JPS6357738U - - Google Patents

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JPS6357738U
JPS6357738U JP15179286U JP15179286U JPS6357738U JP S6357738 U JPS6357738 U JP S6357738U JP 15179286 U JP15179286 U JP 15179286U JP 15179286 U JP15179286 U JP 15179286U JP S6357738 U JPS6357738 U JP S6357738U
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JP
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opening
door
workpiece transfer
lower edge
transfer arm
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JP15179286U
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【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の実施例の側面図、第２図は
第１図の正面図、第３図は第１図の一部拡大図、
第４図は第３図のＡ―Ａ断面図、第４ａ図は第４
図のワーク搬送アームの側面図、第５図は第４図
のＢ―Ｂ断面図、第６図は円筒カムのカム面の展
開図、第７図は半導体工場におけるクリーンエレ
ベータを示す側面図、第８図は他の実施例を示し
第４図のＢ―Ｂ断面図、第９図は第８図の一部側
面図である。 １…クリーンチユーブ、１ａ…ヘパフイルタ、
１ｂ…軌道面、２…クリーンエレベータ、２ａ…
垂直ダクト、３…クリーンインデツクス、４…リ
フト、４ａ…テーブル、５…台車、６…開口部、
７…ヒンジ、８…扉、９…ピン、９ａ…長孔、９
ｂ…ブラケツト、１１，１２…ピン、１３…ステ
ー、１３ａ…ストツパ、１４…回転軸、１５…軸
受、１６…駆動プーリ、１７…扉開閉用アーム、
１７ａ…駒、１８…円筒カム、１８Ａ，１８Ｂ…
カム溝、１８Ｃ…カム溝、１９…モータ、２０…
ヘパフイルタ、２１…プーリ、２２…ベルト、２
３…カムフオロア、２３ａ…フオロアローラ、２
４…ワーク搬送アーム、２４ａ…円弧形長溝、２
４ｂ…ボルト、２５ａ…フランジ、２５…カセツ
ト、２６…ピン、２７…支持具、２８…ロープ、
２９…プーリ、３１…クツシヨン、３２…作業床
、３３…走行レール、３４…ロボツト、３５…処
理装置、３６…クリーンエリヤ、３７…壁、３８
…メインテナンスエリヤ、３９…ガス封入シリン
ダ、４０…引張ばね。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 扉を設けた開口部から被搬送物を出し入れする
    搬送装置において、開口部内の開口部下縁近傍で
    下縁に沿つて軸方向移動自在に枢着され、開口部
    内外間を被搬送物を担持して揺動可能であり、開
    口部内において被搬送物より互に遠のくように離
    れる位置をとり得る二本のワーク搬送アームと、
    ワーク搬送アームの駆動装置と、開口部の下縁附
    近に枢着された扉と、扉の開閉装置と、扉が開く
    ときにワーク搬送アームが追従し、扉が閉まると
    きワーク搬送アームが先行して開口部内に向う連
    動手段とからなる搬送装置。
JP15179286U 1986-10-02 1986-10-02 Expired - Lifetime JPH0541552Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15179286U JPH0541552Y2 (ja) 1986-10-02 1986-10-02

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15179286U JPH0541552Y2 (ja) 1986-10-02 1986-10-02

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6357738U true JPS6357738U (ja) 1988-04-18
JPH0541552Y2 JPH0541552Y2 (ja) 1993-10-20

Family

ID=31069185

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15179286U Expired - Lifetime JPH0541552Y2 (ja) 1986-10-02 1986-10-02

Country Status (1)

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JP (1) JPH0541552Y2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03261161A (ja) * 1990-03-09 1991-11-21 Tokyo Electron Sagami Ltd 縦型熱処理装置
JP2017177286A (ja) * 2016-03-30 2017-10-05 ブラザー工業株式会社 ワーク交換装置、ワーク交換方法及びコンピュータプログラム

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03261161A (ja) * 1990-03-09 1991-11-21 Tokyo Electron Sagami Ltd 縦型熱処理装置
JP2017177286A (ja) * 2016-03-30 2017-10-05 ブラザー工業株式会社 ワーク交換装置、ワーク交換方法及びコンピュータプログラム

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Publication number Publication date
JPH0541552Y2 (ja) 1993-10-20

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