JPS6344444U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6344444U JPS6344444U JP13722286U JP13722286U JPS6344444U JP S6344444 U JPS6344444 U JP S6344444U JP 13722286 U JP13722286 U JP 13722286U JP 13722286 U JP13722286 U JP 13722286U JP S6344444 U JPS6344444 U JP S6344444U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- susceptor
- shaft
- wafer
- connecting portion
- shaft connecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案機構の一実施例を示す断面図、
第２図は本考案における押し上げ軸とウエーハ搬
送二叉アームの動作関係説明用斜視図である。 ３……回転軸、８……上下動機構（エアーシリ
ンダ）、９……押し上げ軸、１０……ベロー、１
１……シリンダ軸連結部、１２……サセプタ、１
３……ウエーハ、１４……貫通孔、１５……挿通
孔、１６，１７……軸受、１８……ウエーハ搬送
二叉アーム。
第２図は本考案における押し上げ軸とウエーハ搬
送二叉アームの動作関係説明用斜視図である。 ３……回転軸、８……上下動機構（エアーシリ
ンダ）、９……押し上げ軸、１０……ベロー、１
１……シリンダ軸連結部、１２……サセプタ、１
３……ウエーハ、１４……貫通孔、１５……挿通
孔、１６，１７……軸受、１８……ウエーハ搬送
二叉アーム。
Claims (1)
- 反応炉内に設けられたサセプタ１２上にウエー
ハ１３を載置し、このウエーハ１３をサセプタ１
２に連結された回転軸３の回転により回転させな
がらウエーハ１３に膜を生成させる縦型半導体製
造装置において、サセプタ１２の回転軸３の中心
部に軸連結部１１を上下動自在でかつ回転自在に
支承し、この軸連結部１１の上端にサセプタ１２
の中心部より出没する押し上げ軸９を載置せしめ
、軸連結部１１と回転軸３との間にベロー１０を
取り付けると共に、上記軸連結部１１の下端を上
下動機構８に回転自在に連結せしめてなる縦型半
導体製造装置のウエーハ突き上げ機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13722286U JPH021861Y2 (ja) | 1986-09-05 | 1986-09-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13722286U JPH021861Y2 (ja) | 1986-09-05 | 1986-09-05 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6344444U true JPS6344444U (ja) | 1988-03-25 |
| JPH021861Y2 JPH021861Y2 (ja) | 1990-01-17 |
Family
ID=31041076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13722286U Expired JPH021861Y2 (ja) | 1986-09-05 | 1986-09-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH021861Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-09-05 JP JP13722286U patent/JPH021861Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH021861Y2 (ja) | 1990-01-17 |