JPS6338317U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6338317U JPS6338317U JP12947186U JP12947186U JPS6338317U JP S6338317 U JPS6338317 U JP S6338317U JP 12947186 U JP12947186 U JP 12947186U JP 12947186 U JP12947186 U JP 12947186U JP S6338317 U JPS6338317 U JP S6338317U
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- JP
- Japan
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- lid
- reaction tube
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- disk
- gap
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- Pending
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 description 1
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例の全体の縦断面図、
第２図は、第１図のＡ―Ａ断面の反応管内部詳細
図、第３図ａは、従来装置での冷却特性線図でウ
エハ温度の経時的変化を表わし、第３図ｂはウエ
ハのＢＴＭ、ＭＩＤ、ＴＯＰの各位置関係を示し
たものである。 １……ウエハ、２……バスケツト、３……反応
器、４……均熱管、５……ヒータ、６……蓋体、
７……ガス通路、８……ピース、９……円板、１
０……断熱材、１１……アーム、１２……給気管
、１３……排気管、１４……給気口、１５……ベ
ース。
第２図は、第１図のＡ―Ａ断面の反応管内部詳細
図、第３図ａは、従来装置での冷却特性線図でウ
エハ温度の経時的変化を表わし、第３図ｂはウエ
ハのＢＴＭ、ＭＩＤ、ＴＯＰの各位置関係を示し
たものである。 １……ウエハ、２……バスケツト、３……反応
器、４……均熱管、５……ヒータ、６……蓋体、
７……ガス通路、８……ピース、９……円板、１
０……断熱材、１１……アーム、１２……給気管
、１３……排気管、１４……給気口、１５……ベ
ース。
Claims (1)
- 鉛直に立てた反応管の外周からヒータで加熱て
おり、装置外でウエハを装着したバスケツトを反
応管の底面の出入口から反応管内に挿入する機構
を有しており、該バスケツトと一体もしくは単体
で連動する蓋体によつて反応管底面を閉じること
を特徴とするウエハの加熱処理装置において、蓋
体に装置外部面から反応管内に貫通するガス通路
を設け、蓋体をバスケツトの間に円板を置き円板
と蓋体の隙間で半径方向のガス通路を設けており
、両者のガス通路及び反応管と蓋体の隙間を通じ
て、冷却ガスを流すことにより蓋体を冷却してい
ることを特徴とする半導体ウエハの加熱処理装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12947186U JPS6338317U (ja) | 1986-08-27 | 1986-08-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12947186U JPS6338317U (ja) | 1986-08-27 | 1986-08-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6338317U true JPS6338317U (ja) | 1988-03-11 |
Family
ID=31026068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12947186U Pending JPS6338317U (ja) | 1986-08-27 | 1986-08-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6338317U (ja) |
-
1986
- 1986-08-27 JP JP12947186U patent/JPS6338317U/ja active Pending
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