необходимую длину 1б, то на практике производ т следующую температурную регулировку датчика.
Снимают градуировочные характеристики (ГХ) в нормальных услови х при повышенной и пониженной температурах дл  R Оо с плоской отражающей пластиной ). Характеристика, которой соответствует наименьший.диапазон изменени  выходного сигнала, принимаетс  за исходную (основную). Перемещением втулки 5 по резьбе гайки 6 выставл ют некоторое значение 10, а затем вновь снимают ГХ в нормальных услови х и при пониженной температуре, Если ГХ проход т ниже основной, то увеличивают длину 10, если выше, то уменьшают,
i
Указанные операции провод т до
тех пор, пока погрешность от изменени  температуры, рассчитанна  относительно исходной характеристики, не будет наименьшей,

Claims (1)

  1. Формула изобретен-и 
    Оптический датчик перемещений объекта, содержащий источник излуче515678726
    ки  и расположенные последовательноженной за отражателем гайкой, предпо ходу излучени  отражатель, пред-назначенной дл  соединени  с объекназначенный дл  св зи с объектом, итом, и втулкой, установленной в гай;
    приемник излучени , а также регистритсоосно с направлением излучени  с
    руемый блок, электрически св занныйвозможностью прод льного перемещени 
    с приемником излучени , отлича-и фиксации, а отражатель выполнен в
    ю щ и и с   тем, что, с целью повы-виде упругой пластины, взаимодействую
    шени  точности, он снабжен располо-ющей с втулкой,
SU884460616A 1988-07-14 1988-07-14 Оптический датчик перемещений объекта SU1567872A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884460616A SU1567872A1 (ru) 1988-07-14 1988-07-14 Оптический датчик перемещений объекта

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884460616A SU1567872A1 (ru) 1988-07-14 1988-07-14 Оптический датчик перемещений объекта

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1567872A1 true SU1567872A1 (ru) 1990-05-30

Family

ID=21389809

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU884460616A SU1567872A1 (ru) 1988-07-14 1988-07-14 Оптический датчик перемещений объекта

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1567872A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0493827A2 (en) * 1990-12-31 1992-07-08 Texas Instruments Incorporated Sensor for semiconductor device manufacturing process control

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 225464, кл. G 01 В 11/00, 1968. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0493827A2 (en) * 1990-12-31 1992-07-08 Texas Instruments Incorporated Sensor for semiconductor device manufacturing process control

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4744661A (en) Device for measuring small distances
US4670649A (en) Optical transducer and measuring device
SU1567872A1 (ru) Оптический датчик перемещений объекта
JP2002243503A (ja) 光学式エンコーダ
US3538772A (en) Monitoring apparatus
SU1707471A1 (ru) Оптический датчик перемещений
GB2042168A (en) Optical pick-up and transmission of a parameter being measured
SU1388720A1 (ru) Компаратор линейных перемещений
JPS57190202A (en) Device for reading optical scale
SU1767327A1 (ru) Оптический датчик перемещений
JPS6319505A (ja) 携帯形多目的精密長さ測定方法
SU1589046A1 (ru) Устройство дл измерени линейных перемещений
SU1080013A1 (ru) Светопроекционный дальномер
RU2164662C2 (ru) Оптический датчик перемещений
SU1698645A1 (ru) Оптический датчик перемещений
SU868340A1 (ru) Преобразователь линейных перемещений
SU763680A1 (ru) Фотоэлектрический блок к устройству дл измерени перемещений
SU1093889A1 (ru) Датчик линейных перемещений
RU2032142C1 (ru) Измерительная микрометрическая головка "тубор"
SU1776989A1 (ru) Датчик угла скручивания
GB2153524A (en) Sensing strain in transparent fibre
EP0271024A2 (en) Optical focus sensor system
SU1698644A1 (ru) Оптико-электронное устройство дл измерени диаметров нагретых крупногабаритных деталей
JPS57190203A (en) Device for reading optical scale
RU2044264C1 (ru) Оптический датчик перемещений