JPS6349720A - 顕微鏡照明装置 - Google Patents
顕微鏡照明装置Info
- Publication number
- JPS6349720A JPS6349720A JP19280486A JP19280486A JPS6349720A JP S6349720 A JPS6349720 A JP S6349720A JP 19280486 A JP19280486 A JP 19280486A JP 19280486 A JP19280486 A JP 19280486A JP S6349720 A JPS6349720 A JP S6349720A
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- JP
- Japan
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- light
- mirror
- illumination device
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 19
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 abstract description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の分野］
本発明は、顕微鏡を用いた光学的測定装置に関し、特に
測定すべき試料に光を照射するための閲徹鏡照明装置に
関する。
測定すべき試料に光を照射するための閲徹鏡照明装置に
関する。
［発明の背景］
半導体製造用ウェハや液晶表示その他のガラス基板上の
各種透明膜厚を測定する場合、顕微鏡を用いて測定すべ
き試料を観察し、試料を照明もてその反射光を分光器で
スペクトルに分光し光量検知により分光反射率を計測し
て膜厚測定を行なっている。このような光学測定装置に
おいて、試料を照明する照明装置の光量が変動した場合
には分光器の検知光量を補正しなければならない。した
がって、照明装置の光量は常にモニタしておく必要があ
る。またこのような照明装置は顕微鏡に取付けられて使
用されるため、簡単な構造でスペース的にコンパクトで
あることが望まれる。
各種透明膜厚を測定する場合、顕微鏡を用いて測定すべ
き試料を観察し、試料を照明もてその反射光を分光器で
スペクトルに分光し光量検知により分光反射率を計測し
て膜厚測定を行なっている。このような光学測定装置に
おいて、試料を照明する照明装置の光量が変動した場合
には分光器の検知光量を補正しなければならない。した
がって、照明装置の光量は常にモニタしておく必要があ
る。またこのような照明装置は顕微鏡に取付けられて使
用されるため、簡単な構造でスペース的にコンパクトで
あることが望まれる。
［従来の技術］
従来の照明装置は、顕微鏡の鏡筒に取付けた立筒型の構
成であり、光量をモニタするために直筒内の光路上にビ
ームスプリッタを設置し、光路を２分割して光量検知を
行なフていた。このため照明装置外形がＴ字型で複雑と
なり外観上および設置スペース上に問題があった。
成であり、光量をモニタするために直筒内の光路上にビ
ームスプリッタを設置し、光路を２分割して光量検知を
行なフていた。このため照明装置外形がＴ字型で複雑と
なり外観上および設置スペース上に問題があった。
［発明の目的］
本発明は、前記従来技術の欠点に鑑みなされたものであ
って、簡単な構造でコンパクトな外形の捲光量モニタ可
能な顕１ａ鏡照明装置の提供を目的とする。
って、簡単な構造でコンパクトな外形の捲光量モニタ可
能な顕１ａ鏡照明装置の提供を目的とする。
［実施例］
第１図は本発明に係る照明装置を取付けた顕微鏡の構成
図であり、第２図は第１図のＩＩ −ＩＩ線の断面図で
あって、本発明に係る照明装置の構成を示すものである
。
図であり、第２図は第１図のＩＩ −ＩＩ線の断面図で
あって、本発明に係る照明装置の構成を示すものである
。
観察および計測すべき試料１は支柱７の基盤７ａ上に搭
載される。２は対物レンズである。支柱７は鏡筒３を支
持する。鏡筒３内にはハーフミラ−３ａが装着されてい
る。４は接眼ユニット、５は反射ミラーである。６は分
光器でありその後方に例えば光電子倍増管（ホトマル）
等の光検知器１３が備わっている。照明装置２０（第２
図）は、鏡筒３の八−フミラー３ａが装着された位置に
、光路を水平にして取付けられている。照明装置２０は
実買上り字型の筒体１０からなり、この筒体１０内の屈
曲部に９０°反射ミラー１１が設置される。
載される。２は対物レンズである。支柱７は鏡筒３を支
持する。鏡筒３内にはハーフミラ−３ａが装着されてい
る。４は接眼ユニット、５は反射ミラーである。６は分
光器でありその後方に例えば光電子倍増管（ホトマル）
等の光検知器１３が備わっている。照明装置２０（第２
図）は、鏡筒３の八−フミラー３ａが装着された位置に
、光路を水平にして取付けられている。照明装置２０は
実買上り字型の筒体１０からなり、この筒体１０内の屈
曲部に９０°反射ミラー１１が設置される。
９０”反射ミラー１１は光を一部透過可能であって、こ
の９０°反射ミラー１１の裏側に光量検知モニタ１２が
設置される。８は光源ランプ、９はコリメータレンズで
ある。
の９０°反射ミラー１１の裏側に光量検知モニタ１２が
設置される。８は光源ランプ、９はコリメータレンズで
ある。
次に上記構成の顕微鏡照明装置の作用について説明する
。光源ランプ８からの発散光はコリメータレンズ９を通
して平行光となり、９０”反射ミラー１１により光路が
９０″偏向される。９０°反射ミラー１１に入射した光
の一部はこれを透過して光量検知モニタ１２に入射し光
源ランプ８の光量変動が検出される。一方９０°反射ミ
ラー１１により９０°反射偏向された光は顕微鏡鏡筒３
内のハーフミラ−３ａに入射し、ここで下方に反射され
て対物レンズ２を通して試料１を照明する。試料１から
の反射光は対物レンズ２を通して再びハーフミラ−３ａ
に入射し、これを透過して反射ミラー５で反射され分光
器６に入射する。分光器６でスペクトル分光された光は
光検知器１３で光量検知され分光特性が計測される。こ
の光検知器１３で検知した光量は、光源ランプ８の光量
変動をモニタしている光量検知モニタ１２の検出結果に
基いて補正可能である。
。光源ランプ８からの発散光はコリメータレンズ９を通
して平行光となり、９０”反射ミラー１１により光路が
９０″偏向される。９０°反射ミラー１１に入射した光
の一部はこれを透過して光量検知モニタ１２に入射し光
源ランプ８の光量変動が検出される。一方９０°反射ミ
ラー１１により９０°反射偏向された光は顕微鏡鏡筒３
内のハーフミラ−３ａに入射し、ここで下方に反射され
て対物レンズ２を通して試料１を照明する。試料１から
の反射光は対物レンズ２を通して再びハーフミラ−３ａ
に入射し、これを透過して反射ミラー５で反射され分光
器６に入射する。分光器６でスペクトル分光された光は
光検知器１３で光量検知され分光特性が計測される。こ
の光検知器１３で検知した光量は、光源ランプ８の光量
変動をモニタしている光量検知モニタ１２の検出結果に
基いて補正可能である。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明に係る顕微鏡照明装置にお
いては、光源からの光を一部透過可能な９０°反射ミラ
ーを用いて９０°偏向させるとともに一部透過光を検出
して光源からの光量変動を常にモニタしている。したが
って、簡単な構成で光量モニタが可能となって計測値の
補正ができるとともに、構造が簡単で外観上および取付
スペース的に優れた顕微鏡照明装置が得られる。
いては、光源からの光を一部透過可能な９０°反射ミラ
ーを用いて９０°偏向させるとともに一部透過光を検出
して光源からの光量変動を常にモニタしている。したが
って、簡単な構成で光量モニタが可能となって計測値の
補正ができるとともに、構造が簡単で外観上および取付
スペース的に優れた顕微鏡照明装置が得られる。
第１図は本発明に係る照明装置を備えた顕＠鏡の構成図
、第２図は第１図のＩＩ −ＩＩ矢視図である。 １；試料、 ３：鏡筒、 ３ａ：ハーフミラ−， ６：分光器、 ８：光源ランプ、 ９：コリメータレンズ、 １０：筒体、 １１：９０’ 反釘ミラー、 １２：光量検知モニタ、 ２０：照明装置。 特許出願人 キャノン株式会社 代理人 弁理士 伊 東 辰 雄 代理人 弁理士 伊 東 哲 也 第１図 第２図
、第２図は第１図のＩＩ −ＩＩ矢視図である。 １；試料、 ３：鏡筒、 ３ａ：ハーフミラ−， ６：分光器、 ８：光源ランプ、 ９：コリメータレンズ、 １０：筒体、 １１：９０’ 反釘ミラー、 １２：光量検知モニタ、 ２０：照明装置。 特許出願人 キャノン株式会社 代理人 弁理士 伊 東 辰 雄 代理人 弁理士 伊 東 哲 也 第１図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、光源と、該光源からの光の光路を９０°偏向させる
９０°反射ミラーとを備え、該９０°反射ミラーは光が
一部透過可能であって、該９０°反射ミラーの裏側に透
過光の光量検知モニタを設けたことを特徴とする顕微鏡
照明装置。 ２、前記光源からの光をコリメータレンズを介して前記
９０°反射ミラーに入射させることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の顕微鏡照明装置。 ３、前記顕微鏡は鏡筒内にハーフミラーを有し、該ハー
フミラーに前記９０°反射ミラーからの反射光が入射す
るように該鏡筒に対し取付けたことを特徴とする特許請
求の範囲第１項または第２項記載の顕微鏡照明装置。 ４、前記ハーフミラーは、９０°反射ミラーからの光を
観察すべき試料に対し照射させるとともに、試料からの
反射光を透過させて鏡筒上部の分光器に導入し、該分光
器の後方に分光させた光の光量検知手段を備えたことを
特徴とする特許請求の範囲第３項記載の顕微鏡照明装置
。 ５、前記光量検知モニタの検知結果に基いて前記分光器
の光量検知手段の検知光量を補正可能としたことを特徴
とする特許請求の範囲第４項記載の顕微鏡照明装置。 ６、前記９０°反射ミラーはＬ字型筒体の屈曲部に配設
されたことを特徴とする特許請求の範囲第１項から第５
項までのいずれか１項記載の顕微鏡照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19280486A JPS6349720A (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | 顕微鏡照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19280486A JPS6349720A (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | 顕微鏡照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6349720A true JPS6349720A (ja) | 1988-03-02 |
Family
ID=16297264
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19280486A Pending JPS6349720A (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | 顕微鏡照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6349720A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001147376A (ja) * | 1999-09-15 | 2001-05-29 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | レーザー走査型顕微鏡およびその参照補正方法 |
-
1986
- 1986-08-20 JP JP19280486A patent/JPS6349720A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001147376A (ja) * | 1999-09-15 | 2001-05-29 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | レーザー走査型顕微鏡およびその参照補正方法 |
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