JPS6041282A - 炭酸ガスレーザ装置 - Google Patents
炭酸ガスレーザ装置Info
- Publication number
- JPS6041282A JPS6041282A JP11374283A JP11374283A JPS6041282A JP S6041282 A JPS6041282 A JP S6041282A JP 11374283 A JP11374283 A JP 11374283A JP 11374283 A JP11374283 A JP 11374283A JP S6041282 A JPS6041282 A JP S6041282A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- valve
- laser
- carbon dioxide
- opened
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、ガスフロー形の炭酸ガスレーデ装置に係り
、特にレーザガスの取入れ形態に関する。
、特にレーザガスの取入れ形態に関する。
一般に大出力の炭酸ガスレーザ装置においては、炭酸ガ
スを含む気体なレーザ風洞内にて送風機により高速循環
させ、レーザ風洞内でグロー放電を生じさせ、その両端
にそれぞれミラーを設けてレーザ共振器を構成し、レー
ザ光を発生させている。その際、大電力のグロー放電を
行なうため、炭酸ガスが分解したり、外部から不純物ガ
スが混入してレーザガスが劣化するため、新たに外部か
らレーザガスを導入し、更に圧力制御のだめ排気を行な
っている。
スを含む気体なレーザ風洞内にて送風機により高速循環
させ、レーザ風洞内でグロー放電を生じさせ、その両端
にそれぞれミラーを設けてレーザ共振器を構成し、レー
ザ光を発生させている。その際、大電力のグロー放電を
行なうため、炭酸ガスが分解したり、外部から不純物ガ
スが混入してレーザガスが劣化するため、新たに外部か
らレーザガスを導入し、更に圧力制御のだめ排気を行な
っている。
このような炭酸ガスレーザ装置は、従来、第１図又は第
２図に示すように構成され、第１図の場合はＨｅｅ Ｎ
２ ａ Ｃ０２等のガスを入れたガスデンペ１，２．３
からガス混合器４を通してレーザ本体５に供給している
。この場合、ガス混合器（はＶギュレータ６ 、７ 、
８、流量調整器９．１０，１）、及び電磁弁１２からな
っている。又、し・−ザ本体５は、レーザ風洞内に複数
組の陰・陽電極からなる放電部と、送風機、熱交換器な
どを収容すると共に、ミラーを内蔵した共振箱からなっ
ている。尚、１３は排気月？ンプである。
２図に示すように構成され、第１図の場合はＨｅｅ Ｎ
２ ａ Ｃ０２等のガスを入れたガスデンペ１，２．３
からガス混合器４を通してレーザ本体５に供給している
。この場合、ガス混合器（はＶギュレータ６ 、７ 、
８、流量調整器９．１０，１）、及び電磁弁１２からな
っている。又、し・−ザ本体５は、レーザ風洞内に複数
組の陰・陽電極からなる放電部と、送風機、熱交換器な
どを収容すると共に、ミラーを内蔵した共振箱からなっ
ている。尚、１３は排気月？ンプである。
又、第２図の場合は、混合ガスを入れたガスがンペ１４
を用いた場合であり、レギーレータ１５と電磁弁１６を
通してレーザ本体５に供給している。
を用いた場合であり、レギーレータ１５と電磁弁１６を
通してレーザ本体５に供給している。
ガスボンベ１ ｔ ２ｔ ３ ｙ １４は内蔵している
ガスを使い切ってしまった時、新しいがンベに交換しな
ければならない。この交換時に、一旦ガス供給パイｆｌ
ｙ、１ｇ、１９．２ｏをガスボンベｘ、２．ｓ、１４か
ら外すことになるため、ガス供給ノぞイブ１７．１Ｂ、
１９．２０に周囲の空気が入り込んでしまう可能性があ
る。
ガスを使い切ってしまった時、新しいがンベに交換しな
ければならない。この交換時に、一旦ガス供給パイｆｌ
ｙ、１ｇ、１９．２ｏをガスボンベｘ、２．ｓ、１４か
ら外すことになるため、ガス供給ノぞイブ１７．１Ｂ、
１９．２０に周囲の空気が入り込んでしまう可能性があ
る。
ところがレーザ本体５内部へ入り込んだ不純物、特に水
分の混入は炭酸ガスレーザに悪影響を及ぼす。即ち、ア
ーク放電に移行する放電入力の閾値が下り、最大に近い
レーザ出力を出していた場合は、アーク放電を起してし
まう。
分の混入は炭酸ガスレーザに悪影響を及ぼす。即ち、ア
ーク放電に移行する放電入力の閾値が下り、最大に近い
レーザ出力を出していた場合は、アーク放電を起してし
まう。
〔発明の目的〕
この発明の目的は、ガスボンベの交換時に混入する不純
物ガスをレーザ本体に入れないようにした炭酸ガスレー
ザ装置を提供することである。
物ガスをレーザ本体に入れないようにした炭酸ガスレー
ザ装置を提供することである。
この発明は、ガス供給口の近くにバルブを２個設け、そ
の１個をガス供給用に他の１個を流し捨て用に使用する
ことにより、ガスがンペ交換時に混入する不純物ガスを
レーザ本体内に入れないようにした炭酸ガスレーザ装置
である。
の１個をガス供給用に他の１個を流し捨て用に使用する
ことにより、ガスがンペ交換時に混入する不純物ガスを
レーザ本体内に入れないようにした炭酸ガスレーザ装置
である。
この発明の炭酸Ｉスレーザ装置は第３図に示すように構
成され、従来例（第１図）と同−面断は同一符号を付す
ことにすると、レーザ本体５のガス供給口２１の近くの
ガス供給バイブ２２にはガス供給用バルブ２３が設けら
れている。更に、このガス供給用バルブ２３のガス混合
器ｆ側には、バイブ２２に分岐・母イノ２４が設けられ
、先端は開目端となっているが、途中にはガス流し捨て
用バルブ２５が設けられている。図中、２６はガス排気
口である。
成され、従来例（第１図）と同−面断は同一符号を付す
ことにすると、レーザ本体５のガス供給口２１の近くの
ガス供給バイブ２２にはガス供給用バルブ２３が設けら
れている。更に、このガス供給用バルブ２３のガス混合
器ｆ側には、バイブ２２に分岐・母イノ２４が設けられ
、先端は開目端となっているが、途中にはガス流し捨て
用バルブ２５が設けられている。図中、２６はガス排気
口である。
尚、この発明の炭酸ガスレーザ装置は上記以外は従来例
と同様構成ゆえ、詳細な説明を省略する。
と同様構成ゆえ、詳細な説明を省略する。
さて、このような炭酸ガスレーデ装置において、常時は
ガス供給用バルブ２３を開け、ガス流し捨て用バルブ２
５を閉じておく。そして、ガスボンベ１，２．３内のガ
スの量が減り、ガスボンベ１，２．３を交換する場合は
、ガス供給用・々ルブ２３を閉じる。この時、ガス流し
捨て用バルブ２５は閉じたままにしておく。その後、ガ
スボンベ交換が完了した時点で新しいガスボンベのコッ
クを開け、必要な場合はガス混合器ｆのバルブも開けて
、且つガス流し捨て用バルブ２５を開はガス供給ツヤイ
ブ１７．１Ｂ。
ガス供給用バルブ２３を開け、ガス流し捨て用バルブ２
５を閉じておく。そして、ガスボンベ１，２．３内のガ
スの量が減り、ガスボンベ１，２．３を交換する場合は
、ガス供給用・々ルブ２３を閉じる。この時、ガス流し
捨て用バルブ２５は閉じたままにしておく。その後、ガ
スボンベ交換が完了した時点で新しいガスボンベのコッ
クを開け、必要な場合はガス混合器ｆのバルブも開けて
、且つガス流し捨て用バルブ２５を開はガス供給ツヤイ
ブ１７．１Ｂ。
１９．２２に貯っていた不純物を含むと考えられるガス
を必要時間流し捨てる。
を必要時間流し捨てる。
この発明によれば、ガス供給用バルブ２３とガス流し捨
て用バルブ２５を設けているので、ガスボンベ１，２．
３の交換時にバイブ１７゜１８．１９．２２内に混入し
た不純物ガスをレ５− 一ザ本体５内に入れないで、捨てることができる。
て用バルブ２５を設けているので、ガスボンベ１，２．
３の交換時にバイブ１７゜１８．１９．２２内に混入し
た不純物ガスをレ５− 一ザ本体５内に入れないで、捨てることができる。
第１図及び第２図は従来の炭酸がスレーブ装置の２例を
示す概略構成図、第３図はこの発明の一実施例に係る炭
酸がスレーブ装置を示す概略構成図である。 １．２．３・・・ガスボンベ、４・・・ガス混合器、５
・・・レーザ本体、１３・・・排気ポンプ、１７゜１Ｂ
、１９．２２・・・ガス供給ノ４４−、へ２７−・・ガ
ス供給口、２３・・・ガス供給用・々ルブ、２４・・・
分岐バイブ、２５・・・ガス流し捨て用バルブ、２６・
・・ガス排気口。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦６−
示す概略構成図、第３図はこの発明の一実施例に係る炭
酸がスレーブ装置を示す概略構成図である。 １．２．３・・・ガスボンベ、４・・・ガス混合器、５
・・・レーザ本体、１３・・・排気ポンプ、１７゜１Ｂ
、１９．２２・・・ガス供給ノ４４−、へ２７−・・ガ
ス供給口、２３・・・ガス供給用・々ルブ、２４・・・
分岐バイブ、２５・・・ガス流し捨て用バルブ、２６・
・・ガス排気口。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦６−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザ本体のガス供給口にガスデンペからレーザガスを
供給し、ガス排気口から排気する炭酸がスレーザ装置に
おいて、 上記ガス供給口の近くにバルブを２個設け、その１個を
ガス供給用に他の１個を流し捨て用に使用することによ
り、上記ガス？ンペの交換時に混入する不純物ガスを上
記レーザ本体に入れないことを特徴とする炭酸ガスレー
ザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11374283A JPS6041282A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 炭酸ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11374283A JPS6041282A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 炭酸ガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6041282A true JPS6041282A (ja) | 1985-03-04 |
Family
ID=14619972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11374283A Pending JPS6041282A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 炭酸ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6041282A (ja) |
-
1983
- 1983-06-24 JP JP11374283A patent/JPS6041282A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE102011012821A1 (de) | Gaslaservorrichtung | |
| JPS6041282A (ja) | 炭酸ガスレーザ装置 | |
| JPS62214686A (ja) | 気体レ−ザ発振器におけるレ−ザガス注入方法 | |
| JPH0429386A (ja) | エキシマレーザ装置 | |
| JPS62207584A (ja) | ア−ク溶接装置 | |
| JP2541564B2 (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS6412588A (en) | Gas laser equipment | |
| KR100802701B1 (ko) | 흡입부압 연동 배기가스 순환 시스템 | |
| JPH0487388A (ja) | エキシマレーザ | |
| JPH03135085A (ja) | エキシマレーザ装置 | |
| JPH0480979A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| CN215263585U (zh) | 一种低气压环境下加速度计测试装置 | |
| CN85100826B (zh) | 气动窗口 | |
| JPS63289887A (ja) | 気体レ−ザ装置 | |
| JPH02185626A (ja) | ガスタービン用蒸気供給設備および蒸気噴射方法 | |
| JPH08121192A (ja) | 低圧ガスタービンの冷却方法 | |
| JPH01152776A (ja) | パルスレーザ発振装置 | |
| JPS60115280A (ja) | 気体レ−ザ発振器 | |
| US4403325A (en) | Gasdynamic CO2 laser and method for operating such a laser | |
| JPH01251768A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPS5992586A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS6489577A (en) | Laser oscillator | |
| JPS63229885A (ja) | ガスレ−ザのガス交換方法 | |
| JPS6348879A (ja) | Ｃｏ↓２レ−ザ発振装置 | |
| JPH08279637A (ja) | パルスレーザ発振装置 |