JPS6350080A - 圧電アクチユエ−タの制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ｍ１乱 ［産業上の利用分野］ 本発明は、圧電アクチュエータの制御装置に関し、詳し
くは圧電体を応用した燃料噴射弁やバルブ等の各種の圧
電アクチュエータの制御装置に関する。

［従来の技術］ 近年、圧電体は、その伸長作用の高い応答性に着目し、
アクチュエータとして、高速応答性が要求される分野で
広く用いられている。こうした分野の一例としては、内
燃機関の高速回転に応じて応答性良く燃料噴射を行なう
燃料噴射装置を挙げることができ、燃料噴射弁に圧電体
を応用した提案が既になされている。この種の燃料噴射
装置では、燃料噴射時には、圧電体への充電を行ないこ
れを伸長させ直接もしくは間接的に弁体を開弁方向にリ
フトして開弁を行ない、他方、燃料噴射終了時には、圧
電体の電荷の放電を行ないこれを短縮させ弁体の開弁方
向への付勢をなくし、閉弁を行なうよう構成されている
。

しかしながら、上記燃料噴射弁にあっては、次のような
支障が有ることがよく知られている。即ち、燃料噴射弁
は、通常これを２０〜２００Ｈｚで定常動作させるため
、圧電体は誘電損失により発熱して１００〜２００℃ま
で昇温する。そしてこの状態で燃料噴射弁の定常動作を
終了すると、圧電体が冷却するに従って、圧電体の焦電
効果により、圧電体を分極した方向と逆の電圧が圧電体
に発生する。この結果、圧電体は分極劣化を起こす。

上記支障を解決すべく特開昭６０−２４９８７７号公報
の「積層セラミック圧電体駆動回路」が提案されている
。

即ち、圧電体に並列に電荷リーク手段を設けることによ
り圧電体が冷却するにつれて生じる電荷をリークさせ、
上記圧電体の分極劣化を防止する。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、上記従来技術にあっては、圧電体の両極
間電圧が圧電体の伸縮の変位を大きくするべく負電圧か
ら正電圧（例えば−２００Ｖ〜５ＯＯＶ＞の範囲で変化
するようなされており、該圧電体はその負電圧時に少し
ずつ分極方向が乱れ、やがてアクチュエータが正常動作
を呈しないようになるという問題点があった。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、分極劣
化の防止をより一層確実にならしめた圧電アクチュエー
タの制御装置を提供することを目的としている。

ＲＪＬ匹１支 ［問題点を解決するための手段］ かかる目的を達成すべく、本発明は問題点を解決するた
めの手段として、次の構成をとった。即ち、本発明は、
第１図に例示する如く、圧電体Ｍ１を充放電させて、圧
電体Ｍ１の伸縮動作を繰り返して定常動作させる圧電ア
クチュエータの制御装置において、 上記定常動作の終了時を検知する終了時検知手段Ｍ２と
、 上記終了時検知手段Ｍ２にて上記定常動作の終了時が検
知された場合に、上記圧電体Ｍ１に正電圧を印加する正
電圧印加手段Ｍ３と、 を備えたことを特徴とする圧電アクチュエータの制御装
置を要旨としている。

ここで、圧電体Ｍ１とは、電圧を加えることにより力学
的な歪みを発生し変位や力が発生するものであればどの
ようなものでもよく、例えば１７丁を積層してなるセラ
ミックス等の圧電セラミックス、ポリマー系圧電材料、
水晶等がそうである。

また終了時検知手段Ｍ２とは、例えば圧電アクチュエー
タを自動車の燃料噴射弁に用いた場合には、イグニッシ
ョンスイッチをオンからオフに切換えた時点を検知する
もの、あるいは回転速度センサの値が０もしくは所定値
以下になった時点を検知するもの等がそうである。

正電圧印加手段Ｍ３とは、電源もしくはコンデンサ等か
ら圧電体Ｍ１に正電圧を印加するもので、定常動作時に
圧電体Ｍ１を充電させる回路の一部を用いるよう構成し
てもよく、あるいは該充電回路と別口路にて構成するよ
うにしてもよい。

［作用］ 圧電アクチュエータが定常動作を終えると、終了時検知
手段Ｍ２は該定常動作の終了時を検知する。正電圧印加
手段Ｍ３は終了時検知手段Ｍ２からの終了時を示す信号
を受けると、圧電体Ｍ１に正電圧を印加する。即ち、圧
電アクチュエータの定常動作が終了すると、圧電体Ｍ１
は、正電圧に保持される。従って、定常動作終了後に圧
電体Ｍ１が冷却し圧電体Ｍ１に負電圧方向の電荷が発生
しても、圧電体Ｍ１の端子間電圧は電圧降下はするが負
の値になる事はない。また、定常動作時に乱れた圧電体
Ｍ１の分極方向を印加された正電圧で再び一方向とする
ことができる。

［実施例］ 以上説明した本発明の構成を一層明らかにする為に、本
発明の一実施例について説明する。

本発明一実施例としての圧電アクチュエータの制御装置
は内燃機関の燃料噴射装置に採用されたものであり、図
面に基づいて説明する。第１図は本実施例の圧電アクチ
ュエータ制御装置を採用して構成した４気筒デイーゼル
エンジンの概略構成図である。

同図に示すように、ディーゼルエンジン１にはディーゼ
ル各気筒毎に燃焼室への直噴を行なう燃料噴射弁７が設
けられている。このディーゼルエンジン１への吸気は過
給機８より吸気マニホールド９を介して行なわれる。

上記燃料噴射弁７は、圧電素子の伸縮によりニードルを
駆動する周知のもので、燃料供給管１０を介して各気筒
に共通の燃料蓄圧管１１に連結される。燃料蓄圧管１１
はその内部に容積一定の蓄圧室１２を有し、この蓄圧室
１２内の燃料が燃料供給管１０を介して燃料噴射弁７に
供給される。

一方、蓄圧室１２は燃料供給管１３を介して吐出圧制御
可能な燃料供給ポンプ１４の吐出口に連結される。燃料
供給ポンプ１４の吸込口は燃料ポンプ１５の吐出口に連
結され、この燃料ポンプ１５の吸込口は燃料リザーバタ
ンク１６に連結される。

また、各燃料噴射弁７は燃料返戻導管１７を介して燃料
リザーバタンク１６に連結される。燃料ポンプ１５は燃
料リザーバタンク１６内の燃料を燃料供給ポンプ１４内
に送り込むために設けられており、燃料ポンプ１５がな
くても燃料供給ポンプ１４内に燃料を吸込むことが可能
な場合には燃料ポンプ１５を特に設ける必要はない。こ
れに対して燃料供給ポンプ１４は高圧の燃料を吐出する
ために設けられており、燃料供給ポンプ１４から吐出さ
れた高圧の燃料は蓄圧室１２内に蓄積される。

この圧力をレール圧とも呼ぶ。

また、ディーゼルエンジン１には、エンジン１の運転状
態を検出するために、２つのクランク角センサ２１．２
２、冷却水温センサ２４、過給圧センサ２６及び燃料圧
センサ２８等が設けられている。更にはアクセルペダル
３０の踏込量、即ち負荷を検出するアクセルセンサ３２
が設けられている。

バッテリ４０は各霜気回路に電力を供給する自動車用の
＋１２Ｖ電源で、そのプラス電極は、判別回路４２に接
続されると共に、イグニッションスイッチ４４を介して
電子制御装置（以下単にＥＣＵと呼ぶ）４６及びＤＣ−
ＤＣコンバータ４８に接続されている。またそのマイナ
ス電極は、判別回路４２、ＥＣＵ４６、及びＤＣ−ＤＣ
コンバータ４８に接続されている。ＥＣＬＩ４６は、上
述した各センサの出力に基づいて、ディーゼルエンジン
１の燃料噴射量及び燃料−射時期を算出し、判別回路４
２に燃料噴射開始信号Ｑｓ及び燃料噴射終了信号Ｑｅを
出力すると共に燃料供給ポンプ１４を駆動するポンプ駆
動装置５０に制御信号を出力する。

判別回路４２は、ＥＣＵ４６から燃料噴射開始信号Ｑｓ
を受けると圧電素子駆動回路５２に充電信号ｃｈを、Ｅ
ＣＵ４６から燃料噴射終了信号Ｑｅを受けると圧電素子
駆動回路５２に放電信号ＤＣを出力すると共に、イグニ
ッションスイッチ４４のオンオフを判別し、オンからオ
フの切換え時もしくはその後、圧電素子駆動回路５２に
充電信号ｃｈを、オフからオンの切換え時もしくはその
後、圧電素子駆動回路５２に放電信号［）Ｃを出力する
。なお判別回路４２から圧電素子駆動回路５２へは信号
接地ライン５４も設けられている。

ＤＣ−ＤＣコンバータ４８は、バッテリ４０より供給さ
れた＋１２Ｖ電圧を＋３００Ｖｋ７昇圧するもので、該
昇圧された電力は圧電素子駆動回路５２に供給される。

圧電素子駆動回路５２は、上記昇圧された電力を−Ｈコ
ンデンサに貯え、判別回路４２からの充電信号Ｃｈ１放
電信号Ｄａを受けて燃料噴射弁７の圧電素子を伸縮駆動
し燃料噴射弁７を開閉弁する。

次に、より具体的な回路構成を説明する。

ＥＣＵ４６は、周知のＣＰ’Ｕ４６ａ　、ＲＯＭ４６ｂ
　、ＲＡＭ４６ｃ　、を中心に、タイマ４６ｄ。

入力ポート４６ｅ、出力ポート４６ｆ等をバス４６ｇに
よって相互に接続した論理演算回路として構成されてい
る。入力ポート４６ｅには既述したクランク角センサ２
１．２２、冷却水温センサ２４、過給圧センサ２６．燃
料圧センサ２８及びアクセルセンサ３２が接続されてお
り、Ｃ，ＰＵ４６ａはこの入力ポート４６ｅを介して、
クランク角（従ってディーゼルエンジン１の回転数Ｎ）
及び気筒判別信号、冷却水温Ｔｈｗ、過給圧Ｂ１燃料圧
Ｐ及び負荷り等のディーゼルエンジン１０運転状態を読
み込むことができる。一方、出力ポート４６ｆは判別回
路４２とポンプ駆動装置５０とに接続されており、ＣＰ
Ｕ４．６ａはこの出力ポート４６ｆを介して燃料、噴射
弁７の開閉（噴射開始信号Ｑｓ、噴射終了信号Ｑｅの出
力）及び燃料供給の制御を行なう。

判別回路４２は第３図の電気回路図で示すことができる
。バッテリ４０のプラス電極とイグニッションスイッチ
４４を介してつながった端子１０１は、抵抗器１０３を
介して第１トランジスタ１０５のベース端子に接続され
、一方、第１トランジスタ１０５のコレクタ端子は第１
マルチバイブレータ１０７および第２マルチバイブレー
タ１０９の入力端子に接続されると共に抵抗器１１１を
介してバッテリ４０とつながれた＋１２Ｖを供給する＋
１２Ｖ供給ライン１１３に接続されている。

またそのエミッタ端子はバッテリ４０の一電極とつなが
った＋１２Ｖ接地ライン１１５に接続されている。また
そのベース端子−エミッタ端子間には抵抗器１１７が並
列に接続されている。

第１マルチバイブレータ１０７の出力端子は続く第３マ
ルチバイブレータ１１９の入力端子に接続され、第３マ
ルチバイブレータ１１９の出力端子は第１オア回路１２
１の一方の入力端子に接続されている。この第１オア回
路１２１の他方の入力端子は、ＥＣＬＩ４６から出力さ
れた噴射開始信号Ｑｓの入力端子１２３に接続されてい
る。第１オア回路１２１の出力端子は抵抗器１２５を介
して第２トランジスタ１２７のベース端子に接続され、
該第２トランジスタ１２７のエミッタ端子は＋１２ｖ供
給ライン１１３に、そのコレクタ端子は充電信号ｃｈの
出力端子１２９に接続されている。またそのベース端子
−エミッタ端子間には抵抗器１３１が並列に接続されて
いる。

一方、第２マルチバイブレータ１０９の出力端子は第２
オア回路１３３の一方の入力端子に接続され、その他方
の入力端子は、ＥＣＵ４６から出力された噴射終了信号
Ｑｅの入力端子１３５に接続されている。第２オア回路
１３３の出力端子は抵抗器１３７を介して第３トランジ
スタ１３９のベース端子に接続され、該第３トランジス
タ１３９のエミッタ端子は＋１２Ｖ供給ライン１１３に
、そのコレクタ端子は放電信号Ｄｃの出力端子１４１に
接続されている。またそのベース端子−エミツタ端子間
には抵抗器１４３が並列に接続されている。更に第１マ
ルチバイブレータ１０７、第２マルチバイブレータ１０
９、及び第３マルチバイブレータ１１９は、それぞれコ
ンデンサ１０７Ｃ。

１０９Ｇ、１１９Ｇと抵抗器１０７Ｒ，１０９Ｒ。

１１９Ｒとを介して＋１２Ｖ供給ライン１１３に接続さ
れ電力供給がなされている。

圧電素子駆動回路５２は第４図の電気回路図で示すこと
ができる。なお第４図には圧電素子駆動回路５２のうち
ひとつの燃料噴射弁７の備える圧電素子を駆動する回路
を除いて他は省略しである。

他の３気筒の燃料噴射弁７の備える圧電素子も同様の回
路構成により制御されている。

ＤＣ−ＤＣコンバータ４８で昇圧された電圧が供給され
るプラス側端子２０１とマイナス側端子２０３には並列
にコンデンサ２０５が接続されている。そしてコンデン
サ２０５のプラス側には第１サイリスタ２０７（カソー
ド端子をコンデンサ２０５のプラス側に）とコイル２０
９とが直列接続され、端子２１１を介して燃料噴射弁７
に内蔵された圧電素子２の片端子に接続されている。−
方、上記圧電素子Ｚの片端子は端子２１２を介して第２
コンデンサ２０５のマイナス側に接続されている。また
第１サイリスタ２０７とコイル２０’９との間は第２サ
イリスタ２１１（カソード端子をコイル２０９側に）を
介してコンデンサ２０５のマイナス側に接続されている
。上記第１サイリスタ２０７と第２サイリスタ２１１と
のゲート端子には、第１トリガ回路２１３、第２トリガ
回路２１５が接続されており、第１トリガ回路２１３に
は入力端子２１７を介して充電信号ｃｈが、第２トリガ
回路２１５には入力端子２１９を介して放電信号［）Ｃ
が入力される。更に第１トリガ回路２１３、第２トリガ
回路２１５は入力端子２２１と接続され判別回路４２か
らの信号接地ライン５４と通じている。

次に第５図ないし第７図に示すフローチャートを用いて
、ＥＣＵ４６の行なう処理について説明する。ＥＣＵ４
６は、イグニッションスイッチ４４がオンとされると動
作を開始し、第５図に示す主制御ルーチンを実行する。

まずステップ３００では所謂初期化の処理を行なう。こ
こでは、ＣＰＵ４６ａの内部レジスタのクリアフラグ等
の初期設定を行なう。続くステップ３１０では入力ポー
ト４６ｅを介して、各センサよりディーゼルエンジン１
の回転数Ｎ、負負荷、冷却水温Ｔｈｗ、過給圧Ｂ及び燃
料圧Ｐ等の運転状態を読み込む処理が行なわれる。続く
ステップ３２０では、負荷りを基本とし他の運転状態を
加味して燃料噴射量τを計算する処理が、更にステップ
３３０では燃料噴射の開始及び終了時間を計算する処理
が、各々行なわれる。

これらの結果を受けて、ＣＰＵ４６ａは、ステップ３４
０で、燃料噴射開始タイミングと終了タイミングとをタ
イマ４６ｄにセットする処理を行なう。この結果、タイ
マ４６ｄは自走を開始し、燃料噴射開始タイミング及び
終了タイミングになると割込信号をＣＰＵ４６ａに出力
する。

続くステップ３５０では、出力ポート４６ｆよりポンプ
駆動装置５０を介して、燃料供給ポンプ１４を制御し、
燃料圧Ｐの制御が行なわれるが、本発明の要旨には関係
しないのでこの制御に関する説明は省略する。ステップ
３５０の処理の終了後、処理はステップ３１０に戻って
、上述した燃料噴射のための処理を繰返す。

上述したステップ３４０の処理においてセットされた燃
料噴射開始タイミングに至ると、タイマ４６ｄより割込
が発生し、ＣＰＵ４６ａは、第６図に示す燃料噴射弁開
弁制御割込ルーチンを実行する。この割込ルーチンでは
、ステップ４００で出力ポート４６ｆを介して判別回路
４２にパルス信号（噴射開始信号ＱＳ）を出力する処理
が行なわれる。また、上述したステップ３４０の処理に
おいてセットされた燃料噴射終了タイミングに至ると、
タイマ４６ｄより割込みが発生し、ＣＰＵ４６ａは、第
７図に示す燃料噴射弁閉弁制御割込ルーチンを実行する
。この割込みルーチンでは、ステップ５００で、出力ポ
ート４６ｆを介して判別回路４２にパルス信号（噴射終
了信号Ｑｅ’）を出力する処理が行なわれる。

次に判別回路４２と圧電素子駆動回路５２との動作を説
明しつつ、本実施例の圧電アクチュエータの制御装置全
体の動作を第８図のタイミングチャートを併用しつつ説
明する。

ＥＣＵ４６から噴射開始信号Ｑｓが出力されると（第８
図のａ）、第３図の判別回路４２にあって、入力端子１
２３に噴射開始信号ＱＳが入力され第１オア回路１２１
がオンとなり、抵抗器１２５、第２トランジスタ１２ｔ
を介して出力端子１２９より充電信号ｃｈが出力する（
第８図のｂ）。

そうすると、第４図の圧電素子駆動回路５２にあって、
入り端子２１７に充電信号ｃｈが入力され、第１トリガ
回路２１３よりトリガが第１サイリスタ２０７のゲート
に出力される。この結果、第１サイリスタ２０７が導通
状態となると、この回路はコイル２０９のインダクタン
スと圧電素子Ｚのキャパシタンスとによる直列共振回路
であることから、瞬時のうちにコンデンサ２０５に貯え
られていた電荷の一部が圧電素子Ｚに移動し、圧電素子
２の端子間電圧が数百ボルトに昇圧する（第８図のＣ）
。そうすると圧電素子が伸長し、燃料噴射弁７が開弁じ
燃料が噴射される。電荷がコンデンサ２０５から圧電素
子Ｚに移動してしまうと、第１サイリスタ２０７は保持
電流がなくなるのでターンオフし、圧電素子２に蓄積さ
れた電荷はどこにも放出されることなく燃料噴射弁７は
開弁状態を保持する。

ＥＣＵ４６から噴射終了信号Ｑｅが出力されると（第８
図のｄ）、第３図の判別回路４２にあって、入力端子１
３５に噴射終了信号Ｑｓが入力され第２オア回路１３３
がオンとなり、抵抗器１３７、第３トランジスタ１３９
を介して出力端子１４１より放電信号［）Ｃが出力する
（第８図のｅ）。

そうすると第４図の圧電素子駆動回路５２にあって、入
力端子２１９に放電信号［）Ｃが入力され、第２トリガ
回路２１５よりトリガが第２サイリスタ２１１のゲート
に出力される。この結果、第２サイリスタ２１１が導通
状態となると、この回路はコイル２０９と圧電素子Ｚと
よりなる閉回路であることから、圧電素子Ｚに貯えられ
ていた電荷は放電し、圧電素子Ｚの端子間電圧がマイナ
ス側に降圧する（第８図のｆ）。そうすると圧電素子２
が短縮し、燃料噴射弁７が閉弁し燃料噴射が停止される
。

またイグニッションスイッチ４４がオンからオフに切換
わると（第８図の９）、第３図の判別回路４２にあって
、第１トランジスタ１０５がオフからオン状態に切換ね
り、第１マルチバイブレータ１０７はコンデンサ１０７
Ｃと抵抗器１０７Ｒによって決まるパルス幅のパルスを
出力する（第８図のｈ）。なおこのパルス幅はイグニッ
ションスイッチ４４がオフに切換わってからディーゼル
エンジン１が完全に停止するに充分な時間に設定されて
いるものとする。次に第３マルチバイブレーク１１９は
第１マルチバイブレータ１０７の出力信号の立ち下がり
に同期して、コンデンサ１１９Ｃ１抵抗器１１９Ｒによ
って決まるパルス幅のパルスを出力する（第８図のｉ）
。そうすると第１オア回路１２１はオンとなり、抵抗器
１２５、第２トランジスタ１２７を介して出力端子１２
９より充電信号ｃｈを出力する（第８図のｊ）。そうす
ると既述したように圧電素子駆動回路５２により圧電素
子Ｚの端子間電圧が数百ボルトに昇圧する（第８図のｋ
）。この圧電素子Ｚの端子間電圧はディーゼルエンジン
１の停止時にあってはずっと数百ボルトで保持される。

またディーゼルエンジン１を始動すべくイグニッション
スイッチ４４をオフからオンに切換えるとく第８図の１
）、第３図の判別回路４２にあって、第１トランジスタ
１０５がオンからオフ状態に切換わり、第２マルチバイ
ブレータ１０９はコンデンサ１０９Ｃと抵抗器１０９Ｒ
とによって決まるパルス幅のパルスを出力する（第８図
のｍ）。

そうすると第２オア回路１２１はオンとなり、抵抗器１
３７、第３トランジスタ１３９を介して出力端子１４１
より放電信号［）Ｃを出力する（第８図のｎ）。そうす
ると、既述したように圧電素子駆動回路５２により圧電
素子７の端子間電圧が降圧する（第８図の０）。即ち、
ディーゼルエンジン１の始動直前あるいはほぼ同時に圧
電素子Ｚの端子間電圧は初期状態となる。

以上の如く構成された本実施例の圧電アクチュエータの
制御装置は、イグニッションスイッチ４４がオンからオ
フに切換えられると、圧電素子Ｚの端子間電圧が数百ボ
ルトに昇圧され、次にイグニッションスイッチ４４がオ
ンとなるまでこの状態を保持するよう構成されている。

このためディーゼルエンジン１の運転停止後、圧電素子
Ｚに負方向電圧が発生したとしても圧電素子Ｚの端子間
電圧は負の値になる事なく、更にはディーゼルエンジン
１の運転時、即ち圧電素子Ｚの駆動時に乱れた圧電素子
Ｚの分極方向を一方向とすることができる。従って、圧
電体素子Ｚの分極劣化を確実に防止することができ、燃
料噴射弁７を長期間安定して使用することができる。

また本実施例にあっては、イグニッションスイッチ４４
がオフからオンに切換えられると、上記圧電素子Ｚに印
加された数百ボルトの電圧を取り除き圧電素子Ｚの端子
間電圧を初期化するよう構成されている。このため、デ
ィーゼルエンジン１の始動時に急激な燃料噴射が行なわ
れるようなこともなく、始動後の運転を良好なものとし
ている。

以上、本発明の一実施例について説明したが、本発明は
こうした実施例に何等限定されるものではなく、本発明
の要旨を逸脱しない範囲において種々なる態様となり得
る。

１１列１１ 以上詳述してきた本発明の圧電アクチュエータの制御装
置は、圧電体の定常動作の終了時が検知された場合に、
圧電体に正電圧を印加するよう構成されている。このた
めに、定常動作終了後圧電体に負方向電圧が発生したと
しても圧電体の端子間電圧は負の値になる事はなく、更
には定常動作時に乱れた圧電体の分極方向を一方向とす
ることができる。従って、圧電体の分極劣化を確実に防
止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の基本的構成図、第２図は本発明一実施
例の圧電アクチュエータ制御装置を採用して構成した４
気筒デイーゼルエンジンの概略溝成図、第３図は一実施
例で用いた判別回路を示す電気回路図、第４図は一実施
例で用いた圧電素子駆動回路を圧電素子と共に示す電気
回路図、第５図ないし第７図は各々一実施例の電子制御
装置にて実行される各種制御ルーチンを示すフローチャ
ート、第８図は一実施例における制御の一例を示すタイ
ミングチャート、である。 １・・・ディーゼルエンジン ７・・・燃料噴射弁 ４０・・・バッテリ ４４・・・イグニッションスイッチ ４２・・・判別回路 ４６・・・電子制御装置（ＥＣＵ） ５２・・・圧電素子駆動回路

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　圧電体を充放電させて、圧電体の伸縮動作を繰り返し
   て定常動作させる圧電アクチュエータの制御装置におい
   て、 上記定常動作の終了時を検知する終了時検知手段と、 上記終了時検知手段にて上記定常動作の終了時が検知さ
   れた場合に、上記圧電体に正電圧を印加する正電圧印加
   手段と、 を備えたことを特徴とする圧電アクチュエータの制御装
   置。