JPS6344701A - 感湿体 - Google Patents
感湿体Info
- Publication number
- JPS6344701A JPS6344701A JP61306031A JP30603186A JPS6344701A JP S6344701 A JPS6344701 A JP S6344701A JP 61306031 A JP61306031 A JP 61306031A JP 30603186 A JP30603186 A JP 30603186A JP S6344701 A JPS6344701 A JP S6344701A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moisture
- humidity
- impedance
- sensitive body
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 10
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 7
- 229910000318 alkali metal phosphate Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 235000014692 zinc oxide Nutrition 0.000 description 3
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 2
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 2
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 229920001477 hydrophilic polymer Polymers 0.000 description 2
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 2
- MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N lanthanum(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[La+3].[La+3] MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 2
- HTUMBQDCCIXGCV-UHFFFAOYSA-N lead oxide Chemical compound [O-2].[Pb+2] HTUMBQDCCIXGCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M lithium chloride Chemical compound [Li+].[Cl-] KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- -1 Alternatively Substances 0.000 description 1
- 241000283690 Bos taurus Species 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000007791 dehumidification Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005621 ferroelectricity Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 229910000464 lead oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012886 linear function Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000012047 saturated solution Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LWIHDJKSTIGBAC-UHFFFAOYSA-K tripotassium phosphate Chemical compound [K+].[K+].[K+].[O-]P([O-])([O-])=O LWIHDJKSTIGBAC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は強誘電性金属酸化物（Ｐｂ＋ Ｌａ） （Ｚｒ
＋ ＴＩ） ０３にアルカリ金属のリン酸塩を添加して
得られる感湿体に関する。
＋ ＴＩ） ０３にアルカリ金属のリン酸塩を添加して
得られる感湿体に関する。
従来、雰囲気中の湿度に感応してインピーダンス値が変
化する感湿素子としてＡＩ、０３．ＺｒＳ ｉｏａ 、
ＭｇＡ １２０ａ 、 Ｍｇ Ｃｒｚ Ｏａなどの金属
酸化物の多孔質体やＬｉＣ１飽和溶液などの電解質塩、
或いはセルロースや親水性ポリマー、更に酸化亜鉛や酸
化錫などの半導体が使用されている。
化する感湿素子としてＡＩ、０３．ＺｒＳ ｉｏａ 、
ＭｇＡ １２０ａ 、 Ｍｇ Ｃｒｚ Ｏａなどの金属
酸化物の多孔質体やＬｉＣ１飽和溶液などの電解質塩、
或いはセルロースや親水性ポリマー、更に酸化亜鉛や酸
化錫などの半導体が使用されている。
しかしながら、金属酸化物感湿体は、化学的。
物理的安定性に優れているものの、絶縁性のものを用い
ているため、低湿度領域においてインピーダンス値が非
常に高く、通常の方法では湿度測定が難しいという欠点
がある。また、電解質塩、セルロース、親水性ポリマー
、酸化亜鉛や酸化；■等の半導体についても、全湿度領
域におけるインピーダンス特性、応答速度、感、・品持
性の再現性といった点で必ずしも充分な特性が得られな
い。
ているため、低湿度領域においてインピーダンス値が非
常に高く、通常の方法では湿度測定が難しいという欠点
がある。また、電解質塩、セルロース、親水性ポリマー
、酸化亜鉛や酸化；■等の半導体についても、全湿度領
域におけるインピーダンス特性、応答速度、感、・品持
性の再現性といった点で必ずしも充分な特性が得られな
い。
本発明は上記問題点を解決するためのもので、低湿度領
域で低いインピーダンス値を示し、全ン界度領域にわた
って相対温度対インピーダンス値の関係が直線的であり
、しかもこの直線性が温度に依存せず一定であり、更に
経時変化が小さく、応答速度も速く、ヒステリシスのな
い感湿体を（１供することを目的とする。
域で低いインピーダンス値を示し、全ン界度領域にわた
って相対温度対インピーダンス値の関係が直線的であり
、しかもこの直線性が温度に依存せず一定であり、更に
経時変化が小さく、応答速度も速く、ヒステリシスのな
い感湿体を（１供することを目的とする。
そのために本発明の’Ｘ’１ＦｆＡ体は、基本組成が（
Ｐｂ＋−ｘ Ｌａｘ ） （Ｚｒｙ Ｔｉｔ−ｙ ）
ｌ−Ｘ／４０ｓ、０＜ ｘ ＜０．２５．０ ＜ ！
／ ＜１なる強誘電性金属酸化物の焼結体を主成分とし
、アルカリ金属のリン酸塩を添加したことを特徴とする
。
Ｐｂ＋−ｘ Ｌａｘ ） （Ｚｒｙ Ｔｉｔ−ｙ ）
ｌ−Ｘ／４０ｓ、０＜ ｘ ＜０．２５．０ ＜ ！
／ ＜１なる強誘電性金属酸化物の焼結体を主成分とし
、アルカリ金属のリン酸塩を添加したことを特徴とする
。
本発明の感湿体は、基本組成が、
（Ｐｂ＋−ｘ Ｌａｗ ） （Ｚｒｙ Ｔｉｔ−ｙ
） ＋４／Ｊ ０３．０＜ｘ＜０．２５．０＜ｙ＜１の
仮焼品又は焼結晶を粉砕したものを感湿体用主原料と巳
、これにアルカリ金属のリン酸塩を添加して厚さ０．
５ｍｒ、 ４Ｘ４ｍｍの板状に成形加工し、２００〜
！０００°Ｃで数時間熱処理し、両面に対向電極を形成
したサンドイン型、感湿体を櫛型電極上に構成した表面
型、或いは感ン肩体を一対の電極を持つ容器に充填し、
その−面をｉ３湿膜で包んで構成した電極挿入型に形成
する。この感湿体は、低湿度側で低いインピーダンス値
を示し、全湿度領域でキ目対湿度対インピーダンス値の
関係が直線的で、更にその関係が雰囲気温度に依存せず
一定であり、また、経時変化が小さく、応答速度が速く
、ヒステリシスも小さい。
） ＋４／Ｊ ０３．０＜ｘ＜０．２５．０＜ｙ＜１の
仮焼品又は焼結晶を粉砕したものを感湿体用主原料と巳
、これにアルカリ金属のリン酸塩を添加して厚さ０．
５ｍｒ、 ４Ｘ４ｍｍの板状に成形加工し、２００〜
！０００°Ｃで数時間熱処理し、両面に対向電極を形成
したサンドイン型、感湿体を櫛型電極上に構成した表面
型、或いは感ン肩体を一対の電極を持つ容器に充填し、
その−面をｉ３湿膜で包んで構成した電極挿入型に形成
する。この感湿体は、低湿度側で低いインピーダンス値
を示し、全湿度領域でキ目対湿度対インピーダンス値の
関係が直線的で、更にその関係が雰囲気温度に依存せず
一定であり、また、経時変化が小さく、応答速度が速く
、ヒステリシスも小さい。
以下、実施例を図面を参照し２つつ説明する。
〈実施例１〉
（Ｐｂ＋−ｘ Ｌａｗ ） （Ｚｒ、 Ｔｉ
ｔ−ｙ ） ｌ−Ｘ／４ ０ｘ の占（本組成
のうち、Ｏ＜ｘ＜０．２５．０＜３’＜１の組成範囲で
は、ＰＬＺＴ単−相が得られ、更に強誘電性を示す、そ
の組成範囲中で、焼結体の比誘電率が４５００程度と高
い値を示す（Ｐｂｏ、 ｑＩＩ−ａｏ、 ｏ９）（Ｚｒ
ｏ、 ｂｓＴｉｏ、 ３５） ＋−ｏ、 ｏｑ／＊ｏｓ
の組成のものを感湿体の主原料として以下の操作で調製
する。
ｔ−ｙ ） ｌ−Ｘ／４ ０ｘ の占（本組成
のうち、Ｏ＜ｘ＜０．２５．０＜３’＜１の組成範囲で
は、ＰＬＺＴ単−相が得られ、更に強誘電性を示す、そ
の組成範囲中で、焼結体の比誘電率が４５００程度と高
い値を示す（Ｐｂｏ、 ｑＩＩ−ａｏ、 ｏ９）（Ｚｒ
ｏ、 ｂｓＴｉｏ、 ３５） ＋−ｏ、 ｏｑ／＊ｏｓ
の組成のものを感湿体の主原料として以下の操作で調製
する。
先ず、酸化鉛０，９７モル、酸化ランタン０．０４５モ
ル、酸化ジルコニウム０．６５モル、ＩＧ化チタン０．
３５モルの割合で配合した後、振動ミルで粉砕混練、乾
燥、仮焼の操作で感湿体の仮焼品原料を得る。
ル、酸化ジルコニウム０．６５モル、ＩＧ化チタン０．
３５モルの割合で配合した後、振動ミルで粉砕混練、乾
燥、仮焼の操作で感湿体の仮焼品原料を得る。
この仮焼品を更に１０（ｔｏ ｋｇ ／ ｃｆｆｌで圧
縮成形し、０□、ＰｂＯ雰囲気中で１１５０℃、２０〜
４０時間焼結させる。この焼結晶を粉砕機で粉砕するこ
とにより焼結晶原料が得られる。以上の仮焼又は焼結晶
原料を感湿体の主原料とする。
縮成形し、０□、ＰｂＯ雰囲気中で１１５０℃、２０〜
４０時間焼結させる。この焼結晶を粉砕機で粉砕するこ
とにより焼結晶原料が得られる。以上の仮焼又は焼結晶
原料を感湿体の主原料とする。
上記の操作により得られた感湿体の主原料（Ｐｂ。
Ｌａ） （Ｚｒ、Ｔｉ）０３に、第１表に示す分量、０
．０５〜１０−ｔ％のリン酸−カリウム塩（Ｋ１１ＺＰ
Ｏ４） ′−添加し、振動ミル中で粉砕混練する。
．０５〜１０−ｔ％のリン酸−カリウム塩（Ｋ１１ＺＰ
Ｏ４） ′−添加し、振動ミル中で粉砕混練する。
この原料を圧縮機により加圧力２００ｋｇ／ｃｎｌで厚
さ０．５ｍｎ＋ 、径２０ｍｍの成形体とする。その成
形体を４Ｘ４ｍｍに切り出し、４００℃で２時間熱処理
し感湿体とする。
さ０．５ｍｎ＋ 、径２０ｍｍの成形体とする。その成
形体を４Ｘ４ｍｍに切り出し、４００℃で２時間熱処理
し感湿体とする。
第１表
第１図はこのような感湿体に電極とリード線を取り付け
て構成した感湿素子の斜視図で、それぞれ同図（Ａ）は
サンドインチ型１、同図（Ｂ）は表面型、同図（Ｃ）は
電極挿入型の感湿素子を示す図である。図中、１は感湿
体、２は電極、３はリード線、４は基板、５は容器、６
は透湿膜である。
て構成した感湿素子の斜視図で、それぞれ同図（Ａ）は
サンドインチ型１、同図（Ｂ）は表面型、同図（Ｃ）は
電極挿入型の感湿素子を示す図である。図中、１は感湿
体、２は電極、３はリード線、４は基板、５は容器、６
は透湿膜である。
第１図（Ａ）の感湿素子では、板状に加工した感湿体１
の表面にＡｕを蒸着して電極を構成してこれにリード線
３を取り付けている。Ａｕ電橿２は透湿性があり、感湿
体１は電極２を通して吸湿し、リード線３を通してイン
ピーダンスを測定することにより湿度を測定することが
できる。
の表面にＡｕを蒸着して電極を構成してこれにリード線
３を取り付けている。Ａｕ電橿２は透湿性があり、感湿
体１は電極２を通して吸湿し、リード線３を通してイン
ピーダンスを測定することにより湿度を測定することが
できる。
第１図（Ｂ）の感温素子では、絶縁体基板４上にｍ型電
極２を形成し、この上にｒｆｉン兄体１を構成する。感
湿体１は直接雲囲気に触れて吸湿し、図（Ａ）の場合と
同様にリード線３を通してインピーダンスを測定するこ
とにより湿度を測定することができる。
極２を形成し、この上にｒｆｉン兄体１を構成する。感
湿体１は直接雲囲気に触れて吸湿し、図（Ａ）の場合と
同様にリード線３を通してインピーダンスを測定するこ
とにより湿度を測定することができる。
第１図（Ｃ）の感湿素子では、電極２を中に設けた絶縁
性の箱状容器５に感湿体ｌを充填し、容器５の一面を透
湿性膜６で包んでいる。感湿体１は透湿性膜６を通して
吸湿し、図（Ａ）の場合と同様にリード線３を通してイ
ンピーダンスを測定することにより湿度を測定すること
ができる。
性の箱状容器５に感湿体ｌを充填し、容器５の一面を透
湿性膜６で包んでいる。感湿体１は透湿性膜６を通して
吸湿し、図（Ａ）の場合と同様にリード線３を通してイ
ンピーダンスを測定することにより湿度を測定すること
ができる。
第２図はこうして作成したＳ ａｍｐｌｅ １〜６の感
湿素子の雰囲気温度３５℃、測定周波数ＩＫＨｚにおけ
る相対湿度対インピーダンスの対数値の関係を示す。
湿素子の雰囲気温度３５℃、測定周波数ＩＫＨｚにおけ
る相対湿度対インピーダンスの対数値の関係を示す。
すべてのＳ ａｍｐｌｅが湿度０％付近で１０”ｏｈ１
１１程度のインピーダンス値を示しており、その値は、
従来の絶縁性金属酸化物を用いた感湿素子の場合の１０
’ｏｈｍのインピーダンス値と較べると約２桁低い。
１１程度のインピーダンス値を示しており、その値は、
従来の絶縁性金属酸化物を用いた感湿素子の場合の１０
’ｏｈｍのインピーダンス値と較べると約２桁低い。
従って、本発明の感ン品素子を用いることにより、測定
回路が簡易になり、精度を上；デることかできる。
回路が簡易になり、精度を上；デることかできる。
第３図は、Ｓａｍｐｌｅ ２の感湿素子を雰囲気温度３
５℃で、測定周波数条件を１００ＨｚからＩ Ｍ Ｈ２
まで変えて測定した相対湿度対インピーダンスの対数値
の関係を示す。
５℃で、測定周波数条件を１００ＨｚからＩ Ｍ Ｈ２
まで変えて測定した相対湿度対インピーダンスの対数値
の関係を示す。
測定周波数が高くなるにつれてインピーダンス値が、特
に低湿度領域で顕著に低下することが分かる。これは、
本発明のＶＷ体の主成分の（Ｐｂ、Ｌａ） （Ｚｒ、Ｔ
ｉ）Ｏｉの強誘電性の形容であり、他のＳａｍｐｉｅ
１． ３．４．５．６についても同様の傾向が認められ
る。
に低湿度領域で顕著に低下することが分かる。これは、
本発明のＶＷ体の主成分の（Ｐｂ、Ｌａ） （Ｚｒ、Ｔ
ｉ）Ｏｉの強誘電性の形容であり、他のＳａｍｐｉｅ
１． ３．４．５．６についても同様の傾向が認められ
る。
第４図は、Ｓａｍｐｌｅ ２の感温素子を測定周波数１
００ Ｈｚで、雰囲気温度を３５．４０．４５℃と変え
て測定した相対湿度対インピーダンスの対数値の関係を
示す。
００ Ｈｚで、雰囲気温度を３５．４０．４５℃と変え
て測定した相対湿度対インピーダンスの対数値の関係を
示す。
従来の絶縁性金属酸化物を用いた感湿素子では高湿度側
から低湿度側になるにつれて雰囲気温度の違いによるイ
ンピーダンス値の差が開いてゆく傾向があり０％ＲＨ付
近では１０℃程度の雰囲気温度の違いでインピーダンス
値の差が１桁以上になる場合がある。これに対し、本発
明の感湿素子の場合、第４図から分かるように、全湿度
領域で相対湿度対インピーダンスの対数値の関係が雰囲
気温度に依存せずほぼ一定である。そのため、この感湿
素子を第４図の特性を示す条件下で温度補正回路無しで
作動させても、誤差はせいぜい±４％／１０℃であり、
温度補正回路を付けると、誤差を±２％／１０℃程度に
することができる。また、温度補正回路も従来の感湿素
子の場合の補正回路に比し、簡易なもので済む。
から低湿度側になるにつれて雰囲気温度の違いによるイ
ンピーダンス値の差が開いてゆく傾向があり０％ＲＨ付
近では１０℃程度の雰囲気温度の違いでインピーダンス
値の差が１桁以上になる場合がある。これに対し、本発
明の感湿素子の場合、第４図から分かるように、全湿度
領域で相対湿度対インピーダンスの対数値の関係が雰囲
気温度に依存せずほぼ一定である。そのため、この感湿
素子を第４図の特性を示す条件下で温度補正回路無しで
作動させても、誤差はせいぜい±４％／１０℃であり、
温度補正回路を付けると、誤差を±２％／１０℃程度に
することができる。また、温度補正回路も従来の感湿素
子の場合の補正回路に比し、簡易なもので済む。
第５図は、３ ａｍｐｌｅ ２の感温素子を周波数１０
０ＫＨｚ 、 Ｗ囲気温度を３５．４０．４５℃と変え
て測定した相対湿度対インピーダンス値の関係を示す。
０ＫＨｚ 、 Ｗ囲気温度を３５．４０．４５℃と変え
て測定した相対湿度対インピーダンス値の関係を示す。
全湿度領域で、相対温度対インピーダンス値の関係が温
度に依存せずほぼ一定であり、さらに、相対湿度対イン
ピーダンス値の関係がほぼ直線的になる。従って、第５
図の特性を示す条件で作動させた場合、第４図の条件の
場合の検出回路より更にインピーダンス値の対数変換回
路が減り、相対湿度対インピーダンス値の検量線が一次
関数となって非常に篇易な検出回路で済む。
度に依存せずほぼ一定であり、さらに、相対湿度対イン
ピーダンス値の関係がほぼ直線的になる。従って、第５
図の特性を示す条件で作動させた場合、第４図の条件の
場合の検出回路より更にインピーダンス値の対数変換回
路が減り、相対湿度対インピーダンス値の検量線が一次
関数となって非常に篇易な検出回路で済む。
また、本発明の感湿素子は急激な加湿及び脱湿度に対す
る応答速度も数分であり現在、商品化されている感温素
子に劣らない。更に、ヒステリシスもほとんど認められ
ず、経時変化も非常に小さい。
る応答速度も数分であり現在、商品化されている感温素
子に劣らない。更に、ヒステリシスもほとんど認められ
ず、経時変化も非常に小さい。
〈実施例２〉
実施例１に従って得られた（Ｐｂｏ、 ｑ＋Ｌａｏ、
０９） （Ｚｒ。、 ｂｓＴ＋ｏ、 ｚｓ） ＋−０，
。？／４０ｆｆの組成の感湿体の主原料に１ｗｔ％のに
Ｉ（、ＰＯ，を添加後、２００ｋｇ／ｃＪで加圧成形し
、４００℃、７００℃、１０００℃の各温度で２時間熱
処理した感湿素子の相対温度０１４０．９０％ＲＨでの
各インピーダンス値を第２衷に示す。
０９） （Ｚｒ。、 ｂｓＴ＋ｏ、 ｚｓ） ＋−０，
。？／４０ｆｆの組成の感湿体の主原料に１ｗｔ％のに
Ｉ（、ＰＯ，を添加後、２００ｋｇ／ｃＪで加圧成形し
、４００℃、７００℃、１０００℃の各温度で２時間熱
処理した感湿素子の相対温度０１４０．９０％ＲＨでの
各インピーダンス値を第２衷に示す。
処理温度が１０００’ｃのものは０から９０％Ｒ１１の
インピーダンス変化量が約２桁で、４００℃、７００℃
のもの変化量（約４桁）に較べ小さくなっている。
インピーダンス変化量が約２桁で、４００℃、７００℃
のもの変化量（約４桁）に較べ小さくなっている。
第２表
ｍ牛：３０℃、 １ＫＨｚ
〈実施例３〉
第３表に示す組成比の（Ｐｂ、Ｌａ） （Ｚｒ、Ｔｉ）
Ｏｚを実施例１の操作法に従って調整し、感湿体の主原
料とｍ牛：３０℃、ＩＫＨｚ 各主原料ニ１ ｗｔ％ （Ｄ ＫＨｚＰＯ，を添加後、
２００〜４００ｋｇ／ｃ＋ｄで加圧形成し、７００ ｃ
で２時間熱処理して得た感湿素子の相対温度０．４０．
９０％Ｒ１１での各インピーダンス値を第３表は示して
いる。
Ｏｚを実施例１の操作法に従って調整し、感湿体の主原
料とｍ牛：３０℃、ＩＫＨｚ 各主原料ニ１ ｗｔ％ （Ｄ ＫＨｚＰＯ，を添加後、
２００〜４００ｋｇ／ｃ＋ｄで加圧形成し、７００ ｃ
で２時間熱処理して得た感湿素子の相対温度０．４０．
９０％Ｒ１１での各インピーダンス値を第３表は示して
いる。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、低湿
度領域における低インピーダンス化が達成できると共に
、全湿度領域における相対；品度対インピーダンス値の
関係が直線的となり、しがもこの関係は雰囲気温度に依
存せず一定となる。このため、検出回路を簡単化するこ
とが可能となり、検出精度も向上させることができる。
度領域における低インピーダンス化が達成できると共に
、全湿度領域における相対；品度対インピーダンス値の
関係が直線的となり、しがもこの関係は雰囲気温度に依
存せず一定となる。このため、検出回路を簡単化するこ
とが可能となり、検出精度も向上させることができる。
更に、応答速度が速く、ヒステリシスがなく、経時変化
も小さい安定した感；副素子を得ることができる。
も小さい安定した感；副素子を得ることができる。
第１図は感温素子の斜視図で、それぞれ同図（Ａ）はサ
ンドインチ型１、同図（Ｂ）は表面型、同図（Ｃ）は電
極挿入型の惑・界素子を示す図、第２図はＳａｍｐｌｅ
１〜６の感温素子の雰囲気温度３５℃、測定周波数Ｉ
ＫＨｚにおける相対湿度対インピーダンスの対数値の
関係を示す図、第３図は５ａＩｌｐｉｅ ２の感温素子
の雰囲気温度３５℃、測定周波数条件１００ ）１ｚ〜
Ｉ ＭＨｚにおける相対湿度対インピーダンスの対数値
の関係を示す図、第４図はＳ ａｍｐ１８２の感湿素子
の測定周波数１００ Ｈｚ、雰囲気温度３５．４０．４
５℃における相対湿度対インピーダンスの対数値の関係
を示す図、第５図はｓａｍｐｌｅ ２の周波数１００
ＫＨｚ 、雰囲気温度３５．４０．４５℃における相対
湿度対インピーダンス値の関係を示す図である。 １・・・感湿体、２・・・電極、３・・・リード線、４
・・・基板、５・・・容器、６・・・遇湿膜 出 願 人 品川白煉瓦株式会社 代理人弁理士 蛭 川 昌 信（他２名）第１図 （Ａ） （ご） ５４叫 第２ 図 γ。ＲＨ 第３図 ８１ ７００Ｈ２，ＳＱｍｐ１８２ Ｒ１−１ 第４図 ％Ｒｔ−１ 第５図
ンドインチ型１、同図（Ｂ）は表面型、同図（Ｃ）は電
極挿入型の惑・界素子を示す図、第２図はＳａｍｐｌｅ
１〜６の感温素子の雰囲気温度３５℃、測定周波数Ｉ
ＫＨｚにおける相対湿度対インピーダンスの対数値の
関係を示す図、第３図は５ａＩｌｐｉｅ ２の感温素子
の雰囲気温度３５℃、測定周波数条件１００ ）１ｚ〜
Ｉ ＭＨｚにおける相対湿度対インピーダンスの対数値
の関係を示す図、第４図はＳ ａｍｐ１８２の感湿素子
の測定周波数１００ Ｈｚ、雰囲気温度３５．４０．４
５℃における相対湿度対インピーダンスの対数値の関係
を示す図、第５図はｓａｍｐｌｅ ２の周波数１００
ＫＨｚ 、雰囲気温度３５．４０．４５℃における相対
湿度対インピーダンス値の関係を示す図である。 １・・・感湿体、２・・・電極、３・・・リード線、４
・・・基板、５・・・容器、６・・・遇湿膜 出 願 人 品川白煉瓦株式会社 代理人弁理士 蛭 川 昌 信（他２名）第１図 （Ａ） （ご） ５４叫 第２ 図 γ。ＲＨ 第３図 ８１ ７００Ｈ２，ＳＱｍｐ１８２ Ｒ１−１ 第４図 ％Ｒｔ−１ 第５図
Claims (4)
- （１）基本組成が （Ｐｂ＿１＿−＿ｘＬａ＿ｘ）（Ｚｒ＿ｙＴｉ＿１＿−
＿ｙ）＿１＿−＿ｘ＿／＿４Ｏ＿３、０＜ｘ＜０．２５
、０＜ｙ＜１ なる強誘電性金属酸化物の焼結体を主成分とし、アルカ
リ金属のリン酸塩を添加したことを特徴とする感湿体。 - （２）前記感湿体は、板状に加工され、その両面に対向
して一対の電極が設けられている特許請求の範囲第１項
記載の感湿体。 - （３）前記感湿体は、板状に加工され、基板上に形成さ
れた櫛型電極上に設けられている特許請求の範囲第１項
記載の感湿体。 - （４）前記感湿体は、一対の電極を有する容器に充填さ
れ、前記容器の一面は透湿性膜で覆われている特許請求
の範囲第１項記載の感湿体。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61-74510 | 1986-04-01 | ||
| JP7451086 | 1986-04-01 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6344701A true JPS6344701A (ja) | 1988-02-25 |
| JPH043081B2 JPH043081B2 (ja) | 1992-01-22 |
Family
ID=13549392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61306031A Granted JPS6344701A (ja) | 1986-04-01 | 1986-12-22 | 感湿体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6344701A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991013447A1 (en) * | 1990-02-26 | 1991-09-05 | Shinagawa Refractories Co., Ltd. | Moisture sensor |
-
1986
- 1986-12-22 JP JP61306031A patent/JPS6344701A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991013447A1 (en) * | 1990-02-26 | 1991-09-05 | Shinagawa Refractories Co., Ltd. | Moisture sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH043081B2 (ja) | 1992-01-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS59202052A (ja) | 感湿素子 | |
| JP2789522B2 (ja) | 基板上に黄緑石型酸化タングステン層を形成する方法および該黄緑石型酸化タングステン層含有湿度センサ素子 | |
| JPS6344701A (ja) | 感湿体 | |
| JPS62216963A (ja) | 感湿体 | |
| WO1991013447A1 (en) | Moisture sensor | |
| KR840000260B1 (ko) | 감습소자 | |
| JPS6347902A (ja) | 感湿体の製造方法 | |
| JPH02151753A (ja) | 積層構造型湿度センサ素子 | |
| JPS5835901A (ja) | 感湿素子 | |
| JPS5856301A (ja) | 感湿素子 | |
| JPS5840801A (ja) | 湿度センサ素子とその製造法 | |
| JPS6235058B2 (ja) | ||
| JPS6351363B2 (ja) | ||
| JPS6322601B2 (ja) | ||
| JPS59229802A (ja) | 湿度センサ | |
| JPS6250778B2 (ja) | ||
| JPS6317203B2 (ja) | ||
| JPH02264854A (ja) | 温湿度センサ | |
| JPS6041841B2 (ja) | 感湿素子 | |
| JPS6077169A (ja) | 感湿素材及び感湿素子 | |
| JPH04132653A (ja) | 湿度センサー素子 | |
| JPH05119010A (ja) | 湿度センサ | |
| JPS6116935B2 (ja) | ||
| JPS6317206B2 (ja) | ||
| JPS6317205B2 (ja) |