JPS63502392A - 能動マイクロ波スイッチャ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 能動マイクロ波スイッチャ− 発明の背景と摘要 この発明は一般にマイクロ波スイッチング機器に係シ、特に分離伝播通路間でマ イクロ波信号を選択的にスイッチングする低損失装置に関する。この発明はマイ クロ波産業における広範な応用性を有すると共に人工衛里または地上基地機器に おけるマイクロ波通信スイッチング回路およびダウンカウンタのようなマイクロ 波信号処理機器における選択すべきおよびそれのマイクロ波出力を周波数シフト 用のミキサに結合される複数のマイクロ波局部発振器シ／セサイザの一つに使用 される。

マイクロ波スイッチングは低周波信号のスイッチングと根本的に異なる問題を呈 示する。伝送ラインおよびその他のエネルギー伝播デバイスは、反射による信号 損失を避けるためにインピーダンスを注意深く整合しなければならないと共に、 機器に接続されない伝送ツインであっても適切に終端することがとられていなけ ればならない。一つの行く先から別の取シ巻きへのマイクロ波信号のスイッチン グ行為があると上述した問題は、例えば低周波における単極単投スイッチを構成 するように、単に機械的に一つの伝送線路を別のそれに接続することによシ、一 つの行く先から別のそれに信号を切換えることは優れたエンジニアリンググラク ティスではない。このようなアグローテはチャンネル間に実際上のクロストーク をひき起すと共に、反射、信号輻射およびその他の電磁現象による識別可能な信 号損失および信号歪をひき起す。

過去において、マイ先口波スイッチングは、カップリングジャンクシ１ンを用い て遂行され、それによって入力信号のエネルギーは双方とも反射を最小化するた めに注意深くインピーダンス整合された出力通路に分離されるかあるいは分割さ れる。多くの場合、このような複数のジャンクシ嘗ンは内部接続されたマトリク ス状に配設され、それによっていずれか一つあるいはそれ以上の入力端子はいず れか一つあるいはそれ以上の出力端子に通信することができる。このような、ス イッチングマトリックスは信号カプラーの公正な内部接続を通して選択された出 力信号通路に入力信号をカップリングするための手段を提供する。

マイクロ波スイッチングへの上記カブラ−アプローチの重大な欠点は、各カブラ −が入力マイクロ波エネルギーを分割するので、所望の手法で伝播するのにその マイクロ波エネルギーの断片しか利用し得ないということである。数多くのカッ プリングジャンクシ璽ンが使用されている多くの複雑なスイッチングマトリック スにおいては、信号が減衰されるので、その信号がスイッチングデバイスに出て いく前に、利用可能な全エネルギーが非効率的に失なわれてしまうということが 考えられる。実際、とれは信号対雑音比がクリテカルであるマイクロ波システム において特に深刻な欠点となる。多くの応用において、殆どの増幅テクニックは 信号と雑音の双方を同じように増幅するので、増幅を通して悪化された信号を回 復することがしばしば困難となる。従って、マイクロ波スイッチング技術におい ては改良のだめの広大な必要性を有している。

この要求に応じて、この発明はカップリングジャンクシ讐ンマトリックスに関連 する信号損失を消去すると共に、そのアプローチが卓−であるマイクロ波スイッ チャ−を提供する。このマイクロ波スイッチャ−は第１．第２および第３の／− ）（Ｌかるによシ多くの数のポートもまた可能である）を具備する。マイクロ波 エネルギー伝播を選択的に支援する第１の通路は上記第１のポートと第２のボー ト間に組み立てられると同時に、マイクロ波エネルギー伝播を選択的に支援する 第２の通路は第２のポートと第３のポート間に組み立てられる。第１の信号反射 手段は上記第１の通路に配設される。この第１の信号反射手段はエネルギー伝播 状態を有していてそれによシ第１および第２のポート間でエネルギーを伝播する と共に、エネルギー阻止状態を有していてそれによシ第１および第２のポート間 のエネルギーの伝播が実質的に回避あるいは阻止される。第２の信号反射手段は 同様に第２の通路に配設されると共に、第１および第２の状態を有している。

そのエネルギー伝播状態において、第２の信号反射手段は上記第２および第３の ポート間の伝播を支援すると同時に、そのエネルギー阻止状態において、上記第 ２および第３のポート間のエネルギーの伝播が実質的に回避または阻止される。

このマイクロ波スイッチャ−はさらに、上記伝播および阻止状態を選択的に取る ために上記第１および第２の信号反射手段を惹起するための手段を具備する。

この発明およびそれの目的と利点をよシ完全に理解するために、次の明細書およ び一連の図面が参照されなければならない。

第１図を参照すると、この発明のマイクロ波スイッチャ−は概ね１０で示される 。マイクロ波スイッチャ−１０は第１のマイクロ波スイッチ１２および第２のマ イクロ波スイッチ１４とを具備する。これらのスイッチ１２および１４の構成は 本質的に同じであると共に、第８図に関係して以下に記述される。マイクロ波ス イッチャ−１０はさらに、Ｎ−）１．Ｊ−）２およびポート３で指定された三つ のポートを具備する。第１のマイクロ波伝播通路１６はポート１およびポート２ に接続されると同時に、第２の伝播通路１８はポート１およびポート３に接続さ れる。伝播通路１６および１８は、マイクロ波エネルギーの伝播を支援するため の在来の伝送線路や金属導体あるいは等価な手段でよい。伝播通路１６および１ ８はジャ／クシ璽ン２０において合体する。第１図に示されるように、ジャンク シ璽ン２０は本質的に、スイッチ１２が接続される伝播通路１８にある。スイッ チ１４はジャンクシ冒ン２２において伝播通路１８に接続される。上記ジャンク シ璽ン１８および２２間の距離は四分の一波長（ちるいはそれの奇数倍）である 。

スイッチ１２は伝播通路１６に直列に接続されると同時に、スイッチ１４は伝播 通路１８と接地間にシャント形態に接続される。スイッチ１２および１４は、第 ８図に関係して以下に述べられるようなバイアス電流信号を供給することによシ 、双方とも条件付けられる。スイッチ１２および１４は、それらが双方共に開（ オフ）あるいは双方共に閉（オン）されるように配設される。オフ状態において 、／−）１を通して導入される入力信号は開スイッチ１２によって実質的に反射 されるので、ポート１からの入力信号はポート２に殆どあるいは全く到達しない 。ポート３を通して導入される入力信号は通路１８に沿ってポート２に伝播する ことは自由である。開スイッチ１４はポート３からポート２に流れる信号に対し て微小のインピーダンスを提供する。両スイッチがオン状態にあるときは、異な る結果を得る。スイッチ１２が閉じられると、ポート１を通して導入される信号 は伝播通路１６を介してポート２に自由に伝播される。ジャンクシヨン２ｏから 四分の一波長の閉スィッチ１２が開回路のように現出するので、いずれの入力信 号もポート３に伝播されない。ここで、ポート３が伝播通路１８の一部を通して ジャンクシヨン２０になおも物理的に接続されていたと考えると、スイッチ１４ が閉じられたときに回路は、ジャンクション２０側でポート３への伝播通路１８ がないようにふるまう。スイッチ１４が閉じられると、幾つか信号を入力するポ ート３はスイッチ１４での短絡をオフして反射される。

スイッチ１２および１４を惹起することによってオフ状態またはオン状態のいず れかに選択的になされたとすると、出力ポート２への入力信号をポート３または 入力信号をポート１のいずれかに切換えることが可能となる。結果として、マイ クロ波スイッチャ−１０は単極双投マイクロ波スイッチの機能を提供する。利用 されるカッブリングジャンフシ璽ンがないので、マイクロ波スイッチャ−はカッ プリングジャンクシ百ンに関連する信号損失を回避する。

第２図はこの発明の別の実施例を示し、その中で第１図のシャｙトスイッチ１４ は伝播通路１８の直列スイッチ２４で置換されている。スイッチＪ２および２４ は双方共に、ジャンクシヨン２０に極めて接近して配設されると共に、双方共に 未だ述べられていないバイアス電圧信号に応じて開（オフ）または閉（オン）さ れるべく条件付けられる。スイッチ１２が開かれるときスイッチ２４は閉じられ ると共に、それらは反対の関係にもある。オン状態において、ポート１に入力す る信号は出力ポート２に対して伝播通路１６を介して自由に伝播すると同時に、 スイッチ２４での開回路はポート３に入力する信号を反射する。スイッチ１２お よび２４は共通ジャンクシヨン２０に分配されると共に、それに極めて接近して いるので、ポート１に入力する信号エネルギーがポート３に伝播されるのは微小 であるかあるいは全くない。ジャ／クシボン２ｏ側でポート３は開回路として現 出すると共に、伝播を支援しない。オフ状態において、ポート３に入力する信号 はスイッチ２４を通してポート２に自由に伝播される。

ポート１に入力する信号はスイッチ１２での開回路によシ反射される。ジャンク ション２ｏ側でポート１に極めて接近している開回路によシ、伝播通路１６のボ ート１脚を通して移転されてポート３に入力するエネルギーは微小であるかある いは全くない。

第３図は第１図の実施例と同様ではあるが、ジャンクシヨン２２に極めて接近し て伝播通路１８に接続された付加的な直列スイッチ２４を含んでいる別の実施例 を描い゛ている。スイッチ１２および１４と同様に、スイッチ２４もまた開（オ フ）および閉（オン）状態を有する。オン状態において、ポート１に入力する信 号はポート２に自由に伝播されると同時に、ボート３に入力する信号は反射され る。ポート３での信号反射は二つの寄与ファクタの結果でアシ、第１は接地にス イッチ１４を通すシャントパスであり、且つその他はスイッチ２４の開回路であ る。スイッチ２４はスイッチ１４のそれに比較して反対の感応極性でもって開お よび閉に形状付けられる。スイッチ１４（およびスイッチ１２）が開であるとき 、スイッチ２４は閉であると共に、それらは反対の関係にもある。しかるによシ 複雑な第３の実施例は、累積的なスイッチングデバイスの使用を通して良好な信 号絶縁、クロストークレスを提供する。この幾分かの改良遂行は、理想的なオン ／オフスイッチング機能を表わす現今の役に立つマイクロ波スイッチング素子が ないという事実に帰着される。

現今の有用なエレクトロニツクコンポーネンツは、非伝播状態における入出力の 切換え間である量の信号流血貫通あるいは結合を支援する。ここで、多重的およ び累積的スイッチの使用は、第３図のスイッチ１４および２４による実例のよう に、ある場合には非選択ボートの十分な絶縁を提供することが必要とされる。第 ３図は多重スイッチ１４および２４（シャント／直列結合）の使用を示すが、同 様な処理はポート１の伝播通路１６において使用してもよい。さらに、シャント ／直列組合せが示されているが、多重シャントスイッチ、多重直列スイッチある いは前二者の幾つかの組合せを用いてよシ良好な絶縁を達成することも可能であ る。

第４図を参照してこの発明の原理を述べると、この発明のマイクロ波スイッチャ −は１０素子能動マイクロ波スイッチャ−に使用される。第４図において、複数 のマイクロ波スイッチャ−は、同定化されたポート１．ポート２およびポート３ を伴って、ブロック図形態で示されている。これらのボート同定化は上に述べた 第１、第２および第３図のポート同定化に対応している。しかして、第４図のブ ロック１０によって表示される回路は先に述べた第１、第２および第３図のマイ クロ波スイッチャ−のあるものを用いて実現されると理解されよう。さらなる同 定化の目的のために、個々のマイクロ波スイッチャ−１０はまた、アクティブマ イクロウェーブスイッチャエレメント（ＡｅｔｌｖｓＭｉｃｒｏｗａｖｅ　５ｖ ｉｔｃｈｅｒ　Ｅｌｅｍｅｎｔ　）に関する題字語ＡＭＳＢによるＡＭＳＥ　１ 　、　ＡＭＳＥ　２　・ＡＭＳＥ　１０として指定されている。

第４図を参照すると、入力可能な１０個の信号はマイクロ波スイッチャ−１０の 各ボート１端子に提供される。加えて、ＡＭｌｌのポートはＡＭＳＥ２のポート ２からの入力を受け、ＡＭＳＥ　２のポート３はＡＭＳＥ　３のポート２からの 入力を受け、以後同様とされる。第４図の１０素子能動マイクロ波スイッチャ− の出力はＡＭＳＥ　１のポ−ト２から供給される。この回路に適切な終端を提供 するために、終端負荷２６がＡＭＳＥ　１０のポート３に結合される。

動作において、１０素子能動マイクロ波スイッチャ−はＡＭＳＥＩのポート２を 通す出力のために入力信号の一つのみおよびいずれかを選択するために各ＡＭＳ Ｅユニット内の個々のスイッチの適切なセッテングを通して条件付けられる。若 し、例えば、入力３が選択されると、それからＡＭＳＥ　３がバイアスまたはス イッチされ、それでその内部スイッチ１２および１４は閉じられ、それによＨｙ ｙｚ−ト１およびポート２間の伝播通路が確立される。そのようなふるまいにお いて、ポート３およびデート２間の伝播通路が無能化され、ここでＡＭＳＥ３の ポート３に入力する信号は単に反射される。

コノような場合、ＡＭＳＥ　４　、　ＡＭＳＥ　５−　ＡＭＳＥ　１０　Ｃ１セ ツティングを考慮する必要がない。ＡＭＳＥ２およびＡＭＳＥ　１の内部スイッ チ１２および１４は双方共に開にされなければならず、それで伝播通路はＡＭＳ Ｅ２のポート３からポート２対しておよびＡＭＳＥＩのポート３からポート２に 対して確立される。このようなスイッチセツティングは出力のために入力３を選 択すると同時に他の全ての入力を阻止する。けれども、スイッチャ−ＡＭＳＥ： 　１　。

ＡＭＳＥ２およびＡＭＳＥ３の適切なセツティングは出力のために入力３を選択 することで十分でｓｂ、それは常に全ての上流スイッチャ−（ＡＭＳＥ　４　、 　ＡＭＳＥ　５・・・ＡＭＳＥＩＯ）をセて卜することも好ましく、それでこれ らの各入力はオフにスイッチされる。この用心は不所望な入力から出力の付加的 な絶縁を提供することができる。

上述したように、このマイクロ波スイッチャ−の原理的な利点の一つは、従来の カッブリングジャンフシ菖ンを超えてよシ低損失である。この発明のマイクロ波 スイッチャ−の改良された機能は第５．第６および第７図を参照して示される。

第５図は従来のマイクロ波スイッチングマトリックスカッグリングジャンクシ四 ンを描く。第６図はスイッチングマトリックスの一つの脚に従来のジャンクシヨ ンの使用と共に、他の脚にマイクロ波スイッチ（ＡＭｓａ　）を伴って描いてい る。

第７図は従来のジャンクシヨンの代シに二つの飼■ユニットを使用するマイクロ 波スイッチングマトリックスを示す。

第５図に示される従来のマイクロ波スイッチングマトリックスにおいて、ポート 人を通して入力する信号は、カプラー２８を通して通過し、ここで入力信号は二 つの伝播通路に分離される。第１の伝播通路３゜はポー）Ｄに直接結合するが、 第２の伝播通路３２は終端負荷３４およびスイッチ素子３６に結合する。同様な 形態で、ポートＢに入力する信号はカプラー３８を通して通過し、ここでポート Ｂの入力信号は分離される。カプラー３８はポートＣに対する第１の伝播通路４ ０および終端負荷４４とスイッチ素子３６とに結合される第２の伝播通路４２を 供給する。スイッチ素子３６はスイッチ素子端子を結合するかまたは結合を解く いずれかであるマイクロ波メークおるいはブレイクスイッチでちる。結合された ときは、通路３２は通路４２に結合され、ここで、ポートＡはポートＣに結合さ れる。スイッチ素子３６がターンオフされるかあるいは結合が解かれたとき、通 路３２は通路４２に結合されないと共に、ここでポートＡはＪ−）Ｃに結合され ない。ポートＡは全てのときにポートＤに結合されると共に、ポートＢは全ての ときにポートＣに供給される。マイクロ波マトリックスにおいて、ポートＡは他 のジャンクシヨンを通して同・様に供給される可能性のある入力信号を受けるた めに接続されている。ボー）Ｂｉｄ、マトリックス中に他のジャンクシヨンがな い場合に他のジャンクシヨンからまたは適切な終端負荷への出力を受けるために 接続される。ポートＣは他のジャンクシヨンを通す可能性のある出力信号を供給 するために接続される。ポートＤはマトリックス中の次のジャノクシヲンに、あ るいはマトリックス中に他のジャンクシヨンがない場合に適切な終端負荷に接続 される。

第５図の従来のマイクロ波スイッチングマトリックスジャンクシｌンの原理的な 欠点は、ここに明らかにすることができる。若し、ポートＡからポートＣに信号 を通すことを望むならば、入力信号は二つカプラーを通して通過しなければなら ず、それによってこれらのカプラーに関連する実質的な信号損失が生成されてし まう。このような複数のカプラーを用いて大規模なマトリックスが形状付けられ たならば、それは非常に大きな信号損失が合算されてしまうということが明らか となる。

第６図は一つのカプラー、カプラー２８およびこの発明の一つのＡＭＳＥユニッ トを用いたハイブリッド回路を示す。上述のように、カプラー２８は信号損失出 現を伴りてポートＡからポートＤに信号の伝播を支援する。カプラー２８の伝播 通路３２はＡＭＳＥ７′バイスのポート１に接続される。ＡＭＳＥデバイスのＩ −ト２および３は、第５図のポートＢおよびＣに類似の出力および入力ポートと して奉仕する。しかしながら、ＡＭＳＥデバイスは従来技術のカッブリングジャ ンフシ目ンがなすようなカッブリング信号損失を挿入しない。ここで、入力ポー トＡに入力する信号およびポート２を通す出力は、単一のカプラーであるカプラ ー２８に関連する信号損失のみを経験する。

第７図は第５図の両力グラ−の代シに二つのＡＭＳＥデバイスの使用を示す。Ａ ＭＳＥデバイスは信号損失を挿入しないので、第７図の回路は第５図の回路よシ 実質的に少ない信号損失を表わす。

上述に留意して、現今の好ましい電子回路が第８図に示される。第８図において 、７１？−）１１．ｊ？−）２およびポート３は第１図の同様の同定化ポートに 対応し且つ指定される。スイッチ１２は、ＲＦチ冒−り４８を通してバイアス電 流が供給されるＰＩＮダイオード４６を具備する。付加的なＲＦ　ｆ　＊−り５ ０はダイオード４６のカソードと接地間に結合されると同時に、阻止コンデンサ ５２はダイオード４６のバイアスを変更することから、出力ポート２を通す低周 波信号を阻止する。

スイッチ１４は図示のように接地にシャント状に結合されたＰＩＮダイオード５ ６を具備する。ＰＩＮダイオード５６もまたＲＦテ冒−り４８を通してそれのバ イアス信号が供給される。阻止コンデンサ５８はＰＩＮダイオード４６および５ ６のバイアスに影響するポート３からそこを通過する低周波信号を阻止する。

動作において、ダイオード４８および５６は順方向バイアスされたときに短絡に 近いようにふるまうと共に、バイアスされないと１！チるいは逆バイアスされた ときに開回路に近いようにふるまう。ここで、スイッチ１２および１４のオン／ オフ状態は、要求されるようなチ璽−り４８通してバイアス信号を単に変更する ことによシ一つの所望状態から別の状態に切換えることを惹起することができる 。

上述したように、オフ状態において十分な回路絶縁を提供するために縦列状の複 数のスイッチを使用することが時折シ必要でちる。これは、第８図に示される単 一のダイオードの代シに複数の直列接続ＰＩＮダイオードを用いることによシ、 達成される。

ここで、シャントダイオードが使用されるのに代えて、第８図の単一のシャント ダイオードとして複数の並列接続ダイオードが代用されてもよい。

この発明は現今の好ましい実施例として述べられると共に図示されたが、この発 明の範囲から逸脱しない種々の変形がなされてもよいことが理解できよう。

図面の簡単な説明 第１図はこの発明のマイクロ波スイッチャ−の一実施例を示す構成図であシ、 第２図はこの発明のマイクロ波スイッチャ−の代シの実施例を示す構成図であシ 、 第３図はこの発明のマイクロ波スイッチャ−のさらに別の実施例を示し、 第４図はこの発明の原理を用いた１０素子能動マイクロ波スイッチャ−を示すブ ロック図であシ、第５図は比較のために従来のジャンクシ璽ンスイッチングマト リックスを示す構成図でラシ、第６図は従来のカップリングジャンクシＷ／に関 係して使用されるこの発明のマイクロ波スイッチャ−を示す構成図であシ、 第７図は第５図のそれと同様のスイッチングマトリックスにおけるこの発明のマ イクロ波スイッチャの使用を示す構成図でらシ、および ｔ４８図はこの発明のマイクロ波スイッチャ−を実現するための現今の好ましい 回路を示す詳細な回路構成図である。

ホ０−ト１ λカ ニ巨ミ；、己。

ｆ−ムｌ 国際調査報告 ＡＮＮＥＸ　Ｔｏ　ＴＦ：　ＩＮＴＥＲＮＡＴＩＯＮＡＬ　５ＥＡＲＣＨＲＥＰ ＯＲＴ　ＯＮ

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. １．第１，第２および第３のポートと、上記第１のポートおよび上記第２のポー ト間でマイクロ波エネルギーの伝播を選択的に支援する第１の通路と、 上記第２のポートおよび上記第３のポート間でマイクロ波エネルギーの伝播を選 択的に支援する第２の通路と、 上記第１の通路に配設されるもので、上記第１および第２のポート間でエネルギ ーを伝播するエネルギ−伝播状態を有すると共に、上記第１および第２のポート 間でエネルギーの伝播を阻止するエネルギ−阻止状態を有する第１の信号反射手 段と、 上記第２の通路に配設されるもので、上記第２および第３のポート間でエネルギ ーを伝播するエネルギ−伝播状態を有すると共に、上記第２および第３のポート 間でエネルギーの伝播を阻止するエネルギ−阻止状態を有する第２の信号反射手 段と、および上記伝播および阻止状態を選択的に取るために上記第１および第２ の信号反射手段を惹起する手段とを具備するマイクロ波スイッチャー。
2. ２．上記第１の信号反射手段が上記第１の通路に配設された直列スイッチング手 段を具備する請求の範囲第１項のマイクロ波スイッチャー。
3. ３．上記第２の信号反射手段が上記第２の通路に結合されたシャントスイッチン グ手段を具備する請求の範囲第１項のマイクロ波スイッチャー。
4. ４．上記第１の信号反射手段が上記第１の通路に配設された直列スイッチング手 段を具備すると共に、上記第２の信号反射手段が上記第２の通路に結合されたシ ャントスイッチング手段を具備する請求の範囲第１項のマイクロ波スイッチャー 。
5. ５．上記第１および第２の通路がジャンクションで合体されると共に、上記第２ の信号反射手段が上記ジャンクションから所定の距離だけ離れて配設される請求 の範囲第１項のマイクロ波スイッチャー。
6. ６．上記所定の距離は、上記第２の信号反射手段が上記阻止状態にあるとき実質 的に開回路として上記ジャンクションに出現するために上記第２の信号反射手段 を惹起するために選定される請求の範囲第５項のマイクロ波スイッチャー。
7. ７．上記所定の距離が上記マイクロ波エネルギーの四分の一波長の奇数倍である 請求の範囲第５項のマイクロ波スイッチャー。
8. ８．第１，第２および第３のポートと、上記第１のポートと上記第２のポート間 でマイクロ波エネルギーの伝播を選択的に支援するもので、上記第１および第２ のポート間に接続される第１のＰＩＮダイオード手段を含むと共に、上記第１の ＰＩＮダイオードを選択的にオンおよびオフにスイッチングするバイアス電流信 号を供給する手段を有する第１の通路と、上記第２のポートと上記第３のポート 間でマイクロ波エネルギーの伝播を選択的に支援するもので、シャント形態に結 合される第２のＰＩＮダイオード手段を含むと共に、上記第２のＰＩＮダイオー ドを選択的にオンおよびオフにするバイアス電流信号を供給する手段を有する第 ２の通路とを具備し、 上記第１および第２のＰＩＮダイオードが上記各伝播通路に結合されていると共 に、四分の一波長の奇数倍部分に離隔されており、且つ 上記第１および第２のＰＩＮダイオードが開および閉状態を選択的に取るために 上記各バイアス電流信号に応答し、上記開状態で上記第２および第３のポートが 伝播するために結合されていると共に上記第１のポートが実質的に阻止され、且 つ上記閉状態で上記第１および第２のポートが伝播するために結合されていると 共に上記第３のポートが実質的に阻止されるマイクロ波スイッチャー。
9. ９．それぞれ第１，第２および第３のポートを有し，それぞれ上記第１のポート および上記第２のポート間でマイクロ波エネルギーの伝播を選択的に支援する第 １の通路を有し、且つそれぞれ上記第２のポート，および上記第３のポート間で マイクロ波エネルギーの伝播を選択的に支援する第２の通路を有する第１および 第２の能動マイクロ波スイッチャ−素子を具備し、上記第１および第２の能動マ イクロ波スイッチャ−素子はさらにそれぞれ上記第１の通路に配設されるもので 、上記第１および第２のポート間でエネルギーを伝播するエネルギ−伝播状態を 有すると共に、上記第１および第２のポート間でエネルギーの伝播を阻止するエ ネルギ−阻止状態を有する第１の信号反射手段を有し、且つ 上記第１および第２の能動マイクロ波スイッチャ−素子はさらにそれぞれ上記第 ２および第３のポート間でエネルギーを伝播するエネルギ−伝播状態を有すると 共に、上記第２および第３のポート間でエネルギーの伝播を阻止するエネルギ− 阻止状態を有するカスケーデッドマイクロ波スイッチャー。
10. １０．第１，第２および第３のポートを有する第３の能動マイクロ波スイッチャ −素子をさらに具備し、上記第３の能動マイクロ波スイッチャ−素子の上記第２ のポートが上記第２の能動マイクロ波スイッチャ−素子の上記第３のポートに結 合されている請求の範囲第９項のカスケーデットマイクロ波スィッチャー。