JPS63500050A - 流体流量電気制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 流体流量電気制御装置 本発明は、全体としては、電気機械的手段を用いて流体の流量の制御をすること に関し、特にバルブを通る圧力をかけたガスの流量を制御することに、さらに詳 しくは所定の固定周波数を持つがオンからオフに可変の衝撃周波をも持つ電気信 号により制御することに関しでいる。この信号のオン部分は、貯蔵室への加圧ガ スの流量を調節する働きをするガスバルブ装置の流出入口に対しで、圧電磁器製 のはりを機械的にたわませるような振幅と極性とを持つＣいる。このガスという のは、ガス燃焼器具などに用いる燃料のことである。

家庭用及び／あるいは商業用の器具を設計する際温度調節に電子工学を利用する のが現在の傾向であるため調理レンジ用の液体燃料や特にガスの流量調節をする のに手動の制御装置を用いることが、ガスレンジタックトップバーナー（及びオ ーブン）に旧式な観を与えることになるだろう。電子レンジや電気クックトップ や電気オーブンをマイクロプロセッサ−で制御することは現在でも可能であり、 実際各メーカーが市場に出しでいる。このようなガス器具用の制御装置を効果的 に効率良くしかも経済的に用いることができない最大の原因は、電気的な流量制 御信号、または調節信号の電圧レベルの関数であるガス（または流体）の流量を 一定に保つことができ、信頼性が高く、電気的に制御されている比較的安価な流 量制御用のバルブが提供されでいないことにある。

圧電磁器製のベンダー要素を用いて構成したバルブは市場に出でいる。しかしそ の基本的な特性や設計のために流量を調節することができず、むしろある周波数 で変動する流量を供給するようになっている。信号または電圧が加えられでいな い時にベンダー要素をバックアッププレートと流出口との中間に置くようにバル ブを構成すれば、この操作を行うことができる。この操作中、交流電圧が加えら れ、それによりベンダーは二つのストップ間、即ちオンストップとオフストップ 間を往復運動する。電圧が加えられでいないときも゛バルブは閉じでいないとい うことに注意を促したい。またバルブの振動回数を高くする必要があるために、 ベンダー要素とオンストップ・オフストップの間及び流出口とベンダー要素との 間の間げきを非常に狭いものにしなくではならない。このためバルブ装置は、ベ ンダーの位置のほんの小さなずれや小さな電圧の変化に非常に敏感になり、流入 口から流出口までの流体の流量を確実に調節することができない。研究室での試 験ではこのバルブ装置の動作は非常に不規則で、流量の反復精度がなかった。つ まり装置に加えられる電圧レベルと流量が１対１の対応をしでいないのである。

ここでバルブというのは、リーカンパニー（Ｌｅｅ　Ｃｏｍｐａｎｙ　）製の商 品名リー　ミネーチャー　ウルトラスピードインターフェイスバルブ（ＬＥＥ　 ｍ１ｎａｔｕｒｅＵｌｔｒａｓｐｅｅｄ　Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ　Ｖａｌｖｅ　） Ｐａｒｔ　＆　ＰＶＡＡ３０００１２０Ｈのことであり、これは清浄な乾燥不燃 性ガス用に作られたものであり、最高圧力は、１０ｐｓｉ　（０，７８ＡＲ）で ある。

マツケイプ（ＭｃＣａｂｅ　）に付与された米国特許４．２３８，１１０　号に はオリフィスを周期的に開閉すすソレノイドを備えた燃料計量バルブが開示され でいる。マツケイプの発明では事実上通路手段の完全な閉鎖と完全な開放とを１ 選択した時間内で、交互に行って流体の流量を制御しでいる。マツケイプの発振 器に、固定のサイクル時間を持たせるとともに可変の「オフ」タイム及びそれに 対応した可変の「オン」タイムを持たせるようにすることもできる。

「オン」タイムと「オフ」タイムの比率によって流体の流量が決められる。マツ ケイプの場合、励磁化と非励磁化の際に、ジェットに対する計量バルブ部材の位 置に影響を及ぼすソレノイド巻線を用いでいることに着目することが重要である 。例えばエンジンの燃料要求量に応じかつそれを反映させるような関連した制御 手段を介して上記のソレノイド巻線に電圧を加えるとその結果計量バルブ部材が 往復運動をしでそれと協働するジェットに近づいたり、遠ざかったりするという わけである。

ここに開示する発明では、前述のソレノイド巻線を利用しでいないし通路手段を 完全に開放したり完全に閉鎖したりするバルブ手段の往復運動や電気子の往復運 動も利用しでいない。マツケイプの燃料計量バルブは、所定の時間内で通路手段 を完全に開放し次に完全に閉鎖することを交互に繰り返しで流量を効果的に調節 しでいる。燃料の量の調節はフィードバック信号の情報により行い、この情報に よりソレノイドの位置が変化しその結果エンジンの状態に応じて燃料の量が変わ る。一方ここで開示する発明によると、第一の実施例においでバルブが完全に開 放されでいる時間とバルブが完全にふさがっている時間（ｔｏ／ｌｃ　）の割合 を変えるとともに、流体が円滑に流れるような貯蔵量を定めでおくことによって 燃料やガスやその他の流体の流量を制御する。第二の実施例では、ｔｏ／ｌｃの 割合だけですく、オリフィスを調節しで、その有効開口面積を変化させることに より流体の量または流量を制御する。第三の実施例では、制御電圧をベンダーに 加えることによって被調節オリフィスの開口サイズを調節しでいる。

上に述べたように、流入オリフィスと流出オリフィスのどちらを調節しでもよい し、あるいは両方のオリフィスを調節゛しでもよい。回転ノブや押ボタンスイッ チのような制御手段を用いたり、制御用コンピューターにプログラムすることに よって、装置（たとえばガスレンジ）を操作する人が前述の制御の作業をするこ とができる。ここで開示しでいる３つの制御の仕方をまとめると、 （１）フル「オン」タイム／フル「オフ」タイムの比率を変えること。

（２）被調節オリフィスの開口度を調節すること、言いかえれば、被調節オリフ ィスを通る流体の流れを制御できるように被調節オリフィスの開口面積を調節す ること、これを、今後アナログ調節と呼ぶことにする。

（３）オンタイムとオフタイムの比率を変化させることと、オンタイム時の被調 節オリフィスの開口度を変化させることとを組合せること。

本発明の要約 本発明の主要な目的は、加圧下の流体の流量を制御するための安価で、信頼性の 高い流量制御バルブを提供することである。そのためにこの流体の流量を、ベン ダー要素に可変電圧を加えて被調節オリフィス（流出用あるいは、流入用）の開 閉の度合を調節することによって、制御しようとする。

また本発明のもう一つの目的は、必要とする所定の電圧振幅と電圧波形を有し所 定の周波数を持つ電気的流量制御信号を用いることによって、加圧下の流体の流 量を制御する安価で信頼性の高い流量制御バルブを提供することにある。前述の 電圧振幅というのは所定の量だけベンダー要素をたわませることができる大きさ をいう。この所定量とは、全開位置であり、所定の時間内の流体の全流量を言う 。また平均流量は、「オン」タイムと「オフ」タイムの比率に関連しそれによっ て決定される。「オン」タイムというのは、適当な振幅を持つ電圧をかけること によってベンダー要素がたわみ、流入口から流出口まで流体が流れる時間をいう 。

本発明のもう一つの目的は、開いでいる時間と閉じでいる時間、即ち「オン」タ イム信号と「オフ」タイム信号の比率を組み合わせで用いるとともに。

被調節オリフィスの有効面積の調節によって流体の流量を制御することである。

上記被調節オリフィスは時間を変えて開閉を行うオリフィスと同一のものでもよ い。

本発明のもう一つの目的は、流入オリフィスをアナログ調節することにより流体 の流量を制御し、また流量制御信号が出されでいない時は流出オリフィスを確実 に閉鎖して流体がバルブを通って流れないようにすることである。

オリフィスが開いでいる時間（開口度に関係なく）と閉じている時間の比率を調 節することにより。

流体の流量の調節をすることが制御方法の１つとしで含まれでいる場合には必ず 流体の脈流が発生する。

流体が、ガスや空気のような圧縮性のものである時に、もし流量を制御した流体 を用いる位置で脈動が起こるのが望ましくないなら、貯蔵手段を装置に組み込ん でお（必要がある。貯蔵量は脈動を許容レベルまで最小化あるいは減少させ得る 量とする。装置のタンク部分の貯蔵量あるいは大きさは、流量、流体の種類、圧 力などの要因によって決まる。被制御バルブを流体源及び使用位置につなりでい る導管の中に、脈動の振幅を小さくしで５事実上たいらにするのに十分な量の流 体をためるようにしでおいでもよい。

以下に述べる本発明の詳細な説明と本発明の数種の実施例だけを示しでいる添付 図面を参照すれば。

本発明の他の目的や利点が明らかになるだろう。

図面についでの簡単な説明 図１は、流量制御信号をベンダー要素に送ることによりベンダーをたわませて流 出オリフィスを調節し、また制御信号が送られできでいない状態では流出オリフ ィスを密閉するバルブ装置の略図。

図２は、ベンダーが１片持式に取り付けであることを除いでは、図１で示された バルブ装置に類似するバルブ装置の略図。

図３は１図１の電気的に制御されるバルブが貯蔵手段につながっていることを示 した略図。

図４は、流出オリフィスが信号を受信しない状態で密閉されでおり、一方流入オ リフイスがタイムオンとタイムオフの比率すなわち比率調節法かあるいはアナロ グ調節法により、または比率調節法とアナログ調節法の両者を組合せる方法によ り調節されるバルブ装置の略図。

図５は、調節弁座が調節オリフィスに対しより広範に動けるように、ベンダー要 素が片持ばりの構成をもってバルブに取り付けであることを除けば、図３に示し たバルブ装置に類似するバルブ装置の略図である。

図６は、被制御バルブと制御信号、制御された流体、貯蔵手段、流量が制御され た流体を用いる手段との相互関係をブロック図の形で示した系統略図。

図７は下記のものの時間と振幅の関係を示す波形表示である：流量制御信号、電 圧制御とＶａｃの組合わせ（７Ｃ）　、比率とアナログの両調節法を組合わせで 用いた場合（７Ｅ）と周期Ｔを有するＡＣ（７Ａ）信号としてサイン波を用いで いる比率調節法のみの場合との流量。図７のＤは、比率とアナログの両調節法を 用いた場合のベンダーのたわみ量を表す。図７のＦは比率調節法のみを用いた場 合のベンダーのたわみ量と流量制御電圧の両方を表す。

図８は、図８のＡの交流信号が、有効振幅Ｖｃｏ１゜Ｖｃｏ２　、　Ｖｃｏ３　 、　Ｖｃｏ４．を持っ制御電圧の関数としで、開閉時間（ｔｏ／ｌｃ）の変動を のこぎり波形によってより直線的に表す以外は１図７と同様の波形表示である。

図９は、アナログ制御電圧とそれに対応するガス流量の波形表示である。

本発明の；細ｆ″：日 本発明には、様々なバリエーションがあることが当業者にはわかるだろう。その ようなバリエーションの内のいくつかを以下に示すと、（１）バルブのオリフィ スの開いでいる時間と閉じでいる時間の比率を制御しで調節すること、または流 入と流出のオリフィスのどちらかの面積あるいは同時にその両方の面積をアナロ グ法により調節すること。（２）比率法およびアナログ法の両方を用いで調節す ること。（３）片持式言いかえれば端部で取り付けるようにしたベンダー要素に よって調節すること。（４）被調節オリフィスを電圧が相対的に正の時には開い で、相対的に負の時には閉じる、またその逆をも行うような電圧信号によって調 節すること。この場合、電圧の極性に左右されるのは、オリフィスが調節される ことと、調節されたオリフィスの調整シールに対する相対的位置決めとによるも のである。上記のバリエーション以外にも、制御された幅及び適当な極性を持ち 、かつベンダー要素をインパルス電圧の持続しでいる間中部分的にたわませたり または最大限度までたわませたりできるだけの振幅を持った電圧インパルスを含 む様々な制御信号の波形が可能である。可変式に付加した直流成分の電圧をもち １割合短時間でもあるいは割合長時間でもベンダーの制御ができる正弦波もまた 可能である。また直流成分が可変式に付加しである場合にはのこぎり状の波形に よって流体の流量をより直線的に制御できるだろう。流出オリフィスを独創的に 閉ざす極性を持つインパルス電圧信号を上記波形のすべてに付加しでもよい。ベ ンダー要素の同じ側に流入と流出の両オリフィスを設けるのも本発明の範囲に入 る。本発明のバルブを並列。

直列、または並列と直列を組み合わせでつなぐことにより大流量を確保したり、 流体を高圧または低圧に制御してアナログまたはデジタル論理システムによって 流体の流量を調節したりすることも当業者には自明のことだろう。

本発明が、あいまいなものにならないように図４と５を参照しながら説明を進め で行く。図４と５においで、アナログ調節法のみを用いる時は流入オリフィスを 調節する。比率調節法のみまたは比率とアナログの両調節法を組み合わせで用い る場合の本発明を説明するのに図１と図２のバルブを用いる。まいる圧縮性ガス のことである。

図１と２においで、ガス供給タンクからのガスは流入導管２２を通り、流量が制 御されたバルブ５と１０に流れ込む。このガスが流入オリフィス２０を通りバル ブの空洞部に流れ込む。圧電磁器製のベンダー１２が信号を受けでいない時には 、ベンダー１２とシール１４が空洞部２７内にある加圧下のガスの力で流出オリ フィス弁座１６に強く押しつけられ。

ガスが流出導管２４から流れ出すのを効果的に防ぐ。

図７のＦや図８のＦ、Ｇ、Ｈで示したような流量制御信号がベンダー要素１２に 送られてきている時は。

ベンダー要素１２はたわみ、シール１４は、流量制御信号が適当な極性を持つで いる間、弁座１２から離れた位置にある。電圧が正の時に、流量制御信号がベン ダー１２を弁座から離れさせるようにしでもよい。「オン」信号すなわち開放信 号の極性は、正と負のいずれであってもよい、またそれはベンダー１２及び被調 節（開・閉）流出オリフィス１７の配置方向によって変わる。流量制御信号の振 幅は、バルブ装置５または１０を通るガスの最大流量を確保し得るだけベンダー １２をたわませることができるものである。、Ｘｍａｘで表わしている最大たわ み量を。

図７のＦ９図８のＦ、Ｇ、Ｈに示しである。電圧がバルブ５と１０を事実上完全 に開かせる極性を持つでいる時間と、電圧がバルブ５と１０を完全にふさぐ極性 を持つでいる時間との比率が、流量制御信号の唯一の変数である時には、バルブ ５と１０はここでいうところの比率調節により調節される。この場合ベンダー１ ２は、所定の最大たわみ量だけたわむかさもなければたわんでいない状態、すな わち閉じた位置にある。ということに注目されたい。この種の調節法は、図１と 図２に示すバルブに用いることができる。

図３には貯蔵手段３２と貯蔵手段の流出導管３４が示しである。貯蔵手段３２は ガスの量、圧力、その他当業者には自明であると思われる要因によって変ってく る。流入導管２２や流出導管２４は、ガス源や流量が調節されたガスを用いる手 段（図５を見よ）とともに、被調節ガスの脈動を許容レベルにまで減少させるの に十分な容積を有しでいるので別に貯蔵手段３２を設ける必要はないかもしれな い。貯蔵手段によって脈動が弱くなった様子を図７のＥとＧの曲線で示しである 。図７のＦの曲線は、ガスの脈動流、流量制御信号の電圧波形、ベンダーのたわ み量Ｘの内のいずれを指すものとしてもよい。

図４及び５においでは、流入オリフィス４４がアナログ調節される。ベンダー１ ２が信号を受けでいない時には、シール１４と弁座１６は流出オリフィス１日を ふさぐ働きしかしない。図４においで、ベンダー１２は図１と同様はりの両端２ ８と３０で取付けられでいる。

図、５では、ベンダー１２は片持式に一方の端２８で取付けられている。図９の Ａで示すような流量制御信号をベンダー１２に送ると、流出オリフィス１８がほ ぼ完全に開いて流量は最大となる。ここからさらに制御信号の振幅を大きくする とベンダー１２が調節シール４２を流入オリフィスに近づける方向に動き、バル ブ４０と５０を通るガスの流量を減らし小さい場合は１図９のＡとＢの曲線で示 すようにガスの一部が流れる。このように制御信号が最低電圧レベル（Ｖｍｉｎ ）から最高電圧レベル（Ｖｍａｘ）まで変化すると、流量もそれにつれで最高流 量から最低流量まで変化する。すなわちガスの流量が流入オリフィス４４の有効 面積を調節することによりアナリフイス４４はアナログ調節をされるオリフィス である。流量制御信号が発せられでいないか、実質的にゼロの場合には、バルブ ４０と５０は前述の如く閉じでいる。

図４と図５で示しでいるバルブ４０と５０は、アナログ的に調節される典型的な バルブである。しかしアナログ調節と比率調節を組み合わせで用いることも可能 であり１本発明の範囲に入っている。また図１と２のバルブ装置に対しアナログ 調節法のみを用いることも可能であることに注目されたい。

図７と図８は、流量制御信号の波形のおおよその見取図である。はりとして示さ れでいる圧電磁器製のベンダー要素１２の場合には、この波形は電圧波形を表わ しでいる。図７において、交流信号（ＡＣ信号）は、正弦波（７Ａ）で表わされ でいる。図８のＡではＡＣ信号はのこぎり波状をしでいる。ＡＣ信号としで用い るすべての波形−その中にはランプ波、方形波、それからもちろん余弦波も含み 得る−においでは１周波数即ち周期Ｔはほぼ一定である。

バルブが開いでいる時間（ｔｏ）とバルブが閉じでいる時間（ｔｃ）の比率を変 えるには、ｔｏ＋ｔｃ＝Ｔの場合は−ＶａＣに対し直流電圧（ＤＣ電圧）の制御 信号（７Ｂまたは図８のＡのＶＣＯＩ　、　ＶＣＯ２、ＶＣＯ３゜ＶＣＯ４）を 加えで、ＡＣ信号のゼロ電圧位置を変えればよい。そうすればＡＣ信号のゼロ基 準はＤＣ制御信号が変化するとともに変わる（図７のＣと図８のＡの複合曲線を 見よ）。複合信号（７Ｃまたは８Ａ）の正の振幅が、所定値のどれかを上回った 時は。

図７のＦ、図８のＦ、Ｇ、Ｈのパルスがパルス整形器によって発生する。そのパ ルスは、所定の最大量だけベンダー１２をたわませるのに充分な強さをもってい る。電圧のパルスは複合信号の振幅が所定値にまで減少すると、比較的負に向か いやすい。そこで、ｔｏ＋ｔｃ＝Ｔであるがｔｏ／ｌｃの比率は変化するという ことが、様々な波形の見取図を見ればわかる。ベンダー１２を動かして被調節オ リフィスをｔ。

時間開き、それからｔｃ時間被調節オリフィスを閉じていたとすると、ｔｏ／ｌ ｃというのはバルブ５と１０が完全に「開いている」時間とバルブ１０が完全に 「閉じでいる」時間の比率を表すことになる。

そこでｔｏ／ｌｃが小さい場合は流量が少／、１’　＜　、　ｔｏ／ｌｃが大き い場合は流量が多くなる。ということがわかる。これが比率調節法である。ガス の脈動は、図７のＥ（比率及びアナログ調節）と図７のＧ（比率調節）の曲線で 示しているように、貯蔵手段３２によズ弱められている。図８に示している波形 に対応する同様の曲線を示すこともできるがここでは省略した。

比率とアナログの調整法を組み合わせで用いる場合には、バルブ５と１０を完全 に「開く」ような一定の予め定めた振幅を持った制御電圧パルスを発生させない ようにしでおく。ＡＣ信号の振幅をほぼ一定に保ち、また制御信号を変化させて 「開いでいる」時間と「閉じでいる」時間の比率が変化するだけです＜「オン」 電圧の強さも変化するようにすると、バルブはある時間、例えばｔｌ　といった 時間だけ開きかつ「オン」電圧の強さに対応した度合だけ開く。

このような比率とアナログの調節法を組み合わせで用いた様子が、図７のＤや図 ８のＢ、Ｃ，Ｄ、Ｅに示されでいる。ベンダー１２のたわみ量Ｘは、ベンダー１ ２に加えられる流量制御電圧の波形に関連し。

それに似通っている。ことに注目されたい。つまり上記の電圧波形は、ベンダー のたわみ量の波形をも近似的に表すものであるといえる。その実例を図７のＤに 示す。

また圧電磁器製のベンダー要素が、必ずしもその両端２８と３０をハウジング手 段２６に取付けたはり構造である必要はないこと、に注目されたい。ベンダー１ ２を、ハウジング手段２６の４つの面に４つの頂点が取付けられるような大きさ の長方形としで形成しでもよい。またハウジング手段２６や内部の空洞部２７の 形状に合うものであれば、ベンダー１２は円形や楕円形等の形にしでもよい。

不発明の説明をここまで読めば、添付のクレームに述べられでいる本発明の思想 と範囲がら逸脱することなく数多の付加的な変更をおこなうことができることは 当業者には明白であろう。

Ｆｉｇ、３ Ｆｉｇ、　４ Ｆｉｇ、　５ Ｆｉｇ、６ Ｆｉｇ、　９ Ｆｉｇ、　８ 国際調査報告 １ｍ５ｍ５＋ｉｏａｍｌＡｏｅ１ｉｃａ＋、、、ＩＩ＊ＰＣ”ＵＳ８”１２”

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．以下のものよりなる流量制御装置。 −内部に空洞部を形成したハウジング手段、−一端に流入オリフイスが形成され ている流入導管手段であつて、断面積を持つその流入オリフィスは、上記空洞部 内の所定の位置にあり、上記流入導管手段の他端が流体供給源とつながつて、そ の間を流体が流れるようになつている流入導管手段、−上記の空洞部内の所定の 位置で一端に流出オリフィスが形成されている流出導管手段であつて、その流出 オリフィスが所定の断面積をもち、上記の流出導管手段の他端が、有効流体貯蔵 手段を持つ。 上記の流体供給源からの流体を用いるための手段とつながつておりその間を流体 が流れるようになつている流出導管手段、 −上記の空洞部内の適当な位置にあつて上記のハウジング手段に取り付けられ、 可変流量制御信号との間の通信を可能にするための手段を有するベンダー要素で あつて、この信号が上記のベンダー要素を一定量たわませその結果上記の流体が 上記のバルブ手段を一定量流れるようにするベンダー要素、−上記のベンダー要 素に取付けられてあり、上記の制御信号が送られてきていない時には流出オリフ ィスを効果的に密閉する第一密閉手段。 ２．上記のベンダー要素が圧電磁器製であり、上記の流量制御信号が、所定の最 大交流電圧値と所定の最小電圧値から成り所定の周期と所定の電圧波形そして所 定の電圧成分をもつ電気電圧であることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の 流量制御装置。 ３．上記の電圧値が上記の所定の最大値をとつている時間と上記の電圧値が上記 の所定の最小値をとつている時間との比率と関連して上記の可変流量制御信号が 変化し、上記の最大と最小の電圧値は、上記の圧電磁器製のベンダー要素のたわ み量を所定の最大たわみ量にするか実質的にゼロにするためのものであり、これ により上記ベンダーが最大限にたわんでいる時は上記の流体が最大限に流れ、上 記ベンダーのたわみ量がゼロの時は上記の流体が上記の被調節オリフィスに流れ 込むのを遮断し、上記の流体が流れている時間と上記の流体の流れが遮断されて いる時間の和がほぼ一定でかつ上記の所定の流量制御信号の周期に等しいことを 特徴とする請求の範囲第２項に記載の流量制御装置。 ４．上記の流出オリフィスにさらに升座が設けてあることを特徴とする請求の範 囲第３項に記載の流量制御装置。 ５′上記の流体が少なくとも一部圧縮性のガスであることを特徴とする請求の範 囲第４項に記載の流量制御装置。 ６．．上記の可変流量制御信号によって上記のたわみ量ゼロから上記の所定の最 大たわみ量までの間で連続的に変化する量だけ上記ベンダー要素をたわませるこ とを特徴とする請求の範囲第５項に記載の流量制御装置。 ７．上記の圧電磁器製のベンダー要素がはり構造を持ちこの圧電磁器製はりの両 端が上記ハウジング手段に固定してあることを特徴とする請求の範囲第６項に記 載の流量制御装置。 ８一上記の圧電磁器製ベンダー要素が、二つの端部を持つはり構造であり、この 二つの端部の一つが上記ハウジング手段に取付けられていることを特徴とする請 求の範囲第６項に記載の流量制御装置。 ９．上記の圧電磁器製ベンダー要素に取付けられている第２密閉手段を有し、こ の第２密閉手段は上記流入オリフィスの断面積の有効径を調節する機能を事実上 有し．上記流入オリフィスの面積と上記流出オリフィスの面積の調節と上記流出 オリフィスの調節とを組み合わせて用いて上記の流体流量を制御をすることを特 徴とする請求の範囲第６項に記載の流量制御装置。 １０．上記の可変流量制御信号が、さらに上記ベンダー要素を上記のたわみ量ゼ ロから上記の所定の最大たわみ量までの間で連続的に変化する量だけたわませる 機能を有することを特徴とする請求の範囲第９項に記載の流量制御装置。 １１．上記圧電磁器製ベンダー要素がはり構造を有し．上記圧電磁器製ベンダー 要素の両端が上記ハウジング手段に取付けてあることを特徴とする請求の範囲第 １０項に記載の流量制御装置。 １２．上記の圧電磁器製ベンダー要素が二つの端部を持つはり構造を成しｊ、こ の二つの端部の一方がハウジング手段に取付けてあることを特徴とする請求の範 囲第１０項に記載の流量制御装置。 １３．上記ベンダー要素が圧電磁器製であり、上記の流量制御信号が、調節可能 な振幅を持つ電気電圧であり、その振幅は調節されるとほぼ一定となり．上記ベ ンダーのたわみ量が上記の信号の振幅に関連していることを特徴とする請求の範 囲第１項に記載の流量制御装置。 １４．上記の流出オリフィスにさらに弁座を設けたことを特徴とする請求の範囲 第１３項に記載の流量制御装置。 １５．上記の流体が少なくとも一部圧縮性のガスであることを特徴とする請求の 範囲第１４項に記載の流量制御装置。 １６．圧電磁器製ベンダｒ要素がはり構造をもち．このはりの両端が上記ハウジ ング手段に取付けられてあることを特徴とする請求の範囲第１５項に記載の流量 制御装置。 １７．上記の圧電磁器製のベンダー要素が．二つの端部を有するはり構造であり ．この２つの端部の一方が上記ハウジング手段に取付けられていることを特徴と する請求の範囲第１５項に記載の流量制御装置。 １８，上記のベンダー要素に取付けられている第２密閉手段を有し、この第２密 閉手段が上記の流入オリフィスの断面積の有効径をアナログ的に調節する機能を 有し、上記流入オリフィス面積の上記アナログ調節法と流出オリフィスを用いて 上記の流体の流量を制御することを特徴とする請求の範囲第１６項に記載の流量 制御装置。 １９．上記のベンダー要素に適当に取付けられた第２密閉手段を有し、この第２ 密閉手段が上記流入オリフィスの断面積の有効径をアナログ調節する機能を実質 的に有し．上記流入オリフ．イス面積の上記アナログ調節法と流出オリフィスを 用いて上記の流体の流量を制御することを特徴とする請求の範囲第１７項に記載 の流量制御装置。