JPS6344937A - マクロ網状ポリマ−スカベンジャ− - Google Patents
マクロ網状ポリマ−スカベンジャ−Info
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- JPS6344937A JPS6344937A JP62179253A JP17925387A JPS6344937A JP S6344937 A JPS6344937 A JP S6344937A JP 62179253 A JP62179253 A JP 62179253A JP 17925387 A JP17925387 A JP 17925387A JP S6344937 A JPS6344937 A JP S6344937A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
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- C01B6/00—Hydrides of metals including fully or partially hydrided metals, alloys or intermetallic compounds ; Compounds containing at least one metal-hydrogen bond, e.g. (GeH3)2S, SiH GeH; Monoborane or diborane; Addition complexes thereof
- C01B6/06—Hydrides of aluminium, gallium, indium, thallium, germanium, tin, lead, arsenic, antimony, bismuth or polonium; Monoborane; Diborane; Addition complexes thereof
- C01B6/065—Hydrides of arsenic or antimony
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
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- B01J49/05—Regeneration or reactivation of ion-exchangers; Apparatus therefor of fixed beds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
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- C01B25/06—Hydrogen phosphides
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ヒ素化合物またはリン化合物によって官能化
されたマクロ網状ポリマースカベンジャーに関する。本
発明は特に水素化ヒ素およびホスフィンから酸化体（ｏ
ｘｉｄａｎｔ）、プロトン性酸（ｐｒｏｔｉｃ ａｃｉ
ｄ）および金属化可能な化合物を除くためのこれらのス
カベンジャーの使用に関する。
されたマクロ網状ポリマースカベンジャーに関する。本
発明は特に水素化ヒ素およびホスフィンから酸化体（ｏ
ｘｉｄａｎｔ）、プロトン性酸（ｐｒｏｔｉｃ ａｃｉ
ｄ）および金属化可能な化合物を除くためのこれらのス
カベンジャーの使用に関する。
半導体産業において使用される反応体ガス中の不純物（
例えば水、酸素および二酸化炭素）の存在は、半導体の
性質に望ましくない変化を生じさせる。これらの性質に
は励起状態での光学的寿命（太陽電池の場合）、エビタ
クシ−（ｅｐｉｔａｘｙ）および電気抵抗率が含まれる
。従って、高純度の気体流を得る方法が望まれるであろ
う。
例えば水、酸素および二酸化炭素）の存在は、半導体の
性質に望ましくない変化を生じさせる。これらの性質に
は励起状態での光学的寿命（太陽電池の場合）、エビタ
クシ−（ｅｐｉｔａｘｙ）および電気抵抗率が含まれる
。従って、高純度の気体流を得る方法が望まれるであろ
う。
今や、半導体用のドーピング剤として一般に使用される
水素化ヒ素およびホスフィンから酸素、水、二酸化炭素
のような不純物を除くことができることが判明した。不
純物は精製すべき気体をマクロ網状ポリマースカベンジ
ャーと接触させることにより除かれる。
水素化ヒ素およびホスフィンから酸素、水、二酸化炭素
のような不純物を除くことができることが判明した。不
純物は精製すべき気体をマクロ網状ポリマースカベンジ
ャーと接触させることにより除かれる。
４一
本発明のマクロ網状ポリマースカベンジャーは（１）水
素化ヒＭおよびホスフィンよりなる群から選ばれた水素
化物と、（２）一般式： ％式％ （式中Ａｒは］−〜３個の環を含む芳香族炭化水素基で
あり、Ｒ□才９よびＲ２は同一・かまたは相異なり、水
素原子および炭素原子数１−１．２のアルキル炭化水素
基よりなる群から選ばれ、そしてＭはナトリウム、カリ
ウムおよびリチウｌ＼よりなる群から選ばれる金属であ
る） で表される側鎖官能基またはそれらの官能基の混合物を
多数もつ金属化マクロ網状ポリマーであって、その細孔
中に炭素数１〜１２のアルキル化合物および水素化物よ
りなる群から選ばれたＭの化合物、またはそれらの混合
物を含むものを反応させることからなる。
素化ヒＭおよびホスフィンよりなる群から選ばれた水素
化物と、（２）一般式： ％式％ （式中Ａｒは］−〜３個の環を含む芳香族炭化水素基で
あり、Ｒ□才９よびＲ２は同一・かまたは相異なり、水
素原子および炭素原子数１−１．２のアルキル炭化水素
基よりなる群から選ばれ、そしてＭはナトリウム、カリ
ウムおよびリチウｌ＼よりなる群から選ばれる金属であ
る） で表される側鎖官能基またはそれらの官能基の混合物を
多数もつ金属化マクロ網状ポリマーであって、その細孔
中に炭素数１〜１２のアルキル化合物および水素化物よ
りなる群から選ばれたＭの化合物、またはそれらの混合
物を含むものを反応させることからなる。
本発明のマクロ網状ポリマースカベンジャーは、水素化
ヒ素またはホスフィンを金属化マクロ網状ポリマーと反
応させることにより製造される。金属化ポリマーの出発
物質として使用するマクロ網状ポリマーは、本発明者ら
の米国特許出願第６５５８５６号に開示されている。
ヒ素またはホスフィンを金属化マクロ網状ポリマーと反
応させることにより製造される。金属化ポリマーの出発
物質として使用するマクロ網状ポリマーは、本発明者ら
の米国特許出願第６５５８５６号に開示されている。
金属化はマクロ網状ポリマーを化学量論的過剰のリチウ
ム、ナトリウムまたはカリウムのアルキル化合物（アル
キル基は炭素数１〜１２のアルキル基である）を含む溶
液と接触させることにより達成される。ｎ−ブチルリチ
ウムが好適である。金属アルキル化合物用の代表的溶剤
には脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素およびエーテル類
が含まれる。
ム、ナトリウムまたはカリウムのアルキル化合物（アル
キル基は炭素数１〜１２のアルキル基である）を含む溶
液と接触させることにより達成される。ｎ−ブチルリチ
ウムが好適である。金属アルキル化合物用の代表的溶剤
には脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素およびエーテル類
が含まれる。
金属化は常温常圧で実施される。接触時間は一般に約１
０分から約１０時間までの範囲である。過剰の金属化剤
が使用されるので、未反応金属化剤はマクロ網状ポリマ
ーを細孔中に残存する。未反応試薬はポリマーの官能基
に固定された金属にかたまって強く結合していると考え
られる６ 上記方法で製造される金属化マクロ網状ポリマーは、一
般式： ％式％ で表される多数の側鎖金属化官能基またはそれらの官能
基の混合物を有する。
０分から約１０時間までの範囲である。過剰の金属化剤
が使用されるので、未反応金属化剤はマクロ網状ポリマ
ーを細孔中に残存する。未反応試薬はポリマーの官能基
に固定された金属にかたまって強く結合していると考え
られる６ 上記方法で製造される金属化マクロ網状ポリマーは、一
般式： ％式％ で表される多数の側鎖金属化官能基またはそれらの官能
基の混合物を有する。
Ａｒは１〜３個の環を含む芳香族炭化水素基であり、イ
列えばフェニレン、ナフタレン、アン１ヘラセン、フル
オレニレンなどである。フェニレンが好適である。
列えばフェニレン、ナフタレン、アン１ヘラセン、フル
オレニレンなどである。フェニレンが好適である。
Ｒ□およびＲ２は同一かまたは相異なり、水素原子およ
び炭素原子数１〜１２のアルキル炭化水素基である。代
表的なアルキル炭化水素基には、メチル、エチル、プロ
ピル、ブチル、ペンチル、ヘキシル、オクチル、デシル
およびドデシル（これらの基の種々の異性体を含む）が
含まれる。
び炭素原子数１〜１２のアルキル炭化水素基である。代
表的なアルキル炭化水素基には、メチル、エチル、プロ
ピル、ブチル、ペンチル、ヘキシル、オクチル、デシル
およびドデシル（これらの基の種々の異性体を含む）が
含まれる。
Ｍはリチウム、ナトリウムおよびカリウｌＮよりなる群
から選ばれる金属である。
から選ばれる金属である。
いくつかの用途のために、金属化マクロ網状ポリマーは
熱エージング処理を施すことが望ましい。
熱エージング処理を施すことが望ましい。
熱エージング処理はそのポリマーを高温（好ましくは約
１４０〜２５０°Ｃ）で数時間（好ましくは６時間以上
）加熱することを伴う。従って加熱時間および温度に応
じて、ポリマー細孔中の未反応金属アルキル化合物の一
部または全部は分解されて、対応する金属水素化物を形
成する。熱エージングは、ガス状反応生成物を真空下で
又は不活性ガスパージ下で除去することにより望ましく
ない副反応を防止する方法で実施される。
１４０〜２５０°Ｃ）で数時間（好ましくは６時間以上
）加熱することを伴う。従って加熱時間および温度に応
じて、ポリマー細孔中の未反応金属アルキル化合物の一
部または全部は分解されて、対応する金属水素化物を形
成する。熱エージングは、ガス状反応生成物を真空下で
又は不活性ガスパージ下で除去することにより望ましく
ない副反応を防止する方法で実施される。
金属化マクロ網状ポリマーと水素化ヒ素またはホスフィ
ンとを反応させて本発明のマクロ網状ポリマースカベン
ジャーを形成する反応は発熱的である。水素化ヒ素また
はホスフィンの放出速度は、床温度の増加が決して５０
℃より高くならないように、反応を穏やかに制御しなけ
ればならない。その放出速度は水素化ヒ素またはホスフ
ィンをキャリアー気体（例えば水素）で稀釈するか、あ
るいは濃厚な水素化ヒ素またはホスフィンを徐々に加え
ることによって制御される。この反応の正確なメカニズ
ムはわかっていないが、水素化ヒ素およびホスフィンは
ポリマーの金属化官能基およびポリマー細孔中の金属ア
ルキル化合物または金属水素化物の両方と反応すると考
えられる。
ンとを反応させて本発明のマクロ網状ポリマースカベン
ジャーを形成する反応は発熱的である。水素化ヒ素また
はホスフィンの放出速度は、床温度の増加が決して５０
℃より高くならないように、反応を穏やかに制御しなけ
ればならない。その放出速度は水素化ヒ素またはホスフ
ィンをキャリアー気体（例えば水素）で稀釈するか、あ
るいは濃厚な水素化ヒ素またはホスフィンを徐々に加え
ることによって制御される。この反応の正確なメカニズ
ムはわかっていないが、水素化ヒ素およびホスフィンは
ポリマーの金属化官能基およびポリマー細孔中の金属ア
ルキル化合物または金属水素化物の両方と反応すると考
えられる。
本発明のマクロ網状ポリマースカベンジャーは、水素化
ヒ素およびホスフィンからいろいろな不純物（例えば酸
化体、プロトン性酸および金属化可能な化合物）を効果
的に除去する。″プロトン性酸″なる用語はプロ１〜ン
を発生し得る酸、例えば水、アルコールおよびカルボン
酸を意味する。除去される代表的な金属化可能な化合物
にはｃ０２および１−リクロロシランが含まれる。除去
される代表的な酸化体には酸素、塩素、およびフッ素が
含まれる。水素化ヒ素またはホスフィン中のこれらの不
純物のレベルは、好ましくは］、ｐｐｍ未満に減らされ
る。
ヒ素およびホスフィンからいろいろな不純物（例えば酸
化体、プロトン性酸および金属化可能な化合物）を効果
的に除去する。″プロトン性酸″なる用語はプロ１〜ン
を発生し得る酸、例えば水、アルコールおよびカルボン
酸を意味する。除去される代表的な金属化可能な化合物
にはｃ０２および１−リクロロシランが含まれる。除去
される代表的な酸化体には酸素、塩素、およびフッ素が
含まれる。水素化ヒ素またはホスフィン中のこれらの不
純物のレベルは、好ましくは］、ｐｐｍ未満に減らされ
る。
不純物は精製すべき気体を、その気体と上記の金属化マ
クロ網状ポリマーとの反応生成物からなるスカベンジャ
ーと接触させることにより除去される。
クロ網状ポリマーとの反応生成物からなるスカベンジャ
ーと接触させることにより除去される。
本発明のマクロ網状ポリマースカベンジャーはまた、水
素化ヒ素またはホスフィンド−ピング剤の放出系におい
て使用することができる。スカベンジャーをプロトン源
（例えば水や水素）で処理すると、所望の水素化物ドー
ピング剤が放出される。従って、ヒ素またはリンで機能
化された固体スカベンジャーは貯蔵することができ、気
体の水素化ヒ素またはホスフィンがそれを必要とすると
きにだけ放出される。
素化ヒ素またはホスフィンド−ピング剤の放出系におい
て使用することができる。スカベンジャーをプロトン源
（例えば水や水素）で処理すると、所望の水素化物ドー
ピング剤が放出される。従って、ヒ素またはリンで機能
化された固体スカベンジャーは貯蔵することができ、気
体の水素化ヒ素またはホスフィンがそれを必要とすると
きにだけ放出される。
矢Ｘ但−↓−
アンバーライトＸＡＤ４ （ローム＆ハース社で製造さ
れたマクロ網状スチレン−ジビニルベンゼンコポリマー
）を３倍床容１（ｂｅｄ ｖｏｌｕｍｅ）の水、メタノ
ール、インプロパツール、最後にヘキサンで順次洗浄し
た。１床容量は非充填床の容量に等しい。
れたマクロ網状スチレン−ジビニルベンゼンコポリマー
）を３倍床容１（ｂｅｄ ｖｏｌｕｍｅ）の水、メタノ
ール、インプロパツール、最後にヘキサンで順次洗浄し
た。１床容量は非充填床の容量に等しい。
このポリマーを反応容器に入れ、窒素流下に１２０℃で
約２時間乾燥した。次いで反応容器に１．６Ｍ ｎ−ブ
チルリチウムを満たし、そして溶剤と窒素流下に６５℃
で除いた。このポリマーを速やかに２〜４倍床容量のヘ
キサンで洗って表面のｎ−ブチルリチウムを除き、その
後１２０℃で１６時間乾燥した。
約２時間乾燥した。次いで反応容器に１．６Ｍ ｎ−ブ
チルリチウムを満たし、そして溶剤と窒素流下に６５℃
で除いた。このポリマーを速やかに２〜４倍床容量のヘ
キサンで洗って表面のｎ−ブチルリチウムを除き、その
後１２０℃で１６時間乾燥した。
次に、金属化マクロ網状ポリマーは窒素流１ｚに２１０
℃（反応器の壁温度）で１２時間加熱することによりエ
ージング処理を施した。。
℃（反応器の壁温度）で１２時間加熱することによりエ
ージング処理を施した。。
水素化ヒ素によって官能化されたスカベンジャーは、−
に記のようにして製造した１リッｌ−ル床の金属化マク
ロ網状ポリマーと、水素化ヒ、ｌ （１０容量％）およ
び水素の混合気体を、２４５Ｑ／時の流速で、全部で４
９０Ｑの水素化ヒ素／水素混合気体（２モルの水素化ヒ
素）が床を通過するまで接触させることにより製造した
。水素化ヒ素により官能化されたスカベンジャーの床は
その後酸素および１０１）Ｐ ｍの水を含む電子工業品
位の水素化ヒ素を用いてパージした。スカベンジャー床
を通過した後で、この水素化ヒ素はｉｐｐｍ未満の１シ
０および０２を含んでいた。残留ガス分析器を使用して
不純物のレベルを測定した。
に記のようにして製造した１リッｌ−ル床の金属化マク
ロ網状ポリマーと、水素化ヒ、ｌ （１０容量％）およ
び水素の混合気体を、２４５Ｑ／時の流速で、全部で４
９０Ｑの水素化ヒ素／水素混合気体（２モルの水素化ヒ
素）が床を通過するまで接触させることにより製造した
。水素化ヒ素により官能化されたスカベンジャーの床は
その後酸素および１０１）Ｐ ｍの水を含む電子工業品
位の水素化ヒ素を用いてパージした。スカベンジャー床
を通過した後で、この水素化ヒ素はｉｐｐｍ未満の１シ
０および０２を含んでいた。残留ガス分析器を使用して
不純物のレベルを測定した。
特許出願人 バーキュリーズ・インコーホレーテッド代
理 人 弁理士 松 井 政 広（外１名）
理 人 弁理士 松 井 政 広（外１名）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、（ａ）水素化ヒ素およびホスフィンよりなる群から
選ばれる水素化物と、（ｂ）一般式： ▲数式、化学式、表等があります▼ （式中Ａｒは１〜３個の環を含む芳香族炭化水素基であ
り、Ｒ＿１およびＲ＿２は同一かまたは相異なり、水素
原子および炭素原子数１〜１２のアルキル炭化水素基よ
りなる群から選ばれ、そしてＭはナトリウム、カリウム
およびリチウムよりなる群から選ばれる金属である） で表される側鎖官能基またはそれらの官能基の混合物を
多数もつ金属化マクロ網状ポリマーであって、その細孔
中に炭素数１〜１２のアルキル化合物および水素化物よ
りなる群から選ばれるＭの化合物またはそれらの混合物
を含む該金属化ポリマーと、の反応生成物からなるマク
ロ網状ポリマースカベンジャー。 ２、Ｍはリチウムであり、Ｒ＿１はＨであり、Ｒ＿２は
ペンチルである特許請求の範囲第１項記載のスカベンジ
ャー。 ３、メタル化マクロ網状ポリマーは金属化マクロ網状ス
チレン−ジビニルベンゼンコポリマーである、特許請求
の範囲第１項記載のスカベンジャー。 ４、（ａ）水素化ヒ素およびホスフィンよりなる群から
選ばれる水素化物と、（ｂ）一般式： ▲数式、化学式、表等があります▼ （式中Ａｒは１〜３個の環を含む芳香族炭化水素基であ
り、Ｒ＿１およびＲ＿２は同一かまたは相異なり、水素
原子および炭素原子数１〜１２のアルキル炭化水素基よ
りなる群から選ばれ、そしてＭはナトリウム、カリウム
およびリチウムよりなる群から選ばれる金属である） で表される側鎖官能基またはそれらの官能基の混合物を
多数もつ金属化マクロ網状ポリマーであって、その細孔
中に炭素数１〜１２のアルキル化合物および水素化物よ
りなる群から選ばれたＭの化合物またはそれらの混合物
を含む該メタル化ポリマーを反応させることからなるマ
クロ網状ポリマースカベンジャーの製造方法。 ５、Ｍはリチウムであり、Ｒ＿１はＨであり、Ｒ＿２は
ペンチルである特許請求の範囲第４項記載の方法。 ６、メタル化マクロ網状ポリマーは金属化マクロ網状ス
チレン−ジビニルベンゼンコポリマーである、特許請求
の範囲第４項記載の方法。 ７、（イ）水素化ヒ素およびホスフィンよりなる群から
選ばれる水素化物と、該水素化物と一般式：▲数式、化
学式、表等があります▼ （式中Ａｒは１〜３個の環を含む芳香族炭化水素基であ
り、Ｒ＿１およびＲ＿２は同一かまたは相異なり、水素
原子および炭素原子数１〜１２のアルキル炭化水素基よ
りなる群から選ばれ、そしてＭはナトリウム、カリウム
およびリチウムよりなる群から選ばれる金属である） で表される側鎖官能基またはそれらの官能基の混合物を
多数もつ金属化マクロ網状ポリマーであって、その細孔
中に炭素数１〜１２のアルキル化合物および水素化物よ
りなる群から選ばれたＭの化合物またはそれらの混合物
を含む該メタル化ポリマーを反応させることからなるス
カベンジャーと接触させ；そして（ロ）該水素化物をマ
クロ網状ポリマースカベンジャーから分離する；ことか
らなる、水素化ヒ素およびホスフィンよりなる群から選
ばれる水素化物から酸化体、プロトン性酸（ｐｒｏｔｉ
ｃａｃｉｄ）および金属化可能な化合物を除去する方法
。 ８、Ｍはリチウムであり、Ｒ＿１はＨであり、Ｒ＿２は
ペンチルである特許請求の範囲第７項記載の方法。 ９、メタル化マクロ網状ポリマーは金属化マクロ網状ス
チレン−ジビニルベンゼンコポリマーである、特許請求
の範囲第７項記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/888,180 US4659552A (en) | 1986-07-21 | 1986-07-21 | Scavengers for the removal of impurities from arsine and phosphine |
| US888180 | 1986-07-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6344937A true JPS6344937A (ja) | 1988-02-25 |
Family
ID=25392680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62179253A Pending JPS6344937A (ja) | 1986-07-21 | 1987-07-20 | マクロ網状ポリマ−スカベンジャ− |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4659552A (ja) |
| JP (1) | JPS6344937A (ja) |
| KR (1) | KR960004348B1 (ja) |
| CA (1) | CA1291981C (ja) |
| DE (1) | DE3722919A1 (ja) |
| FR (1) | FR2601681B1 (ja) |
| GB (1) | GB2193502B (ja) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4781900A (en) * | 1987-03-24 | 1988-11-01 | Advanced Technology Materials, Inc. | Process and composition for purifying arsine, phosphine, ammonia, and inert gases to remove Lewis acid and oxidant impurities therefrom |
| US4761395A (en) * | 1987-03-24 | 1988-08-02 | Advanced Technology Materials, Inc. | Process and composition for purifying arsine, phosphine, ammonia, and inert gases to remove Lewis acid and oxidant impurities therefrom |
| US4983363A (en) * | 1987-03-24 | 1991-01-08 | Advanced Technology Materials, Inc. | Apparatus for purifying arsine, phosphine, ammonia, and inert gases to remove Lewis acid and oxidant impurities therefrom |
| US4950419A (en) * | 1987-03-24 | 1990-08-21 | Advanced Technology Materials, Inc. | Process, composition, and apparatus for purifying inert gases to remove lewis acid and oxidant impurities therefrom |
| US5015411A (en) * | 1987-03-24 | 1991-05-14 | Advanced Technology Materials, Inc. | Process, composition, and apparatus for purifying inert gases to remove Lewis acid and oxidant impurities therefrom |
| US4865822A (en) * | 1987-07-31 | 1989-09-12 | Advanced Technology Materials, Inc. | Process for purifying hydrogen selenide and hydrogen telluride, to remove moisture and oxidant impurities therefrom |
| US4797227A (en) * | 1987-07-31 | 1989-01-10 | Advanced Technology Materials Inc. | Process and composition for purifying hydrogen selenide and hydrogen telluride, to remove moisture and oxidant impurities therefrom |
| JPH04318920A (ja) * | 1991-04-17 | 1992-11-10 | Mitsubishi Electric Corp | 気相結晶成長装置 |
| US5252259A (en) * | 1991-04-22 | 1993-10-12 | Hercules Incorporated | Purification of sulfur hexafluoride |
| US5260585A (en) * | 1992-06-12 | 1993-11-09 | Novapure Corporation | Endpoint and/or back diffusion gas impurity detector, and method of using the same |
| US5340552A (en) * | 1992-09-10 | 1994-08-23 | Millipore Corporation | Reactive matrix for removing impurities from hydride and inert gases and process |
| US5385689A (en) * | 1993-06-29 | 1995-01-31 | Novapure Corporation | Process and composition for purifying semiconductor process gases to remove Lewis acid and oxidant impurities therefrom |
| US5730181A (en) * | 1994-07-15 | 1998-03-24 | Unit Instruments, Inc. | Mass flow controller with vertical purifier |
| EP0705810A3 (en) * | 1994-09-22 | 1997-04-09 | Shell Int Research | Process for cleaning starting materials for metal-catalyzed reactions and cleaning agents that can be used therefor |
| US5468459A (en) * | 1995-02-28 | 1995-11-21 | The Boc Group, Inc. | Gas stream treatment method for removing per-fluorocarbons |
| US7465692B1 (en) | 2000-03-16 | 2008-12-16 | Pall Corporation | Reactive media, methods of use and assemblies for purifying |
| US6911065B2 (en) * | 2002-12-26 | 2005-06-28 | Matheson Tri-Gas, Inc. | Method and system for supplying high purity fluid |
| US7638058B2 (en) * | 2005-04-07 | 2009-12-29 | Matheson Tri-Gas | Fluid storage and purification method and system |
| CN101380540B (zh) * | 2008-10-09 | 2011-06-29 | 刘庚宇 | 镓铟铝低共熔熔融体及其在提纯气体中的应用 |
| US7955416B2 (en) * | 2008-12-05 | 2011-06-07 | Matheson Tri-Gas, Inc. | Polymerized polymeric fluid storage and purification method and system |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3708462A (en) * | 1971-04-08 | 1973-01-02 | Dow Chemical Co | Cross-linked styrylphosphine resins |
| US4226958A (en) * | 1979-08-27 | 1980-10-07 | The Upjohn Company | Process for preparing organo-arsenic derivatives of polystyrene and related polymers |
| US4463135A (en) * | 1982-10-25 | 1984-07-31 | The Goodyear Tire & Rubber Company | Process for the functionalization of polystyrene resins |
| US4603148A (en) * | 1983-05-12 | 1986-07-29 | Hercules Incorporated | Macroreticulate polymer scavengers for the removal of impurities from inert fluids |
| US4564509A (en) * | 1983-06-30 | 1986-01-14 | Northeast Semiconductor Inc. | Method and apparatus for improved gettering for reactant gases |
| JPS6016802A (ja) * | 1983-07-01 | 1985-01-28 | Olympus Optical Co Ltd | 半導体用原料ガスの純化剤およびその使用方法 |
-
1986
- 1986-07-21 US US06/888,180 patent/US4659552A/en not_active Expired - Lifetime
-
1987
- 1987-05-27 CA CA000538173A patent/CA1291981C/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-07-10 DE DE19873722919 patent/DE3722919A1/de not_active Withdrawn
- 1987-07-15 KR KR1019870007644A patent/KR960004348B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1987-07-20 JP JP62179253A patent/JPS6344937A/ja active Pending
- 1987-07-20 GB GB8717095A patent/GB2193502B/en not_active Expired - Fee Related
- 1987-07-20 FR FR8710208A patent/FR2601681B1/fr not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960004348B1 (ko) | 1996-04-02 |
| KR880001722A (ko) | 1988-04-26 |
| US4659552A (en) | 1987-04-21 |
| CA1291981C (en) | 1991-11-12 |
| GB2193502B (en) | 1990-01-04 |
| DE3722919A1 (de) | 1988-01-28 |
| FR2601681A1 (fr) | 1988-01-22 |
| FR2601681B1 (fr) | 1988-12-23 |
| GB8717095D0 (en) | 1987-08-26 |
| GB2193502A (en) | 1988-02-10 |
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