JPS6346726A - ランプ電源制御回路 - Google Patents
ランプ電源制御回路Info
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- JPS6346726A JPS6346726A JP61191447A JP19144786A JPS6346726A JP S6346726 A JPS6346726 A JP S6346726A JP 61191447 A JP61191447 A JP 61191447A JP 19144786 A JP19144786 A JP 19144786A JP S6346726 A JPS6346726 A JP S6346726A
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- JP
- Japan
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- illuminance
- voltage
- control circuit
- shutter
- illuminance sensor
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、ＩＣ製造用のパターンマスクの投影露光装
置に用いる、投光ランプの７ｕ源制御回路に関するもの
である。
置に用いる、投光ランプの７ｕ源制御回路に関するもの
である。
［従来の技術］
ＩＣの製造においては、１：）型のマスクの回路パター
ンをウェハ而に投影露光する方法が行われている。この
場合、パターンの幅が極めて小さいので、光源には短い
波長が有利であり、紫外線ランプが使用されているが、
精度の良い複写のために、露光量を適切な一定値とする
ことが大切である。
ンをウェハ而に投影露光する方法が行われている。この
場合、パターンの幅が極めて小さいので、光源には短い
波長が有利であり、紫外線ランプが使用されているが、
精度の良い複写のために、露光量を適切な一定値とする
ことが大切である。
露光５（を−・定とする方法には、ｊｌ（１度と照射時
間の積を一定とする方法と、！！（１度および照射時間
をともに一定とする方法があるが、後者の方が制御１−
好都合である。
間の積を一定とする方法と、！！（１度および照射時間
をともに一定とする方法があるが、後者の方が制御１−
好都合である。
次に、照度を一定に保つためには、照度センサによりｊ
ｊ（（度を測定し、これを光源ランプの電源にフィード
バンクする力２人か行われている。
ｊ（（度を測定し、これを光源ランプの電源にフィード
バンクする力２人か行われている。
第２図は、ウェハ而にパターンマスクを投影露光する装
置における従来のランプ電源制御回路の構成例を示す。
置における従来のランプ電源制御回路の構成例を示す。
光源ランプ１には、電力制御回路２の端子２ａから入力
して制御されたＡＣ電源が供給されて点幻する。光路に
はンヤソタ３が設けられており、露光時にはこれが開放
して、照射光はミラー４−Ｌ ４−２を経てウェハ而
５に照射される。１１（１度を一定とするために、光源
ランプ１の付近の適当な場所に照度センサ６を配置し、
その検出電圧を増幅器（ＡＭＰ）７により適当なレベル
に調整して受光レベル電圧ｖｍとし、これと加減抵抗器
１０に設定されている基準電圧ＶＳとを差分回路８に入
力して、それらの差電圧を作り、ＡＭＰ９によりレベル
を調整して電力制御回路２にフィードバックするもので
ある。１−記は露光時であるが、露光しないときはシャ
ッタ３が閉じており、制御系はそのまま動作している。
して制御されたＡＣ電源が供給されて点幻する。光路に
はンヤソタ３が設けられており、露光時にはこれが開放
して、照射光はミラー４−Ｌ ４−２を経てウェハ而
５に照射される。１１（１度を一定とするために、光源
ランプ１の付近の適当な場所に照度センサ６を配置し、
その検出電圧を増幅器（ＡＭＰ）７により適当なレベル
に調整して受光レベル電圧ｖｍとし、これと加減抵抗器
１０に設定されている基準電圧ＶＳとを差分回路８に入
力して、それらの差電圧を作り、ＡＭＰ９によりレベル
を調整して電力制御回路２にフィードバックするもので
ある。１−記は露光時であるが、露光しないときはシャ
ッタ３が閉じており、制御系はそのまま動作している。
さて、上記の光路上にはミラー４−１．４−２が配置さ
れており、この光路になんらかの変化が生じたときは、
ウェハ而５の照度が変化する。しかし、−［−記の構成
においては、照度センサ６が光源ランプの近くの置かれ
ているため、ウェハ而５のｊ（（１度の変化を検出でき
ず、一定ｊ！（１度の保持がなされない。このような１
１（１度センサ６の配置は、光ｒ：（ランプ１と一体化
して製作されたものをそのまま使用しているところに１
１１来するもので、照度センサ６の配置をウェハ而５の
近くに変更すべきである。しかしながら、湿熱と配置替
えを行うことはできない。その理由は、照度センサ６を
ウェハ＋ｆｉｉ ５の近くに配置するときは、シャッタ
３の開閉の都度、照度センサ６の受光量が激変し、その
開閉に拘らず、光源ランプ１が規定パワーを出力するよ
うに、制御系が働く。すなわち、シャッタ３の閉止時に
は照度センサ６の受光ｉｙは極めて少ない。シャッタ３
が閉じられているに拘らず、これに対応するように光源
ランプ１の光）ｉが１！！（駄に増加し、ランプ寿命が
減退するか、ないしは破損に至るものである。そこで、
このような欠点を解消して、ウェハ而の照度を一定に保
持するランプ電源の制御方式が必要とされるものである
。
れており、この光路になんらかの変化が生じたときは、
ウェハ而５の照度が変化する。しかし、−［−記の構成
においては、照度センサ６が光源ランプの近くの置かれ
ているため、ウェハ而５のｊ（（１度の変化を検出でき
ず、一定ｊ！（１度の保持がなされない。このような１
１（１度センサ６の配置は、光ｒ：（ランプ１と一体化
して製作されたものをそのまま使用しているところに１
１１来するもので、照度センサ６の配置をウェハ而５の
近くに変更すべきである。しかしながら、湿熱と配置替
えを行うことはできない。その理由は、照度センサ６を
ウェハ＋ｆｉｉ ５の近くに配置するときは、シャッタ
３の開閉の都度、照度センサ６の受光量が激変し、その
開閉に拘らず、光源ランプ１が規定パワーを出力するよ
うに、制御系が働く。すなわち、シャッタ３の閉止時に
は照度センサ６の受光ｉｙは極めて少ない。シャッタ３
が閉じられているに拘らず、これに対応するように光源
ランプ１の光）ｉが１！！（駄に増加し、ランプ寿命が
減退するか、ないしは破損に至るものである。そこで、
このような欠点を解消して、ウェハ而の照度を一定に保
持するランプ電源の制御方式が必要とされるものである
。
［発明の１−１的コ
この発明は、マスクパターンの露光装置において、１・
、記した従来のランプ電源の制御方式の欠点を解消して
、シャッタの開閉に拘らず、ウェハ而の１１（１度を一
定に保ち、かつ光源ランプが安全である、ランプ電源制
御回路を提供することを目的とするものである。
、記した従来のランプ電源の制御方式の欠点を解消して
、シャッタの開閉に拘らず、ウェハ而の１１（１度を一
定に保ち、かつ光源ランプが安全である、ランプ電源制
御回路を提供することを目的とするものである。
［問題点を解決するための手段コ
この発明は、露光部を照射する、シャンタ付きのランプ
光源において、該露光部の近傍に、該シャッタの開放時
に該露光部の照度を計測する照度センサを設ける。また
、１亥シヤツタの閉止時に、該照度センサの優先レベル
電圧の低下を検出する検出器と、該検出器のＩ＋力信吋
により動作するアナログスイッチを設け、シャッタの開
放時には照度センサの受光レベル電圧を、また、シャッ
タの閉＋Ｌ時には、この受光レベル電圧に代わる一定の
設定電圧にＵＪり替えてそれぞれを送出する。さらに、
露光部が基準照度のときの照度センサの出力電圧を基準
電圧とし、この基準電圧と照度センサの受光レベル電圧
の差電圧を出力する差分回路、および該差電圧を入力し
て、露光部の１１（１度が基準照度となるようにランプ
光源への供給電力を制御する電力制御回路により構成さ
れたものである。
光源において、該露光部の近傍に、該シャッタの開放時
に該露光部の照度を計測する照度センサを設ける。また
、１亥シヤツタの閉止時に、該照度センサの優先レベル
電圧の低下を検出する検出器と、該検出器のＩ＋力信吋
により動作するアナログスイッチを設け、シャッタの開
放時には照度センサの受光レベル電圧を、また、シャッ
タの閉＋Ｌ時には、この受光レベル電圧に代わる一定の
設定電圧にＵＪり替えてそれぞれを送出する。さらに、
露光部が基準照度のときの照度センサの出力電圧を基準
電圧とし、この基準電圧と照度センサの受光レベル電圧
の差電圧を出力する差分回路、および該差電圧を入力し
て、露光部の１１（１度が基準照度となるようにランプ
光源への供給電力を制御する電力制御回路により構成さ
れたものである。
［作用コ
この発明においては、露光部の近傍に照度センサを配置
することにより、光路中の光学部品の性能の変化に拘ら
ず、露光部の照度が１１１測されて電力制御回路にフィ
ードバックされるので、露光部の照度が確実に−・定値
に制御される。ただし、シャッタが閉止時においては、
受光レベル電圧が零近くまで低下するので、これを検出
器で検出し、その信号によりアナログスイッチを明り替
え、適当な一定電圧を代わりに制御電圧とする。これに
より、制御系がオーバランして光源ランプの寿命減退な
いしは破損の危険が全（なくなるものである。
することにより、光路中の光学部品の性能の変化に拘ら
ず、露光部の照度が１１１測されて電力制御回路にフィ
ードバックされるので、露光部の照度が確実に−・定値
に制御される。ただし、シャッタが閉止時においては、
受光レベル電圧が零近くまで低下するので、これを検出
器で検出し、その信号によりアナログスイッチを明り替
え、適当な一定電圧を代わりに制御電圧とする。これに
より、制御系がオーバランして光源ランプの寿命減退な
いしは破損の危険が全（なくなるものである。
［実施例コ
第１図はこの発明による、ランプ電源制御回路の実施例
の構成図を示すもので、光６；」ランプ１には、電力制
御回路２の端子２ａに入力したＡＣ電源が入力して点火
する。７ヤツタ３の開放時には、照射光はミラー４−１
．４−２で反射されて光路を変更して、ウェハ而５を！
（（１射する。ウエノ１而５の近傍には、ウェハ而５の
１１（１度と同じ！ｊ（１度を小す位置に！１（１度セ
ンサ６を配置する。）１（）度センサ６の出力電圧はＡ
ＭＰ７により適当なレベルに調整されて、照度レベル電
圧ｖｍとされアナログスイ・ノチ１２の端子Ａを経て、
差分回路８の９１１１ｉ丁−に入力する。一方、ウェハ
而５の基準照度に対する、照度センサ６の出力電圧を八
ツ電圧ＶＳとし、この基準電圧ｖｓが加減抵抗１０によ
り設定されて、差分回路８の他の端子にｔすえられてお
り、これらの両電圧の差電圧が出力される。差電圧はＡ
ＭＰ９により適当なレベルに変換された−１−１電力制
御回路２に入力する。いま、露光時において、ウェハ而
５、すなわち照度センサ６の１１６度が低−ドすると、
受光レベル電圧ｖｍが低Ｆして、基望電圧ＶＳとの差電
圧（ｖｓ −ｖｍ ）が正の値で増加するので、電力制
御回路２において、光源う／ブ１に供給するパワーを増
加するように作用して、ウェハ而５の１１（１度が増加
する。また、この反対に照度センサ６の照度が増加した
ときは、差電圧（ＶＳ−ｖｍ）がｆ″ｌの値で増加し、
光源ランプ１のパワーが減少してウェハ而５の！１（１
度が一定とされる。
の構成図を示すもので、光６；」ランプ１には、電力制
御回路２の端子２ａに入力したＡＣ電源が入力して点火
する。７ヤツタ３の開放時には、照射光はミラー４−１
．４−２で反射されて光路を変更して、ウェハ而５を！
（（１射する。ウエノ１而５の近傍には、ウェハ而５の
１１（１度と同じ！ｊ（１度を小す位置に！１（１度セ
ンサ６を配置する。）１（）度センサ６の出力電圧はＡ
ＭＰ７により適当なレベルに調整されて、照度レベル電
圧ｖｍとされアナログスイ・ノチ１２の端子Ａを経て、
差分回路８の９１１１ｉ丁−に入力する。一方、ウェハ
而５の基準照度に対する、照度センサ６の出力電圧を八
ツ電圧ＶＳとし、この基準電圧ｖｓが加減抵抗１０によ
り設定されて、差分回路８の他の端子にｔすえられてお
り、これらの両電圧の差電圧が出力される。差電圧はＡ
ＭＰ９により適当なレベルに変換された−１−１電力制
御回路２に入力する。いま、露光時において、ウェハ而
５、すなわち照度センサ６の１１６度が低−ドすると、
受光レベル電圧ｖｍが低Ｆして、基望電圧ＶＳとの差電
圧（ｖｓ −ｖｍ ）が正の値で増加するので、電力制
御回路２において、光源う／ブ１に供給するパワーを増
加するように作用して、ウェハ而５の１１（１度が増加
する。また、この反対に照度センサ６の照度が増加した
ときは、差電圧（ＶＳ−ｖｍ）がｆ″ｌの値で増加し、
光源ランプ１のパワーが減少してウェハ而５の！１（１
度が一定とされる。
以１ユは全くよく知られたフィードバック制御系である
が、次に、シャッタ３が閉１１−１の状態においては、
受光レベル電圧ｖｍが零近くまで低−ドする。
が、次に、シャッタ３が閉１１−１の状態においては、
受光レベル電圧ｖｍが零近くまで低−ドする。
この低下を検出器１１において、適当な比較電圧ｖｒと
比較して検出し、その信ｒ、ｆによりアナログスイッチ
１２を端子Ｂに切り替え、加減抵ｔ）Ｃ１３により設定
された一定電圧Ｖ／を差分回路８に与える。電力制御回
路２においては、差分回路８より出力される、差電圧（
ｙｓ −ｖ７ ）に相当した制御がなされる。なお、一
定電Ｊｉｖ１の値としては、基準電圧Ｖｓとほぼ等しく
するものである。
比較して検出し、その信ｒ、ｆによりアナログスイッチ
１２を端子Ｂに切り替え、加減抵ｔ）Ｃ１３により設定
された一定電圧Ｖ／を差分回路８に与える。電力制御回
路２においては、差分回路８より出力される、差電圧（
ｙｓ −ｖ７ ）に相当した制御がなされる。なお、一
定電Ｊｉｖ１の値としては、基準電圧Ｖｓとほぼ等しく
するものである。
［発明の効果コ
以１−の説明により明らかなように、この発明による）
ンプ電夕；）制御回路によれば、ンヤッタの閉ｒｌ一時
においても、光源ランプに供給されるパワーには人きい
変動がなく、寿命の減退または破損などの危険が回避さ
れる。また、１：、ｌ−１的である、ウェハ而５の１１
（１度が一定に保たれることはいうまでもない。これら
により、この発明をマスク、ｏターンの投影露光装置に
適用するときは、光源ランプの！ｊ（１度を安定、確実
に一定に制御することができる効果が大きい。
ンプ電夕；）制御回路によれば、ンヤッタの閉ｒｌ一時
においても、光源ランプに供給されるパワーには人きい
変動がなく、寿命の減退または破損などの危険が回避さ
れる。また、１：、ｌ−１的である、ウェハ而５の１１
（１度が一定に保たれることはいうまでもない。これら
により、この発明をマスク、ｏターンの投影露光装置に
適用するときは、光源ランプの！ｊ（１度を安定、確実
に一定に制御することができる効果が大きい。
第１図はこの発明による、ランプ電源；１１’！御回路
をマスクパターン露光装置に適用した一実施例の構成図
、第２図はマスクパターン露光装置における従来のラン
プ電源制御回路の構成図である。 １・・・光源ランプ、 ２・・・電力制御回路、２
ａ・・・Ａ Ｃ４了、 ３・・・シャッタ、４・
・・ミラー、 ５・・・ウエノ１而、６・・
・照度センサ、 ７． ９． １４・・・ＡＭＰ
１８・・・差分回路、１０．１３・・・加減抵抗？；、
１−・・・検出’ＩＮ Ｎ ｌ ２・・・
アナログスイッチ、ｖｓ・・・基準電１１、 ｖ
ｍ・・・受光レベル電ｊ１、ｖ７・・・一定電圧、
ｖｒ・・・比較電圧。
をマスクパターン露光装置に適用した一実施例の構成図
、第２図はマスクパターン露光装置における従来のラン
プ電源制御回路の構成図である。 １・・・光源ランプ、 ２・・・電力制御回路、２
ａ・・・Ａ Ｃ４了、 ３・・・シャッタ、４・
・・ミラー、 ５・・・ウエノ１而、６・・
・照度センサ、 ７． ９． １４・・・ＡＭＰ
１８・・・差分回路、１０．１３・・・加減抵抗？；、
１−・・・検出’ＩＮ Ｎ ｌ ２・・・
アナログスイッチ、ｖｓ・・・基準電１１、 ｖ
ｍ・・・受光レベル電ｊ１、ｖ７・・・一定電圧、
ｖｒ・・・比較電圧。
Claims (1)
- 露光面を照射する、シャッタ付きのランプ光源において
、該露光面の近傍に、該シャッタの開放時に該露光面に
おける照度を計測する照度センサを設け、該シャッタの
閉止時に該照度センサの受光レベルの低下を検出する検
出器と、該検出器の出力信号により動作し、上記シャッ
タの開放時には上記照度センサの受光レベル電圧を、ま
た上記シャッタの閉止時には、一定の設定電圧に切り替
えてそれぞれを送出するアナログスイッチと、上記露光
面に対する基準照度における上記照度センサの出力電圧
に等しい基準電圧と上記受光レベル電圧との差電圧を出
力する差分回路、および該差電圧を入力して、上記露光
面の照度が上記基準照度となるように上記ランプ光源に
対する供給電力を制御する電力制御回路よりなることを
特徴とする、ランプ電源制御回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61191447A JPS6346726A (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 | ランプ電源制御回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61191447A JPS6346726A (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 | ランプ電源制御回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6346726A true JPS6346726A (ja) | 1988-02-27 |
Family
ID=16274774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61191447A Pending JPS6346726A (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 | ランプ電源制御回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6346726A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH088154A (ja) * | 1994-06-16 | 1996-01-12 | Nec Yamagata Ltd | 露光装置 |
| US8378587B2 (en) | 2008-04-24 | 2013-02-19 | Zedel | Lamp having self-regulated lighting |
-
1986
- 1986-08-15 JP JP61191447A patent/JPS6346726A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH088154A (ja) * | 1994-06-16 | 1996-01-12 | Nec Yamagata Ltd | 露光装置 |
| US8378587B2 (en) | 2008-04-24 | 2013-02-19 | Zedel | Lamp having self-regulated lighting |
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