JPS634654A - 半導体装置用ソケツト - Google Patents
半導体装置用ソケツトInfo
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- JPS634654A JPS634654A JP14690586A JP14690586A JPS634654A JP S634654 A JPS634654 A JP S634654A JP 14690586 A JP14690586 A JP 14690586A JP 14690586 A JP14690586 A JP 14690586A JP S634654 A JPS634654 A JP S634654A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 62
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体装置用ソケットに係り、特に、半導体
装置の信頼性を向上することができる技術に適用して有
効な技術に関するものである。
装置の信頼性を向上することができる技術に適用して有
効な技術に関するものである。
半導体装置用ソケットの一つである例えばゼロインサー
ション型コネクタは、上部コネクタ部材と下部コネクタ
部材からなり上部コネクタ部材を下部コネクタ部材に対
して前後方向に移動させて。
ション型コネクタは、上部コネクタ部材と下部コネクタ
部材からなり上部コネクタ部材を下部コネクタ部材に対
して前後方向に移動させて。
半導体装置のリードピンを挿入し、その後、前記上部コ
ネクタ部材を後方向又は前方向に移動して、半導体装置
のリードピンとコネクタのリードピンのソケットを電気
的に接続固定するものである。
ネクタ部材を後方向又は前方向に移動して、半導体装置
のリードピンとコネクタのリードピンのソケットを電気
的に接続固定するものである。
前記ゼロインサーション型コネクタは1日経マグロウヒ
ル社、1984.6.11発行の、日経エレクトロニク
ス別冊マイクロデバイセス、P206に記載されている
。
ル社、1984.6.11発行の、日経エレクトロニク
ス別冊マイクロデバイセス、P206に記載されている
。
前記ゼロインサーション型コネクタに搭載されるマイク
ロコンピュータ、ゲートアレイ等の論理用、RAM、R
OM等の記憶用半導体集積回路装置には、出力段回路(
データ出力バッファ回路)が設けられている6つまり、
半導体集積回路装置の出力信号は、内部回路から出力段
回路を通して外部端子(ボンディングバット)に伝達さ
れ、そこからゼロインサーション型コネクタを介して外
部測定装置に出力される。
ロコンピュータ、ゲートアレイ等の論理用、RAM、R
OM等の記憶用半導体集積回路装置には、出力段回路(
データ出力バッファ回路)が設けられている6つまり、
半導体集積回路装置の出力信号は、内部回路から出力段
回路を通して外部端子(ボンディングバット)に伝達さ
れ、そこからゼロインサーション型コネクタを介して外
部測定装置に出力される。
前記ゼロインサーション型コネクタに搭載された半導体
装置に出力信号を伝達する出力段回路は。
装置に出力信号を伝達する出力段回路は。
例えば、第8図に示すように、PチャネルMISFET
とnチャネルM I S FETとの相補型MISFE
T(以下、CMO8という)で構成されている。このC
MO9は、それぞれのゲート(G)電極が内部回路に接
続され、それぞれのドレイン(D)領域が外部端子に接
続されている。PチャネルMISFETのソース(S)
領域には、電源電圧(Vcc)用配線1例えば、回路の
動作電圧5[v]が接続されている。nチャネルMIS
FETのソース(S)領域には、基準電圧(Vss)用
配線1例えば、回路の接地電圧0[v]が接続されてい
る。半導体集積回路装置内部の電源電圧用配線、基準電
圧用配線、外部端子用配線のそれぞれは、インピーダン
ス(21〜ZS)を小さくするため、アルミニウム膜等
で構成されている。
とnチャネルM I S FETとの相補型MISFE
T(以下、CMO8という)で構成されている。このC
MO9は、それぞれのゲート(G)電極が内部回路に接
続され、それぞれのドレイン(D)領域が外部端子に接
続されている。PチャネルMISFETのソース(S)
領域には、電源電圧(Vcc)用配線1例えば、回路の
動作電圧5[v]が接続されている。nチャネルMIS
FETのソース(S)領域には、基準電圧(Vss)用
配線1例えば、回路の接地電圧0[v]が接続されてい
る。半導体集積回路装置内部の電源電圧用配線、基準電
圧用配線、外部端子用配線のそれぞれは、インピーダン
ス(21〜ZS)を小さくするため、アルミニウム膜等
で構成されている。
しかしながら、かかる技術における検討の結果。
次のような問題点が生じることを見出した。
前記ゼロインサーション型コネクタに搭載される半導体
集積回路装置は、高集積化によって論理数又は記憶数が
著しく増大する傾向にあり、併せて出力段回路数が増大
する傾向にある。このため。
集積回路装置は、高集積化によって論理数又は記憶数が
著しく増大する傾向にあり、併せて出力段回路数が増大
する傾向にある。このため。
複数の出力段回路が同時に動作、すなわち、ハイレベル
の出力信号からロウレベルの出力信号に動作した場合、
前記外部端子用配線の負荷容量(C)の放電電流による
大きな過渡電流により、半導体集積回路装置内部の基準
電圧用配線のインピーダンス(Z、)及び前記ゼロイン
サーション型コネクタから外部測定装置のグランド(G
N D)までのインピーダンス(z4)によって前記
グランド(GND)に電位変動(ノイズ)が生じる。そ
して。
の出力信号からロウレベルの出力信号に動作した場合、
前記外部端子用配線の負荷容量(C)の放電電流による
大きな過渡電流により、半導体集積回路装置内部の基準
電圧用配線のインピーダンス(Z、)及び前記ゼロイン
サーション型コネクタから外部測定装置のグランド(G
N D)までのインピーダンス(z4)によって前記
グランド(GND)に電位変動(ノイズ)が生じる。そ
して。
基準電圧用配線は出力段回路と入力段回路とで共通に構
成されており、前記基準電圧用配線のインピーダンス(
2+)及び前記ゼロインサーション型コネクタから外部
測定装置のグランド(G N D)までのインピーダン
ス(Z4)が大きいと、入力段回路に接続される半導体
集積回路装置内部の基準電圧用配線の電位は、大きく変
動してしまう。
成されており、前記基準電圧用配線のインピーダンス(
2+)及び前記ゼロインサーション型コネクタから外部
測定装置のグランド(G N D)までのインピーダン
ス(Z4)が大きいと、入力段回路に接続される半導体
集積回路装置内部の基準電圧用配線の電位は、大きく変
動してしまう。
この入力段回路に接続される基準電圧用配線の大きな電
位変動は、前記電源電圧用配線に接続された回路の動作
電圧5[v]との電位差を小さくしてしまうので、入力
段回路に誤動作を生じさせる。
位変動は、前記電源電圧用配線に接続された回路の動作
電圧5[v]との電位差を小さくしてしまうので、入力
段回路に誤動作を生じさせる。
このため、半導体集積回路装置の電気的信頼性が低下す
る。
る。
本発明の目的は、半導体装置を搭載する半導体用ソケッ
トにおいて、前記半導体装置の電気的信頼性を向上する
ことが可能な技術を提供することにある。
トにおいて、前記半導体装置の電気的信頼性を向上する
ことが可能な技術を提供することにある。
本発明の他の目的は、半導体装置を搭載する半導体装置
用ソケットにおいて、半導体装置の出力段回路に接続さ
れる半導体装置用ソケットの回路接地電位あるいは回路
動作電位の変動による入力段回路の誤動作を防止するこ
とが可能な技術を提供することにある。
用ソケットにおいて、半導体装置の出力段回路に接続さ
れる半導体装置用ソケットの回路接地電位あるいは回路
動作電位の変動による入力段回路の誤動作を防止するこ
とが可能な技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は1本
明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う。
明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う。
本願において開示される発明のうち1代表的なものの概
要を説明すれば、下記のとおりである。
要を説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、半導体装置用ソケットにおいて、該ソケット
の表面の一部又は内部に回路接地電位あるいは回路動作
電位領域を設け、該回路接地電位あるいは回路動作電位
領域にリード線を電気的に接続した半導体装置用ソケッ
トである。
の表面の一部又は内部に回路接地電位あるいは回路動作
電位領域を設け、該回路接地電位あるいは回路動作電位
領域にリード線を電気的に接続した半導体装置用ソケッ
トである。
前記した手段によれば、ソケットの表面の一部又は内部
に回路接地電位あるいは回路動作電位領域を設け、該回
路接地電位あるいは回路動作電位領域にリード線を電気
的に接続したことにより。
に回路接地電位あるいは回路動作電位領域を設け、該回
路接地電位あるいは回路動作電位領域にリード線を電気
的に接続したことにより。
半導体装置の出力段回路に接続される回路接地電位ある
いは回路動作電位用リードのインピーダンスを低減する
ので、半導体装置の電気的信頼性を向上することができ
、かつ、前記電位の変動による入力段回路の誤動作を防
止することができる。
いは回路動作電位用リードのインピーダンスを低減する
ので、半導体装置の電気的信頼性を向上することができ
、かつ、前記電位の変動による入力段回路の誤動作を防
止することができる。
以下、本発明を一実施例とともに説明する。
なお、全図において、同一の機能を有するものは同一の
符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
第1図乃至第3図は1本発明の半導体装置用ソケットを
ゼロインサーション型コネクタに適用した実施例Iの半
導体装置用ソケットを説明するための図であり。
ゼロインサーション型コネクタに適用した実施例Iの半
導体装置用ソケットを説明するための図であり。
第1図は、ゼロインサーション型コネクタの概略構成を
示す斜視図。
示す斜視図。
第2図は、第1図に示す下部コネクタ部材の斜視図。
第3図は、第1図に示す■−■切断線で切った断面図で
ある。
ある。
本実施例Iのゼロインサーション型コネクタは。
第1図に示すように、絶縁体の下部コネクタ部材1の上
に摺動自在に絶縁体の上部コネクタ部材2が取り付いて
いる。そして、前記上部コネクタ部材2を前後方向に、
移動させるレバー部材3が取り付けられている。
に摺動自在に絶縁体の上部コネクタ部材2が取り付いて
いる。そして、前記上部コネクタ部材2を前後方向に、
移動させるレバー部材3が取り付けられている。
なお、第1図において、4はゼロインサーション型コネ
クタに実装されたピン・グリッド・アレイ(PGA)型
の半導体装置である。
クタに実装されたピン・グリッド・アレイ(PGA)型
の半導体装置である。
前記上部コネクタ部材2は、第1図に示すように、半導
体装置4を実装するためリードピン挿入用の挿入穴2A
が複数個、例えば数十〜数百個。
体装置4を実装するためリードピン挿入用の挿入穴2A
が複数個、例えば数十〜数百個。
設けられている。また、上部コネクタ部材2の中央部に
は、上部コネクタ部材2を前記下部コネクタ部材1に摺
動自在に取り付けるための摺動部材に示すように、前記
下部コネクタ部材lは、回路接地電位あるいは回路動作
電位用の導電層5を上下表面に設けられている。この上
下表面に設けられた導1!M5は、網状のリード線6と
電気的に接続されている。この網状のリード線6は、外
部装置の回路接地電位あるいは回路動作電位用線に接続
される。
は、上部コネクタ部材2を前記下部コネクタ部材1に摺
動自在に取り付けるための摺動部材に示すように、前記
下部コネクタ部材lは、回路接地電位あるいは回路動作
電位用の導電層5を上下表面に設けられている。この上
下表面に設けられた導1!M5は、網状のリード線6と
電気的に接続されている。この網状のリード線6は、外
部装置の回路接地電位あるいは回路動作電位用線に接続
される。
また、下部コネクタ部材1は、前記上部コネクタ部材2
の挿入穴2Aと同じ位置に半導体装置4を実装する係合
穴IAが前記挿入穴2Aと同じ数だけ設けられ、その係
合穴IAの周辺をリング状の絶縁体フが設けられている
。そして、下部コネクタ部材1の下面には、ゼロインサ
ーション型コネクタの電気信号用のリードIB及び回路
接地電位あるいは回路動作電位用のリードICが設けら
れる。
の挿入穴2Aと同じ位置に半導体装置4を実装する係合
穴IAが前記挿入穴2Aと同じ数だけ設けられ、その係
合穴IAの周辺をリング状の絶縁体フが設けられている
。そして、下部コネクタ部材1の下面には、ゼロインサ
ーション型コネクタの電気信号用のリードIB及び回路
接地電位あるいは回路動作電位用のリードICが設けら
れる。
また、第3図に示すように、前記リードIBは。
前記半導体装置4の電気信号用のリード4Aと電気的に
接続され、前記リードICは、半導体装置4の回路接地
電位あるいは回路動作電位用のリード4Bと電気的に接
続される。
接続され、前記リードICは、半導体装置4の回路接地
電位あるいは回路動作電位用のリード4Bと電気的に接
続される。
また、前記リードICは、半田8により、前記導電層5
と電気的に接続される。
と電気的に接続される。
以上の説明かられかるように、この実施例Iによれば、
前記ゼロインサーション型コネクタの下部コネクタ部材
lの上下表面に回路接地電位あるいは回路動作電位用の
導電層5を設け、該回路接地電位あるいは回路動作電位
用の導電層5にり一ド[6を電気的に接続したことによ
り、半導体装14の回路接地電位あるいは回路動作電位
用のリード4Bに接続される回路接地電位あるいは回路
動作電位用のリードICのインピーダンスを低減するの
で、電位変動による入力段回路の誤動作を防止すること
ができる。これにより、半導体装置4の電気的信頼性を
向上することができる。
前記ゼロインサーション型コネクタの下部コネクタ部材
lの上下表面に回路接地電位あるいは回路動作電位用の
導電層5を設け、該回路接地電位あるいは回路動作電位
用の導電層5にり一ド[6を電気的に接続したことによ
り、半導体装14の回路接地電位あるいは回路動作電位
用のリード4Bに接続される回路接地電位あるいは回路
動作電位用のリードICのインピーダンスを低減するの
で、電位変動による入力段回路の誤動作を防止すること
ができる。これにより、半導体装置4の電気的信頼性を
向上することができる。
第4図は、本実施例Hの半導体装置用ソケット(ゼロイ
ンサーション型コネクタ)の下部コネクタ部材の概略構
成を示す斜視図である。
ンサーション型コネクタ)の下部コネクタ部材の概略構
成を示す斜視図である。
本実施例Hの半導体装置用ソケットは、前記実施例1の
下部コネクタ部材1に設けられた導電届5を下部コネク
タ部材1の側面部に設けたものである。このようにする
ことにより、前記実施例■のようにリング状の絶縁体を
いちいち設けることの必要がなく、前記実施例■と同様
の効果を奏することができる。
下部コネクタ部材1に設けられた導電届5を下部コネク
タ部材1の側面部に設けたものである。このようにする
ことにより、前記実施例■のようにリング状の絶縁体を
いちいち設けることの必要がなく、前記実施例■と同様
の効果を奏することができる。
第5図は1本実施例■の半導体装置用ソケット(ゼロイ
ンサーション型コネクタ)の下部コネクタ部材の概略構
成を示す斜視図である。
ンサーション型コネクタ)の下部コネクタ部材の概略構
成を示す斜視図である。
本実施例■の半導体装置用ソケットは、前記実施例■の
下部コネクタ部材1に設けられた導fl!ys5及び前
記実施例Hの側面部に設けられた導電層5を一体にして
導電層9を構成したものである。
下部コネクタ部材1に設けられた導fl!ys5及び前
記実施例Hの側面部に設けられた導電層5を一体にして
導電層9を構成したものである。
このようにすることにより1回路接地型位あるいは回路
動作電位用のリードICのインピーダンスを一層低減す
るので、電位変動による入力段回路の誤動作を確実に防
止することができる。
動作電位用のリードICのインピーダンスを一層低減す
るので、電位変動による入力段回路の誤動作を確実に防
止することができる。
第6図は1本実施例■の半導体装置用ソケット(ゼロイ
ンサーション型コネクタ)の下部コネクタ部材の概略構
成を示す斜視図である。
ンサーション型コネクタ)の下部コネクタ部材の概略構
成を示す斜視図である。
本実施例■の半導体装置用ソケットは、前記実施例Iの
下部コネクタ部材1を導電体の下部コネクタ部材10と
して、半導体装置4のリードIA。
下部コネクタ部材1を導電体の下部コネクタ部材10と
して、半導体装置4のリードIA。
IBのコンタクト部分のみリング状の絶縁体11を設け
たものである。このようにすることにより。
たものである。このようにすることにより。
回路接地電位あるいは回路動作電位用のリードICのイ
ンピーダンスを一層低減するので、電位変動による入力
段回路の誤動作を確実に防止することができる。
ンピーダンスを一層低減するので、電位変動による入力
段回路の誤動作を確実に防止することができる。
第7図は1本実施例■の半導体装置用ソケット(ゼロイ
ンサーション型コネクタ)の下部コネクタ部材の概略構
成を示す斜視図である。
ンサーション型コネクタ)の下部コネクタ部材の概略構
成を示す斜視図である。
本実施例Vの半導体袋口用ソケットは、前記実施例Iの
下部コネクタ部材1を多層配線技術により、絶縁層12
を介して導W1膜13を複数P!J設け、この導電膜1
3をスルーホール等により電気的に接続して多層配線型
の下部コネクタ部材14を構成したものである。このよ
うにすることにより。
下部コネクタ部材1を多層配線技術により、絶縁層12
を介して導W1膜13を複数P!J設け、この導電膜1
3をスルーホール等により電気的に接続して多層配線型
の下部コネクタ部材14を構成したものである。このよ
うにすることにより。
回路接地電位あるいは回路動作電位用のリードICのイ
ンピーダンスを一層低減するので、電位変動による入力
段回路の誤動作を確実に防止することができる。
ンピーダンスを一層低減するので、電位変動による入力
段回路の誤動作を確実に防止することができる。
以上1本発明を実施例にもとずき具体的に説明したが、
本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その
要旨を逸脱しない範囲において種々変形可能であること
はいうまでもない。
本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その
要旨を逸脱しない範囲において種々変形可能であること
はいうまでもない。
例えば、前記実施例では1本発明をピン・グリッド・ア
レイ(PGA)ワイヤボンディング型の半導体装置を搭
載するゼロインサーション型コネクタに適用した例で説
明したが1本発明は、プラスチック・リープイド・チッ
プ・キャリア型の半導体装置を搭載する半導体装置用ソ
ケットにも適用できることは勿論である。
レイ(PGA)ワイヤボンディング型の半導体装置を搭
載するゼロインサーション型コネクタに適用した例で説
明したが1本発明は、プラスチック・リープイド・チッ
プ・キャリア型の半導体装置を搭載する半導体装置用ソ
ケットにも適用できることは勿論である。
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりであ
る。
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりであ
る。
(1)半導体装置用ソケットにおいて、該ソケットの表
面の一部又は内部に回路接地電位あるいは回路動作電位
領域を設け、該回路接地電位あるいは回路動作電位領域
にリード線を電気的に接続したことにより、半導体装置
の回路接地電位あるいは回路動作電位用リードに接続さ
れる半導体装置用ソケットの回路接地電位あるいは回路
動作電位用のリードのインピーダンスを低減するので、
電位変動による入力段回路の誤動作を防止することがで
きる。
面の一部又は内部に回路接地電位あるいは回路動作電位
領域を設け、該回路接地電位あるいは回路動作電位領域
にリード線を電気的に接続したことにより、半導体装置
の回路接地電位あるいは回路動作電位用リードに接続さ
れる半導体装置用ソケットの回路接地電位あるいは回路
動作電位用のリードのインピーダンスを低減するので、
電位変動による入力段回路の誤動作を防止することがで
きる。
(2)前記(1)により、半導体装置の電気的信頼性を
向上することができる。
向上することができる。
第1図は、ゼロインサーション型コネクタの概略構成を
示す斜視図、 第2図は、第1図に示す下部コネクタ部材の斜視図。 第3図は、第1図に示す■−■切断線で切った断面図。 第4図は、本実施例■の半導体装置用ソケット(ゼロイ
ンサーション型コネクタ)の下部コネク夕部材の概略構
成を示す斜視図。 第5図は1本実施例■の半導体装置用ソケット(ゼロイ
ンサーション型コネクタ)の下部コネクタ部材の概略構
成を示す斜視図。 第6図は、本実施例■の半導体装置用ソケット(ゼロイ
ンサーション型コネクタ)の下部コネクタ部材の概略構
成を示す斜視図。 第7図は1本実施例Vの半導体装置用ソケット(ゼロイ
ンサーション型コネクタ)の下部コネクタ部材の概略構
成を示す斜視図、 第8図は、従来の問題点を示す等価回路図である。 図中、1・・・下部コネクタ部材、IA・・・係合穴。 IB・・・電気信号用のリード、IC・・・回路接地電
位あるいは回路動作電位用のリード、2・・・上部コネ
クタ部材、2A・・・挿入穴、3・・・レバー部材、4
・・・半導体装置、4A・・・電気信号用のリード、4
B・・・回路接地電位あるいは回路動作電位用のリード
。 5・・・導W1M、6・・・リード線、7・・・絶縁体
、8・・・半田、9・・・導電層、10・・・下部コネ
クタ部材、11・・・絶縁体、12・・・絶am、13
・・・導電膜である。 第 1 図 Cリ−)′*炙 第 2 図 第 3 図 //35μ 第 4 図 /A 第 5 図 第 6 図 第 7 図 /A 第 8 図
示す斜視図、 第2図は、第1図に示す下部コネクタ部材の斜視図。 第3図は、第1図に示す■−■切断線で切った断面図。 第4図は、本実施例■の半導体装置用ソケット(ゼロイ
ンサーション型コネクタ)の下部コネク夕部材の概略構
成を示す斜視図。 第5図は1本実施例■の半導体装置用ソケット(ゼロイ
ンサーション型コネクタ)の下部コネクタ部材の概略構
成を示す斜視図。 第6図は、本実施例■の半導体装置用ソケット(ゼロイ
ンサーション型コネクタ)の下部コネクタ部材の概略構
成を示す斜視図。 第7図は1本実施例Vの半導体装置用ソケット(ゼロイ
ンサーション型コネクタ)の下部コネクタ部材の概略構
成を示す斜視図、 第8図は、従来の問題点を示す等価回路図である。 図中、1・・・下部コネクタ部材、IA・・・係合穴。 IB・・・電気信号用のリード、IC・・・回路接地電
位あるいは回路動作電位用のリード、2・・・上部コネ
クタ部材、2A・・・挿入穴、3・・・レバー部材、4
・・・半導体装置、4A・・・電気信号用のリード、4
B・・・回路接地電位あるいは回路動作電位用のリード
。 5・・・導W1M、6・・・リード線、7・・・絶縁体
、8・・・半田、9・・・導電層、10・・・下部コネ
クタ部材、11・・・絶縁体、12・・・絶am、13
・・・導電膜である。 第 1 図 Cリ−)′*炙 第 2 図 第 3 図 //35μ 第 4 図 /A 第 5 図 第 6 図 第 7 図 /A 第 8 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、半導体装置用ソケットにおいて、該ソケットの表面
の一部又は内部に回路接地電位あるいは回路動作電位領
域を設け、該回路接地電位あるいは回路動作電位領域に
リード線を電気的に接続したことを特徴とする半導体装
置用ソケット。 2、前記ソケット表面の一部は、当該ソケットの側面部
であることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の半
導体装置用ソケット。 3、前記ソケット表面の一部は、該ソケットを導電性物
体で構成し、コンタクト部のみ絶縁性物体を介在させて
成ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の半導
体装置用ソケット。 4、前記内部に回路接地電位あるいは回路動作電位領域
は、多層配線技術を用いて形成して成ることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項記載の半導体装置用ソケット。 5、前記リードは、網線等から成ることを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の半導体装置用ソケット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14690586A JPS634654A (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 | 半導体装置用ソケツト |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14690586A JPS634654A (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 | 半導体装置用ソケツト |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS634654A true JPS634654A (ja) | 1988-01-09 |
Family
ID=15418223
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14690586A Pending JPS634654A (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 | 半導体装置用ソケツト |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS634654A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7389813B2 (en) | 1999-02-12 | 2008-06-24 | Asml Holding N.V. | Systems and methods for controlling local environment |
-
1986
- 1986-06-25 JP JP14690586A patent/JPS634654A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7389813B2 (en) | 1999-02-12 | 2008-06-24 | Asml Holding N.V. | Systems and methods for controlling local environment |
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