JPH0330259U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0330259U JPH0330259U JP8790489U JP8790489U JPH0330259U JP H0330259 U JPH0330259 U JP H0330259U JP 8790489 U JP8790489 U JP 8790489U JP 8790489 U JP8790489 U JP 8790489U JP H0330259 U JPH0330259 U JP H0330259U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- outer casing
- exhausts
- inlet
- atmospheric pressure
- pressure cvd
- Prior art date
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- Pending
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- 238000001505 atmospheric-pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図ａおよびｂは、この考案による常圧ＣＶ
Ｄ反応炉の冷却治具の実施例の構造図、第２図ａ
およびｂは、大容量の常圧ＣＶＤ反応炉の構造を
示す垂直断面図と一部平面図である。 １……常圧ＣＶＤ反応炉、１１……外筺体、１
２……内筺体、１３……バツフア、１４……ター
ンテーブル、１５……ヒーター、１６……覆い蓋
、１７……供給口、１８……排気口、１９……ヒ
ンジ、２……被処理ウエハ、３……冷却治具、３
１……排気筒、３２……フランジ、３３……吸入
口、３４……エアホース、４……床、４１……共
通排気路。
Ｄ反応炉の冷却治具の実施例の構造図、第２図ａ
およびｂは、大容量の常圧ＣＶＤ反応炉の構造を
示す垂直断面図と一部平面図である。 １……常圧ＣＶＤ反応炉、１１……外筺体、１
２……内筺体、１３……バツフア、１４……ター
ンテーブル、１５……ヒーター、１６……覆い蓋
、１７……供給口、１８……排気口、１９……ヒ
ンジ、２……被処理ウエハ、３……冷却治具、３
１……排気筒、３２……フランジ、３３……吸入
口、３４……エアホース、４……床、４１……共
通排気路。
Claims (1)
- 円筒形の外筺体の内部の中央に、上部に富士山
形のバツフアを有する円筒形の内筺体を備え、該
外筺体と内筺体の間に、被処理のウエハを載置し
て自公転する複数のターンテーブルと該ウエハを
加熱するヒータを具備し、上記外筺体の上部に反
応ガスの供給口を有する開閉可能な覆い蓋と、該
外筺体の下部に排気口をそれぞれ設けてなるベル
ジヤー形の常圧ＣＶＤ反応炉において、上記覆い
蓋が開かれた状態の外筺体の上部に載置して、外
部のエアロゾルを吸入する吸入口を有し、該吸入
口より吸入されたエアにより、温度が上昇した上
記反応炉の内部に生ずる対流を排気する円錐形の
排気筒と、該排気筒の頂部より該対流しているエ
アを共通の排気路に排気するエアホースとにより
構成されたことを特徴とする、常圧ＣＶＤ反応炉
の冷却治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8790489U JPH0330259U (ja) | 1989-07-26 | 1989-07-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8790489U JPH0330259U (ja) | 1989-07-26 | 1989-07-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0330259U true JPH0330259U (ja) | 1991-03-25 |
Family
ID=31637543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8790489U Pending JPH0330259U (ja) | 1989-07-26 | 1989-07-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0330259U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012256937A (ja) * | 2012-09-14 | 2012-12-27 | Taiyo Nippon Sanso Corp | 気相成長装置及び方法 |
-
1989
- 1989-07-26 JP JP8790489U patent/JPH0330259U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012256937A (ja) * | 2012-09-14 | 2012-12-27 | Taiyo Nippon Sanso Corp | 気相成長装置及び方法 |