JPS63299243A - プロ−ブカ−ドアダプタ - Google Patents

プロ−ブカ−ドアダプタ

Info

Publication number
JPS63299243A
JPS63299243A JP13460087A JP13460087A JPS63299243A JP S63299243 A JPS63299243 A JP S63299243A JP 13460087 A JP13460087 A JP 13460087A JP 13460087 A JP13460087 A JP 13460087A JP S63299243 A JPS63299243 A JP S63299243A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe card
ring
adapter
terminal
probe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP13460087A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPH0575178B2 (enrdf_load_stackoverflow
Inventor
Wataru Karasawa
唐沢　渉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Electron Ltd
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Electron Ltd filed Critical Tokyo Electron Ltd
Priority to JP13460087A priority Critical patent/JPS63299243A/ja
Publication of JPS63299243A publication Critical patent/JPS63299243A/ja
Publication of JPH0575178B2 publication Critical patent/JPH0575178B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
JP13460087A 1987-05-29 1987-05-29 プロ−ブカ−ドアダプタ Granted JPS63299243A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13460087A JPS63299243A (ja) 1987-05-29 1987-05-29 プロ−ブカ−ドアダプタ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13460087A JPS63299243A (ja) 1987-05-29 1987-05-29 プロ−ブカ−ドアダプタ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63299243A true JPS63299243A (ja) 1988-12-06
JPH0575178B2 JPH0575178B2 (enrdf_load_stackoverflow) 1993-10-20

Family

ID=15132190

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13460087A Granted JPS63299243A (ja) 1987-05-29 1987-05-29 プロ−ブカ−ドアダプタ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS63299243A (enrdf_load_stackoverflow)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04276018A (ja) * 1991-03-01 1992-10-01 Kobe Steel Ltd 圧壊特性に優れたドアガードバーの製造方法
JPH0513046U (ja) * 1991-07-29 1993-02-19 山形日本電気株式会社 半導体プローブボードの検査装置
WO2005091006A1 (ja) * 2004-03-19 2005-09-29 Tokyo Electron Limited 複数種のテスタに対応可能なプローブ装置
KR100632032B1 (ko) * 1999-07-14 2006-10-04 동부일렉트로닉스 주식회사 프로브 카드 분리 가이드를 구비한 ｄｃ 검사장비
JP2018523825A (ja) * 2015-08-07 2018-08-23 エクセラ・コーポレーションＸｃｅｒｒａ Ｃｏｒｐ． 印刷された回路基板を検査するための並列検査装置用の位置決め装置、及び印刷された回路基板を検査するための並列検査装置
US10908180B2 (en) 2012-11-22 2021-02-02 Japan Electronic Materials Corp. Probe card case and probe card transfer method

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0730887U (ja) * 1993-11-30 1995-06-13 金一 新妻 トイレットペーパーホルダー

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04276018A (ja) * 1991-03-01 1992-10-01 Kobe Steel Ltd 圧壊特性に優れたドアガードバーの製造方法
JPH0513046U (ja) * 1991-07-29 1993-02-19 山形日本電気株式会社 半導体プローブボードの検査装置
KR100632032B1 (ko) * 1999-07-14 2006-10-04 동부일렉트로닉스 주식회사 프로브 카드 분리 가이드를 구비한 ｄｃ 검사장비
WO2005091006A1 (ja) * 2004-03-19 2005-09-29 Tokyo Electron Limited 複数種のテスタに対応可能なプローブ装置
JP2005265658A (ja) * 2004-03-19 2005-09-29 Tokyo Electron Ltd 複数種のテスタに対応可能なプローブ装置
US7323893B2 (en) 2004-03-19 2008-01-29 Tokyo Electron Limited Probe device capable of being used for plural kinds of testers
KR100845349B1 (ko) * 2004-03-19 2008-07-09 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 복수종의 테스터에 대응 가능한 프로브 장치
CN100545666C (zh) 2004-03-19 2009-09-30 东京毅力科创株式会社 能够对应多种测试器的探针装置
EP1736787A4 (en) * 2004-03-19 2014-04-02 Tokyo Electron Ltd Probe device capable of being used for plural kinds of testers
US10908180B2 (en) 2012-11-22 2021-02-02 Japan Electronic Materials Corp. Probe card case and probe card transfer method
JP2018523825A (ja) * 2015-08-07 2018-08-23 エクセラ・コーポレーションＸｃｅｒｒａ Ｃｏｒｐ． 印刷された回路基板を検査するための並列検査装置用の位置決め装置、及び印刷された回路基板を検査するための並列検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0575178B2 (enrdf_load_stackoverflow) 1993-10-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5172053A (en) Prober apparatus
US10082524B2 (en) Prober in which probe head of probe card is replaced automatically
JPS63318745A (ja) プロ−ブ装置
JPS63299243A (ja) プロ−ブカ−ドアダプタ
JP2000150596A (ja) プローバ
JPH08335614A (ja) プロ−ブシステム
US5124931A (en) Method of inspecting electric characteristics of wafers and apparatus therefor
US4966520A (en) Method of positioning objects to be measured
JP4548817B2 (ja) プローブ装置
JP5451730B2 (ja) プローブカード保持装置
JP3169900B2 (ja) プローバ
JPH0669296A (ja) 試験装置
JPH0719817B2 (ja) プロ−ブカ−ド自動交換方法
JPH10144761A (ja) ウエハ処理装置システム、ウエハ処理装置、ウエハ処理装置の使用方法
JPH0528767Y2 (enrdf_load_stackoverflow)
JPH01161173A (ja) プローブ装置のプローブカード自動交換方法
JPH04355943A (ja) ウエハプローバ
JP2575074B2 (ja) ウエハプローバ
KR200235109Y1 (ko) 반도체 웨이퍼 프로버용 프리얼라인 장치
JPH01145577A (ja) プローブカードの製造方法
JPH01145587A (ja) プローブ装置
JPS63244640A (ja) プロ−ブカ−ドユニツト部品
JPH02137347A (ja) 位置合わせ方法
JP4951523B2 (ja) テストヘッド、電子部品試験装置、及び電子部品試験装置へのパフォーマンスボードの装着方法
JPH0744205B2 (ja) プローブカード取付方法