JPS63303063A - 磁気記録円筒状媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は円筒形の磁気記録媒体の製造方法に係り、特に
ターゲツトの利用効率、磁性膜の磁気特性に優れたスパ
ッタ法による磁気記録円筒状媒体の製造方法に関する。

磁気記録円筒状媒体いわゆる磁気にラムは電算機の記憶
装置に用いられているが、近年は電子カメラ用の記録媒
体としても期待されている（文献二特開昭５８−７３０
７２号公報）。

（従来の技術） 磁気記録円筒状媒体は非磁性硬質材料からなる円筒の表
面に磁性体を設け、磁気へツＶにより情報ｔ−書込み、
あるいは読み出しをするものである。

従来の磁気記録円筒状媒体は金属円筒の表面に針状ｒ−
Ｆｅ１０５などの強磁性微粉末を合成樹脂中に分散させ
て塗布したりあるいは磁性合金メッキの被膜を設けるこ
とによって製造されている（文献：「総合電子部品ハン
ドブックＪ１００２−１００６頁（社）日本電子機械工
業会編、電波新聞社昭和５５年発行）。

近年、磁気記録媒体の高記録密度化および小形化の要望
が強く、これにともない金属磁性薄膜を磁性層とした円
筒形の磁気記録媒体がとくに注目されている。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、磁性合金メッキによる磁性膜の形成はメ
ッキに時間がかかるため生産性が悪いという欠点がある
。いっぽう、磁気ディスクあるいは磁気テープの製造に
おいてはスパッタ法による磁性膜の形成が実用化され始
め念。しかし、基体が円節の場合はその容積が大きく、
また、その表面が曲面であるなめに、磁性体の均一な被
覆がむずかしく、また、ターゲツトから飛散する磁性材
料の利用率が悪く、効率よく生産することは困難である
。

この発明は円筒形基体の表面に均−忙金興磁性膜が形成
され、磁性材料の利用率が高く、かつ生産性が高い磁気
記録円筒状媒体の製造方法を提供することを目的とする
。

（問題点を解決するための手段） 本発明者はスパッタ法による磁性膜の形成方法について
種々検討したところ、２枚のターゲツトを互いに合わせ
て配置し円筒形基体をターゲットの周囲に、両ターゲツ
トの中心軸と平行に配置することにより、磁気特性を損
うことなく同時に多数個の磁気記録円筒状媒体を効率良
く製造する方法を見出した。本発明の製造方法は上記の
知見に基づくものである。すなわち本発明は同一の磁性
材料からなる２枚のターゲットを互いに向い合わせて配
置し、非磁性硬質材料からなる円筒を前記ターゲットの
周囲に、両ターゲツトの中心軸と平行に配置し、前記円
Ｗｌｉをその軸を中心に回転させ−ながらスパッタする
ことを特徴とする磁気記録円筒状媒体の製造方法である
。

以下、この発明について詳しく説明する。この発明にお
いてスパッタとは低圧気体中でプラズマを発生させ、そ
のときに生ずる高エネルザー粒子の衝撃により固体表面
から固体を構成する原子あるいは分子を放出させ、これ
ら原子あるいは分子を物品の表面に付着させて膜を形成
させる方法である。

基体ハアルミニウム、がラス、合成樹脂などの非磁性硬
質材料を円筒形に成形したものである。

基体表面はうねり、表面徂さを光分に小さくしておく必
要がある。

磁性材料はＣｏ−Ｐｔ　、　Ｃｏ−０ｒなどの合金であ
り、これらの金属を板状に成形したものをターゲツトと
する。２枚のターゲットの向い合わせる間隔は基体の円
筒の長さ程度か、それ以上が好ましい。

、間隔が狭すぎると円筒の表面に龜性薄膜を均一く形成
させることがむずかしい。両ターゲツト間に発生するプ
ラズマを磁界で収束させてスパッタを高速で行なうため
に、両ターゲットの外側に磁石を配置させることが好ま
しい。スパッタの効率を高めるためにターゲットはマイ
ナス電位に保つことが好ましい。ターゲツトの周囲忙配
置する基体の個数は可能な限り多いほどターゲツトの磁
性材料の利用率が高くなり、また同時に多くの個数がス
パッタでき生産性の面でも好ましい。

基体の軸と両ターゲットの中心軸とは平行でなければな
らない。平行でないと、基体の軸方向で磁性体のスパッ
タ密度にむらを生ずる。また、当然のことながら、スパ
ッタ中は基体をその軸を中心にして回転させないと基体
の円周方向で磁性体のスパッタ密度にむらを生ずる。

スパッタ時の雰囲気は１０−２〜１０””　ｔｏｒｒの
アルビンが好ましく、このような雰囲気ではグロー放電
が起り、スパッタが高速で行なわれる。

（実施例） 以下、実施例および比較例により本発明を具体的に説明
する。基体として外径３０ｎ１内径２７罪、長さ６０ｖ
ｘｔのアルミニウム円節を準備し念。

円筒の表面をラッピングした後に無電解メッキ法でニッ
ケル・リンからなる厚さ３０μｍの硬質の下地層を設け
、下地層ｔＳ面ボリツシイングし念。

スパッタ装置は第１図および第２図に示すとおりである
。すなわち、直径１００ｍ、厚さ５謂の２枚のＣｏ　−
Ｐｔ　（原子比８２：１８）からなるターデツ）ＩＡ、
ＩＢ全九がいに向い合わせて配置し、それらのターゲツ
トの裏側にプラズマ収装磁界印加のための磁石ｚＡ、ｚ
Ｂｔ固定した。前記のターゲットと磁石はステンレン裂
のホルダー３Ａ、３Ｂで支え、絶縁体４Ａ、４Ｂを介し
てペルジャー５和気密に固定した。ホルダー全体が放電
することを防ぐためにホルダーの側面をグラウンド・シ
ールド仮６Ａ％６Ｂで覆った。ペルジャーの側面にはが
ス導入ロアとがス排気口８を設けた。

１２個の円筒９をターゲットの周囲に、両ターｒットの
中心軸と平行に配置した。各円筒の軸には歯車１０を設
け、チェーン（図示なし）により各円筒を自転可能にし
た。ホルダー３Ａ、３Ｂを電源１１のマイナス端子に接
続し、円筒、ペルシャーおよびグラウンド・シールド板
は接地し、電源のグラス端子も接地した。

がス排気口８に真空ポンプ（図示なし）を接続してペル
ジャー内の空気を排気して圧力１×１０″″６ｔｏｒｒ
の真空にし、ついでがス導入口よりアルインがスを導入
して、ペルジャー内の圧力を５×１０弓ｔｏｒｒにし念
。

ホルダーにマイナス７００Ｖの直流電圧を印加し、電流
１．３５Ａ、電力密度６Ｗ／α２で約６分間スパッタを
行ない、基体の表面にコバルト・白金からなる厚さ２０
０ＯＡの磁性ｒｆ１を形成した。

ついで、ターゲツトを黒鉛（形、大きさはＣｏ　−ｐｔ
のときと同じ）に堰替え、アルインがス圧力５　×１０
−”　ｔｏｒｒ　、ホルダー印加電圧マイナス６００Ｖ
、’Ｉ流１．３０Ａｔ電力密度５　Ｗ　／　ｃｍ”、ス
パッタ晴間９分間の条件で、磁性層の表面に厚さ５００
Ａの炭素質保護膜を形成させ念。

得られた１２本の磁気記録円筒状媒体のうちの１本の円
筒の表面に等間隔で８本のトラックを設定した。これら
各トラックに磁気ヘッドを接近させて記録周波数（ｌ　
ＭＨｚおよび７　ＭＨ２）による記録・再生を行なって
再生出力の一々ラッキを調べた。

ついで、磁気記録円筒状媒体をトラック別に輪切りにし
て、さらにこれを切りきざんで７＊１１Ｘ７１’ｎＬの
切片とし、それぞれの磁気特性を測定した。測定装置社
理研電子社製の振動試料形磁力計（形式ＢＨｖ−５５）
により、外部磁界１５Ｋがウスで測定した。

これらの結果は表１に示すとおり、磁気特性、再生出力
ともにトラック間のバラツキが小さく、満足すべきもの
であつ念。

いっぽう、スパッタを終えた１２本の磁気記録円筒状媒
体のそれぞれほぼ中央に１本のトラックを設定し、前記
と同じ条件で再生出力のバラツキお二び磁気特性を測定
した。これらの結果は表２に示すとおり、磁気特性、再
生出力ともに円筒状媒体間のバラツキが小さく、満足す
べきものであつた。

（比較例） 第３図に示すとおり、ゾレーナ・マグネトロン装置（徳
用製作所ＣＦＳ　＝　８　ｇ　Ｓ形）に直径１２７ｒｒ
ｘＸ厚さ３ｎの１枚のＣｏ　−Ｐｔ　（原子比８２：１
８）からなるターゲツト１を設け、その裏側にプラでマ
を閉じこめる念めの磁石２ｔ−固定した。

ホルダー３、絶縁体４、ペルジャー５、グラウンド・シ
ールド板６、がス導入ロアおよびがス排気口８について
は実施例と同様に設けた。

実施例と同じ円筒９を３本、ターゲツトの上部にターゲ
ツトに平行に設置した。各円筒の軸には歯車１０を設け
、チェーン（図示なし）により自転可能にした。電源の
接続および真空ボンデの接続については実施例と同じに
した。

ペルジャー内をアルゴンがス圧力５　Ｘ　１０−’　ｔ
ｏｒｒとし、ホルダー印加電圧マイナス４００　Ｖ　（
［ｉ）。

電流１．９Ａ、電力密度６　Ｗ　／　ｃｍ”で約１２分
間スパッタを行ない、円筒の表面にコバルト・白金から
なる厚さ２００ＯＡの磁性層を形成し友。ついで、ター
ゲットを黒鉛に取替え、アルインがス圧力５　×１０−
３ｔｏｒｒ　、ホルダー印加電圧マイナス５５０ｖ（直
流）、電流１．１５Ａ、電力密度５ｗ／　ａｍ”で約１
５分間スパッタを行ない、磁性層の表面に厚さ５００Ａ
の炭素質保護膜を形成させた。

得られた３本の磁気記録円筒状媒体のうちの１本につい
ては実施例と同じく８本のトラックを設定して、磁気特
性および再生特性を測定した。また、３本の磁気記録円
筒のそれぞれほぼ中央に１本のトラックを設定し、それ
ぞれの磁気特性および再生特性を測定した。これらの結
果は表３および表４に示すとおり、磁気特性、再生出方
ともに実施例よりバラツキが太きかつ念。

（発明の効果） 本発明によればスパッタ法により磁気特性および再生出
力のバラツキが少ない均質な磁気記録円筒状媒体を能率
よく、磁性体の無駄なく製造することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の磁気記録円筒状媒体の、製造方法を示
す縦断面図である。第２図は第１図のＡ−Ａ′面で横断
した横断面図である。第３図は比較例の磁気記録円筒状
媒体の製造方法を示す縦断面図である。 符号１、ＩＡ、ＩＢ・・・ターゲツト、２．２Ａ％２Ｂ
・・・磁石、３．３Ａ％３Ｂ・・・ホルダー、４．４Ａ
、４Ｂ・・・絶縁体、５・・・ペルジャー、６．５Ａ。 ６Ｂ・・・グラウンド・シールド板、７・・・がス導入
口、８・・・がス排気口、９・・・円筒、１Ｇ・・・歯
車、１１・・・電源、１２・・・円筒回転駆動装置 特許出願人　　電気化学工業株式会社 第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 同一の磁性材料からなる２枚のターゲツトを互いに向い
   合わせて配置し、非磁性硬質材料からなる円筒を前記タ
   ーゲットの周囲に、両ターゲットの中心軸と平行に配置
   し、前記円筒をその軸を中心に回転させながらスパッタ
   することを特徴とする磁気記録円筒状媒体の製造方法。