JPS633389A - パタ−ン検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、パターン検査装置にかかるものであり、特に
、非検査物の内容がシーケンシャルに変化する場合に好
適なパターン検査装置に関するものである。

［従来の技術］ 従来のパターン検査装置としては、例えば、第３図に示
すものがある。この図において、被検査物１０の画像を
電気信号に変換するＣＣＤカメラなどの撮像装置１２は
、画像処理装置１４に接続されており、画像処理装置１
４は、検査装置１６に接続されている。そして、検査装
置１６には、基準パターン出力装置１８が接続されてい
る。　以上の各装置のうち、画像処理装置１４は、例え
ば、人力された画像信号からパターンの抽出を行うもの
であり、検査装置１６は、例えば抽出された被検査物１
０のパターンと、基準パターン出力装置１８から出力さ
れた基準パターンとを比較する処理を行うものである。

以上のような装置の動作について説明すると、まず、比
較すべき基準パターンが、適宜の人力装置（図示せず）
により、あるいは撮像装置１２によってｇ亥基準パター
ンをｇ売みこむことにより、基準パターン出力装置１８
に格納される。

次に、被検査物１０が撮像装置１２によって撮像され、
その画像信号が画像処理装置１４に人力されて必要な画
像処理か施される。

次に、画像処理装置１４で抽出されたパターンは、検査
装置１６において、基準パターン出力装置１８から出力
された基準パターンと比較され、必要があればパターン
識別が行われてその結果が出力される。

そして、かかる結果は、被検査物１０の生産ライン等で
ｒＧＯＪあるいはｒＮｏ−ＧＯＪの判定に用いられる。

［発明が解決しようとする問題点コ しかしながら、以上のような従来の装置では、例えは、
被検査物か変更されたような場合、その検査物の基準パ
ターンを、そのつと基準パターン出力装置に格納する必
要があり、作業の自動化が困難である。

特に、非検査物の内容がシーケンシャルに変化するよう
な場合、例えば、製品番号の印字品質を検査する場合に
は、製品のＮ個毎に同一のパターンが連続し、基準パタ
ーンの変更を繁雑に行う必要がある。

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、被検
査物の変更があっても、良好に対応して自動的に像検査
を行うことができるパターン検査装置を提供することを
、その目的とするものである。

〔問題点を解決するための手段コ 本発明は、検査対象像の変更の態様に関する情報をを格
納する格納手段と、該格納手段の情報に基き、前記検査
対象像の変更に対応して基準パターン情報・を変更する
変更手段とを具備したことを特徴とするものである。

［作用］ 本発明によれば、検査対象像の変更があっても、変更手
段により基準パターン情報が変更され、画像検査は連続
して自動的に行われる。

［実施例コ 以下、本発明の実施例を、添付図面を参照しながら詳細
に説明する。第１図には、不発明の一実施例が示されて
いる。この図において、被検査物２０の画像を電気信号
に変換するＣＣＤカメラなどの１１〜像装置２２は、画
像処理装置２４に接続されており、画像処理装置２４は
、検査装置２６に接続されている。そして、検査装置２
６には、基準パターン出力装置２８が接続されている。

上記検査装置２６の出力側は、制御装置３０に接続され
ており、この制御装置３０の制御信号は、上述した基準
パターン出力装置２８に人力されるように接続されてい
る。更に、制御装置３０には、操作盤３２が接続されて
いる。

以上の各装置のうち、画像処理装置２４は、人力された
画像信号を二値化するとともに、その変化点を求める。

そして、かかる変化点の情報からパターンの切り出しや
ラヘリングの操作を行い、どの位置にどのような図形の
パターンがあるかを判別して出力する。これらのパター
ン抽出の処理は、例えば、特開昭５６−１０３７７３号
に開示された手法で行われる。

次に、検査装置２６は、抽出された被検査物２０のパタ
ーンと、基準パターン出力装置２８から出力された基準
パターンとのマツチング、あるいは、被検査物２０のパ
ターンと基準パターン出力装置２８に格納されている基
準パターンとの比較を行うものである。

また、制御装置３０は、操作器３２によってオペレータ
が人力した被検査物２０のパターン変化に関する情報に
基づき、検査装置２６の出力に対応していずれの基準パ
ターンを出力するかを、基準パターン出力装置２８に指
令するものである。

次に、上記実施例の動作について第２図のフローチャー
トを参照しながら説明する。なお、この例では、被検査
物２０が製品番号であり、製品１０個ごとに番号が変化
するものとする。

まず、オペレータは、操作盤３２を操作して教示モード
としくステップＳＡ参照）、最初の被検査物２０の製品
番号、例えばｒｏｏＩＪのパターンを撮像装置２２の下
におき、そのパターンの）１１像を行う（ステップＳＢ
参照）。

パターンｒｏｏＩＪの画像信号は、画像処理装置２４で
処理され（ステップＳＢ参照）、更に、検査装置２６で
基準パターン出力装置２８に格納されている「０」ない
し「９」の基準パターンとのマツチングが行われる。か
かるマツチングの結果が検査装置２６から出力されると
、これかオペレータによって確認される（ステップＳＣ
参照）。

次にオペレータは、被検査物２０のパターンがどのよう
に変化するかを、操作盤３２によって入力する（ステッ
プＳＣ参照）。この例では、被検査物２０のパターンか
１０個ごとに番号か変化する旨の人力が行われる。

以上の操作の後、オペレータは、操作盤３２を操作して
運転モードに切り替える（ステップＳＣ参照）。これに
より、被検査物２０の製品番号の検査が開始される。

まず、最初の製品番号ｒｏｏＩＪの被検査物２０が撮像
装置２２の下に置かれ、製品番号のパターンが読みこま
れる（ステップＳＣ参照）。画像信号は、画像処理装着
２４で処理され（ステップＳＣ参照）、検査装置２６で
パターンの比較が行われる。

このとき、制御装着３０により、基準パターン出力装着
２８に、ｒｏｏＩＪの基準パターンを出力するように指
令か行われる（ステップＳＣ参照）。これにより、検査
装置２６ては、入力されたパターンと、基準パターンと
の比較か行われることとなる（ステップＳＣ参照）。

この比較結果は、検査結果として出力されて表示、記録
が行われるとともに、制御装着３０に入力される。

以上の動作が１０番目の被検査物２０、すなわち製品番
号が「００１」のものについて行われると、制御装着３
０は、上述したステップＳで人力されたパターンシーケ
ンスに関する情報に基いて、次に検査される製品番号ｒ
００２Ｊの基準パターンを検査装置２６に出力するよう
、基準パターン出力装置２８に指令を送る（ステップＳ
　Ｊ’参照）。この操作により、基準パターンか、被検
査物２０の製品番号に対応して変更されることとなる。

この動作の後、次の１０個の被検査物２０について、上
述したパターンの検査が行われると、制御装着３０によ
り検査装置２６に出力すべぎ基準パターンがｒｏ０２Ｊ
から「００３」に変更される。

以上の動作か繰り返されて、基準パターンが検査対象パ
ターンに対応して順に変更され、検査対象パターンに変
更か生じても自動的にパターンの検査か行われる。

なお、本発明は何ら上記実施例に限定されるものではな
く、例えば検査対象となるパターンとしては、製品番号
の他どのようなものでもよい。

また、基準パターンは、操作盤３２て入力するようにし
てもよいし、撮像装置２２を用いて人力するようにして
もよい。

上記実施例では、パターンマツチングで検査を行う場合
を示したが、特徴抽出による方式でもよい。

更に、被検査パターンの変更の、態様は、上述した製品
番号のように変化するものに限られるものではなく、ラ
ンダムな場合であっても操作音３２でその変化の順序を
入力するようにすれは、自動的にパターン検査を行うこ
とか可能である。

また、上記実施例で、同一の基準パターンを用いるよう
にすれは、従来と同様のパターン検査を行うことができ
、あるいは、車なる画像認識装置、例えはＯＣＲとして
用いることも可能である。

［発明の効果コ 以上説明したように、本発明によれは、被検査物の変更
かあっても、良好に対応して自動的に像検査を行うこと
かできるという効果かある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実しλ例を示す回路ブロック図、第
２図は該実施例の動作例を示すフローチャート、第３図
は従来の装買例を示す回路ブロック図である。 ２０・・・被検査物、２２・・・撮像芸冒、２４・・Ｉ
Ｕｉｌ像処理装音、２６・・・検査装ご、２８・・・基
準パターン出力装置、３０・・・制御装二、３２・・・
操作盤。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 撮像手段によって得られた検査対象像の画像信号を画像
   処理手段により処理してパターン情報を得、これを基準
   パターン情報に基いて検査手段により検査するパターン
   検査装置において、 前記検査対象像の変更の態様に関する情報をを格納する
   格納手段と、 該格納手段の情報に基き、前記検査対象像の変更に対応
   して前記基準パターン情報を変更する変更手段とを具備
   したことを特徴とするパターン検査装置。