JPS6334989A - レ−ザ発振装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ この発明は、エキシマレーザ発振器等のレーザ発振装置
に関し、特にそのレーザ管内へのガス供給手段の改善を
はかったレーザ発振装置に関するものである。

［従来の技術］ 第２図は例えば浜松フオトニクス（株）のカタログ（Ｔ
−２０００，１９８５−９）に示された従来のレーザ発
振装置を示す模式図であり１図において、１は主放電電
極、２はガス循環ブロア、３は熱交換器、４は主放電電
極１．ガス循環ブロア２および熱交換器３を内蔵するレ
ーザ管、５は主放電電極１に高電圧を供給する高圧電源
、７はハロゲンガスボンベ、８は希ガスボンベ、９はバ
ッファガスボンベ、７　ａ、８　ａ、９　ａはガス供給
路としての配管であり、これらの配管７　ａ、８　ａ、
９　ａは、それぞれハロゲンガスボンベ７、希ガスボン
ベ８．バッファガスボンベ９とレーザ管４との間に介装
されている。

また、１０，１１，１２はそれぞれ配管７ａ。

８ａ、９ａに介装された電磁バルブ、１５は制御装置で
あり、この制御装置１５は、レーザ管４による主放電電
極１の放電、電磁バルブ１０，１１゜１２の開閉等を制
御するものである。

次に動作について説明する。レーザ管４内にレーザガス
を供給する手段として、まず最初に、電磁バルブ１０を
開放することにより、ハロゲンガスボンベ７から配管７
ａを通じて所定量のハロゲンガスをレーザ管４内に注入
した後、電磁バルブ１ｏを閉じる。

そして、同様に、電磁バルブ１１を開放することにより
、希ガスボンベ８がら配管８ａを通じて所定量の希ガス
をレーザ管４内に注入した後、電磁バルブ１１を閉じる
。

最後に、電磁バルブ１２を開放することにより、希ガス
ボンベ９から配管９ａを通じて所定量の希ガスをレーザ
管４内に注入した後、電磁バルブ１２を閉じる。

このようにして、ハロゲンガス、希ガスおよびバッファ
ガスを所定量レーザ管４内へ注入・供給し、同レーザ管
４内で所要の割合で混合させて、レーザガスの供給を行
なう。

［発明が解決しようとする問題点］ 従来のレーザ発振装置は以上のように構成されているの
で、レーザ管４が複数台そなえられる場合には、３種の
ガスボンベ７．８．９をそれぞれレーザ管４の数の分だ
け用意する必要があり、多大な設備コストを要している
。

また、３種のガスをレーザ管４内で混合するので、３つ
の電磁バルブ７．８．９をそれぞれ順次開閉制御しなけ
ればならず、ガスの供給に多大な時間を要している。こ
のため、レーザ発振中におけるガスの部分交換時におい
ては、レーザ出力が低下するなどの問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、レーザ管を複数台そなえた場合には、同種の
ガスボンベを複数台用意することなく、ガスの供給を短
時間で行なえるようにするとともに、レーザ発振中にお
けるガスの部分交換も短時間で行なえるようにして、ガ
ス供給あるいはガス交換によるレーザ出力の低下を招く
ことのないレーザ発振装置を得ることを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ この発明に係るレーザ発振装置は、レーザ管と複数のガ
スボンベとの間に介装されたガス供給路に、上記の各ガ
スボンベからのガスを所要の割合で収容するタンクを介
装したものである。

［作　　　用コ この発明におけるレーザ発振装置では、タンクにおいて
、所定の混合比のガスが、予め各ガスボンベから導かれ
たガスにより混合・構成されて収容され、このガスがレ
ーザ管内へ供給される。

［発明の実施例コ 以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一実施例にょるレーザ発振装置を示す模
式図であり、第１図において、１は主放電電極、２はガ
ス循環ブロア、３は熱交換器、４は主放電電極１．ガス
循環ブロア２および熱交換器３を内蔵するレーザ管であ
り１本実施例では２台そなえられている。また、５は主
放電電極１に高電圧を供給する高圧電源である。

そして、６はタンク、７はハロゲンガスボンベ、８は希
ガスボンベ、９はバッファガスボンベ、７ａ。

８ａ、９ａはガス供給路としての配管であり、これらの
配管７ａ、８ａ、９ａは、それぞれハロゲンガスボンベ
７、希ガスボンベ８．バッファガスボンベ９とタンク６
との間に介装されている。また、１０．１１．１２はそ
れぞれ配管７　ａ、８　ａ、９　ａに介装された電磁バ
ルブである。

さらに、１３．１４はガス供給路としての配管であり、
これらの配管１３．１４は、それぞれレーザ管４，４と
タンク６との間に介装されている。

また、１３ａ、１４ａはそれぞれ配管１３．１４に介装
された電磁バルブである。

１５は制御装置であり、この制御装置１５は、レーザ管
４による主放電電極１の放電、電磁バルブ１０，１１，
１２．１３ａ、１４ａの開閉等を制御するものである。

次に動作について説明する。上記のように構成されたレ
ーザ発振装置において、タンク６内には、所定の混合比
のガスを予め混合して収容しておく。

すなわち、制御装置１５の指令により、まず最初ニ、電
磁バルブ１０を開放することにより、ハロゲンガスボン
ベ７から配管７ａを通じて所定量のハロゲンガスをレー
ザ管４内に注入した後、電磁バルブ１ｏを閉じる。次い
で、同様に、電磁バルブ１１を開放することにより、希
ガスボンベ８から配管８ａを通じて所定量の希ガスをレ
ーザ管４内に注入した後、電磁バルブ１１を閉じる。最
後に、電磁バルブ１２を開放することにより、希ガスボ
ンベ９から配管９ａを通じて所定量の希ガスをレーザ管
４内に注入した後、電磁バルブ１２を閉じる。

このようにして、ハロゲンガス、希ガスおよびバッファ
ガスを所定量タンク６内へ注入・供給し。

同タンク６内で所要の割合で混合させて、レーザガスを
構成し収容する。

次に、レーザ管４内にガスを供給する場合、あるいはレ
ーザ発振中にレーザ管４内のガスを部分交換する場合に
は、制御装置１５からの指令により、供給先のレーザ管
４とタンク６との間における配管１３または１４の電磁
バルブ１３ａまたは１４ａを開いて、レーザ管４内に混
合ガスを注入した後、電磁バルブ１３ａまたは１４ａを
閉じる。

このように１本実施例によれば、タンク６内に所定の混
合比のガスが予め準備されるので、レーザ管４内へのガ
ス供給やガスの部分交換が、極めて短時間で行なわれる
ようになり、ガス供給やガス交換によるレーザ出力の低
下を生じることはなく５安定したレーザ出力が得られる
のである。

また、タンク６をガス供給路に介装すること（こより、
レーザ管４を複数台そなえた場合でも、同種のガスボン
ベは各１台だけ用意すればよいので、設備コストを削減
できる利点もある。

なお、上記実施例では、２台のレーザ管４をそなえた場
合について説明したが１本発明は１台のレーザ管４をそ
なえた場合や３台以上のレーザ管４をそなえた場合にも
同様に適用でき、上記実施例と同様の効果を奏する。

［発明の効果］ 以上のように、この発明によれば、レーザ管と複数のガ
スボンベとの間に介装されたガス供給路に、上記の各ガ
スボンベからのガスを所要の割合で収容するタンクを介
装するようにしたので、ガスをレーザ管内に短時間で供
給できるとともに、レーザ発振中においても短時間で部
分交換を行なえるので、レーザ出力が低下することがな
く、安定したレーザ出力が得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例によるレーザ発振装置を示
す模式図であり、第２図は従来のレーザ発振装置を示す
模式図である。 図において、４−レーザ管、６−タンク、７−ハロゲン
ガスボンベ、８−希ガスボンベ、９−バッファガスボン
ベ、７ａ、８ａ、９ａ、１３．１４・・−ガス供給路と
しての配管。 なお、図中、同一の符号は同一、又は相当部分を示して
いる。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. レーザ管と複数のガスボンベと、上記のレーザ管とガス
   ボンベとの間に介装されたガス供給路とをそなえ、同ガ
   ス供給路に、上記の各ガスボンベからのガスを所要の割
   合で収容するタンクが介装されたことを特徴とするレー
   ザ発振装置。