JPS63298386A - 基板検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的コ （産業上の利用分野） 本発明は、基板検査方法に係り、特に液晶基板等の多数
の画素電極を有する基板の検査に好適な基板検査方法に
関する。

（従来の技術） 近年、例えば液晶表示装置等は、画素の高集積化が進み
、２０万〜３０万画素を有する液晶表示装置も開発され
ている。

このような液晶表示装置では、ガラス基板等の基板上に
各画素（ビクセル）毎にバッジベイト膜、配向膜等を備
えた透明電極が形成されており、アクティブマトリクス
方式の液晶表示装置では、これらのピクセルにそれぞれ
能動素子例えば８０３形ＴＦＴ等が配置されている。

そして、同様に、各画素（ビクセル）毎にパッジベイト
膜、配向膜等を備えた透明電極が形成された基板が、上
記基板に近接対向して配置され、これらの基板間に液晶
が封入される。

このような液晶表示装置用基板を検査する場合、各ピク
セル毎に、例えばＨＯ８形ＴＦＴの動作の良否、断線の
有無等を測定する必要がある。また、透明電極に直接電
気的な接続端子等を接触させることは、好ましくない。

このため、従来は、組み立てが終了した液晶表示装置の
表示画像を目視し、チェックを行うという方法により、
検査を行っている。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上記説明の従来の検査方法では、最終組
み立てを行った後でなければ検査を行うことができず、
例えば不良の基板が組み立て工程へ送られる等、生産性
が悪化するという問題がある。

本発明は、かかる従来の事情に対処してなされたもので
、組み立て前の基板の検査を容易に行うことができ、生
産性の向上を図ることのできる基板検査方法を提供しよ
うとするものである。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） すなわち本発明の基板検査方法は、被測定基板上に形成
された電極に近接対向させて導体層を有する振動体を配
置し、この振動体と前記電極との間に交流電圧を印加し
て、前記振動体に生じる振動を検出することにより前記
被測定基板の検査を行うことを特徴とする。

（作　用） 本発明の基板検査方法では、被測定基板上に形成された
電極に近接対向させて導体層を有する振動体を配置し、
この振動体と電極との間に交流電圧を印加して、振動体
に生じる振動を検出することにより、例えば組み立て前
の状態で、液晶表示装置用基板等の被測定基板の検査を
行う。

すなわち、液晶表示装置用基板の透明電極と、振動体と
の間に容量結合を形成し、交流電界の作用により発生す
る振動体の微小な振動を検出する。

したがって、例えば透明電極等に直接電気的な接続端子
等を接触させる必要もなく、簡単に、基板の検査を行う
ことができる。

（実施例） 以下本発明の基板検査方法を図面を参照して実施例につ
いて説明する。

第１図および第２図に示すアクティブマトリクス方式の
液晶表示装置のガラス基板１には、透明電極、パッジベ
イト膜、配向膜等を備えた多数のピクセル２が形成され
ている。これらのピクセル２には、それぞれＨＯ３形Ｔ
ＦＴ　３が配置されてあり、このＩ（Ｏ３形ＴＦＴ　３
のゲートは、それぞれゲート信号線４に、ソースは、そ
れぞれソース信号線５に接続されている。また、８０８
形ＴＦＴ　３のドレインは、それぞれピクセル２内の透
明電極に接続されている。

また、上記ゲート信号線４およびソース信号線５は、そ
れぞれガラス基板１の端部に配置されたリード電極６お
よびリード電極７に接続されている。

この実施例方法では、まず、ガラス基板１に対向、すな
わち被測定ピクセル２ａの透明電極に対向するように振
動体８を配置する。この振動体８は、例えば厚さ数ミク
ロン程度のプラスチックシート８ａと、このプラスチッ
クシート８ａの対向面裏側に例えばスパッタリング等に
より形成され厚さ例えば０．１〜１μｍ程度のアルミニ
ウム等の導体層８ｂと、ピクセル２に対応して格子状に
形成されプラスチックシート８ａを保持するアルミニウ
ム等からなるフレーム８Ｃとから構成されている。

次に、被測定ピクセル２ａが接続されたソース信号線５
端部のリード電極７を介して、被測定ピクセル２ａの透
明電極と振動体８との間に交流電圧を印加する。また、
被測定ピクセル２ａが接続されたゲート信号線４端部の
リード電極６を介して、ＨＯ８形ＴＦＴ　３のゲートに
例えばパルス状のＯＮ信号を印加する。

そして、この時の被測定ピクセル２ａの透明電極に対向
する振動体８のプラスチックシート８ａに生じる振動を
、例えば導体層８ｂ表面にレーザ光を照射するレーザ光
源９と、導体層８ｂからの反射光を検出するテレビカメ
ラ１０で、例えば導体層８ｂ表面の干渉縞の変化を観測
すること等により検出する。

すなわち、この時、被測定ピクセル２ａが接続されたゲ
ート信号線４およびソース信号線５等に断線がなく、Ｍ
Ｏ３形ＴＦＴ　３が正常に作動し、被測定ピクセル２ａ
の透明電極に異常がなければ、被測定ピクセル２ａの透
明電極と、振動体８との間には、交流電界が作用し、振
動体８のプラスチツクシート８ａに撮動が生じる。した
がって、テレビカメラ１０Ｔ：Ｊｔｇ動が検出されれば
その被測定ピクセル２ａは正常であると判定することが
できる。

なお、振動の検出は、レーザ光源９およびテレビカメラ
１０の位置制御を行って、各ピクセル毎または数個のピ
クセル毎に移動させながら行っても、振動体８全体にレ
ーザ光を照射し、振動体８全体を躍像可能なテレビカメ
ラ１０を用いて行ってもよい。

また、被測定ピクセル２ａの透明電極と振動体８との間
の電気容量Ｃ（ｐＦ）は、εを比誘電率、Ａを電極の面
積、ｄを間隔として、次式によって求めることができる
。

Ｃ（ｐＦ）＝　０．２２５εＡ／ｄ したがって、被測定ピクセル２ａの透明電極と振動体８
との間に印加する電圧は、透明電極の面積、透明電極と
振動体８との間隔等によって適宜選択する。

すなわち、この実施例方法では、被測定ピクセル２ａの
透明電極に対向させて導体層８ｂを有する振動体８を配
置し、容量結合を形成して交流電圧を印加する。そして
、ＨＯ８形ＴＦＴ　３のゲートにＯＮ信号を印加して被
測定ピクセル２ａの検査を行う。したがって、例えば透
明電極に直接電気的な接続端子等を接触させる必要もな
く、簡単に、検査を行うことができる。

［発明の効果］ 上述のように、本発明の基板検査方法では、組み立て前
の基板の検査を容易に行うことができ、従来に比べて大
幅に生産性の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の基板検査方法を説明するた
めの液晶表示装置用基板の斜視図、第２図は第１図の上
面図である。 １・・・・・・ガラス基板、２・・・・・・ピクセル、
８・・・・・・振動体、８ａ・・・・・・プラスチック
シート、８ｂ・・・・・・導体層、８Ｃ・・・・・・フ
レーム。 出願人　　東京エレクトロン株式会社 代理人　弁理士　　須　山　佐　− 第１図 第２図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）被測定基板上に形成された電極に近接対向させて
   導体層を有する振動体を配置し、この振動体と前記電極
   との間に交流電圧を印加して、前記振動体に生じる振動
   を検出することにより前記被測定基板の検査を行うこと
   を特徴とする基板検査方法。
2. （２）前記被測定基板は、能動素子を有する液晶表示装
   置用基板である特許請求の範囲第１項記載の基板検査方
   法。