JPS63502466A - ガス流中にイオンを発生させる装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の名称） ガス流中にイオンを発生させる装置 〔技術分野〕 本発明は、ガス流中にイオンを発生させる装置であって、マイクロチップ、フィ ルム、磁極板、レーザー光蓄積板および印刷回路板の如き感応性を有する製品に おいて放電を管理しない場合に破壊または粒子付着の増加を生じる静電荷を減少 させるための装置に関〔発明の背景〕 レーザーおよび磁気蓄積板を用いまた１μ以下の分解能レンジの微視的構造を有 する他の製品を用いる高度に集積化された半導体素子の製造においては、粒子の 汚染および制御されない放電が共に著しい品質低下をもたらす。本文における用 語「微視的構造」とは一般に感応性を有するプラスチック・フィルムあるいは面 を包含し、この場合微粒子の付着が品質の低下をもたらす。静電荷は破損の原因 である。このような製造過程は、例えばその空気が非常に高レベルに濾過されて 乱流の少ないピストン状の排出流で流通するクリーン・ルーム内で行なわれる。

このようなりリーン・ルームに流入する空気流は、前記クリーン・ルームへの空 気流による粒子の通過がほとんどない程高レベルまで濾過することができる。製 造中生じる粒子は、はとんどが製造プロセス自体からもたらされ、あるいは作業 要員によって生じる。本発明による装置もまた、限られた作業場所即ち特に調製 された空気流を用いるステーションにおいて使用することができる。

電荷は摩擦、静電誘導あるいは容量性プロセスによって生じ、また特に絶縁表面 上の製品の運動中において不可避である。数千ボルトの電圧に至る電荷密度が生 じ得る。このような帯電面は、静電力によりエアロゾル特に帯電したエアロゾル を逓増的に吸引する。

５００ボルトで帯電された面の場合、中性面と比較して略々２０倍の粒子の付着 が生じる。しかし、このような面の電荷は微視的構造全体にわたり制御されない 状態で放電され得、この微視的構造は電気的な破壊あるいは高い電流密度のいず れかによって破壊され得る。シリコン・チップ上の感応性を有する金属酸化物半 導体構造は、約５０ボルトの電圧の放電によって破壊され得る。

製品上の絶縁面の帯電および増加する粒子の付着は、正および負の符号を有する イオンを含む空気流によって阻止することができる。即ち、電荷は空気中の粒子 および製品の表面の双方で補償される。微視的構造においては制御されない放電 は生じ得ない。表面の放電は空気イオンにおける制御された放電によって低減さ れる。静電的に感応性を有する製品の場合には、正と負のイオンが均一に分布し ていることが特に重要である。

正と負の空気イオンを生じるためには、針の尖端またはワイヤの、不均一な電界 におけるタウンゼントのガス放電を用いることが公知である。尖端部においてイ オンを生じる装置は米国特許第１，３５６，２１１号により開示されているが、 独国特許公開公報第２８９００５４号はワイヤ上のイオンの生成のための装置に ついて記載している。尖端またはワイヤ表面付近においては、約０．５ｍｍの広 がりを有する放電区間が形成され、ここでガスの分子がイオン化される。放電区 間からの距離が増加すると、電界が益々弱くなる結果として速度が低下する。イ オンを空気流により運び去ることができることを保証するため満たされねばなら ない条件は、不均一な電界におけるその速度が空気流より小さな値まで低下する ことである。大きく湾曲した表面上のガス放電を点弧するためには、６乃至７に Ｖが必要である。このようなイオン化装置を約ｌＯにＶの電圧で使用する時、イ オンの速度は５０乃至１００ｃｎ＋以内で１ｍ／秒まで低下する。クリーンな作 業ステーションにおける標準的な空気の流量は約０．５ｍ／秒である。これまで に述べたことから、空気流中のイオンの分布のためには、一方では空気の流速と 、電荷の電気的な形態（ｇｅｏｍｅｔｒｙ）と関連した高電圧の時間的パターン との間に密接な関係がある。

従来のイオン化装置は、ｌＯ乃至２０にＶの間の電圧で作動する。電圧の時間的 挙動は、均一（第１Ｃ図）であるか、５０乃至６０１１ｚの正弦波形電圧（第１ ａ図）であるか、あるいは矩形状の電圧勾配のいずれかを呈する。

放電の同じ電界の形態および同じ電圧においては、負のエミッタにおける方が正 のエミッタにおけるよりも多くのイオンが生成されることは公知である。もし同 数の正と負のイオンが空気流に配合されるならばイオン化装置はその表面放電の 中性化機能を行なえるに過ぎないため、正弦波の交流電圧はエミッタの給電のた めには不都合であるが、矩形状の電圧勾配および直流電源の場合には、対応する 直流電圧レベルを設定することにより補償された極性バランスを有するイオンを 生成することが可能である。

矩形状の電圧勾配および正弦波状の交流電圧は、ピーク極性の転換が時々生じて 、これが空気の流速に比して短くなるという欠点を免かれない。この場合には、 空気中に配合されたイオンは迅速な極性変化を介して前記尖端部に戻され、空気 のイオン化には役立たない。イオンの配合効率もまた損なわれる。本文において は、この効率とは、前記尖端部において生じるイオン総数に対する空気流に入る イオン数の比率を意味すると理解される。

これらの欠点は、点電極の電流負荷を増大させる。

点電極の電流負荷が大きな場合には、除去される物質が増加し、その結果尖端に おける半径が増大すると共に尖端部における粒子の蓄積が増加する。このため、 イオンの生成は不均一な電界の減少と共に減少する。

従って、時間を一定とする操作条件は疑問をもたらす。

実際に、これらの欠点は作動電圧を増大することにより補正され、これが上記の 欠点を助長する。

戻り方向の電流負荷が増加することもまた、いずれの場合も２つの尖端のグルー プが別々に直流電圧を与えられる公知のシステムにおいては阻止されない。この 場合、尖端間の電位差が約２０にＶとなり、尖端間の間隔は略々３０ｃｍという かなりの大きさでなければならない。

この場合、平均的なイオン速度は非常に大きな状態を維持するため、電界の周縁 部からのごく一部のイオンしか空気流によって取出されない。従って、交流電圧 で作動するイオン化装置の場合と同じ欠点が予期されねばならない。缶の如き平 坦なイオン化装置の構造は、例えばクリーン・ルームの天井下の面積が大きい場 合に適合し、局部的に不連続なイオン生成をもたらす。

このように供給されるイオン化装置の境界領域においては１つのイオン極性が過 剰量となり、これが実際のイオン化装置の機能とは対照的に余分な電荷をもたら し得る。直流電圧が与えられ、空気流の断面に沿うこのような電極間に生じた電 極面と平行な一定の強さの電界が、イオンの流出側で負と正のイオンの分離をも たらすことは、なお不利である。このような分離は、過剰量の１つの極性のイオ ンのため、数百ボルトの電荷をもたらし得る。

例えば米国連邦標準規ｆｌ、　２０９ｃの規定による特に厳しい要件のクラスｌ Ｏのクリーン・ルームにおける運転経験によれば、第１図に示されたイオン化装 置の３つの運転モードの場合に操作上の欠点が見出された。

これらの欠点は、尖端部からの遊離、クリーン・ルームの空気中への金属尖端材 料の混入、および尖端における汚染物質の蓄積、ならびに固形粒子への気相物質 の電気化学的な変換プロセスに関する。テキサス・インストルメント社（Ｔｅｘ 、　Ｉｎ５ｔｒ、　（：ａｒｐ、）のＢ、　Ｙ、　Ｌｉｕ等の最近の研究「クリ ーン・ルーム用の電子イオン化装置の特性Ｊ　（ＩＥＳ　１９８５年版）によれ ば、クリーン・ルームの空気中には更に１ｍ３当り　１．５Ｘ　１０６個までの 粒子が存在している。しかし、最上位の品質のクリーン・ルーム内には、１ｍ’ 当り約３００個以下の粒子濃度が見出される。

〔発明の概要〕

本発明の問題は、電極装置をガス流に曝してガス流中にイオンを生成する装置を 提供し、ある長い期間にわたり、効率が良い場合に流通断面に均一なイオン分布 をもたらす一定の運転条件を保証する、勾配が急な負と正の交互の一連のパルス を生じる高電圧のパルス電源を提供することにある。

本発明によれば、この問題は最初の特許請求の範囲の特徴によって解決される。

尖端の放電電極および関連する対向電極が固定され相互に明確に規定された関係 において設けられることによって、明瞭に規定された電界が得られ、尖端の放電 電極に対し加えられる高電圧の時間的挙動が放電電極と対向電極との間のガス速 度およびイオンの移動時間と関連付けることができ、その結果効率が向上する。

点放電電極および対向電極の幾何学的構成により、均一なイオンの分布が流路断 面上に生じ、クリーン・ルーム内の他のイオン生成の可能性の悪影響が阻止され る。

同じ点放電電極における正と負の高電圧の交番により、ガス流の方向に対して直 角な一定の安定した電界を回避し、このため正と負のイオンの分離を生じること になる。

従属する特許請求の範囲において示される手段により有利な更なる開発および改 善が可能である。

点放電電極として採用される材料であるニオブが腐食性の低い電極材料であると いう事実のため、摩滅の挙動が改善されスパッタリングの傾向が減少する。

本発明の装置は、最も厳しい品質のクリーン・ルーム内およびこのようなりリー ン・ルーム外の両方で使用することができる。クリーン・ルーム外の充分に濾過 されない空気中では、粒子状の空気汚染物質の蓄積による点放電電極の汚染があ り得、これがイオン生成の妨げとなる。従って、清浄化の目的のため、電極の支 持部は、グリップまたはハンドルを使用して捻れ防止に合せることにより、その ばねで固定されたプラグから外すことかでき、また再び挿入することができる。

高電圧のリレーの提供により、正と負の高電圧発生装置を交互に分離することが 可能であり、また点放電電極に対して正と負の高電圧が１本の高電圧用シールド 単心ケーブルを介して供給される。高電圧リレーを無負荷時に切換えるため、リ レーの寿命が著しく延長される。

別個の低電圧の制御装置および高電圧モジュールを備えた高電圧電源の提供によ り、高電圧モジュールは電極装置の付近のガス流の外側に配置することができ、 その結果ガス流中に望ましくない乱流を生じない。

正と負のイオン量を調整するため高電圧モジュールを付勢する低電圧の制御装置 は、作業ステーションの真近に置くことができる。電極装置と高電圧モジュール との間の接続は高電圧用シールド・ケーブルによって行なわれ、高電圧モジュー ルは直流で低電圧制御装置によって付勢され、そのため電磁波の輻射により生産 拠点における敏感な電子制御および測定装置を乱す危険もなくかなり長いケーブ ルを使用することもできる。

本発明の別の利点は、付加的粒子の生成が著しく少なくなることである。１ｍ３ 当り約１００粒子の分解能の場合には、本発明の装置による付加的粒子の生成が ないことが観察された。

気体放電による従来技術のイオン化装置は、作業要員のａ康に危険となり得る濃 度のオゾンを生じることが知られている。本発明の装置の運転中性なわれる測定 では自然の大気中に存在するオゾン濃度の増加をもたらすことがないが、これは 電圧源の助けにより点電極上の放電電流の強さが非常に小さいためである。運転 上の安全ならびに放電電極の各点に負荷を与えるため重要な基準は高電圧のレベ ルであるが、このレベルは公知のイオン化装置の場合には３０Ｋｖになり得る。

イオン線量の高効率の結果として、また流路の断面に離散したイオン・ソースの 均一な分布の故に、本発明の場合には最高運転電圧を１５Ｋｖより低いレベルま で低下することができる。低い運転電圧にも拘らず放電回数が得られ、このため 例えばチップの製造中の大きな需要も満たすものである。

公知のイオン化装置の場合における短い放電時間を達成するため、点電極は感度 の大きな製品の処理領域に向けて指向される。この場合、製品の感度の閾値を越 える電圧は影響を与えるおそれがある。これらの欠点は、本発明においては、作 業面と平行な空気流の断面内の交番電界の水平な配向により、また対向電極の設 置密度の高い明瞭に規定された配置によフて大幅に除去される。本発明の装置は 、作業面とイオン化装置との間にイオン化装置の効率を低下することなく接地電 位の金属製の多孔板が挿置されるならば、イオン化装置のすぐ近くで作業するこ とを許容する。

本発明については、以下において図面に関して更に詳細に記載する。

（図面の簡単な説明〕 第１図は放電電極に供給するための高電圧の時間と共に変化するパターンを示す 図、 第２図は、本発明の装置による放電電極に供給する高電圧の時間的挙動を示す図 、 第３図は本発明の装置の第１の実施例を示す断面図、 第４図は本発明の装置の異なる構成要素を示す概略図、 第５ａ図は別の実施例の電極の配置を示す斜視図、第５ｂ図および第５Ｃ図は更 に別の電極の配置を示す概略断面図、 第６図は第５ａ図による電極支持部の部分断面図、第７ａ図は高電圧モジュール の回路図、第７ｂ図は第７ａ図による高電圧モジュールのパルス図である。

（発明の実施形態の一般的説明） 第４図は、低電圧の制御装置３０と、高電圧モジュール３１と、電極装置３２と を有する本発明の装置を示している。この電極装置は、空気流の付近、例えばク リーン・ルームの場合には、空気フィルタの空気出口の下方の天井領域に配置さ れる。第５ａ図は、クリーン・ルームのフィルタの天井部の下方に取付けるのに 適する格子状の電極装置を略図的に示している。電極装置３１は、管状の金属製 の接地された対向電極４と固定枠を形成する金属半円柱部分から作られた交差部 材１．８を有する。先の尖りだ針状の放電電極６を支持する電極支持部５が、交 差部材１．８に対してプラグ結合部即ちコネクタ３．７によフて固定されている 。対向電極４および電極支持部５は、１つの面内に相互に平行に配置され、点放 電電極もまた１つの面内にあフて対向電極４に対して直角をなすことが望ましい 。第５ａ図においては、放電電極支持部５毎に３つの点放電電極６しか存在しな い。更に多くの放電電極を設けることができることが望ましい。対向電極４およ び電極支持部５は約３乃至１５ｍｍの直径を有し、間隔は５乃至３０ｃｍの範囲 内にある。点放電電極６は略々５乃至３０ｃｍの均一な間隔で設けられている。

高電圧は、交差部材１およびプラグ・コネクタ３の保護抵抗を介して放電電極６ へ供給され、電極支持部５は電気的に並列に接続されている。単心の高電圧用ケ ーブル９の接地シールドの接続のための図示しないクランプ接続部が交差部材１ の内部またはその上に設けられる。

第６図は、電極支持部および特にプラグ・コネクタ３．７に関する断面図である 。プラグ・コネクタ３は肩部即ちラグを有するアクリル製チューブ３３を有し、 その内部には高電圧ケーブルｌＯが挿入されている。前記肩部即ちラグは電極支 持部５内に挿入され、電気的接続部は高電圧線に接続されたブツシュ１１と電極 支持部５に設けられたビン１２とにより形成されている。アクリル・チューブ３ ３は、高電圧の電極支持部と接地電位の交差部材１との間の表面漏洩経路を確保 している。プラグ・コネクタ７もまた絶縁用アクリル・ロッド３４を有し、その 端部は電極支持部に挿入されて固定ビン１４により固定されている。圧縮ばね１ ３がアクリル・ロッド３４の端部に支持されている。固定ビン１４は捻れを防止 し、そのため点放電電極は対向電極４に対してその位置を変化することができな い。プラグ・コネクタ３．７は一緒に１つのばねで固定したプラグ取付は部を形 成し、その結果電極支持部は苦労せずに取外して洗浄することができる。

点放電電極は、急な立上りの正と負のパルスが交互になる第２図による高電圧に よって制御される。例えば、最初に高電圧が時間ｔ１にわたり加えられるが、こ の時間は電極４．６間の空間が正のイオンで充填されるように選定される。この 期間中、強い電界による高いイオン化速度の結果として、第５ａ図による格子状 の電極装置に対し直角に流れる空気流へはイオンが配分されることはほとんどな い。イオン移動時間に対応する時間の後、高電圧が急なエツジで遮断されると、 電界の作用力の作用が停止し、その結果イオンが電極４．５．６間の最も強い電 界強さの空間からの空気流の摩擦作用力により放電させることができ、これは時 間ｔ２だけ生じる。次に反対の極性の負の高電圧が同じ点電極６に加えられる。

この負の高電圧もまた、負のイオンの雲が電極４．５．６間の空間を充填するま で（ｔ３）接続された状態を維持し、その後急なエツジ状態で遮断される。第５ ａ図における放電電極６をｙ有する電極支持部５と対向電極４との間の距ｇｉｌ ｔａは、イオンの移動度を介して、高電圧の接続時間１．およびｔ３を決定する 。接続時間は、例えば、数ミリ秒乃至数十ミリ秒の間であり、特に５ミリ秒と６ ０ミリ秒の間である。０．１および１ｍ／秒の間の空気流の場合は、遮断時間即 ちパルス間の間隔は　１００乃至１０００ミリ秒の間である。このため、１：５ 乃至１：２０のパルスの衝累係数を生じる。

固定された電極装置と高電圧の接続および遮断の相互作用の結果、放電電極の尖 端部で生じたイオンのほとんどが空気流に誘引される。その結果、電流負荷が尖 端部において減少し、空気流における望ましくない粒子がその分減少する。

腐食性が低い電極材料が放電電極に対して用いられ、従来技術ではこれまで高級 な鋼鉄およびタングステンを使用しており、それらの摩減量は小さい。他の材料 に対してなされた研究によれば、電極材料としてニオブおよびその合金を用いて 逢かに良好な結果が得られることが判り、そのためこの材料が放電電極６に対し て用いられる。表１は、点放電電極に２０倍の非パルス電流負荷を用いて１００ ０時間にわたって行なわれたテストの結果を示している。欄２は、摩滅する量が タングステンに比較して因数６だけ小さいことを示している。タンタルもまたタ ングステンより優れた結果を呈した。

高電圧ケーブル９の長さを短縮するために電極装置の付近に置かれるが空気流の 外側に置かれることが望ましい高電圧モジュール３１が、第７ａ図において更に 詳細に示されている。図示しない駆動回路による２つの高電圧発振器１８が２つ の高電圧変圧器１９の１次側を低い電圧で付勢し、高電圧ダイオードの投入に附 随した各場合の通過の関数として、一方の変圧器が正の高電圧を生じ、また他方 が負の高電圧を生じる。２つの高電圧リレー２０がシールドされた高電圧ケーブ ル９上の高電圧を切換え、このケーブルが放電電極６に給電する。高電圧リレー ２０を負荷のない状態で切換えるため、発振器１８とリレー２０は第７ｂ図のパ ルス図に従って付勢される。同図は、もしパルス状に付勢された発振器１８がオ ンに切換えられなければ高電圧リレー２０がオン／オフに切換えられることを示 している。

低電圧制御装置３０は作業ステーションのすぐ付近に配置することができ、ある いは中心部の切換え室内に収容することもできる。この制御装置は、高電圧モジ ュールに対して独立的に調整し得る直流電圧を有する２つの直流電流を与え、そ の結果正と負の高電圧値を相互に独立的に決定することができる。低電圧の制御 装置３０により生じた直流電圧値を調整するため、また従ってイオン極性のバラ ンスを調整するため、図示しない制御ループにおいて正と負のイオンを生じるた め用いられる電流が個・々の高電圧モジュール３１において測定され、低電圧制 御装置３０に対して制御された変数として加えられる。

第５ａ図による電極装置は特殊な対向電極４を含む。

第５ｂ図および第５ｃ図においては、対向電極が放電電極６の周囲の装置により 形成されている。例えば、第５ｂ図によれば、電気的に接地されたフレーム装置 １６が対向電極として構成される。第５ｃ図においては、対向電極が接地された 多孔板１７により構成され、この別の実施例が第３図に示されており、同図にお いては、イオンを室内に存在するガスまたは空気流に配合する代りに閉鎖装置が 提供され、この装置は大きな断面にわたる同方向の流れを生じる装置を有する。

この装置はブロワ即ちファンを備え、偏向板として構成された空気を均一に等化 し得る層２３により流出側において封鎖された圧力室２１を提供する。この偏向 板は点放電電極６に対して対向電極を形成し、前記点放電電極は偏向板２３の下 方に配置され、第５ａ図によれば電極支持部５に対して固定されている。包囲す る室内の全周の流れガード２４によって同方向の流れが安定化されている。

表　１ （針のテスト） テスト・データ二　計算条件： 運転時間：１０００時間　空気の流速：０．３ｍ５−’負荷：正常負荷下の１ａ 運転に相当する　針の番手：１００ｍ−”２０倍の正常負荷　年間／針１本当り の評価ニゲラフによる　空気量：１００，０００ｍ”Ｆｉｇ、７ａ 国際調査報告 ＾、：：：：Ｅ：（：Ｑ’Ｑ−ミ三工％：：：スご：Ｐ、Ｔ：Ｃ：：入−５＝、 丸スロー５＝、丸スＣ五ス＝

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．ガス流に露出された電極装置と、勾配の大きなエッジを有する負と正のパル スの交互のシーケンスを生じるパルス化された高電圧電源とを用いてガス流中に イオンを生成する装置において、該電極装置（３１）が少なくとも１つの尖端を 有する放電電極（６）と少なくとも１つの対向電極（４、１６、１７、２３）と を固定された相互に明瞭に規定された位置関係に設け、特定のパルスの持続時間 が電極間のイオンの移動時間に相当し、かつ前記パルスの間隔が前記ガス流の速 度に適合されることを特徴とする装置。 ２．前記パルスの持続時間が略々５乃至６０ミリ秒であり、前記ガス流の速度が 略々０．１乃至１ｍ／秒の場合に、該パルスの間隔が略々１００乃至１０００ミ リ秒であることを特徴とする請求の範囲第１項記載の装置。 ３．前記電極装置（３１）が、１つ置きに配置されたロッド状の平行な対向電極 （４）と、点放電電極（６）を支持する電極支持部（５）とを有し、該放電電極 （６）が１つの面内において前記対向電極（４）に対して直角に配置されること を特徴とする請求の範囲第１項または第２項に記載の装置。 ４．前記対向電極（４）および電極支持部（５）が円柱形を呈し、かつ略々３乃 至１５ｍｍの直径と５乃至５０ｃｍの交互の間隔とを有し、前記点放電電極が略 々５乃至３０ｃｍの均一な間隔で配置されることを特徴とする請求の範囲第３項 記載の装置。 ５．前記点放電電極（６）を支持する前記電極支持部（５）が、プラグ・コネク タ（３、７）に取外し自在に固定されることを特徴とする請求の範囲第３項また は第４項に記載の装置。 ６．前記電極支持部（５）を前記プラグ・コネクタ（３、７）に固定することが できることを特徴とする請求の範囲第５１項記載の装置。 ７．少なくとも１つの対向電極（１６、１７、２３）が、前記点放電電極（６） からある明確に規定される距離にありかつ明確に規定される電位にある多孔板か ら形成されたフレーム構造即ち覗き隔壁の如き他のブラント部分の構成要素であ ることを特徴とする請求の範囲第１項または第２項に記載の装置。 ８．前記高電圧電源が、調整可能な直流電圧値を有する２つの直流電流を供給す る低電圧の制御装置（３０）と、該低電圧制御装置（３０）とは空間的に分離さ れかつこれと接続された高電圧モジュール（３１）とからなり、該高電圧モジュ ール（３１）は電極装置（３２）の付近に設置可能であることを特徴とする請求 の範囲第１項乃至第７項のいずれかに記載の装置。 ９．前記高電圧モジュール（３１）が、単心の高電圧回線（９）により前記電極 装置（３２）に対して接続されることを特徴とする請求の範囲第８項記載の装置 。 １０．正と負の高電圧を発生するため、前記高電圧モジュール（３１）が、各々 の場合において発振器（１８）と変成器（１９）と整流器（２５）とを含む１つ の電圧コンバータを有し、また各々の場合において１つの高電圧リレー（２０） を有することを特徴とする請求の範囲第８項または第９項に記載の装置。 １１．前記の特定の高電圧リレーが、付勢するパルス間隔において負荷のない状 態で関連する発振器（１８）の付勢と同時に切換えられることを特徴とする請求 の範囲第１０項記載の装置。 １２．イオンの極性のバランスを調整するため、正と負のイオンを発生するため 必要な電流が測定され、かつ直流電圧値を設定するため制御可能な変数として作 用することを特徴とする請求の範囲第８項記載の装置。 １３．前記点放電電極（６）がニオブまたはその合金から作られることを特徴と する請求の範囲第１項乃至第１２項のいずれかに記載の装置。 １４．前記ガス流が、偏向板、多孔板等（２３）により閉鎖された圧力室（２１ ）内に導入され、かつ前記放電電極（６）が該多孔板（２３）の流出側に配置さ れ、該多孔板が対向電極を形成することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載 の装置。