JPS6350914A - 蒸着型薄膜記録媒体 - Google Patents
蒸着型薄膜記録媒体Info
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- JPS6350914A JPS6350914A JP19431286A JP19431286A JPS6350914A JP S6350914 A JPS6350914 A JP S6350914A JP 19431286 A JP19431286 A JP 19431286A JP 19431286 A JP19431286 A JP 19431286A JP S6350914 A JPS6350914 A JP S6350914A
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- Japan
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- parts
- deposited film
- vapor deposited
- thin film
- vapor deposition
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、磁気テープ等のような接触記録型の記録媒体
として用いられる蒸着型薄膜記録媒体に関する。
として用いられる蒸着型薄膜記録媒体に関する。
従来の技術
蒸着型薄膜記録媒体は、Ｃｏ−Ｎｉ−０系や、Ｃｏ−Ｃ
ｒ−〇系等の合金を、有機フィルムなどの薄膜媒体上に
、電子ビーム蒸着やスパッター蒸着などによって、０．
２〜１μｍ程度の極く薄い蒸着膜を形成することにより
構成される。現在、一般的な実用媒体として供されてお
らず、磁気テープやディスクなどとして試作、研究が続
けられている。
ｒ−〇系等の合金を、有機フィルムなどの薄膜媒体上に
、電子ビーム蒸着やスパッター蒸着などによって、０．
２〜１μｍ程度の極く薄い蒸着膜を形成することにより
構成される。現在、一般的な実用媒体として供されてお
らず、磁気テープやディスクなどとして試作、研究が続
けられている。
２ ページ
薄い金属層が主体となっているため、劣化が生じ易い。
このため種々の滑剤が塗布され、摩耗を減少し、劣化を
改善する試みが続けられている。
改善する試みが続けられている。
これに対して、現在、既に市販されている塗布型記録媒
体では、種々の複雑な滑剤が添加されていると同時に研
摩砥粒が少量加えられている。
体では、種々の複雑な滑剤が添加されていると同時に研
摩砥粒が少量加えられている。
発明が解決しようとする問題点
現在、試作されている磁気テープや、磁気ディスクを使
用すると、例えば、第１図のａに示すように、磁気媒体
に接触する磁気ヘッドの出力が、時間と共に低下してゆ
く。その量は、環境によっても異なるが、ｅ〜１ｏｄＢ
に達し、そのため、画質などの劣化を招いている。
用すると、例えば、第１図のａに示すように、磁気媒体
に接触する磁気ヘッドの出力が、時間と共に低下してゆ
く。その量は、環境によっても異なるが、ｅ〜１ｏｄＢ
に達し、そのため、画質などの劣化を招いている。
今後、高画質化や、ソフトテープなどの反復使用が増大
する内で、重要な改良すべき問題点となっており、現在
、試みていられる滑剤塗布によっても根本的な解決はな
されていない。又、研摩砥粒は摩耗を増加せしめる。
する内で、重要な改良すべき問題点となっており、現在
、試みていられる滑剤塗布によっても根本的な解決はな
されていない。又、研摩砥粒は摩耗を増加せしめる。
問題点を解決するだめの手段
記録媒体に使用する薄膜媒体表面に形成される３ ペー
ジ 傷や表面の異常突起、並びに表面に付着する異物などの
、表面の凹凸の原因を減少せしめ、その上に被覆して形
成せしめる蒸着膜表面に、異常突起を生じしめないよう
に制御する。この異常突起部は脆弱で、段落しやすぐ、
耐久試験後、１μｍ径以上のピンホール数が、５０ｏｏ
ケ／ｄ以下となるようにする。
ジ 傷や表面の異常突起、並びに表面に付着する異物などの
、表面の凹凸の原因を減少せしめ、その上に被覆して形
成せしめる蒸着膜表面に、異常突起を生じしめないよう
に制御する。この異常突起部は脆弱で、段落しやすぐ、
耐久試験後、１μｍ径以上のピンホール数が、５０ｏｏ
ケ／ｄ以下となるようにする。
作 用
ピンホールの密度が小となることによシ、摩耗による出
力の低下の少ない、安定した特性を有する記録媒体を得
ることができる。
力の低下の少ない、安定した特性を有する記録媒体を得
ることができる。
実施例
第２図に示すように、薄膜媒体１０表面にある傷や異常
突起２や異物３は、その上に蒸着膜４を形成した時に、
蒸着膜４の脆弱部となる。これは、そのような異常部２
，３に成長した蒸着膜部分には、空隙６や凹凸６が形成
され、この部分に、磁気ヘッド等の走行によって生ずる
応力が集中し、破壊を生ずる。このようにして、生じた
異常な摩耗粉の量は、一般的に生ずる通常の摩耗粉量の
１゜倍以上になる。又、このような段落粒子はいわゆる
「共ずシ」を生じ、摩耗を促進すると思われる。
突起２や異物３は、その上に蒸着膜４を形成した時に、
蒸着膜４の脆弱部となる。これは、そのような異常部２
，３に成長した蒸着膜部分には、空隙６や凹凸６が形成
され、この部分に、磁気ヘッド等の走行によって生ずる
応力が集中し、破壊を生ずる。このようにして、生じた
異常な摩耗粉の量は、一般的に生ずる通常の摩耗粉量の
１゜倍以上になる。又、このような段落粒子はいわゆる
「共ずシ」を生じ、摩耗を促進すると思われる。
このような摩耗粉は、記録媒体表面に固って付着したり
、磁気ヘッド等の表面に付着して、いわゆるスペーシン
グ損失を生ずる。第１図に示すように、現在使用されて
いるＶＴＲなどでは、約１ｏ。
、磁気ヘッド等の表面に付着して、いわゆるスペーシン
グ損失を生ずる。第１図に示すように、現在使用されて
いるＶＴＲなどでは、約１ｏ。
への非常に薄い異物が付着しても、約１ｄＢの出力低下
になる。従って、上述のように多量の摩耗粉が生成し、
磁気ヘッド等に付着すれば、容易に第１図ａに示すよう
に、出力の多大な低下や、出力が殆んど消失する目詰９
状態になると推定される。
になる。従って、上述のように多量の摩耗粉が生成し、
磁気ヘッド等に付着すれば、容易に第１図ａに示すよう
に、出力の多大な低下や、出力が殆んど消失する目詰９
状態になると推定される。
以下具体的な実施例について説明する。
１０μｍ厚の薄膜媒体（ＰＥＴ ）上に電子ビーム蒸着
によって、ＣＯｓ ｏＮ １２０の部分酸化金属蒸着膜
を０．２μｍ厚に形成した。裏面に、炭素微粉を含むポ
リウレタン樹脂を０５μｍ厚に塗布、硬化させた後、さ
らに表面に、含弗素高級アルコールを５ｏ入厚相尚を塗
布した。
によって、ＣＯｓ ｏＮ １２０の部分酸化金属蒸着膜
を０．２μｍ厚に形成した。裏面に、炭素微粉を含むポ
リウレタン樹脂を０５μｍ厚に塗布、硬化させた後、さ
らに表面に、含弗素高級アルコールを５ｏ入厚相尚を塗
布した。
以上の製造工程において、薄膜媒体表面の傷や５ ペー
ジ 突起の多少、工程異物の多少を、１００〜８ｏ○倍の光
学顕微鏡観察によシ行なった。表面粗さ計により、表面
の凹凸を観察した所、第３図に示すように、２００〜３
００人の微小な凹凸がいずれも試料にも観察され、時々
、６００〜８００人の大きな突起も観察された。しかし
、微小面積の観察しか出来ないため、代表的な表面粗さ
と成シ得なかった。
ジ 突起の多少、工程異物の多少を、１００〜８ｏ○倍の光
学顕微鏡観察によシ行なった。表面粗さ計により、表面
の凹凸を観察した所、第３図に示すように、２００〜３
００人の微小な凹凸がいずれも試料にも観察され、時々
、６００〜８００人の大きな突起も観察された。しかし
、微小面積の観察しか出来ないため、代表的な表面粗さ
と成シ得なかった。
次に、巾ＢＭＷに切断し、リールに巻き込み、−般市販
のｓ闘ＶＴＲを使用し、耐久試験を行なった。１回２時
間の再生を、１００回総計２００時間連続して行なった
所、第１図に示すような出力の低下が見られた。出力の
最低値を最大劣化とした。耐久試験終了後、Ｘ４００の
光学顕微鏡観察により、ピンホール数（径１μｍ）を数
えた。１μｍ径以下も多数存在するが、１μｍ径以上を
便宜上、代表値とした。なお、耐久試験前には、このよ
うなピンホールは殆んどなく、多くとも６００ケ／ｄで
あった。又、ヘッドの摩耗は１〜２μｍにすぎなかった
。
のｓ闘ＶＴＲを使用し、耐久試験を行なった。１回２時
間の再生を、１００回総計２００時間連続して行なった
所、第１図に示すような出力の低下が見られた。出力の
最低値を最大劣化とした。耐久試験終了後、Ｘ４００の
光学顕微鏡観察により、ピンホール数（径１μｍ）を数
えた。１μｍ径以下も多数存在するが、１μｍ径以上を
便宜上、代表値とした。なお、耐久試験前には、このよ
うなピンホールは殆んどなく、多くとも６００ケ／ｄで
あった。又、ヘッドの摩耗は１〜２μｍにすぎなかった
。
６ ページ
以上の代表的な結果を、第１表にまとめて示す。
１〜３が従来例４が本発明例である。
第 １ 表
さらに、種々の条件で形成されたテープの耐久試験の結
果を、最大劣化とピンホール密度にまとめて、第４図に
示す。バラツキ巾が太きいが、同図よシ、ピンホール密
度が、約５０００ケ／ｄ以下で、出力劣化が２〜３ｄＢ
と小さく、且つバラツキ巾も少ない。しかし、それ以上
の密度では、劣化が急に増加しておシ、且つ、バラツキ
の巾が大きくなり、不安定な状態であることを示してい
る。
果を、最大劣化とピンホール密度にまとめて、第４図に
示す。バラツキ巾が太きいが、同図よシ、ピンホール密
度が、約５０００ケ／ｄ以下で、出力劣化が２〜３ｄＢ
と小さく、且つバラツキ巾も少ない。しかし、それ以上
の密度では、劣化が急に増加しておシ、且つ、バラツキ
の巾が大きくなり、不安定な状態であることを示してい
る。
発明の効果
７ ページ
以上の説明で明らかなように、従来、滑剤の選択のみで
は基本的な解決のできなかった連続耐久における出力劣
化の改善が達成された。本発明においては、滑剤を固定
したが、さらに良い滑剤が実現されれば、−層良好な結
果を得れることはいうまでもない。
は基本的な解決のできなかった連続耐久における出力劣
化の改善が達成された。本発明においては、滑剤を固定
したが、さらに良い滑剤が実現されれば、−層良好な結
果を得れることはいうまでもない。
又、蒸着法が、スパッター法などであっても、記録媒体
がディスクなどへの応用であっても、本発明の作用から
、効果のあることが明白である。
がディスクなどへの応用であっても、本発明の作用から
、効果のあることが明白である。
なお、本発明による手段は、塗布型の記録媒体において
、研摩砥粒を添加せしめて、同様の効果をもたしている
のに対して、全く対称的である。
、研摩砥粒を添加せしめて、同様の効果をもたしている
のに対して、全く対称的である。
第１図は耐久試験における出力低下を示すグラフ、第２
図は蒸着記録媒体の断面を示す概念図、第３図はその表
面粗さを示すグラフ、第４図は最大出力劣化とピンホー
ル密度の相関を示す図であ第１図 第２図
図は蒸着記録媒体の断面を示す概念図、第３図はその表
面粗さを示すグラフ、第４図は最大出力劣化とピンホー
ル密度の相関を示す図であ第１図 第２図
Claims (1)
- 記録ヘッドとの接触によって生ずる径１μｍ以上のピ
ンホールとなる異常突起数が５０００ケ／ｃｍ＾２以下
であることを特徴とする蒸着型薄膜記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19431286A JPS6350914A (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | 蒸着型薄膜記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19431286A JPS6350914A (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | 蒸着型薄膜記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6350914A true JPS6350914A (ja) | 1988-03-03 |
Family
ID=16322511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19431286A Pending JPS6350914A (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | 蒸着型薄膜記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6350914A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57127929A (en) * | 1981-01-29 | 1982-08-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture for magnetic recording medium |
| JPS5894131A (ja) * | 1981-11-28 | 1983-06-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
-
1986
- 1986-08-20 JP JP19431286A patent/JPS6350914A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57127929A (en) * | 1981-01-29 | 1982-08-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture for magnetic recording medium |
| JPS5894131A (ja) * | 1981-11-28 | 1983-06-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
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