JPS6334623B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 (a) 発明の技術分野 本発明は、半導体装置などの製造において、ウ
エハキヤリアに収容されている複数のウエハの
個々について認識するためのウエハ認識方法に関
す。

(b) 技術の背景 多数のウエハに同一の加工を施す製造例えば半
導体装置の製造などにおいて、多くは、複数（一
般的には25枚の場合が多い）のウエハを収容し
て、ウエハの保管、運搬などを容易にしたり、自
動加工機械のウエハ搬入搬出部にセツトしたりす
るウエハキヤリアを使用している。一方、ウエハ
にはロツト番号やウエハ番号を記載し、加工の前
や検査の際にその番号を確認して製造管理の徹底
を図ることが一般に行われている。また、自動加
工機械においては、前記セツトしたウエハキヤリ
アからウエハを損傷することなく確実に取り出す
ことが必要であり、該機械の中には任意のウエハ
を取り出すことが必要なものもある。

(c) 従来技術と問題点 第１図は一般的なウエハキヤリアの要部構造を
示し、図ａ、図ｂ、図ｃはそれぞれの平面視、側
面視、正断面視である。第１図において、ウエハ
キヤリア１０は通常合成樹脂例えば弗素樹脂やポ
リプロピレンなどの成形で作られており、上面に
はウエハ２０の挿入窓口となり平行して対向する
側面１１を有する開口１２があり、下面には両側
面１１の中間に位置して幅（図ｃ図示寸法ａ）が
両側面１１の間隔より小さく長手方向が側面１１
に平行な開口１３がある。また、側面１１上には
開口１２面に略垂直で略等間隔（図ｂ図示寸法ｂ
で4.76mmの場合が多い）に並んだ複数例えば25個
の溝１４があり、ウエハ２０は開口１２から溝１
４に沿つて挿入されて収容される。

一方、第２図図示のように、前述したウエハ２
０のロツト番号やウエハ番号を示す番号２１は、
ウエハ２０表面のオリフラ（オレエンテーシヨン
フラツト）２２と反対側の周辺部に約２mm程度の
大きさの数字で記載されている。

この番号２１の確認は、ウエハキヤリア１０に
収容されているウエハ２０に対して行われること
が多いが、該収容された状態では視認が困難であ
るため、従来はピンセツトなどでウエハ２０を抜
取出して行つている。しかしながら、ウエハ２０
が大型化した場合には、上記従来の認識方法は、
作業が不安定になつてウエハ２０に損傷を与え、
然もその際の破片が他のウエハ２０にも付着して
製造の品質を劣化させる問題を有している。

また、自動加工機械においてセツトされたウエ
ハキヤリア１０からウエハ２０を取り出す場合に
は、通常、該機械のウエハチヤツクとウエハキヤ
リア１０との相対位置を寸法ｂ宛移動させてウエ
ハチヤツクを作動させるが、ウエハキヤリア１０
は合成樹脂の成形品ゆえ寸法にばらつきがあつ
て、内部にあるウエハ２０の位置が必ずしも所定
位置にあるとは限られないので、ウエハチヤツク
がウエハ２０を損傷させることがある問題を有し
ており、個々のウエハ２０の正確な位置を認識す
ることが望まれている。

(d) 発明の目的 本発明の目的は上記従来の問題に鑑み、複数の
ウエハを収容している従来のウエハキヤリアにお
いて、個々のウエハに記載されている番号ないし
ウエハの正確な位置を容易に認識することが可能
なウエハ認識方法を提供することにある。

(e) 発明の構成 上記目的は、対向する側面を有する第一の開口
と、該側面上に第一の開口面に略垂直で略等間隔
に並んだ複数の溝と、第一の開口の反対側にある
第二の開口とを有し、第一の開口から該溝に沿つ
て挿入された複数のウエハを収容しているウエハ
キヤリアにおいて、該間隔毎に段差を有する階段
状の治具を第二の開口から挿入して、各ウエハを
移動量が該溝の並び方向に沿つて順次大きくなる
ように第一の開口方向に移動させ、個々のウエハ
表面の第一の開口側周辺部を視認出来るようにす
ることを特徴とするウエハ認識方法によつて達成
される。

ウエハに記載されている番号の記載位置はウエ
ハ表面のオリフラと反対側の周辺部であるので、
ウエハキヤリア内のウエハをオリフラが前記開口
側と反対側になるように揃え（オリフラ合わせ工
具を使用して容易に可能）てから、本発明の方法
を行うことにより、該番号を容易に視認すること
が可能になる。

また、ウエハの位置認識については、本発明の
方法を行うことにより、各ウエハ表面の一部を視
認出来るようになるので、例えばレーザー測距装
置などを使用して容易に認識することが可能にな
る。

(f) 発明の実施例 以下本発明の実施例を図により説明する。全図
を通じ同一符号は同一対象物を示す。

第３図は本発明のウエハ認識方法に使用する階
段状の治具の一実施例を示した図、第４図は本発
明の方法によるウエハ認識の一実施例を示した
図、第５図は本発明の方法によるウエハ認識の他
の実施例を示した図である。

第３図図示の治具３０は、階段状をなし、ウエ
ハ２０が５インチウエハである場合、各段の長さ
寸法は第１図ｂに図示した溝１４の間隔寸法ｂ例
えば4.76mmに一致させており、段差寸法は約２mm
程度で、段数は並んだ溝１４の数例えば25に合わ
せてある。また、最下段の高さ寸法ｄは、第１図
ｃ図示においてウエハ２０のオリフラ２２を開口
１３に向けて挿入し、ウエハ２０のオリフラ２２
と反対側の頂点が開口１２の面より約２mm程度出
ている時のオリフラ２２と開口１３の面との間隔
寸法に合わせてある。更に、治具３０の幅寸法ｅ
は、第１図ｃ図示開口１３の幅寸法ａより若干小
さくしてある。

従つて、オリフラ２２を開口１３側にしてウエ
ハ２０を収容しているウエハキヤリア１０の開口
１３から、第４図、第５図図示のように、全ての
ウエハ２０（オリフラ２２）が段に載るように治
具３０を挿入すれば、治具３０はウエハキヤリア
１０に干渉することなく全てのウエハ２０を押し
出し、各ウエハ２０の開口１２側の頂点は、開口
１２の面から突出し、突出寸法は治具３０の最下
段から上段方向に向かつて前記段差宛大きくな
る。このような状態になれば、ウエハ２０表面の
周辺部における前記頂点近傍を容易に視認するこ
とが可能になる。

なお、オリフラ２２を開口１３側に揃えるの
は、オリフラ合わせ工具を使用することにより容
易に可能である。

第４図は上記方法を行つてウエハ２０に記載さ
れた番号２１を目視で認識する様子を示してお
り、番号２１がウエハ２０表面の周辺部における
開口１２より突出した頂点部に記載されているこ
とから、該認識が容易であることは改めて説明を
要しない。

第５図は上記方法を行つてウエハ２０の位置認
識をする様子を示している。これは、第４図に図
示した目の代わりに例えばレーザー測距装置４０
を配置してあり、治具３０を挿入したうえでレー
ザー測距装置４０を所望のウエハ２０の前記頂点
近傍の面に向ければ、極めて正確に該ウエハ２０
の位置を認識することが可能になる。そしてこの
位置認識は自動加工機械において必要であるた
め、治具３０、レーザー測距装置４０を該機械に
取付けることにより、前述で問題になつたウエハ
チヤツクによるウエハ２０の損傷を防止すること
が可能になり、然もウエハキヤリア１０の中の任
意のウエハ２０を損傷させることなく取り出すこ
とも可能になる。

(g) 発明の効果 以上に説明したように、本発明による構成によ
れば、複数のウエハを収容している従来のウエハ
キヤリアにおいて、個々のウエハに記載されてい
る番号ないしウエハの正確な位置を容易に認識す
ることが可能なウエハ認識方法を提供することが
出来て、前記番号の認識作業においてはピンセツ
トの使用を不要にし、また自動加工機械における
前記ウエハキヤリアからのウエハ取り出しにおい
てはウエハの損傷を防止して、製造品質の向上を
可能にさせる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は一般的なウエハキヤリアの要部構造を
示した平面図ａ側面図ｂ正断面図ｃ、第２図はウ
エハの番号記載位置を示した図、第３図は本発明
のウエハ認識方法に使用する階段状の治具の一実
施例を示した図、第４図は本発明の方法によるウ
エハ認識の一実施例を示した図、第５図は本発明
の方法によるウエハ認識の他の実施例を示した図
である。 図面において、１０はウエハキヤリア、１１は
側面、１２，１３は開口、１４は溝、２０はウエ
ハ、２１は番号、２２はオリフラ、３０は治具、
４０はレーザー測距装置、ａ〜ｅは寸法をそれぞ
れ示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 対向する側面を有する第一の開口と、該側面
   上に第一の開口面に略垂直で略等間隔に並んだ複
   数の溝と、第一の開口の反対側にある第二の開口
   とを有し、第一の開口から該溝に沿つて挿入され
   た複数のウエハを収容しているウエハキヤリアに
   おいて、該間隔毎に段差を有する階段状の治具を
   第二の開口から挿入して、各ウエハを移動量が該
   溝の並び方向に沿つて順次大きくなるように第一
   の開口方向に移動させ、個々のウエハ表面の第一
   の開口側周辺部を視認出来るようにすることを特
   徴とするウエハ認識方法。