JPS63302346A - Light/heat-converting analysis - Google Patents

Light/heat-converting analysis

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Publication number
JPS63302346A
JPS63302346A JP13803087A JP13803087A JPS63302346A JP S63302346 A JPS63302346 A JP S63302346A JP 13803087 A JP13803087 A JP 13803087A JP 13803087 A JP13803087 A JP 13803087A JP S63302346 A JPS63302346 A JP S63302346A
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JP
Japan
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light
sample
intermittent light
sensor
pyroelectric
Prior art date
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Pending
Application number
JP13803087A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Teruo Higami
照男 樋上
Satoru Kawada
川田 哲
Mitsuhiro Murata
充弘 村田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Priority to JP13803087A priority Critical patent/JPS63302346A/en
Publication of JPS63302346A publication Critical patent/JPS63302346A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/171Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with calorimetric detection, e.g. with thermal lens detection

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

PURPOSE:To improve the reliability of a measured result by a relatively simple instrument by detecting temperature change based on heat with a quantity peculiar to a specimen that is intermittently generated from the specimen receiving intermittent light. CONSTITUTION:Laser light 3 emitted from a laser light source 4 becomes intermittent light 6 wherein a frequency is modulated through a chopper 5 and is incident upon a measuring cell 2. The cell 2 contains a specimen solution 1 and therefore the intermittent light 6 is incident in the solution 1 to form a light path 7 in it. A pyroelectric type infrared sensor 9 is arranged in the solution 1 in a condition wherein the pyroelectric surface 8 of the sensor 9 is directed toward a light path 7 side. A temperature change generated by the passage of the intermittent light 6 in the solution 1 is detected by the sensor 9 and a detected result is outputted from a source terminal 8 as an electric signal. A resultant output signal is inputted to a recorder 12 via a preamplifier 10 and a lock-in amplifier 11 and a measured value corresponding to the output signal from the sensor 9 is recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、分析されるべき試料に光を照射したとき、
その光が熱に変換される原理を利用する、光−熱変換分
析法に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] This invention provides the following features: When a sample to be analyzed is irradiated with light,
This invention relates to a light-to-heat conversion analysis method that utilizes the principle of converting light into heat.

[従来の技術] 分析されるべき試料に、光などのエネルギを与えたとき
、光の放射を伴なって遷移するものは、このように放射
された光を用いて、試料が有する特性を分析することが
できる。
[Prior Art] When energy such as light is applied to a sample to be analyzed, the characteristics of the sample can be analyzed using the emitted light. can do.

他方、非放射遷移と呼ばれる光の放射を伴なわない遷移
しか生じない試料の場合には、上述したような分析法を
適用することができない。この場合には、たとえば、光
を吸収した試料が熱を発生することを利用して、試料の
分析を行なうことができる。このような分析法の1つと
して、たとえば特公昭59−42822号公報に記載さ
れた光音響分析法がある。
On the other hand, in the case of a sample in which only a so-called non-radiative transition that does not involve the emission of light occurs, the above-mentioned analysis method cannot be applied. In this case, for example, the sample can be analyzed by utilizing the fact that the sample absorbs light and generates heat. One such analysis method is, for example, the photoacoustic analysis method described in Japanese Patent Publication No. 59-42822.

光音響分析法においては、分析しようとする試料を密閉
容器内に入れ、ある一定周波数に変調した光を試料に照
射する。このとき、光を吸収した試料は、゛その試料を
構成する物質特有の量の熱を、照射された光の周波数に
応じた周期で発生して、密閉容器内の気体にゆらぎを引
き起こして疎密波を生じさせる。この疎密波は、密閉容
器内のマイクロフォンなどの音波検出器で検出され、疎
密波の振幅および周期は、電気信号として取出される。
In photoacoustic analysis, a sample to be analyzed is placed in a sealed container, and the sample is irradiated with light modulated at a certain frequency. At this time, the sample that absorbs the light generates an amount of heat unique to the material that makes up the sample at a frequency that corresponds to the frequency of the irradiated light, causing fluctuations in the gas in the sealed container, causing the gas to become denser and denser. cause waves. This compressional wave is detected by a sound wave detector such as a microphone in a sealed container, and the amplitude and period of the compressional wave are extracted as an electrical signal.

このようにして、試料の解析を行なう分析法は、比較的
古くから知られている。
Analytical methods for analyzing samples in this manner have been known for a relatively long time.

[発明が解決しようとする問題点] しかしながら、上述した光音響分析法は、これを応用し
た装置の構造上の問題として、密閉容器を用いなければ
ならないという要求があり、そのため、分析装置の構造
が大がかりになるという欠点があった。
[Problems to be Solved by the Invention] However, the above-mentioned photoacoustic analysis method has a structural problem of the device to which it is applied, which requires the use of a closed container. The disadvantage was that it was large-scale.

また、上述した光音響分析法は、試料から発生した熱を
直接検出するものでないため、分析精度に対して、それ
ほど高い信頼性を期待することができなかった。
Furthermore, since the photoacoustic analysis method described above does not directly detect heat generated from a sample, it could not be expected to have very high reliability in analysis accuracy.

そこで、この発明は、上述したような光音響分析法が遭
遇する問題点を有利に解消し得る、光−熱変換分析法を
提供することを目的とするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide a light-to-heat conversion analysis method that can advantageously solve the problems encountered with the photoacoustic analysis method described above.

[問題点を解決するための手段〕 この発明は、分析されるべき試料に光を照射したときに
生じる熱を測定することによって、試料が有する特性を
分析する、光−熱変換分析法であって、上述した問題点
を解決するため、次のような手段が講じられる。
[Means for Solving the Problems] The present invention is a light-to-heat conversion analysis method that analyzes the characteristics of a sample by measuring the heat generated when the sample to be analyzed is irradiated with light. In order to solve the above-mentioned problems, the following measures are taken.

すなわち、この発明に係る光−熱変換分析法は、前記光
として断続光を用い、当該断続光の光路上に前記試料を
置き、前記光路からずれた位置であって前記断続光が前
記試料によって影響を及ぼされる位置の近傍において、
前記断続光を受けて前記試料から断続的に発せられる熱
に基づく温度変化を焦電型赤外線センサによって検出す
ることを特徴とするものである。
That is, the light-to-heat conversion analysis method according to the present invention uses intermittent light as the light, places the sample on the optical path of the intermittent light, and places the sample at a position offset from the optical path where the intermittent light is caused by the sample. In the vicinity of the affected position,
The present invention is characterized in that a pyroelectric infrared sensor detects a temperature change based on heat intermittently emitted from the sample in response to the intermittent light.

なお、この発明に係る分析法において、試料との関係で
、断続光の光路が形成される位置に関して、典型的には
、次の3種類がある。その第1は、断続光が試料内へ入
射される場合である。この場合には、焦電型赤外線セン
サは、試料内における断続光の光路の近傍に配置される
。その第2は、断続光が試料の表面へ入射され、この断
続光の少なくとも一部が試料の表面で反射される場合で
ある。この場合には、焦電型赤外線センサは、試料の表
面に対する断続光の入射点付近であって試料の外側に配
置される。その第3は、断続光が試料の裏面へ入射され
、この断続光の少なくとも一部が試料の裏面で反射され
る場合である。この場合には、焦電型赤外線センサは試
料の表面近傍に配置される。上述した第1の実施態様は
、特に試料が光透過性である場合にのみ適用可能である
。また、第2および第3の実施態様は、試料が光透過性
を有していない場合に有利に適用されるものであるが、
たとえ試料が光透過性を有している場合であっても適用
できる。
In addition, in the analysis method according to the present invention, there are typically the following three types of positions where the optical path of the intermittent light is formed in relation to the sample. The first case is when intermittent light is incident into the sample. In this case, the pyroelectric infrared sensor is placed near the optical path of the intermittent light within the sample. The second case is when intermittent light is incident on the surface of the sample and at least a part of the intermittent light is reflected from the surface of the sample. In this case, the pyroelectric infrared sensor is placed outside the sample near the point of incidence of the intermittent light on the surface of the sample. The third case is that the intermittent light is incident on the back surface of the sample, and at least a part of the intermittent light is reflected on the back surface of the sample. In this case, the pyroelectric infrared sensor is placed near the surface of the sample. The first embodiment described above is only applicable in particular if the sample is light-transparent. Furthermore, the second and third embodiments are advantageously applied when the sample does not have light transmittance, but
This method can be applied even if the sample has optical transparency.

[作用] この発明において、断続光を受けた試料は、この試料特
有の量の熱を断続的に発する。したがって、この断続的
に発せられた熱に基づく、試料特有の温度変化が、光路
の近傍において生じる。この温度変化は、焦電型赤外線
センサによって、焦電効果に基づき検出され、そして、
電気信号として取出される。
[Function] In the present invention, a sample exposed to intermittent light intermittently emits an amount of heat unique to this sample. Therefore, a sample-specific temperature change occurs in the vicinity of the optical path due to this intermittently emitted heat. This temperature change is detected by a pyroelectric infrared sensor based on the pyroelectric effect, and
Extracted as an electrical signal.

[発明の効果) この発明によれば、その分析法を実施する場合、従来の
光音響分析法のように密閉容器を特に必要としない。し
たがって、この発明に係る光−熱変換分析法は、これを
応用するための装置の構成が大がかりになることはなく
、比較的簡単な装置によって、実施することができる。
[Effects of the Invention] According to the present invention, when implementing the analysis method, a closed container is not particularly required unlike the conventional photoacoustic analysis method. Therefore, the light-to-heat conversion analysis method according to the present invention does not require a large-scale configuration of an apparatus for applying the method, and can be carried out using a relatively simple apparatus.

また、この発明によれば、試料から発せられる熱、より
特定的には温度変化を、直接、焦電型赤外線センサによ
って検出することができるので、分析精度の点において
信頼性の高い測定結果を期待することができる。
Furthermore, according to the present invention, the heat emitted from the sample, and more specifically, the temperature change, can be directly detected by the pyroelectric infrared sensor, which provides highly reliable measurement results in terms of analysis accuracy. You can expect it.

さらに、この発明によれば測定の際のブランク補正が測
定と同時に行なえる。
Furthermore, according to the present invention, blank correction during measurement can be performed simultaneously with the measurement.

[実施例] 第1図には、この発明の一実施例を実施するための装置
の概略がブロック図によって示されている。この実施例
は、溶液の濃度を測定する方法に向けられている。
[Embodiment] FIG. 1 is a block diagram schematically showing an apparatus for carrying out an embodiment of the present invention. This example is directed to a method of measuring the concentration of a solution.

試料溶液1は、透明な測定セル2内に入れられ、分析に
供せられる。このような試料溶液1に照射されるべき励
起光として、たとえば、可視レーザ光3が用いられ、こ
れは、レーザ光源4から発せられる。なお、レーザ光源
4としては、たとえば、He−Neレーザ装置またはA
r+レーザ装置を用いることができる。レーザ光3は、
チョッパ5を通して、たとえば10Hz程度の周波数に
変調された断続光6となる。この断続光6は、化1定セ
ル2に入射される。
A sample solution 1 is placed in a transparent measurement cell 2 and subjected to analysis. As the excitation light to be irradiated onto such sample solution 1, for example, visible laser light 3 is used, and this is emitted from a laser light source 4. Note that the laser light source 4 may be, for example, a He-Ne laser device or an A
An r+ laser device can be used. The laser beam 3 is
The light passes through the chopper 5 and becomes an intermittent light 6 modulated to a frequency of, for example, about 10 Hz. This intermittent light 6 is incident on the constant cell 2 .

測定セル2には、前述したように、試料溶液1が入れら
れており、したがって、断続光6は、試料溶液1内へ入
射され、試料溶液1内において光路7を形成する。この
ような試料溶液1内における断続光6の光路7の近傍に
は、その焦電面8が光路7側に向けられた状態で、焦電
型赤外線センサ9が配置される。なお、光路7と焦電面
8との間隔は、できるだけ小さい方が好ましく、たとえ
ば200μm程度に選ばれる。また、光路7と焦電面8
との間隔は、できるだけ厳密に設定されることが好まし
い。なお、焦電面8は、従来から一般的に用いられてい
る黒化膜によって形成してもよいが、耐溶液性と熱伝導
性を考慮して、金の蒸着膜によって形成してもよい。
As described above, the measurement cell 2 contains the sample solution 1, and therefore the intermittent light 6 enters the sample solution 1 and forms an optical path 7 within the sample solution 1. A pyroelectric infrared sensor 9 is placed near the optical path 7 of the intermittent light 6 in the sample solution 1 with its pyroelectric surface 8 facing toward the optical path 7 side. Note that the distance between the optical path 7 and the pyroelectric surface 8 is preferably as small as possible, and is selected to be about 200 μm, for example. In addition, the optical path 7 and the pyroelectric surface 8
It is preferable that the interval is set as strictly as possible. Note that the pyroelectric surface 8 may be formed by a conventionally commonly used blackened film, but may also be formed by a vapor-deposited gold film in consideration of solution resistance and thermal conductivity. .

焦電型赤外線センサ9については、第2図および第3図
を参照して、その詳細を後で説明するが、このセンサ9
は、ソース端子S1 ドレイン端子りおよびアース端子
Gを備えている。
The details of the pyroelectric infrared sensor 9 will be explained later with reference to FIGS. 2 and 3, but this sensor 9
is equipped with a source terminal S1, a drain terminal, and a ground terminal G.

前述のように、試料溶液1内を断続光6が通過すること
により発生した温度変化は、焦電型赤外線センサ9によ
って検出され、ソース端子Sから電気信号として出力さ
れる。この出力信号は、プリアンプ10によって増幅さ
れ、さらに、プリアンプ10の出力信号は、ロックイン
アンプ11に入力される。ロックインアンプ11には、
チョッパ5から取出された基準信号が入力され、ロック
インアンプ11において、チョッピング周波数に同期し
た信号のみが出力される。この出力信号は、レコーダ1
2に入力され、ここにおいて、センサ9からの出力信号
に対応する測定値が記録される。
As described above, the temperature change caused by the intermittent light 6 passing through the sample solution 1 is detected by the pyroelectric infrared sensor 9 and output from the source terminal S as an electrical signal. This output signal is amplified by a preamplifier 10, and the output signal of the preamplifier 10 is further input to a lock-in amplifier 11. Lock-in amplifier 11 has
A reference signal taken out from chopper 5 is input, and lock-in amplifier 11 outputs only a signal synchronized with the chopping frequency. This output signal is
2, where the measured values corresponding to the output signals from the sensor 9 are recorded.

レコーダ12は、たとえば、ディスプレイに置換えられ
てもよく、また、これら両者が用いられてもよい。さら
に、マイクロ−〇PUによるデータ処理装置でもよい。
For example, the recorder 12 may be replaced with a display, or both may be used. Furthermore, a data processing device using a micro-PU may be used.

第2図には、焦電型赤外線センサ9の等価回路の一例が
示されている。また、第3図には、同じくセンサ9の機
械的構造の一例が断面図で示されている。なお、第2図
および第3図において、“S”、“Do、“G゛は、そ
れぞれ、第1図に示した“S”、“D“、“G′″と対
応している。
FIG. 2 shows an example of an equivalent circuit of the pyroelectric infrared sensor 9. Further, FIG. 3 similarly shows an example of the mechanical structure of the sensor 9 in a cross-sectional view. Note that in FIGS. 2 and 3, "S", "Do", and "G" correspond to "S", "D", and "G'" shown in FIG. 1, respectively.

第2図を参照して、焦電体13の一方の電極は、FET
14のゲート電極に接続され、他方の電極は、アース端
子Gに接続されている。FET14のドレイン電極に接
続されるドレイン端子りには、直流電圧が印加されてい
る。また、FET14のソース電極には、ソース端子S
が接続されている。
Referring to FIG. 2, one electrode of the pyroelectric body 13 is an FET
The other electrode is connected to the ground terminal G. A DC voltage is applied to the drain terminal connected to the drain electrode of the FET 14. Further, the source electrode of the FET 14 has a source terminal S
is connected.

さらに、焦電体13と並列に、抵抗Rgが接続されてい
る。また、ソース端子Sとアース端子0間には、抵抗R
8が接続されている。
Furthermore, a resistor Rg is connected in parallel with the pyroelectric body 13. In addition, a resistor R is connected between the source terminal S and the ground terminal 0.
8 are connected.

焦電体13には、温度変化に基づき電荷が発生し、この
電荷により抵抗Rgに電流が流れ、抵抗Rgの両端に電
位差が発生する。この電位差は、FET14のソース・
フォロワ回路によりインピーダンス変換され、ソース端
子Sとアース端子Gとの間の抵抗R5の両端に電位差が
現われる。この電位差は、温度変化に基づき変化するも
のであるので、ドレイン端子りに印加されていた直流バ
イアス電圧が重畳された交流出力信号が、ソース端子S
より取出される。
Electric charges are generated in the pyroelectric body 13 based on temperature changes, current flows through the resistor Rg due to the electric charges, and a potential difference is generated between both ends of the resistor Rg. This potential difference is the source of FET14.
The impedance is converted by the follower circuit, and a potential difference appears across the resistor R5 between the source terminal S and the ground terminal G. Since this potential difference changes based on temperature changes, the AC output signal on which the DC bias voltage applied to the drain terminal is superimposed is transferred to the source terminal S.
taken out from

第3図を参照して、焦電型赤外線センサ9の機械的構造
の一例について説明する。センサ9は、キャップ15お
よび底板16からなる金属ケース17を備える。キャッ
プ15には、赤外線を通すための窓18が形成され、こ
の窓18から入射した赤外線を受けるように、平板状の
焦電体19が、キャップ15の内面側に封止樹脂20に
よって貼付けられる。焦電体19は、第2図に示した焦
電体13に相当するものであり、その両面には、それぞ
れ、電極(図示せず)が形成されている。焦電体19の
、第3図における上面に形成された電極は、金属ケース
17に電気的に接続された状態となる。
An example of the mechanical structure of the pyroelectric infrared sensor 9 will be described with reference to FIG. The sensor 9 includes a metal case 17 consisting of a cap 15 and a bottom plate 16. A window 18 for transmitting infrared rays is formed in the cap 15, and a flat pyroelectric material 19 is attached to the inner surface of the cap 15 with a sealing resin 20 so as to receive the infrared rays incident through the window 18. . The pyroelectric body 19 corresponds to the pyroelectric body 13 shown in FIG. 2, and electrodes (not shown) are formed on both surfaces thereof. The electrode formed on the upper surface of the pyroelectric body 19 in FIG. 3 is electrically connected to the metal case 17.

金属ケース17内には、たとえばアルミナからなる基板
21が、底板16とほぼ平行に延びるように配置される
。基板21の上面には、FET22が配置されている。
A substrate 21 made of, for example, alumina is arranged inside the metal case 17 so as to extend substantially parallel to the bottom plate 16 . A FET 22 is arranged on the upper surface of the substrate 21.

このFET22は、第2図に示したFET14に相当す
るものである。FET22と焦電体19の下面に形成さ
れた電極とを接続するように、リード線23が図示され
ている。
This FET 22 corresponds to the FET 14 shown in FIG. A lead wire 23 is shown to connect the FET 22 and an electrode formed on the lower surface of the pyroelectric body 19.

このリード線23は、第2図における焦電体13とFE
T14のゲート電極とを接続するラインに相当するもの
である。
This lead wire 23 connects the pyroelectric body 13 and FE in FIG.
This corresponds to the line connecting the gate electrode of T14.

基板21に保持されて、アース端子G5ソース端子Sお
よびドレイン端子りが、それぞれ、底板16を貫通して
、金属ケース17の外部に導出される。アース端子Gは
、導電性樹脂24を介して、金属ケース17に電気的に
接続される。これによって、焦電体19の上面に形成さ
れた電極は、アース端子Gと電気的に接続された状態と
なる。ソース端子Sおよびドレイン端子りは、それぞれ
、金属ケース17とは電気的に絶縁された状態とされる
A ground terminal G5, a source terminal S, and a drain terminal held by the substrate 21 pass through the bottom plate 16 and are led out to the outside of the metal case 17. The ground terminal G is electrically connected to the metal case 17 via the conductive resin 24. As a result, the electrode formed on the upper surface of the pyroelectric body 19 becomes electrically connected to the ground terminal G. The source terminal S and the drain terminal S are each electrically insulated from the metal case 17.

なお、第3図においては、焦電型赤外線センサ9を構成
する主要な部品のみが図示されていることを指摘してお
く。
It should be noted that in FIG. 3, only the main components constituting the pyroelectric infrared sensor 9 are shown.

第3図に示したセンサ9は、その焦電体19の上面が、
第1図における焦電面8を構成するように、測定セル2
および試料溶液1に対して位置決めされる。
In the sensor 9 shown in FIG. 3, the upper surface of the pyroelectric body 19 is
The measuring cell 2 is arranged so as to constitute the pyroelectric surface 8 in FIG.
and positioned relative to the sample solution 1.

次に、第1図に示した装置を用いて、適当な吸光種(色
素)が種々の濃度で溶解された水溶液を試料溶液1とし
て、その濃度に対する、センサ9から得られた信号強度
の相関関係を求めた実験例について紹介しておく。
Next, using the apparatus shown in FIG. 1, aqueous solutions in which appropriate light-absorbing species (dyes) are dissolved at various concentrations are used as sample solution 1, and the correlation of the signal intensity obtained from the sensor 9 with respect to the concentration is determined. Let me introduce an example of an experiment that determined the relationship.

まず、レーザ光源4として、15mWのAr+レーザ装
置を用いた。チョッパ5は、10Hzの断続光6を与え
るように制御した。また、試料溶液1に溶解される吸光
種(色素)としては、ニューコクシンを用いた。ニュー
コクシンは、488゜0nmの波長の光において、ラン
ベルト・ベールの法則に従ったモル吸光係数が、1.9
0X10’C「+ yl −1である。
First, as the laser light source 4, a 15 mW Ar+ laser device was used. The chopper 5 was controlled to provide intermittent light 6 of 10 Hz. In addition, newcoccin was used as the light-absorbing species (dye) dissolved in sample solution 1. Newcoccin has a molar extinction coefficient of 1.9 according to the Beer-Lambert law at a wavelength of 488°0 nm.
0X10'C "+ yl -1.

第4図に、上述したニューコクシンの濃度C[10−6
M]に対する、信号強度P[mVコのプロット結果が示
されている。各信号強度は、ニューコクシンを全く含有
しない試料すなわちブランクの信号強度に基づいて補正
したものである。
FIG. 4 shows the concentration of newcoccin C[10-6
A plot of signal strength P[mV] versus signal strength P[mV] is shown. Each signal intensity is corrected based on the signal intensity of a sample containing no new coccin, ie, a blank.

第4図に示すように、信号強度Pは、lXl0−5Mま
での濃度範囲において、濃度に比例して増加しているこ
とがわかる。すなわち、この濃度範囲内においては、水
溶液の濃度Cは、信号強度Pの1次関数として求めるこ
とができる。
As shown in FIG. 4, it can be seen that the signal strength P increases in proportion to the concentration in the concentration range up to 1X10-5M. That is, within this concentration range, the concentration C of the aqueous solution can be determined as a linear function of the signal strength P.

なお、試料溶液1の濃度がlXl0−’Mを越えると、
信号強度Pは、ゆるやかに増加し極大を経て減少するこ
とがわかった。これは、濃度の低い領域では、レーザ光
の吸収は非常にわずかであり、したがってレーザ光はほ
とんど減衰せず、色素濃度に比例するが、濃度の増加に
伴ない、レーザ光は強く吸収され、センサの焦電面の前
方領域に到達する以前に減衰されてしまうためであると
考えられる。
Note that when the concentration of sample solution 1 exceeds lXl0-'M,
It was found that the signal strength P gradually increases, reaches a maximum, and then decreases. This is because in the region of low concentration, the absorption of laser light is very small, so the laser light is hardly attenuated and is proportional to the dye concentration, but as the concentration increases, the laser light is strongly absorbed, This is thought to be because the light is attenuated before reaching the area in front of the pyroelectric surface of the sensor.

同様に、吸光種(色素)として、ブリリアントブルーを
用い、また、レーザ光源4として、He−Neレーザ装
置を用いて実験を行なったが、上述した実験例と実質的
に同様の実験結果を得た。
Similarly, an experiment was conducted using brilliant blue as the light-absorbing species (dye) and a He-Ne laser device as the laser light source 4, but the experimental results were substantially the same as the experimental example described above. Ta.

なお、ブリリアントブルーは、632.8nmの波長の
光において、ランベルトeベールの法則におけるモル吸
光係数が1.27X10’c「’ M〜1である。
In addition, brilliant blue has a molar absorption coefficient of 1.27×10′c′′ M˜1 according to the Lambert-e-Beer law for light with a wavelength of 632.8 nm.

第1図に概略的に示したセンサ9に関して、光路7から
発せられる熱をより多く受け、分析精度をより高めるた
めに、このようなセンサ9をもう1つ用意し、光路7を
介して1対のセンサ9が対向するように設けてもよい。
Regarding the sensor 9 shown schematically in FIG. A pair of sensors 9 may be provided facing each other.

さらに、上述したような光路7に関連して発せられる熱
をより多く受けるようにするための手段として、第5図
に示すような構造の焦電型赤外線センサ9aを用いても
よい。なお、第5図においては、同じ構造のセンサ9a
が、2個組合わされた状態が示されている。また、それ
ぞれのセンサ9aは、第3図に示したセンサ9と共通す
る要素を多く含んでいるので、対応の要素には、同様の
参照符号を付し、重複する説明は省略する。
Further, as a means for receiving more heat generated in connection with the optical path 7 as described above, a pyroelectric infrared sensor 9a having a structure as shown in FIG. 5 may be used. In addition, in FIG. 5, a sensor 9a having the same structure is shown.
However, a state in which two of them are combined is shown. Moreover, since each sensor 9a includes many elements common to the sensor 9 shown in FIG. 3, corresponding elements are given the same reference numerals and redundant explanation will be omitted.

第5図に示したセンサ9aの特徴となるのは、半円筒状
の焦電体19aを用いていることである。
The sensor 9a shown in FIG. 5 is characterized by the use of a semi-cylindrical pyroelectric body 19a.

このような焦電体19aの内周側の電極は、金属ケース
17に電気的に接続された状態とされる。
The electrode on the inner peripheral side of the pyroelectric body 19a is electrically connected to the metal case 17.

より具体的には、キャップ15にある窓18の周縁部を
規定するキャップ15の一部が、焦電体19aの内周側
の電極に沿うように折曲げられ、この折曲げ箇所におい
て、たとえば導電性樹脂(図示せず)により電気的に接
続される。
More specifically, a part of the cap 15 that defines the peripheral edge of the window 18 in the cap 15 is bent along the electrode on the inner circumferential side of the pyroelectric body 19a, and at this bending point, for example, Electrically connected by conductive resin (not shown).

第5図において、7は、レーザ光の光路を示している。In FIG. 5, 7 indicates the optical path of the laser beam.

この光路7と焦電体19aとの位置関係かられかるよう
に、センサ9aによれば、レーザ光に関連して発せられ
る熱をより広い面で焦電体19aが受けることになる。
As can be seen from the positional relationship between the optical path 7 and the pyroelectric body 19a, according to the sensor 9a, the pyroelectric body 19a receives the heat generated in connection with the laser beam over a wider area.

したがって、センサ9aからの出力信号の強度が高めら
れ、結果として、分析精度を向上させることができる。
Therefore, the intensity of the output signal from the sensor 9a is increased, and as a result, the accuracy of analysis can be improved.

第5図においては、2個のセンサ9aが用いられ、それ
ぞれのセンサ9aに備える焦電体19aによって、光路
7が取囲まれるようにされている。
In FIG. 5, two sensors 9a are used, and the optical path 7 is surrounded by a pyroelectric material 19a provided in each sensor 9a.

したがって、第5図に示す構造は、光路7に関連して発
せられる熱を最も効率良く検出できる構造の一例である
。しかしながら、第5図に示した一方のセンサ9aのみ
を用いた場合であっても、第3図に示したセンサ9に比
べると、より熱を効率良く検出することができ、センサ
9aは、これ1個のみを用いるようにしてもよい。
Therefore, the structure shown in FIG. 5 is an example of a structure in which the heat emitted in connection with the optical path 7 can be detected most efficiently. However, even when only one sensor 9a shown in FIG. 5 is used, heat can be detected more efficiently than the sensor 9 shown in FIG. Only one may be used.

第6図および第7図には、それぞれ、この発明のさらに
他の実施例が示されている。
Further embodiments of the invention are shown in FIGS. 6 and 7, respectively.

第6図の実施例では、固体でありかつ光透過性の試料2
5が用いられている。第1図に示した方法と同様に発生
されたレーザ光の断続光6は、試料25内へ入射される
。なお、断続光6の光路7は、試料25の一表面26の
近傍に形成される。
In the example shown in FIG. 6, a solid and optically transparent sample 2
5 is used. Intermittent laser light 6 generated in the same manner as the method shown in FIG. 1 is incident into the sample 25. Note that the optical path 7 of the intermittent light 6 is formed near one surface 26 of the sample 25.

第1図ないし第3図に示したのと実質的に同様の構造を
有するセンサ9Cは、その焦電面8Cが試料25の表面
26に接するように配置されるのが好ましい。しかしな
がら、このような接触は必須ではない。
A sensor 9C having a structure substantially similar to that shown in FIGS. 1-3 is preferably arranged such that its pyroelectric surface 8C is in contact with the surface 26 of the sample 25. However, such contact is not required.

第6図に示した状態において、断続光6を受けて試料2
5から断続的に発せられる熱に基づく温度変化は、セン
サ9Cによって検出される。
In the state shown in FIG. 6, the sample 2 is exposed to the intermittent light 6.
Temperature changes based on the heat intermittently emitted from the sensor 5 are detected by the sensor 9C.

第7図では、たとえば光透過性を有しない固体の試料2
7が分析に供されている。試料27の一表面28には、
第1図に示した方法により発生された断続光6が入射さ
れる。そして、断続光6は、試料27の表面28におい
て反射する。なお、試料27の表面28における少なく
とも入射点29付近は、光の乱反射を防止するため、鏡
面とされることが好ましい、、第1図ないし第3図に示
したのと実質的に同様の構造を有する焦電型赤外線セン
サ9dは、その焦電面8dを入射点29に向けた状態と
されながら、入射点29付近であって試料27の外側に
配置される。
In FIG. 7, for example, a solid sample 2 with no optical transparency is shown.
7 have been submitted for analysis. On one surface 28 of the sample 27,
Intermittent light 6 generated by the method shown in FIG. 1 is incident. The intermittent light 6 is then reflected on the surface 28 of the sample 27. Note that at least the vicinity of the incident point 29 on the surface 28 of the sample 27 is preferably made of a mirror surface in order to prevent diffuse reflection of light, and has a structure substantially similar to that shown in FIGS. 1 to 3. The pyroelectric infrared sensor 9d having a pyroelectric surface 8d is placed near the incident point 29 and outside the sample 27, with its pyroelectric surface 8d facing the incident point 29.

第7図に示した分析法において、断続光6が試料27の
表面28に入射することにより、試料27から断続的に
熱が発せられ、それに基づく温度変化がセンサ9dによ
って検出される。
In the analysis method shown in FIG. 7, when the intermittent light 6 is incident on the surface 28 of the sample 27, heat is intermittently emitted from the sample 27, and a temperature change based on the heat is detected by the sensor 9d.

なお、第7図に示した分析法は、試料27として、光透
過性を有しない固体である必要はなく、光透過性を有し
ていてもよく、また、液体であってもよい。
In addition, in the analysis method shown in FIG. 7, the sample 27 does not need to be a solid that does not have light transmittance, but may have light transmittance or may be a liquid.

第8図では、第7図と同様に、たとえば光透過性を有し
い固体の試料30が分析に供されている。
In FIG. 8, similar to FIG. 7, for example, a solid sample 30 that does not have light transmittance is subjected to analysis.

試料30の一表面31には、第1図に示した方法により
発生された断続光6が入射される。そして、断続光6は
、試料30の表面31において反射する。なお、第7図
の例と同様に、試料30の表面31における少なくとも
入射点32付近は、光の乱反射を防止するため、鏡面と
することが好ましい。第1図ないし第3図に示したのと
実質的に同様の構造を有する焦電型赤外線センサ9eは
、その焦電面8eを断続光6の入射面31と逆の面33
に向けならが、試料30の外側に配置される。
Intermittent light 6 generated by the method shown in FIG. 1 is incident on one surface 31 of the sample 30. The intermittent light 6 is then reflected on the surface 31 of the sample 30. Note that, similarly to the example shown in FIG. 7, at least the vicinity of the incident point 32 on the surface 31 of the sample 30 is preferably a mirror surface in order to prevent diffuse reflection of light. A pyroelectric infrared sensor 9e having a structure substantially similar to that shown in FIGS.
is placed outside the sample 30.

第8図に示した分析法において、断続光6が試料30の
裏面31に入射することにより、試料30から断続的に
熱が発せられ、それに基づく温度変化がセンサ9eによ
って検出される。
In the analysis method shown in FIG. 8, when the intermittent light 6 enters the back surface 31 of the sample 30, heat is intermittently emitted from the sample 30, and a temperature change based on the heat is detected by the sensor 9e.

なお、第8図に示した分析法は、試料30として、光透
過性を有しない固体である必要はなく、光透過性を有し
ていてもよく、また、液体であってもよい。
In addition, in the analysis method shown in FIG. 8, the sample 30 does not need to be a solid that does not have light transmittance, but may have light transmittance or may be a liquid.

この発明に係る分析法は、たとえば、第9図に示すよう
な構成で、1つの光源4からの光を、ハーフミラ−34
を用いて2つの光路7aおよび7bに分岐しながら、測
定用試料35を第1の光路7aに関連して配置するとと
もに、第2の光路7bに関連して参照用試料36を配置
して、差動増幅器37で両者の測定値の差をとることに
より、測定操作と同時にブランクの信号強度を補正する
ことができる。
The analysis method according to the present invention has a configuration as shown in FIG.
While branching into two optical paths 7a and 7b using By taking the difference between the two measured values using the differential amplifier 37, the blank signal strength can be corrected simultaneously with the measurement operation.

なお、第9図において、前述した第1図に示した要素に
相当の要素には、同様の参照符号を付し、重複する説明
は省略する。
Note that in FIG. 9, elements corresponding to those shown in FIG. 1 described above are given the same reference numerals, and redundant explanations will be omitted.

第10図ないし第13図には、外部雰囲気の熱変化、振
動によるノイズ発生を防止する目的で有利に実施される
この発明のさらに他の実施例が示されている。
10 to 13 show still another embodiment of the present invention which is advantageously implemented for the purpose of preventing noise generation due to thermal changes and vibrations in the external atmosphere.

第10図および第11図には、この実施例で有利に用い
られる焦電体19bに形成される電極形状の一例が示さ
れている。焦電体19bの熱感知面には、第10図に示
すように、その中央に円形の感知電極38、およびその
周囲に外部ノイズ補償用電極39が形成される。感知電
極38と外部ノイズ補償用電極39とは、接続部40を
介して互いに電気的に接続される。また、感知電極38
と外部ノイズ補償用電極39とは、互いに等しい面積と
される。他方、焦電体19bの、熱感知面とは逆の面に
は、第11図に示すように、中央電極41、およびその
周囲に周囲電極42が形成される。これら電極41およ
び42は、それぞれ、熱感知面側の電極38および39
と完全に重なる寸法形状とされる。
10 and 11 show an example of the shape of the electrode formed on the pyroelectric body 19b, which is advantageously used in this embodiment. As shown in FIG. 10, on the heat sensing surface of the pyroelectric body 19b, a circular sensing electrode 38 is formed at the center, and an external noise compensation electrode 39 is formed around the sensing electrode 38. The sensing electrode 38 and the external noise compensation electrode 39 are electrically connected to each other via a connecting portion 40 . In addition, the sensing electrode 38
and the external noise compensation electrode 39 have the same area. On the other hand, as shown in FIG. 11, on the surface of the pyroelectric body 19b opposite to the heat sensing surface, a center electrode 41 and a peripheral electrode 42 are formed around the center electrode 41. These electrodes 41 and 42 are electrodes 38 and 39 on the heat sensing surface side, respectively.
It is assumed that the dimensions and shape completely overlap with the .

上述した焦電体19bを用いて構成した焦電型赤外線セ
ンサ9rの機械的構造が第12図に示されている。第1
2図に示した焦電型赤外線センサ9rは、第3図に示し
た焦電型赤外線センサ9と共通する多くの要素を含んで
いるので、相当の要素には同様の参照符号を付し、以下
には、異なる構成についてのみ説明する。
FIG. 12 shows the mechanical structure of a pyroelectric infrared sensor 9r constructed using the above-mentioned pyroelectric material 19b. 1st
The pyroelectric infrared sensor 9r shown in FIG. 2 includes many elements in common with the pyroelectric infrared sensor 9 shown in FIG. 3, so corresponding elements are given the same reference numerals. Only different configurations will be described below.

前述した焦電体19bは、その熱感知面の中央の感知電
極38のみが窓18より露出する状態で、絶縁性の封止
樹脂20によって金属ケース17の内部に固定される。
The aforementioned pyroelectric body 19b is fixed inside the metal case 17 with an insulating sealing resin 20, with only the sensing electrode 38 at the center of its heat sensing surface exposed through the window 18.

焦電体19bの裏面側にある中央電極41は、リード線
43により、FET22のゲート端子に電気的に接続さ
れ、同じ側にある周囲電極42は、リード線44により
、アース端子Gに電気的に接続される。
The central electrode 41 on the back side of the pyroelectric body 19b is electrically connected to the gate terminal of the FET 22 through a lead wire 43, and the peripheral electrode 42 on the same side is electrically connected to the ground terminal G through a lead wire 44. connected to.

第12図のように構成された焦電型赤外線センサ9fは
、第13図に示すような等価回路を存している。前述し
たような電極形状を有する焦電体19bは、電気的に直
列接続された2つの焦電素子45および46を構成する
ことになる。これら焦電素子45および46における分
極方向は、第13図において矢印で示した方向に現われ
る。第13図において、他の要素は、前述した第2図に
示した要素と同様の機能を果たすものであり、相当の要
素には、同様の参照符号を付し、重複する説明は省略す
る。
The pyroelectric infrared sensor 9f configured as shown in FIG. 12 has an equivalent circuit as shown in FIG. 13. The pyroelectric body 19b having the electrode shape described above constitutes two pyroelectric elements 45 and 46 electrically connected in series. The polarization directions in these pyroelectric elements 45 and 46 appear in the directions indicated by arrows in FIG. In FIG. 13, other elements perform the same functions as the elements shown in FIG. 2 described above, and corresponding elements are given the same reference numerals and redundant explanations will be omitted.

以上、この発明を、図示した実施例に関連して説明した
が、この発明の範囲内において、その他種々の変形例が
可能である。
Although the invention has been described above in connection with the illustrated embodiments, various other modifications are possible within the scope of the invention.

たとえば、この発明に係る分析法によって測定される試
料の特性としては、前述した実施例のように、溶液の濃
度には限らない。たとえば、比熱などの熱的定数も測定
することができる。
For example, the characteristics of the sample measured by the analysis method according to the present invention are not limited to the concentration of the solution as in the above-mentioned embodiments. For example, thermal constants such as specific heat can also be measured.

第14図に示すような比熱測定モデルを考える。Consider a specific heat measurement model as shown in FIG.

第14図において、ml +  Q、2は、測定セル2
への断続光6の入射部47を“θ″としたときのセル2
内の位置を示す座標である。IO,I、、12は、0.
L、(J、z地点での光の強度を示している。βが試料
溶液1の吸収係数、Aが断続光6の断面積を表わすもの
とすれば、まず、Q、、f1212bおける光の強度■
I+  12は、11−10 e−”“ 12 = I 6 e−”” で表わされる。赤外線センサが感じる温度変化に寄与す
る熱エネルギをΔIとすると、ΔIは次式%式% なお、Δ之は、Δト弓2  Lで表わされる。
In FIG. 14, ml + Q, 2 is measurement cell 2
When the incident part 47 of the intermittent light 6 to the cell 2 is set to "θ"
These are the coordinates indicating the position within. IO,I,,12 is 0.
L, (J, indicates the intensity of light at point z. If β is the absorption coefficient of sample solution 1 and A is the cross-sectional area of intermittent light 6, then Strength■
I+ 12 is expressed as 11-10 e-""12=I6e-"". When the thermal energy contributing to the temperature change sensed by the infrared sensor is ΔI, ΔI is expressed by the following formula (%).

本分析法では、βおよびαは非常に小さいので、ΔI々
10 βΔ(と近似できる。したがって、このときの温
度上昇ΔTは、 と表わすことができる。ここで、CFは試料の比熱、ρ
、は試料の密度である。焦電出力は、時間あたりの温度
変化量に比例するので、10.  β。
In this analysis method, β and α are very small, so they can be approximated as ΔI = 10 βΔ(. Therefore, the temperature rise ΔT at this time can be expressed as follows. Here, CF is the specific heat of the sample,
, is the density of the sample. Since the pyroelectric output is proportional to the amount of temperature change per hour, 10. β.

Aを一定として測定すれば、(1/CP ρ、)はセン
サの出力に比例すると言える。この関係を利用して、密
度および比熱が既知のたとえば水との出力の比較をとる
ことにより、試料の比熱を知ることができる。また、試
料のバンドギャップを測定することもできる。この場合
には、断続光を構成する光は、特定の波長範囲内にある
スペクトルに分解された状態で与えられる。そして、あ
る特定の波長のところで特異な信号がセンサから出力さ
れる。したがって、この波長を見出すことにより、バン
ドギャップを測定することができる。
When measured with A constant, it can be said that (1/CP ρ,) is proportional to the output of the sensor. Utilizing this relationship, the specific heat of the sample can be determined by comparing the output with, for example, water whose density and specific heat are known. It is also possible to measure the bandgap of a sample. In this case, the light constituting the intermittent light is provided in a state where it is separated into spectra within a specific wavelength range. Then, a unique signal is output from the sensor at a certain specific wavelength. Therefore, by finding this wavelength, the bandgap can be measured.

また、この発明では、特に非放射遷移を示す物質を試料
とすることが有利であるが、このようなものには限らず
、放射遷移を生じる物質であっても、これを試料とする
ことができる。
In addition, in this invention, it is particularly advantageous to use a substance that exhibits non-radiative transition as a sample, but the sample is not limited to such a substance; even substances that cause radiative transition can be used as a sample. can.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、この発明の一実施例を実施するための装置を
示すブロック図である。第2図は、第1図に示した焦電
型赤外線センサ9の等価回路図である。第3図は、同じ
く焦電型赤外線センサ9の機械的構造を示す断面図であ
る。第4図は、この発明の実験例において、水溶液の濃
度Cに対するセンサからの信号強度Pを測定した結果を
示すグラフである。第5図は、この発明の他の実施例の
実施に用いられる焦電型赤外線センサ9aの機械的構造
を示す断面図である。第6図、第7図および第8図は、
この発明のさらに他の実施例を実施している状態を示す
図解図である。第9図は、この発明のさらに他の実施例
を実施するための装置を示すブロック図である。第10
図および第11図は、この発明のさらに他の実施例にお
いて有利に用いられる焦電体の電極形状の一例を示す図
である。第12図は、第10図および第11図に示した
焦電体19bを用いて構成された焦電型赤外線センサ9
rの機械的構造を示す断面図である。 第13図は、第12図に示した焦電型赤外線センサ9「
の等価回路図である。第14図は、この発明が比熱測定
に適用されることを説明するためのモデル図である。 図において、1は試料溶液(試料)、3はレーザ光(光
)、6は断続光、7,7a、7bは光路、9.9a、9
c、9d、9e、9f’は焦電型赤外線センサ、13,
19.19a、19bは焦電体、25.27.30は試
料、29.32は入射点、35は測定用試料、36は参
照用試料である。 C/lo’M 第7図
FIG. 1 is a block diagram showing an apparatus for carrying out an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an equivalent circuit diagram of the pyroelectric infrared sensor 9 shown in FIG. 1. FIG. 3 is a cross-sectional view showing the mechanical structure of the pyroelectric infrared sensor 9. FIG. 4 is a graph showing the results of measuring the signal intensity P from the sensor with respect to the concentration C of the aqueous solution in an experimental example of the present invention. FIG. 5 is a sectional view showing the mechanical structure of a pyroelectric infrared sensor 9a used in implementing another embodiment of the present invention. Figures 6, 7 and 8 are
FIG. 7 is an illustrative view showing a state in which still another embodiment of the present invention is being implemented. FIG. 9 is a block diagram showing an apparatus for implementing yet another embodiment of the invention. 10th
The figure and FIG. 11 are diagrams showing an example of a pyroelectric electrode shape that is advantageously used in still another embodiment of the present invention. FIG. 12 shows a pyroelectric infrared sensor 9 constructed using the pyroelectric body 19b shown in FIGS. 10 and 11.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing the mechanical structure of r. FIG. 13 shows the pyroelectric infrared sensor 9 shown in FIG. 12.
FIG. FIG. 14 is a model diagram for explaining that the present invention is applied to specific heat measurement. In the figure, 1 is a sample solution (sample), 3 is a laser beam (light), 6 is an intermittent light, 7, 7a, 7b are optical paths, 9.9a, 9
c, 9d, 9e, 9f' are pyroelectric infrared sensors, 13,
19.19a and 19b are pyroelectric bodies, 25.27.30 is a sample, 29.32 is an incident point, 35 is a measurement sample, and 36 is a reference sample. C/lo'M Figure 7

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)分析されるべき試料に光を照射したときに生じる
熱の測定に基づく光−熱変換分析法であって、 前記光として断続光を用い、当該断続光の光路上に前記
試料を置き、前記光路からずれた位置であって前記断続
光が前記試料によって影響を及ぼされる位置の近傍にお
いて、前記断続光を受けて前記試料から断続的に発せら
れる熱に基づく温度変化を焦電型赤外線センサによって
検出することを特徴とする、光−熱変換分析法。
(1) A light-to-heat conversion analysis method based on the measurement of heat generated when a sample to be analyzed is irradiated with light, using intermittent light as the light and placing the sample on the optical path of the intermittent light. , in the vicinity of a position offset from the optical path and where the intermittent light is affected by the sample, temperature changes due to heat intermittently emitted from the sample in response to the intermittent light are measured using pyroelectric infrared rays. A light-to-heat conversion analysis method characterized by detection using a sensor.
(2)前記試料は光透過性であり、前記断続光は前記試
料内へ入射され、かつ、前記焦電型赤外線センサは前記
試料内における前記断続光の光路の近傍に配置される、
特許請求の範囲第1項記載の光−熱変換分析法。
(2) the sample is optically transparent, the intermittent light is incident into the sample, and the pyroelectric infrared sensor is disposed near the optical path of the intermittent light within the sample;
A light-to-heat conversion analysis method according to claim 1.
(3)前記断続光は前記試料の表面へ入射され、かつ、
前記焦電型赤外線センサは、前記試料の表面に対する前
記断続光の入射点付近であって前記試料の外側に配置さ
れる、特許請求の範囲第1項記載の光−熱変換分析法。
(3) the intermittent light is incident on the surface of the sample, and
2. The light-to-heat conversion analysis method according to claim 1, wherein the pyroelectric infrared sensor is placed near the point of incidence of the intermittent light on the surface of the sample and outside the sample.
(4)前記断続光は前記試料の裏面へ入射され、かつ、
前記焦電型赤外線センサは、前記断続光の入射点に対応
する前記試料の表面近傍に配置される特許請求の範囲第
1項記載の光−熱変換分析法。
(4) the intermittent light is incident on the back surface of the sample, and
The light-to-heat conversion analysis method according to claim 1, wherein the pyroelectric infrared sensor is placed near the surface of the sample corresponding to the point of incidence of the intermittent light.
(5)参照用試料を備え、前記断続光は前記測定用試料
および参照用試料に照射され、前記断続光が前記参照用
試料によって影響を及ぼされた後の前記光路上に焦電型
赤外線センサが配置され、ブランク補正を可能にした、
特許請求の範囲第1項ないし第4項のいずれかに記載の
光−熱変換分析法。
(5) A reference sample is provided, the intermittent light is irradiated to the measurement sample and the reference sample, and a pyroelectric infrared sensor is provided on the optical path after the intermittent light is influenced by the reference sample. was placed to enable blank correction,
A light-to-heat conversion analysis method according to any one of claims 1 to 4.
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