JPS6330645A

JPS6330645A - 駆動装置

Info

Publication number: JPS6330645A
Application number: JP17460686A
Authority: JP
Inventors: Ryoji Nemoto; 亮二根本; Toshiaki Taniuchi; 谷内　俊明
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1986-07-24
Filing date: 1986-07-24
Publication date: 1988-02-09

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野コこの発明は、被駆動物を直線的に運動させるための駆動
装置に関する。

［従来の技術］例えば、ある）ｒ導体ウェハ用異物検査システムにおい
ては、半導体ウェハを載置した移動ステージを高速に移
動させることより、固定したレーザ光源から出されるレ
ーザビームで導体ウェハの表面を走査するようになって
いる。

そのような移動ステージを直線的に高速移動させるため
に、リニアモータなどを含む駆動装置が用いられている
。

［解決しようとする問題点コ従来、このような移動ステージを高速駆動する駆動ＲＡ
置においては、加速時および減速時に、移動ステージの
慣性力によって、振動や騒音を発生したり、その振動が
周囲の光学系などに悪影響を及ぼすというような問題が
あった。

［発明の目的コしたがって、この発明の目的は、そのような問題を解消
した、前記のような高速移動ステージなどの駆動手段と
して好適な駆動装置を提供することにある。

［問題点を解決するための手段コこのｌ」的を達成するために、この発明による駆動装置
は、本体に回転自在に支持された少なくとも一対の回転
体に掛けられた無端体に、リニアアクチュエータの作動
部とカウンタ部材とがＴノ［いに逆向きに移動するよう
に結合され、前記リニアアクチュエータの固定部は前記
本体に固定され、前記作動部およびそれに連結される被
駆動物の慣性力と前記カウンタ部材の慣性力とをほぼ釣
り合わせた構成とされる。

〔作用コこのような構成であるから、リニアアクチュエータの作
動部に結合される被駆動物の加速時または減速時に、リ
ニアアクチュエータの作動部および被駆動物の慣性力と
、それにほぼ等しいカウンタ部材の慣性力とが本体に逆
向きに加わり、それらの慣性力は打ち消し合う。

その結果、加速時および減速時の振動および騒音は、従
来よりも大幅に減少する。

［実施例コ以−ド、図面を参照し、この発明の一実施例について１
悦明する。

第１図は、この発明の駆動装置の一実施例を示す概略ｉ
Ｅ面図である。この駆動装置１０は、リニアアクチュエ
ータとしてＩ）　Ｃリニアモータを用いている。本体１
２の−１一部には、このＤＣリニアモータの固定子（固
定ｆｆｌ＜）１４ａ、１４ｂが固定されている。各固定
子１４ａ、１４ｂには、多数のコイルが配列されている
。

１６はガイドレールであり、固定子１４ａ、１４ｂと一
緒に本体１２に固定されている。このガイドレール１６
の側端部は、固定子１４ａ、１４ｂよりも前後に突出し
ている。

１８ｆｔＤＣリニアモータのアーマチュア（作動部）で
あり、４個のローラ２０によって、ガイドレール１６に
移動可能に支持されている。アーマチュア１８の内部に
は、−ヒ下の固定子１４ａ、１４ｂのコイルに対向させ
て永久磁石が配列されているが、図示されていない。

このような構造であるから、図示しない駆動回路によっ
て固定子１４ａ、１４ｂのコイルの通電を制御すること
により、アーマチュア１８をガイドレール１６に案内さ
せつつ、左右に直線的に移動させることができる。

２４はカウンタブロックであり、その質晴は、アーマチ
ュア１８と、それに結合される被駆動物（図示せず）の
合計賀歌と等しい。このカウンタブロック２４は、本体
１２の内部にガイドレール１６と平行に設けられた一対
のガイドシャフト２６に、左右に移動可能に支持されて
いる。

本体１２の左右に、一対のプーリ２８ａ、２８ｂがそれ
ぞれプーリ軸３０ａ、３０ｂによって回転自在に取り付
けられている。この一対のプーリ２８ａ、２８ｂに、無
端ベルト３２が掛けられている。そして、この無端ベル
ト３２は、図示のように締着具３４によってアーマチュ
ア１８に固着され、また、締着具３６によってカウンタ
ブロック２４に固着されている。

このような構成において、アーマチュア１８を例えば右
向きに加速度ａで移動させるようにｌ）　Ｃリニアモー
タを駆動した場合、アーマチュア１８および被駆動物の
慣性力とカウンタブロック２４の慣性力によって、無端
ベルト３２、プーリ軸３０　ａ　ｓおよび固定子１４　
ａ、　　１４　ｂには、図示のような向きの力Ｆ１＝Ｆ２＝＝ｍａＦ２＝２Ｆｌ＝２ｍａＦ３＝ｍａ＋Ｆ１＝２ｍａが加わる。ここで、ｍはアーマチュア１８と被駆動物の
合計賀歌およびカウンタブロック２４の質隘である。

このように、プーリ軸３０ａを介して本体１２に加わる
力Ｆ２と、固定子１４ａ、１４ｂを介して本体１２に加
わる力Ｆ３は、大きさが等しく向きが逆である。つまり
、アーマチュア１８および被駆動物の慣性力と、カウン
タブロック２４のｔｐｔ性力とが打ち消しあうため、加
速時に本体１２に衝撃が加わらない。

これは理想的な場合であり、実際的には多少の衝撃は加
わるが、その衝撃を従来よりも極めて弱くすることがで
きるから、加速時における駆動装置１ｏの振動や騒音の
レベルを従来よりも大幅にドげることかできる。

ここまで右向きに加速する場合について説明したが、左
向きに加速する場合も減速する場合も同様であり、振動
や騒音のレベルを従来よりも大幅に低下させることがで
きる。

以上、一実施例について説明したが、この発明はそれだ
けに限定されるものではない。

例えば、無端ベルトの代わりに無端ロープを用いたり、
無端ベルトおよびプーリの代わりにチェーンおよび鎖車
をそれぞれ用いることもできる。

また、リニアモータ以外のリニアアクチュエータを用い
ることもできる。

これ以外にも、この発明は、その要旨を逸脱しない範囲
内で、様々に変形して実施し得るものである。

［発明の効果コ以ｌ−説明したように、この発明による駆動装置は、本
体に回転自在に支持された少なくとも一対の回転体に掛
けられた無端体に、リニアアクチュエータの作動部とカ
ウンタ部材とが互いに逆向きに移動するように結合され
、前記リニアアクチュエータの固定部は＋ｌｉｆ記本体
に固定され、ｉｌ’ｆ記作動部およびそれに連結される
被駆動物の慣性力と前記カウンタ部材の慣性力とをほぼ
釣り合わせた構成とされ、リニアアクチュエータの作動
部に結合される被駆動物の加速時または減速時に、リニ
アアクチュエータの作動部および被駆動物の慣性力と、
それにほぼ等しいカウンタ部材の慣性力とが本体に逆向
きに加わり、それらの慣性力は打ち消し合うため、加速
時および減速時の振動および騒音は、従来よりも大幅に
減少する。

このように、この発明によれば、加速時および減速時の
振動および騒音が小さく、半導体ウェハ用異物検査ンス
テムの移動ステージの駆動装置などとして好適な駆動装
置を実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明による駆動装置の一実施例を示す概
略正面図である。１２−・・本体、ｌ　４　ａ、　　１４　ｂ−ＤＣリニ
アモータの固定子、１６・・・ガイドレール、１８・・
・Ｉ）　Ｃリニアモータのアーマチュア、２０・・・ロ
ーラ、２４・・・カウンタブロック、２６・・・ガイド
シャフト、２８ａ、２８ｂ・・・プーリ、３２・・・無
端ベルト。特１着出願人

Claims

【特許請求の範囲】

（１）本体に回転自在に支持された少なくとも一対の回
転体に掛けられた無端体に、リニアアクチュエータの作
動部とカウンタ部材とが互いに逆向きに移動するように
結合され、前記リニアアクチュエータの固定部は前記本
体に固定され、前記作動部およびそれに連結される被駆
動物の慣性力と前記カウンタ部材の慣性力とをほぼ釣り
合わせたことを特徴とする駆動装置。
（２）リニアアクチュエータはリニアモータであること
を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の駆動装置。