JPS63503573A - 浮動ビーム温度補償を有する加速度計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 浮動ビーム温度補償を有する加速度計 １１飢」 本発明は加速度計に関し、特に保証重り（ｐｒｏｏｆ　ｍａｓｓ）の動きが力変 換器により拘束される加速度計に間するも従来の加速度計の一型式においては、 保証重りがたわみヒンジによりハウジングに取り付けられており、力変換器が保 証重りとハウジングとの間に加速度計の受感軸に沿って連結されている。受感軸 に沿う加速度は、力変換器に圧縮力または引張力を及ぼす、この力は、加速度の 方向と大きさの両者を表す電気信号に変換される。

上述した型式の加速度計において、力変換器の熱膨張係数は、一般に、保証重り とハウジングの熱膨張係数と正確に一致できない、この結果、保証重りは、温度 が変化するにつれて、ハウジングに対して動く、この熱的に誘起される動きは、 加速度計の作動に多くの悪影響を与える。たわみヒンジは、熱的に誘起された動 きに対して抵抗し、これによって計器のバイアス変化を引き起こす。

また、熱的に誘起される動きは、保証重りの重心の位置をハウジングに対して変 化させるので、加速度計の軸整列において変化が生ずる。更に、熱的に誘起され る動きは、保証重りとハウジングとの間の減衰（ダンピング）ギャップと衝撃ギ ャップの間隙を変化させ、これによって、これらの構成部材の減衰機能と制限機 能をそれぞれ変化させる。

このような加速度計のための温度補償を可能とする方法の一つは、本願と同時に 第１国出願されたブライアン・イー・ノーリン（Ｂｒｉａｎ　Ｅ、　Ｎｏｒｌｉ ｎｇ）の発明による“加速度計の温度補償”という名称の米国特許第８７９　、 ２６２号明細書に開示されている。この技術は、ハウジングと保証重りとの間で ２つの力変換器を連結することから成り、この方法においては、熱膨張または熱 収縮の差により、受感軸に垂直な補償軸の回りで、保証重りが回転する。

このような回転はたわみヒンジにより抵抗され、この結果、等しい力が両刃変換 器に及ぼされる。ががる等しい力は、適当な信号処理によって除去され得る共通 モード信号を発生する。

熱的に誘起された保証重りの回転によって引き起こされるたわみヒンジのねじり は、前記技術の有効性を一定の適用に対しては制限し得る一定の副作用を生ずる 。かかる副作用は、受感軸の加速度に対するたわみ部のコンプリアンス（ｃｏｍ ｐｌ　１ａｎｃｅ）の変化、および、加速度計の目盛り係数の結果的変化を含ん でいる。また、たわみ部のねじれは、加速度計の出力におけるバイアス／温度の 精成要素となる場合がある。また、軸整列はたわみ部のねじりによって影響が及 ぼされる。たわみ部のねじりによる力変換器上の反作用力は、力変換器の非直線 性および不等性のために、加速度計の出力誤差を生ずる場合がある。最後に、た わみヒンジのねじりコンプライアンスによって、たわみヒンジは、直行する軸の 一方または両方において剛性が小さく、これによって、加速度計の機械的固有周 波数を減じ、加速度計のジー・レンジ（ｓｒｒａｎｇｅ）を制限する。

１１へ」１ 本発明は、保証重りの動きが２つの力変換器により拘束される加速度計を提供す る。保証重りは力変換器および枢軸部材を介してハウジングに結合され、熱膨張 の差が枢軸部材の回転により調整されるようになっている。

この結果として、温度変化による誤差が従来の加速度計に比して大幅に低減され る。

一実施例において、加速度計は受感軸に沿う加速度を計測するようになっており 、ハウジングと、保証重りと、支持部材と、結合組立体とから成っている。支持 部材はハウジングに対して保証重りを取り付けている。結合組立体は保証重りと ハウジングとに連結されており、枢軸部材と第１および第２の力変換器とから成 る。枢軸部材は、受感軸に直角な補償軸を中心として枢動できるように取り付け られている。第１および第２の力変換器は、補償軸を中心とした相反する側の互 いに離隔された連結点にて枢軸部材に連結され、受感軸に沿う加速度が一方の力 変換器に圧縮力を及ぼすと共に他方の力変換器に引張力を及ぼすようになってお り、また、力変換器と他の□　加速度計構成部材との間の熱膨張若しくは収縮の 差が補償軸を中心として枢軸部材を回転させるようになっている。好適な一実施 例においては、枢軸部材は保証重りに枢動可能に連結され、各力変換器はハウジ ングと枢軸部材との間に連結される。好適な第２の実施例においては、枢軸部材 はハウジングに枢動可能に連結され、各力変換器は枢軸部材と保証重りとの間に 連結される。

・　の　単ｔ；日 第１図は従来の加速度計の断面図、 第２図は本発明による加速度計の好適な一実施例を示す概念図、 第３図は本発明による加速度計の好適な第２の実施例を示す概念図、 第４図は第２図に示される好適な実施例による加速度計を示す平面図、 第５図は第４０の５−５線に沿っての断面図、第６図は第２図に示される第２の 実施例による加速度計を示す平面図、そして、 第７図は第６図の７−７線に沿っての断面図である。

日の詳細を説Ｂ 第１図は本発明の加速度計に関連する従来の加速度計を示すものである。第１図 の加速度計は、たわみヒンジ１６によりハウジング１４から支持された保証重り １２と、保証重りおよびハウジングの間に連結された力感知要素２４を備える力 変換器とから成っている。保証重り、ハウジングおよびたわみヒンジは全て、ベ リリウム銅のような金属から作られるのが好適である。保証重り１２は、一般的 に矩形であり、ハウジング１４内の重りと同形状であるが僅かに大きなキャビテ ィ１８内を占領している。たわみヒンジ１６は、受感軸Ｓ＾に沿って上下方向に 保証重り１２を動かすことができ、他方、受感軸に直角な方向における保証重り の有意運動を阻止するようになっている。ハウジング１４と、保証重り１２の上 面および下面とのそれぞれの間における減衰ギャップ２０．２２は、保証重りが 動いた場合に空気の移動のための制限通路を提供することによって、保証重りの 不要な振動を減衰するように機能する。

減衰ギャップ２０．２２の幅、および、他の図面における対応する減衰ギャップ の幅は、図示のために誇張されている。

力感知要素２４は、好適には米国特許第４，２１５，５７０号明細書に示された 両頭（ｄｏｕｂｌｅ−ｅｎｄｅｄ）音叉構造を有している水晶振動子から成る。

このような振動子は、適当な駆動回路と組み合わされ、水晶振動子に沿う、即ち 力感知要素２４に沿う軸方向の力に応じて変化する共振周波数を有する振動ビー ム力変換器から成る。特に、力感知要素に沿う圧縮力は、力変換器の共振周波数 を下げ、力感知要素に沿って及ぼされる引張力は、力変換器の共振周波数を増加 させる。従って、力変換器の出力信号を適当な周波数計測回路に連結することに よって、保証重り１２の加速度によって力感知要素２４に及ぼされる力が測定で きる。

また、第１図の加速度計は、保証重り１２の上方と下方のそれぞれに、ハウジン グ１４から延びている衝撃止め２６．２８を有している。この衝撃止めは、受感 軸Ｓ＾に沿う保証重りの動きを制限し、これによって、そうしなければ大きな（ レンジ外の）加速度によって生ずる恐れのある力感知要素２４に対する損傷を防 止している。

一般に、力感知要素２４の熱膨張係数を、保証重り、ハウジングおよびたわみヒ ンジの熱膨張係数に一致させることは、特に力感知要素が水晶振動子から成る場 合において、非常に困難である。従って、加速度計の温度が変化すると、受感軸 Ｓ＾に沿って保証重り１２が移動するのが一般的であり、この動きはたわみヒン ジ１６によって抵抗される。この結果として、加速度により生ずる力がないにも 拘わらず、或は、その力に加えて、力感知要素２４に力が作用され、これによっ て、加速度計の出力に温度で左右されるバイアス誤差が生ずる。また、温度によ り誘起される保証重りの動きは、受感軸の整列性に変化を与え、また、衝撃止め との間隙を変化させる。

第２図は本発明による加速度計の一実施例の概念図である。この加速度計は、た わみヒンジ３４によりハウジング３２に取り付けられた保証重り３０を具備して いる。第１図の加速度計と同様に、たわみヒンジ３４は受感軸Ｓ＾に沿う保証重 り３０の動きを許容する。第２図の加速度計は、ビーム３６と力感知要素３８． ４０とから成る結合組立体を有している。ビーム３６は枢軸４２にて保証重り３ ０に取り付けられている。各力感知要素は、一端がビーム３６に連結され、他端 がハウジング３２に連結されている。力感知要素３８．４０は、それぞれ、連結 点４４．４６でビーム３６に連結されており、これらの連結点４４．４６は互い に枢軸４２を中心として相反する側に位置している。力感知要素３８はビーム３ ６から上方に受感軸Ｓ＾と平行に延び、力感知要素４０はビームから下方に受感 軸に沿って延びている。枢軸４２は、補償軸Ｃ＾の回りで保証重りに関してビー ム３６が回転するのを許容する。補償軸Ｃ＾は受感軸Ｓ＾に直角であり、また、 連結点４４．４６間で軸Ｓ＾に直角に延びる線にも直交している。

受感軸ＳＡに沿う加速度は一方の力感知要素上に圧縮力を作用させ、他方の力感 知要素に引張力を作用させる。

各力感知要素が振動ビーム力変換器の一部を構成する好適な実施例において、一 方の力変換器の出力信号周波数が減じ、他方の力変換器の出力信号周波数が増加 する結果となる。そして、加速度は次式のような関係によって決定される。

ａ　＝　Ａ　＋ｆ’＋　Ａ　２ｆ、十Ａ　ｏ　（１）ここで、ｆｌとｆ２は２つ の力変換器の出力信号周波数で、Ａ１、Ａ２、Ａｏは目盛り調整作業により決定 される定数である。出力信号周波数と加速度との間の更に複雑な関係が用いられ ても良い０式（１）において、定数Ａ１、Ａ２はそれぞれの力変換器の感度を示 し、定数Ａ０は加速度のバイアス若しくはずれを示す、力変換器は互いにできる 限り同じであることが好適であるので、定数Ａ１、Ａ２は一般的に互いにほぼ等 しい０式（１）に従った加速度を決めるための適当なシステムが米国特許第４， ４６７．６５１号明細書に示されている。

第２図の加速度計が温度変化を受けると、力感知要素と、保証重り、ビーム、た わみヒンジおよびハウジングとの間の熱膨張、熱収縮の違いが、枢軸４２の回り でビーム３６を回転させる傾向がある力を生ずる０例えば、力感知要素上の熱膨 張が加速度計の他の構成部材の熱膨張よりも比較的に大きければ、力感知要素３ ８はビーム３６に下方への力を作用させ、力感知要素４０はビームに上方への力 を作用させる。これらの力は共働してビームを第２図で反時計方向に枢軸４２の 回りで回転させる。枢軸４２がこのような回転に対して抵抗しなければ、その場 合、温度変化が生じても、力感知要素とビームとは保証重り３０に力を何等及ぼ さず、従って、力感知要素上に反作用力は生じない０反作用力がないということ は、熱的に誘起された動きによって生ずる力感知要素の出力における出力信号の 変化がない、ということを意味する。更に、例えば枢軸４２内の摩擦等によって 生ずる全ての正味反作用力は、恩知要素に同一の引張力又は圧縮力を作用させ、 その力により、力感知要素と関連される変換器の出力信号周波数がほぼ同じ量だ け増加若しくは減少される。上記の式（１）を参照して、熱膨張によって生ずる 周波数の変化は相殺する傾向があり、その結果として、熱膨張の違いは測定され る加速度において大きな誤差を生じない。

所定の温度変化に対して、一方の力感知要素の長さの変化を枢軸４２と当該力感 知要素の連結点との間の距離によって割った商が、他方の力感知要素に対する対 応の商が同様であるように、連結点４４．４６が選ばれることが好適である。こ のような商を等しくすることによって、力感知要素と、加速度計の他の構成部材 との間の熱膨張の違いが保証重り３０の並進運動を生ずることはない、前記商を 等しくすることは、力感知要素を互いに同一に作ることによって、そして、連結 点までの距離を等しくすることによって、容易に達成できる。しかしながら、多 くの適用において、力感知要素間の漏話（ｃｒｏｓｓ　ｔａｌｋ）を最小にする ために、前記商を一定に維持したまま、連結点までの距離を等しくせず、異なる 力感知要素を用いることが望まれる場合がある。上記の分析は、ビームの連結点 での力変換器即ち力感知要素の位置変化を、該位置変化を生じた温度変化で割っ たものに等しい熱膨張係数を定めることにより、一般化できる。この公式におい て、力変換器間、即ち力感知要素間の間で一定に維持されるのが好適である前記 商は、熱膨張係数を力感知要素の連結点と枢軸４２との間の距離で割ったもので ある。

力感知要素の相対位置に関する更なる考察は、かかる要素の剛性（スチフネス） を扱わなければならない、力感知要素の剛性は、受感軸に沿って力感知要素に与 えられる力を、力感知要素の長さの結果的に生ずる変化によって割ったものに等 しい、好適には、保証重りおよびビームを合わせたものの質量中心と力感知要素 の連結点との間の距離に、各力感知要素の剛性を掛けた結果は、両刃感知要素の それぞれに対して同じである。前記結果が同じでないとすると、その場合、ビー ムは受感軸に沿う加速度に応答して回転しようとするであろう、殆どの適用にと り、補償軸Ｃ＾に沿って、保証重りとビームを合わせたものの重心を配置するこ とが望まれるであろう。

本発明の第２の実施例が第３図に示されている。第３図の加速度計は、たわみヒ ンジ５４によりハウジング５２に取り付けられた保証重り５０を有している。ま た、保証重りは、ビーム５６と力感知要素５８．６０とから成る結合組立体によ りハウジングに連結されている。ビーム５６は、補償軸Ｃ＾の回りで回転運動が できるように、枢軸６４でＵ字状のブラケット６２に取り付けられている。そし て、ブラケット６２はハウジング５２に剛的に固定されている。アーム６６．６ ７が保証重り５０がら補償軸Ｃ＾に平行に延びている。

力感知要素５８はアーム６６とビーム５６の一端との間で連結点６８にて連結さ れており、力感知要素６０はアーム６７とビーム５６の他端との間で連結点６９ にて連結されている。連結点６８．６９は枢軸６４を互いに間隔を置いて中心と した相反する側に配置されている。力感知要素５８は連結点６８からアーム６６ まで受感軸Ｓ＾に沿って上方に延びており、他方、力感知要素６０は連結点６９ からアーム６７まで受感軸に沿って下方に延びている。

受感軸Ｓ＾に沿う加速度によって、保証重り５０は、一方の力感知要素に引張力 を作用させ、他方の力感知要素に圧縮力を作用させる。生じた圧縮力と引張力と はビーム５６に正味力を作用させ、これは好適には枢軸６４に対して釣り合わさ れており、従って、ビーム５６は加速度に応じて回転しない、しかしながら、加 速度計の他の構成部材に対する力感知要素の熱膨張の差は、力感知要素によりビ ーム５６に同様な力（引張り又は圧１１）を作用させ、当該力は枢軸６４を中心 としてビームを回転させようとする。

第２図の加速度計と同様に、このような回転が反作用力をもたらさないならば、 加速度計の出力には影響がない。

枢軸６４の摩擦がビーム５６の回転に抵抗するという程度まで、その結果は力感 知要素に同一の力を作用させ、その力は上記の式（１）により相殺される傾向が ある。

第２図の実施例と同様に、熱膨張係数を、枢軸６４と連結点との間の距離で割っ た商は、２つの力感知要素のそれぞれに対して一定であるべきである。しかしな がら、このような係数と長さは、力感知要素間の漏話を減するために、互いに異 なっても良い、また、剛性に、枢軸と連結点との間の距離を掛けた結果は、２つ の力感知要素のそれぞれに対して同じであることが好適である。

第４．５図は第２図に示される発明の好適な特定実施例を示している。第４．５ 図の実施例において、保証重り７０はたわみヒンジ７４によりハウジング７″ｌ から支持されている。２つの近接して間隔が置かれた円筒形の穴７６．７８が、 たわみヒンジ７４の反対に位置する保証重り７０の側面に穿設され、これらの穴 は補償軸Ｃ＾に平行である。スロット８０．８２が受感軸ＳＡに平行な方向に保 証重り７０を完全に貫通して切削されており、受感軸は第４図の図面の紙面に直 角である。受感軸に対して平行にスロット８４〜８７が保証重り７０内に部分的 に切られており、スロット８４〜８７の各々は、スロット８０．８２間で、保証 重りの上面又は下面からその下の円筒形の穴に延びている。より詳細には、スロ ット８４は保証重りの上面８８から穴７８に延び、スロット８６は上面８８から 穴７６に延び、スロット８５は保証重りの下面９０から穴７８に延び、そして、 スロット８７は下面９０から穴７６に延びている。この形状の結果として、ビー ム９２が形成され、このビーム９２は、２つの整列された枢軸、即ちたわみ部に て保証重り７０に連結され、一方の枢軸９４は第５図の断面における穴７６．７ ８間の素地であり、他方の枢軸は、スロット８５．８６を横切る断面（図示しな い）における穴フロ、７８間の素地である。力感知要素１００はビーム９２の一 端からハウジング７２に下方（第４図で見た場合）に延びており、第２の力感知 要素１０２はビーム９２の他端からハウジング７２に上方に延びている。第４． ５図に示される加速度計の作動は、上記の第２図の加速度計で述べたものと同じ である。

第６．７図は第２図に示された発明の第２の特定実施例を示している。第６．７ 図の実施例において、保証重り１１０は一対のたわみ部１１４．１１６によりハ ウジング１１２から支持されている。そして、保証重り１１０は枢軸部材１２０ に枢動可能に連結され、枢軸部材は力感知要素１２２．１２４を介してハウジン グ１１２に連結されている０図示の加速度計の製造において、保証重り１１０と 枢軸部材１２０とは、材料の一塊から作られるのが好適である。まず、２つの近 接して間隔が置かれた円筒形の穴がこのような塊のたわみ部１１４，１１６に隣 接する側面に穿設され、次いで、スロット１３０が保証重りと枢軸部材とを形成 するように切削される。スロット１３０は、塊を完全に貫通して切削された外側 部分１３２．１３４と、円筒形の穴１２６．１２８まで下方国際調査報告

Claims (24)

【特許請求の範囲】
1. １．受感軸に沿う加速度を計測するための加速度計であって、 ハウジングと、 保証重りと、 ハウジングに対して保証重りを取り付けるための支持部材と、 保証重りおよびハウジングに連結された結合組立体とを具備し、該結合組立体は 、受感軸に直角な補償軸の回りで枢動できるように取り付けられた枢軸部材と、 補償軸を中心とした相反する側の互いに離隔された連結点にて枢軸部材に連結さ れた第１および第２の力変換器とから載り、受感軸に沿う加速度が一方の力変換 器に圧縮力を及ぼすと共に他方の力変換器に引張力を及ぼすようになっており、 力変換器と他の加速度計構成部材との間の熱膨張または収縮の差が補償軸を中心 として枢軸部材を回転させるようになっている加速度計。
2. ２．力変換器はそれぞれの連結点から相反する方向に受感軸と平行に延びている 請求の範囲第１項記載の加速度計。
3. ３．各力変換器は、所定の温度変化に関し、連結点での力変換器の位置の変化を 前記温度変化で割ったものと等しくなるような熱膨張係数によって特徴付けられ ており、各力変換器において、その力変換器の連結点と補償軸との間の距離で熱 膨張係数を割った商は他方の力変換器に対しての商と等しくなっている請求の範 囲第２項記載の加速度計。
4. ４．第１の力変換器の長さが第２の力変換器の長さと異なっている請求の範囲第 ３項記載の加速度計。
5. ５．各力変換器は、受感軸に沿って力変換器に及ぼされる所定の力に関し、力の 大きさを力変換器の長さの結果的変化によって割ったものと等しくなるような剛 性によって特徴付けられており、各力変換器の連結点と補償軸との間の距離をそ の力変換器の剛性に掛けた結果は、他方の力変換器に対しての同様な結果と等し くなっている請求の範囲第３項記載の加速度計。
6. ６．各力変換器は水晶振動子から成り、各水晶振動子は振動ビーム力変換器を形 成するように適当な駆動回路に接続されている請求の範囲第１項記載の加速度計 。
7. ７．支持部材は保証重りとハウジングとの間に取り付けられたたわみ部材から成 り、該たわみ部材は受感軸および補償軸に直角な軸を中心として保証重りをハウ ジングに対して回転させることができる請求の範囲第１項記載の加速度計。
8. ８．保証重りは、互いに実質的に平行で受感軸に垂直な上面および下面を有し、 枢軸部材は、保証重りに上面と下面との間でスロットを切削することにより該保 証重りから形成されている請求の範囲第１項記載の加速度計。
9. ９．受感軸に沿う加速度を計測するための加速度計であって、 ハウジングと、 保証重りと、 ハウジングに対して保証重りを取り付けるための支持部材と、 保証重りおよびハウジングに連結された結合組立体とを具備し、該結合組立体は 、受感軸に直角な補償軸の回りで枢動できるように保証重りに取り付けられた枢 軸部材と、枢軸部材およびハウジングの間に連結された第１および第２の力変換 器とから成り、該力変換器は補償軸を中心とした相反する側の互いに離隔された 連結点にて枢軸部材に連結され、受感軸に沿う加速度が一方の力変換器に圧縮力 を及ぼすと共に他方の力変換器に引張力を及ぼすようになっており、力変換器と 他の加速度計構成部材との間の熱膨張または収縮の差が補償軸を中心として枢軸 部材を回転させるようになっている加速度計。
10. １０．力変換器はそれぞれの連結点から相反する方向に受感軸と平行に延びてい る請求の範囲第９項記載の加速度計。
11. １１．各力変換器は、所定の温度変化に関し、連結点での力変換器の位置の変化 を前記温度変化で割ったものと等しくなるような熱膨張係数によって特徴付けら れており、各力変換器において、その力変換器の連結点と補償軸との間の距離で 熱膨張係数を割った商は他方の力変換器に対しての商と等しくなっている請求の 範囲第１０項記載の加速度計。
12. １２．第１の力変換器の長さが第２の力変換器の長さと異なっている請求の範囲 第１１項記載の加速度計。
13. １３．各力変換器は、受感軸に沿って力変換器に及ぼされる所定の力に関し、力 の大きさを力変換器の長さの結果的変化によって割ったものと等しくなるような 剛性によって特徴付けられており、各力変換器の連結点と補償軸との間の距離を その力変換器の剛性に掛けた結果は、他方の力変換器に対しての同様な結果と等 しくなっている請求の範囲第１１項記載の加速度計。
14. １４．各力変換器は水晶振動子から成り、各水晶振動子は振動ビーム力変換器を 形成するように適当な駆動回路に接続されている請求の範囲第９項記載の加速度 計。
15. １５．支持部材は保証重りとハウジングとの間に取り付けられたたわみ部材から 成り、該たわみ部材は受感軸および補償軸に直角な軸を中心として保証重りをハ ウジングに対して回転させることができる請求の範囲第９項記載の加速度計。
16. １６．保証重りは、互いに実質的に平行で受感軸に垂直な上面および下面を有し 、枢軸部材は、保証重りに上面と下面との間でスロットを切削することにより該 保証重りから形成されている請求の範囲第９項記載の加速度計。
17. １７．受感軸に沿う加速度を計測するための加速度計であって、 ハウジングと、 保証重りと、 ハウジングに対して保証重りを取り付けるための支持部材と、 保証重りおよびハウジングに連結された結合組立体とを具備し、該結合組立体は 、受感軸に直角な補償軸の回りで枢動できるようにハウジングに取り付けられた 枢軸部材と、保証重りおよび枢軸部材の間に連結された第１および第２の力変換 器とから成り、該力変換器は補償軸を中心とした相反する側の互いに離隔された 連結点にて枢軸部材に連結され、受感軸に沿う加速度が一方の力変換器に圧縮力 を及ぼすと共に他方の力変換器に引張力を及ぼすようになっており、力変換器と 他の加速度計構成部材との間の熱膨張又は収縮の差が補償軸を中心として枢軸部 材を回転させるようになっている加速度計。
18. １８．力変換器はそれぞれの連結点から相反する方向に受感軸と平行に延びてい る請求の範囲第１７項記載の加速度計。
19. １９．各力変換器は、所定の温度変化に関し、連結点での力変換器の位置の変化 を前記温度変化で割ったものと等しくなるような熱膨張係数によって特徴付けら れており、各力変換器において、その力変換器の連結点と補償軸との間の距離で 熱膨張係数を割った商は他方の力変換器に対しての商と等しくなっている請求の 範囲第１８項記載の加速度計。
20. ２０．第１の力変換器の長さが第２の力変換器の長さと異なっている請求の範囲 第１９項記載の加速度計。
21. ２１．各力変換器は、受感軸に沿って力変換器に及ぼされる所定の力に関し、力 の大きさを力変換器の長さの結果的変化によって割ったものと等しくなるような 剛性によって特徴付けられており、行力変換器の連結点と補償軸との間の距離を その力変換器の剛性に掛けた結果は、他方の力変換器に対しての同様な結果と等 しくなっている請求の範囲第１９項記載の加速度計。
22. ２２．各力変換器は水晶振動子から成り、各水晶振動子は振動ビーム力変換器を 形成するように適当な駆動回路に接続されている請求の範囲第１７項記載の加速 度計。
23. ２３．支持部材は保証重りとハウジングとの間に取り付けられたたわみ部材から 成り、該たわみ部材は受感軸および補償軸に直角な軸を中心として保証重りをハ ウジングに対して回転させることができる請求の範囲第１７項記載の加速度計。
24. ２４．保証重りは、互いに実質的に平行で受感軸に垂直な上面および下面を有し 、枢軸部材は、保証重りに上面と下面との間でスロットを切削することにより該 保証重りから形成されている請求の範囲第１７項記載の加速度計。