JPS6346309B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は弁板を弁座に圧接して流体管路を閉止
する弁装置に係り、特に遊星歯車でもつて弁板を
兼用した弁装置に関する。

弁板を弁座に圧接して流体管路を閉止するタイ
プの弁装置は真空系管路に使用する弁装置として
特に重要であるが、一般的にはその機構が複雑で
且つ大型のものが多かつた。

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、遊
星歯車機構の原理を利用して簡易な機構で小型に
製作し得る弁装置を提供することを目的としてい
る。

以下図面に従つて本発明の実施例について説明
する。

第１図は本発明に係る弁装置の実施例の部分破
断斜視図、第２図は同じく部分破断平面図であ
る。

環状の筐体１０の両面には円板状の側面１１と
１１′がＯリング１２と１２′を介して気密に冠着
されている。弁箱は筐体１０と側板１１，１１′
とから構成され、側板１１と１１′には中心から
外れた位置に相対向して開口部１３がそれぞれ設
けられていて、これら開口部には配管１４がそれ
ぞれ気密に接続されていて全体として流体管路を
構成している。

また側板の内部には円弧状に形成した内歯歯車
１５が固設されてあり、その一端側所定個所には
後述する遊星歯車を当接停止するための適宜形状
のストツパ１６が前記側板の内部に設けられてい
る。１７は弁座部であつて、開口部１３と同位置
かつ側板の内部側に設けられている。

３０はモータであつて、このモータの軸にはウ
オーム３１が同軸に取付けられてあり、ウオーム
３１はウオームホイール３２と咬合うことによ
り、回転トルクの方向を直角に偏向させ、一方ウ
オームホイール３２の軸３２１の先端にはスパイ
ラル歯車（ねじ歯車）３３が取付けられている。
もう一つのスパイラル歯車３４は前記スパイラル
歯車３３と咬合つており、スパイラル歯車３４の
軸は後述の駆動歯車３７の軸と平行となるように
構成されている。駆動部はモータ３０からスパイ
ラル歯車３３にいたる駆動機構からなつている。

しかして側板１１の所要位置には小径の軸孔３
６が開設されていて、前記スパイラル歯車３４に
直結した駆動軸３４１はブツシング３５を介し
て、軸孔３６を気密でかつ軸方向変位自在に貫通
し、回転トルクを筐体１０の内部に設けた駆動歯
車（太陽歯車）３７に伝えるように構成されてい
る。また３８はスプリングであつて、スパイラル
歯車３４とブツシング３５との間隙に一定力にて
圧縮された状態で駆動軸３４１に遊嵌されてい
る。駆動歯車３７と駆動軸３４１の関係は図示の
とおりピン３４Ｐを介して回転方向および軸方向
との一体的に結合されている。しかもこの駆動歯
車３７は中央部が凸状をなしてその段部が押え板
４０の溝４０′に挿入された形で係止されている。

３９は弁板を兼ねる遊星歯車であつて、この遊
星歯車３９は前記内歯歯車１５の内歯と噛合する
一方、レバ状の押え板４０でもつて駆動歯車３７
と一定の関係で結合されている。なお遊星歯車３
９には弁座部と対応した位置にＯリング４１が設
けられて弁座部を圧接した際に気密性が保持され
るようになつている。なお４２はウオーム３１、
ウオームホイール３２、スパイラル歯車３３，３
４等を保持するためのハウジングであつて、側板
１１に固設されている。また遊星歯車３９の突起
部４３（第２図参照）は押え板４０の段付孔４４
に緩嵌しており、凸部を接して互に逆向きに配設
された２枚の球面状スプリングワツシヤ４５，４
５を介してボルト４６で軸支されている。

次に上記のように構成した実施例についてその
動作を説明する。

電源入りによりモータ３０は回転するが、その
回転トルクは前述の如く、ウオーム３１、ウオー
ムホイール３２、スパイラル歯車３３、スパイラ
ル歯車３４そして駆動軸３４１の順に伝達され
る。その際にスパイラル歯車３４はスパイラル歯
車３３によつて回転トルクが伝達されると同時に
軸方向の分力であるスラスト力も発生する。しか
し軸方向の分力はスプリング３８のバネ力の方が
大きいので駆動歯車３７が回転しうる期間は前記
スパイラル歯車３４は回転力のみ伝達する。

駆動歯車３７の回転はこれと咬合つている遊星
歯車に伝達される結果、遊星歯車３９は内歯歯車
１５によつて案内されつゝ、第１図に図示した矢
印方向に公転運動し、弁座部１７の直上に来たと
き、ストツパ１６に当接して停止する。

遊星歯車３９が停止することにより、これと咬
合つている駆動歯車３７も回転を停止する。

しかしこの際、モータ３０は更に回転を続けよ
うとするが前述の如く駆動歯車３７が停止してい
るためスパイラル歯車３４は回転することができ
ず、伝達された回転トルクは軸方向の分力である
スラスト力として現われ、前記スパイラル歯車３
４は軸方向へ移動しようとする。

一方スパイラル歯車３４に固設されている駆動
軸３４１が遊嵌する側板１１′の軸穴４７は軸方
向に余裕を持たせて穿設されているので、スパイ
ラル歯車３４は前述の軸方向分力により、スプリ
ング３８のバネ力（圧縮力）に抗して軸方向に移
動し、駆動軸３４１を介して駆動歯車３７を下方
に押す。するとこの歯車３７に係止された押え板
４０はその他端、即ち遊星歯車３９側の端部に形
成された凸部４０Ｓを支点とし突起部４３を作用
点とするテコとして機能し、遊星歯車３９すなわ
ち弁板を倍増の力で弁座部の方向に押圧し、流体
管路を閉止する。この際遊星歯車３９は前述の如
く余裕をもつて押え板４０の段付孔４４に緩嵌軸
支されているので、遊星歯車３９は弁座部１７に
対して均一に無理なく圧接される。そして弁座部
１７が遊星歯車３９によつて圧接閉止されると、
図示しないリミツトスイツチにより、モータの電
源は断となり、モータ３０は停止する。尚この場
合、スプリング３８の複元力によつてスパイラル
歯車３４は逆転しようとするトルクが発生する
が、ウオームホイール３２とウオーム３１によつ
て逆転が阻止されるので、スパイラル歯車３４は
軸方向に移動したまゝ、復帰できず、従つて遊星
歯車３９は弁座部１７に圧接された状態で保持さ
れる。

次にモータ３０を前述と逆方向に回転すると、
前述と逆の経過をたどり、開口部は開放され、流
体の移動は自由となる。なお上記実施例において
は、駆動源としてモータを使用した場合について
説明したが、本発明はこれに限定されることな
く、油圧モータ等を使用することも可能であり、
またエアシリンダ等による往復運動を利用して、
ヘリカルラツクを介してスパイラル歯車３４を直
接駆動させることも勿論可能である。

以上説明した如く本発明は一連の減速歯車列の
うちの遊星歯車を弁板に兼用すると共に、弁板の
移動、弁板の弁座部への圧接等の動作をねじ歯車
によつて駆動を行うとき発生する回転力およびス
ラスト力を用いて行わせているので、簡易な構造
で小型化し得る効果を有すると共に、弁板を弁座
に圧接し得るので特に真空管路用弁装置として有
効である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る実施例の部分破断斜視
図、第２図は同じく部分破断平面図である。 １０……筐体、１５……内歯歯車、１６……ス
トツパ、１７……弁座部、３０……モータ、３１
……ウオーム、３２……ウオーム歯車、３３，３
４……スパイラル歯車、３８……スプリング、３
７……駆動歯車、３９……遊星歯車、４０……押
え板、３４１……駆動軸。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 弁箱内に設けられた太陽歯車および弁箱内の
   周壁近くに形成された内歯歯車に噛合する遊星歯
   車が前記弁箱の側板に設けられた弁座部に圧接さ
   れることにより流体管路を閉止する弁装置であつ
   て、前記遊星歯車を前記弁座部の位置に停止させ
   るストツパと、前記太陽歯車に回動自在に連結さ
   れると共に前記遊星歯車が回動自在に取り付けら
   れた押え板と、前記弁箱の側板の一方を挿通し前
   記太陽歯車に連結された駆動軸と、この駆動軸に
   取り付けられたねじ歯車と、このねじ歯車を駆動
   して前記駆動軸に回転力およびスラスト力を与え
   る駆動部とを備え、前記ストツパによつて前記遊
   星歯車の移動が停止させられると、前記スラスト
   力による駆動軸の移動によつて生じる前記押え板
   の前記遊星歯車側の端部を支点とする移動により
   前記遊星歯車を前記弁座部に圧接させることを特
   徴とする弁装置。