JPS63297203A - Production of superconductive material - Google Patents

Production of superconductive material

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JPS63297203A
JPS63297203A JP62134239A JP13423987A JPS63297203A JP S63297203 A JPS63297203 A JP S63297203A JP 62134239 A JP62134239 A JP 62134239A JP 13423987 A JP13423987 A JP 13423987A JP S63297203 A JPS63297203 A JP S63297203A
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raw material
powder
producing
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Nobuhiko Fujita
藤田 順彦
Hideo Itozaki
秀夫 糸▲崎▼
Saburo Tanaka
三郎 田中
Shuji Yatsu
矢津 修示
Tetsuji Jodai
哲司 上代
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    • H10N60/00Superconducting devices
    • H10N60/01Manufacture or treatment
    • H10N60/0268Manufacture or treatment of devices comprising copper oxide

Abstract

PURPOSE:To obtain an oxide superconductive material having high superconductive critical temperature and stable superconductive characteristics at a temperature to make electric resistance zero, by heat-treating a raw material oxide containing specific elements alpha, beta and gamma in a ratio to make the composition of the aimed substance in an O2-containing atmosphere. CONSTITUTION:A raw material oxide 3 containing (A) an element alpha (e.g. Ba or Sr) selected from groups IIa and IIIa of the periodic table, (B) an element beta(e.g. Y or La) selected from groups IIa and IIIa and containing the same material as that of the element alpha and (C) an element gamma (e.g. Cn) selected from groups Ib, IIb, IIIb, IVa and VIIIa is collected in such a way that a composition shown by the formula [x=beta/(alpha+beta) atomic ratio, 0.1<=x<=0.9; y and z are 0.4<=y<=3.0 and 1<=z<=5 when (alpha1-xbetax)=1]. Then the raw material oxide 3 is set in a chamber 1, the chamber 1 is evacuated through an exhaust vent 7, O2 is introduced from a gas inlet hole 6 to the chamber, O3 is generated through an electric source 5 and electrodes 2 at 10Torr O3 partial pressure to give an O3-containing atmosphere and the raw material oxide is heat-treated by a heater 4 at 500-1,000 deg.C to give the oxide superconductor shown by the formula.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は超電導材料の作製方法に関する。より詳細には
、高い超電導臨界温度を有し、優れた超電導特性を持つ
超電導材料の作製方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention relates to a method for producing superconducting materials. More specifically, the present invention relates to a method for producing a superconducting material having a high superconducting critical temperature and excellent superconducting properties.

従来の技術 電子の相転移であるといわれる超電導現象は、特定の条
件下で導体の電気抵抗が零の状態となり完全な反磁性を
示す現象である。即ち、超電導下では、超電導体に電流
を流しても電力損失が全く無く、密度の高い電流が永久
に流れ続ける。例えば、超電導技術を電力送電に応用す
れば、現在送電に伴って生じているといわれる約7%の
送電損失を大幅に減少できる。また、高磁場発生用電磁
石としての応用は、例えば、発電技術の分野ではMHD
発電、電動機等と共に、開発に発電世以上の電力を消費
するともいわれる核融合反応の実現を有利に促進する技
術として期待されている。また磁気浮上列車、電磁気推
進船舶等の動力として、更に、計測・医療の分野でもN
MR1π中間子治療、高エネルギー物理実験装置などへ
の利用が期待されている。
BACKGROUND OF THE INVENTION Superconductivity, which is said to be a phase transition of electrons, is a phenomenon in which the electrical resistance of a conductor becomes zero under certain conditions and exhibits complete diamagnetic properties. That is, under superconductivity, there is no power loss at all even when current is passed through a superconductor, and a high-density current continues to flow forever. For example, if superconducting technology is applied to power transmission, it will be possible to significantly reduce the approximately 7% power transmission loss that currently occurs with power transmission. In addition, applications as electromagnets for generating high magnetic fields include, for example, MHD in the field of power generation technology.
Along with power generation and electric motors, it is expected to be a technology that advantageously promotes the realization of nuclear fusion reactions, which are said to consume more electricity to develop than they do to generate electricity. In addition, N
It is expected to be used in MR1π meson therapy, high-energy physical experiment equipment, etc.

一方、様々な努力にもかかわらず、超電導材料の超電導
臨界温度Tcは長期間に亘ってNb3Geの23Kを越
えることができなかったが、昨年未来、[:La、 B
a1l 2CuO,または[:La、 Sr〕2cu○
4等のに2NiF4型酸化物の焼結材が高いTcをもつ
超電導材料として発見され、非低温超電導を実現する可
能性が大きく高まっている。これらの物質では、30乃
至50にという従来に比べて飛躍的に高いT。が観測さ
れ、70に以上のT。も観測されている。
On the other hand, despite various efforts, the superconducting critical temperature Tc of superconducting materials could not exceed 23K of Nb3Ge for a long time, but last year, in the future, [:La, B
a1l 2CuO, or [:La, Sr]2cu○
A sintered material of 2NiF4 type oxide has been discovered as a superconducting material with a high Tc, and the possibility of realizing non-low temperature superconductivity is greatly increasing. These materials have a T of 30 to 50, which is dramatically higher than that of conventional materials. was observed, and more than 70 T. has also been observed.

これらの酸化物超電導体を製造する方法として、バルク
のものは焼結、薄膜はスパッタリング等の物理蒸着が一
般的に使用されており、いずれの場合も特性を向上させ
るため、通常得られた酸化物超電導体に対して酸素含有
雲囲気中で熱処理を行う。
As methods for producing these oxide superconductors, sintering is generally used for bulk products, and physical vapor deposition such as sputtering is used for thin films. Heat treatment is performed on a physical superconductor in an oxygen-containing cloud atmosphere.

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、これまでのところ得られる酸化物超電導
材料の超電導特性は、非常に不安定なものであり、また
、超電導現象が始まる温度と電気抵抗が完全に0となる
温度Tcfとの差(ΔT)も大きかった。
Problems to be Solved by the Invention However, the superconducting properties of the oxide superconducting materials obtained so far are extremely unstable, and the temperature and electrical resistance at which superconducting phenomena begin are completely zero. The difference (ΔT) from the temperature Tcf was also large.

従って、本発明の目的は上記問題を解決し、高Tcでか
つ安定した超電導特性を持つ優れた特性の超電導材料の
作製方法を提供するものである。
Therefore, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and provide a method for producing a superconducting material with excellent characteristics, which has high Tc and stable superconducting properties.

問題点を解決するだめの手段 上記した問題点を解決するため種々の実験、検討を繰り
返した結果、本発明は完成されたものであり、本発明に
従うと、周期律表[a、I[a族元素から選択された1
種の元素α、周期律表■a。
Means for Solving the Problems The present invention has been completed as a result of repeated various experiments and studies in order to solve the above-mentioned problems.According to the present invention, the periodic table [a, I[a 1 selected from group elements
Species element α, periodic table ■a.

[[a族元素でαと同じものを含む元素から選択された
1種の元素βおよび周期律表Ib、nb、■b、rVa
、VIIIa族元素から選択された少なくとも1種の元
素Tを含有する原料酸化物をオゾンを含む雰囲気中で熱
処理して酸化物超電導体を生成することを主要な特徴と
する超電導材料の作製方法が提供される。
[[One type of element β selected from the elements of group a containing the same elements as α and Ib, nb, ■b, rVa of the periodic table
, a method for producing a superconducting material whose main feature is to heat-treat a raw material oxide containing at least one element T selected from Group VIIIa elements in an atmosphere containing ozone to produce an oxide superconductor. provided.

作用 本発明は、超電導体の原料酸化物をオゾンを含む雰囲気
中で熱処理し、特性の優れた酸化物超電導体を得るとこ
ろにその主要な特徴がある。
Function The main feature of the present invention is that an oxide superconductor raw material is heat-treated in an ozone-containing atmosphere to obtain an oxide superconductor with excellent properties.

上記酸化物超電導体または/および原料酸化物は、 一般式: (αl−Xβx)ryO2 (但し、α、β、γは、上記定義の元素であり、Xはα
+βに対するβの原子比で、0.1 ≦x≦0.9であ
り、yおよび2は<α、1−xβx)を1とした場合に
0.4≦y≦3.0.1≦z≦5となる原子比である) で表される組成の酸化物であるのが好ましく、例えばB
a −Y、−Cu −0系の場合にはBa2Y+Cu3
0t−x z を主体とする混合相と考えられる。
The above oxide superconductor and/or raw material oxide has the general formula: (αl-Xβx)ryO2 (where α, β, and γ are the elements defined above, and X is α
The atomic ratio of β to +β, 0.1 ≦x≦0.9, and 0.4≦y≦3.0.1≦z, where y and 2 are <α, 1−xβx) as 1. It is preferable to use an oxide having a composition represented by (the atomic ratio is ≦5), for example, B
a -Y, -Cu -0 system, Ba2Y+Cu3
It is considered to be a mixed phase mainly composed of 0t-xz.

上記酸化物超電導体または/および原料酸化物はペロブ
スカイト型酸化物または擬似ペロブスカイト型酸化物で
あることが好ましい。擬似ペロブスカイトとはペロブス
カイトに類似した構造をいい、例えば酸素欠損ペロブス
カイト型、オルソロンピック型等を含むものである。
The oxide superconductor and/or the raw material oxide are preferably perovskite-type oxides or pseudo-perovskite-type oxides. Pseudo-perovskite refers to a structure similar to perovskite, and includes, for example, an oxygen-deficient perovskite type, an orthorhombic type, and the like.

本発明で使用する原料酸化物に含まれる元素の組み合わ
せとしては、Ba、 YおよびAl5Fe、 Co、N
i5Zn、 Cu、 Ag、 Tiによって構成される
群から選択される少なくとも1種の元素からなる組み合
わせ、Ba5LaおよびAl、Fe、 Co、 Ni、
 1nSCu、 Ag。
Combinations of elements contained in the raw material oxide used in the present invention include Ba, Y, Al5Fe, Co, N
A combination consisting of at least one element selected from the group consisting of i5Zn, Cu, Ag, Ti, Ba5La and Al, Fe, Co, Ni,
1nSCu, Ag.

Tiによって構成される群から選択される少なくとも1
種の元素からなる組み合わせまたはSr、 Laおよび
Al、 Fe5Co、 Ni、 Zn、 Cu、 Ag
、、Tiによって構成される群から選択される少なくと
も1種の元素からなる組み合わせが好ましい。
At least one selected from the group consisting of Ti
Combinations consisting of elements of species or Sr, La and Al, FeCo, Ni, Zn, Cu, Ag
A combination of at least one element selected from the group consisting of , , Ti is preferred.

また、本発明の方法で使用する原料酸化物のαとβの原
子比は、上記α、β、Tの種類に応じて適宜選択できる
。すなわち、Ba−Y、 Ba−La、 5r−La系
の場合にはそれぞれY/ (Y+Ba)は領06〜0.
94であることが好ましく、0.1〜0.4であること
がさらに好ましく 、Ba/ (La+8a)は0.0
4〜0.96であることが好ましく、さらに0.08〜
0.45であることがさらに好ましく 、Sr/ (1
,a+Sr)は0.03〜0.95の範囲であることが
好ましく 、0.05〜0.1であることがさらに好ま
しい。原料酸化物の原子比が上記の範囲からはずれた場
合には、得られる酸化物超電導体の結晶構造、酸素欠損
等が所望のものと異なってしまうせいか、Tcが低い。
Further, the atomic ratio of α and β in the raw material oxide used in the method of the present invention can be appropriately selected depending on the types of α, β, and T mentioned above. That is, in the case of Ba-Y, Ba-La, and 5r-La systems, Y/(Y+Ba) is in the range 06 to 0.
It is preferably 94, more preferably 0.1 to 0.4, and Ba/(La+8a) is 0.0
It is preferably from 4 to 0.96, more preferably from 0.08 to
More preferably, it is 0.45, Sr/(1
, a+Sr) is preferably in the range of 0.03 to 0.95, more preferably 0.05 to 0.1. If the atomic ratio of the raw material oxide deviates from the above range, the Tc will be low, probably because the crystal structure, oxygen vacancies, etc. of the obtained oxide superconductor will differ from the desired one.

本発明の方法従うと、原料酸化物をオゾンを含む雰囲気
中で熱処理する。本発明者等の知見によれば、焼結また
は物理蒸着で作製し、その後酸素含有雰囲気で熱処理し
て得た従来の酸化物超電導体は、結晶中の酸素が不足す
るため結晶構造、酸素欠損等が不適当であり、Tcが低
く超電導特性も不安定となる。従って、超電導特性を向
上させるためには、何らかの方法で酸素を補う必要があ
る。
According to the method of the present invention, the raw material oxide is heat treated in an atmosphere containing ozone. According to the findings of the present inventors, conventional oxide superconductors produced by sintering or physical vapor deposition and then heat-treated in an oxygen-containing atmosphere suffer from a lack of oxygen in the crystal structure due to lack of oxygen in the crystal. etc. are inappropriate, resulting in low Tc and unstable superconducting properties. Therefore, in order to improve superconducting properties, it is necessary to supplement oxygen by some method.

本発明の方法に従うと、熱処理を単なる酸素含有雰囲気
ではなく、オゾンを含む雰囲気中で行う。
According to the method of the present invention, the heat treatment is performed not simply in an oxygen-containing atmosphere, but in an ozone-containing atmosphere.

オゾンは酸素に比較すると活性が高いので、結晶中によ
り取り込まれやすい。ゆえに、従来の製法よりも優れた
超電、導枠性を持つ酸化物超電導体を作製することが可
能になった。
Ozone is more active than oxygen, so it is more easily incorporated into crystals. Therefore, it has become possible to produce an oxide superconductor with superior superconductivity and conductive frame properties compared to conventional production methods.

この熱処理は、オゾンを含む酸素雰囲気中で行うことが
、より好ましく、その場合オゾン分圧はIQ7orr以
上であることが好ましい。
This heat treatment is more preferably performed in an oxygen atmosphere containing ozone, and in that case, the ozone partial pressure is preferably IQ7 orr or higher.

オゾンの発生手段は、熱処理を行う酸化物の形状、大き
さ、またそれに伴って決まる加熱炉の形状、大きさ、構
造等によりコロナ放電等の無声放電による方法、紫外線
を照射する方法等から選択することが可能である。
The means for generating ozone is selected from methods such as silent discharge such as corona discharge, method of irradiation with ultraviolet rays, etc., depending on the shape and size of the oxide to be heat-treated, and the shape, size, and structure of the heating furnace determined accordingly. It is possible to do so.

さらに、熱処理時、酸化物は高温であるので取り込まれ
たオゾンは酸素となり拡散し、酸化物の結晶構造が改善
され、均一性を向上させるとともに、酸素欠損が適正に
なる。この際、加熱温度は500℃〜1000℃が好ま
しく、この熱処理には10℃/分以下の冷却速度で徐冷
する過程、100℃/分以上の冷却速度で急冷する過程
が含まれることが好ましい。
Furthermore, during heat treatment, since the oxide is at a high temperature, the ozone taken in becomes oxygen and diffuses, improving the crystal structure of the oxide, improving uniformity, and making oxygen vacancies appropriate. At this time, the heating temperature is preferably 500°C to 1000°C, and this heat treatment preferably includes a step of slow cooling at a cooling rate of 10°C/min or less, and a process of rapid cooling at a cooling rate of 100°C/min or more. .

また、本発明の好ましい態様によると、上記熱処理には
オゾン中での冷却過程が含まれる。この冷却方法により
、従来冷却中に遊離していた酸素を結晶中に固定するこ
とができ、酸素リッチな好ましい結晶を得ることができ
る。
According to a preferred embodiment of the present invention, the heat treatment includes a cooling process in ozone. By this cooling method, oxygen, which was conventionally liberated during cooling, can be fixed in the crystal, and preferred oxygen-rich crystals can be obtained.

さらに、本発明の方法による熱処理によって、焼結また
は蒸着時の条件が悪く結晶中の酸素が不足し、酸素欠損
が過剰となって超電導性を示さない酸化物に酸素を補い
、超電導体に変態させることも可能である。
Furthermore, by heat treatment according to the method of the present invention, oxygen is supplemented to an oxide that does not exhibit superconductivity due to poor conditions during sintering or vapor deposition, resulting in a lack of oxygen in the crystal, resulting in excessive oxygen vacancies, and transforms into a superconductor. It is also possible to do so.

次に本発明の方法を実施するために用いる装置について
説明する。第1図および第2図は、本発明の方法による
超電導酸化物材料の作製に用いたオゾン炉の概略図であ
る。
Next, the apparatus used to carry out the method of the present invention will be explained. FIG. 1 and FIG. 2 are schematic diagrams of an ozone furnace used for producing a superconducting oxide material by the method of the present invention.

第1図に示す装置は、チャンバ1、チャンバ1に取りつ
けられた電極2、原料酸化物3、ヒータ4とから主に構
成されている。チャンバ1は排気孔7を介して真空ポン
プ(不図示)に接続され、内部を真空にすることができ
る。
The apparatus shown in FIG. 1 mainly includes a chamber 1, an electrode 2 attached to the chamber 1, a raw material oxide 3, and a heater 4. The chamber 1 is connected to a vacuum pump (not shown) through an exhaust hole 7, so that the inside can be evacuated.

さらにチャンバ1には、雲囲気ガスの導入孔6が取りつ
けられている。
Further, the chamber 1 is provided with an inlet 6 for introducing cloud gas.

本装置を用い、本発明の方法を実現する手順を以下に説
明する。葦ず、原料酸化物3を取りつけたチャンバ1を
排気し、真空にする。次いで、チャンバ1内に02ガス
を導入し、電極2に直流電圧をかけ、オゾンを発生させ
る。それから、ヒータ4に通電し、熱処理を行う。
The procedure for implementing the method of the present invention using this apparatus will be described below. The chamber 1 in which the reeds and the raw material oxide 3 are attached is evacuated and made vacuum. Next, 02 gas is introduced into the chamber 1 and a DC voltage is applied to the electrode 2 to generate ozone. Then, the heater 4 is energized to perform heat treatment.

第2図に示す装置は、特に原料酸化物が薄膜である場合
に適する装置であり、チャンバ8、チャンバ8に取りつ
けられた紫外線を透過する石英ガラス等でできている入
射窓9、入射窓に対向してチャンバ8内に取りつけられ
た原料酸化物10、原料酸化物を加熱するヒータ11と
チャンバ8の入射窓9を介してチャンバ8内に紫外線を
照射する光源12から主に構成されている。チャンバ3
は、排気孔14を介して真空ポンプ(不図示)に接続さ
れ、内部を真空にすることができる。
The apparatus shown in FIG. 2 is particularly suitable when the raw material oxide is a thin film. It mainly consists of a source oxide 10 installed in the chamber 8 facing each other, a heater 11 that heats the source oxide, and a light source 12 that irradiates ultraviolet rays into the chamber 8 through the entrance window 9 of the chamber 8. . chamber 3
is connected to a vacuum pump (not shown) through an exhaust hole 14, and can evacuate the inside.

本装置を用いて、本発明の方法を実施するには以下の手
順による。原料酸化物3を取りつけたチャンバ8を真空
に排気する。02ガスをチャンバ8内に導入し、光源1
2から紫外線を照射してオゾンを発生させる。ヒータ1
1に通電し、熱処理を行う。
To carry out the method of the present invention using this apparatus, the following procedure is followed. The chamber 8 in which the raw material oxide 3 is attached is evacuated to a vacuum. 02 gas is introduced into the chamber 8, and the light source 1 is
From step 2, ultraviolet rays are irradiated to generate ozone. Heater 1
1, and heat treatment is performed.

実施例 以下に本発明を実施例により説明するが、本発明の技術
的範囲はこれらの実施例に何等制限されるものではない
ことは勿論である。
EXAMPLES The present invention will be explained below using examples, but it goes without saying that the technical scope of the present invention is not limited to these examples in any way.

第1図に示したオゾンを用いて超電導材料を作製した。A superconducting material was produced using the ozone shown in FIG.

各実施例の作製条件は第1表に示す通りである。The manufacturing conditions for each example are shown in Table 1.

実施例1 原料酸化物として、Y2O3、BaC0+をY:Baの
モル比1:2で混合し、CuOをY:Ba:Cuのモル
比が1;2:3となる量よりも10重量%過剰に混合し
、880℃で仮焼結後、940℃焼結して得たYBa2
Cu、07焼結体ブロックを用いた。ブロック大きさは
20X30X3 mmである。
Example 1 As raw material oxides, Y2O3 and BaC0+ were mixed at a Y:Ba molar ratio of 1:2, and CuO was added in excess of 10% by weight over the amount at which the Y:Ba:Cu molar ratio was 1:2:3. YBa2 obtained by mixing, pre-sintering at 880℃, and sintering at 940℃
A Cu, 07 sintered body block was used. The block size is 20x30x3 mm.

チャンバ内に、上記酸化物を装着し、次いでチャンバ内
をL XIO’Torr以下の真空に排気してから、1
気圧の02を導入した。電極に30kVの直流高電圧を
印加し、加熱速度15℃/分で常温から900℃まで加
熱、3時間その温度を保ち、8℃/分の冷却速度で冷却
した。
The above oxide is placed in the chamber, and then the chamber is evacuated to a vacuum of L XIO'Torr or less, and then 1
Atmospheric pressure of 0.02 was introduced. A DC high voltage of 30 kV was applied to the electrode, and the electrode was heated from room temperature to 900° C. at a heating rate of 15° C./min, maintained at that temperature for 3 hours, and cooled at a cooling rate of 8° C./min.

比較のため、1気圧の酸素雰囲気中で、全(同様に熱処
理を行った。
For comparison, heat treatment was performed in the same manner as above in an oxygen atmosphere of 1 atm.

次いで、得られた各々の酸化物の抵抗を測定するためサ
ンプルを作製した。抵抗測定を行うサンプルは、作製し
た酸化物の両端部分に、さらに真空蒸着で一対の層電極
を形成し、このAI主電極リード線をハンダ付けした。
Next, samples were prepared to measure the resistance of each of the obtained oxides. For the sample to be subjected to resistance measurement, a pair of layer electrodes were further formed by vacuum evaporation on both ends of the produced oxide, and the AI main electrode lead wire was soldered to the sample.

熱処理条件と得られたTc 、 Tcf (電気抵抗が
完全に0になる温度)の計測結果を併せて第1表に示す
The heat treatment conditions and the measurement results of Tc and Tcf (the temperature at which the electrical resistance becomes completely zero) are shown in Table 1.

実施例2 原料酸化物として、La2O3、BaC0*をLa:f
3aのモル比l:2で混合し、CuOをしa:Ba:C
uのモル比が1:2:3となる量よりも10重量%過剰
に混合し、870℃で仮焼結し、955℃焼結して得た
LaBa2Cu、 07焼結体ブロックを用いた。熱処
理の手順は実施例1と同様である。
Example 2 As raw material oxides, La2O3 and BaC0* were used as La:f
3a were mixed at a molar ratio of 1:2, and CuO was added to form a:Ba:C.
A LaBa2Cu, 07 sintered body block obtained by mixing 10% by weight of u in excess of the molar ratio of 1:2:3, pre-sintering at 870°C, and sintering at 955°C was used. The heat treatment procedure is the same as in Example 1.

比較のため、1気圧の酸素雰囲気中で、全く同様に熱処
理を行い、それぞれのサンプルについてTc 、Tcf
の測定を行った。
For comparison, heat treatment was performed in exactly the same way in an oxygen atmosphere of 1 atm, and Tc and Tcf of each sample were
Measurements were made.

熱処理条件と得られたTc 、Tcfの計測結果を併せ
て第1表に示す。
The heat treatment conditions and the measurement results of Tc and Tcf are shown in Table 1.

実施例3 原料酸化物として、La2O3,5rCO+をしa+B
aのモル比1:2で混合し、CuOをLa:Sr:Cu
のモル比が1:2:3となる量よりも10重量%過剰に
混合し、850℃で仮焼結し、935℃焼結して得たL
a5r2Cu307焼結体ブロックを用いた。熱処理の
手順は実施例1と同様である。
Example 3 Using La2O3,5rCO+ as the raw material oxide, a+B
a at a molar ratio of 1:2, and CuO was mixed with La:Sr:Cu.
L obtained by mixing 10% by weight in excess of the amount with a molar ratio of 1:2:3, pre-sintering at 850°C, and sintering at 935°C.
An a5r2Cu307 sintered block was used. The heat treatment procedure is the same as in Example 1.

比較のため、1気圧の酸素雰囲気中で、全く同様に熱処
理を行い、それぞれのサンプルについてTc 、Tcf
の測定を行った。
For comparison, heat treatment was performed in exactly the same way in an oxygen atmosphere of 1 atm, and Tc and Tcf of each sample were
Measurements were made.

熱処理条件と得られたTc 、Tcfの計測結果を併せ
て第1表に示す。
The heat treatment conditions and the measurement results of Tc and Tcf are shown in Table 1.

実施例4 実施例1で使用した原料酸化物をターゲットとして、ス
パッタリングにより5rTi03基板上に作製した酸化
物薄膜を第2図に示す装置を用いて熱処理した。薄膜は
、5X8mmで厚さが3μmである。
Example 4 Using the raw material oxide used in Example 1 as a target, an oxide thin film produced on a 5rTi03 substrate by sputtering was heat-treated using the apparatus shown in FIG. The membrane is 5×8 mm and 3 μm thick.

光源としては、低圧水銀ランプを用い、入射窓は石英ガ
ラスを用いた。チャンバ内を真空に排気した後、1気圧
の02を導入し低圧水銀ランプを照射した。加熱速度1
0℃/分で常温から930℃まで加熱、8時間その温度
を保ち、5℃/分の冷却速度で冷却した。比較のため、
1気圧の酸素雰囲気中で、全く同様に熱処理を行い、そ
れぞれのサンプルについてTc 、Tcfの測定を行っ
た。
A low-pressure mercury lamp was used as the light source, and quartz glass was used as the entrance window. After evacuating the inside of the chamber, 1 atm of O2 was introduced and irradiated with a low-pressure mercury lamp. Heating rate 1
It was heated from room temperature to 930°C at a rate of 0°C/min, maintained at that temperature for 8 hours, and cooled at a cooling rate of 5°C/min. For comparison,
Heat treatment was performed in exactly the same manner in an oxygen atmosphere of 1 atm, and Tc and Tcf were measured for each sample.

熱処理条件と得られたTc 、Tcfの計測結果を併せ
て第1表に示す。
The heat treatment conditions and the measurement results of Tc and Tcf are shown in Table 1.

実施例5 原料酸化物として、実施例1と同様な材料を用いて、8
40℃で1回だけ焼結した酸化物超電導体の焼結体ブロ
ックを用いた。この原料酸化物は、超電導性を示さなか
ったが、第1図の装置を用いて1.5気圧の02ガスを
導入し、4QkVの直流電圧をかけて発生した02オゾ
ン中で第1表に示す熱処理を行ったところ超電導体とな
った。
Example 5 Using the same material as in Example 1 as the raw material oxide, 8
A sintered block of oxide superconductor that was sintered only once at 40°C was used. Although this raw material oxide did not exhibit superconductivity, it was shown in Table 1 in 02 ozone generated by introducing 1.5 atmospheres of 02 gas using the apparatus shown in Figure 1 and applying a DC voltage of 4 QkV. After the heat treatment shown, it became a superconductor.

熱処理条件と得られたTc 、Tcfの計測結果を併せ
て第1表に示す。
The heat treatment conditions and the measurement results of Tc and Tcf are shown in Table 1.

この結果、本発明の方法により酸化物の結晶構造、酸素
濃度を適正に制御し、優れた特性を持つ超電導酸化物が
作製できることがわかった。また、焼結条件が不適当な
ために結晶中に酸素が不足し、超電導性を示さなかった
酸化物を超電導体に変態させ得ることも立証された。
As a result, it was found that the method of the present invention can appropriately control the crystal structure and oxygen concentration of the oxide and produce a superconducting oxide with excellent properties. It has also been demonstrated that inappropriate sintering conditions can result in a lack of oxygen in the crystal, causing an oxide that does not exhibit superconductivity to be transformed into a superconductor.

第1表 発明の効果 以上詳述のように、本発明の方法によって得ちれた超電
導材料は、従来の方法で作製されたものに較べ、高いT
C並びにTcfを示すと共に、安定な超電導特性を持っ
ている。
Table 1 Effects of the Invention As detailed above, the superconducting material obtained by the method of the present invention has a higher T than that produced by the conventional method.
C and Tcf, and has stable superconducting properties.

これは、本発明の特徴的な作製方法に従って、超電導を
担っていると考えられる、ペロブスカイト型または擬似
ペロブスカイト型の結晶構造を持つ酸化物が生成する条
件を構成することによって、得られたものである。
This was obtained by configuring conditions that produce an oxide with a perovskite or pseudo-perovskite crystal structure, which is thought to be responsible for superconductivity, according to the characteristic manufacturing method of the present invention. be.

また、焼結条件等が不適当なために酸素が不足し、超電
導性を示さない材料も本発明の方法による熱処理により
、超電導性を持つようになる。このため、従来よりも焼
結、物理蒸着時の条件が緩和され、酸化物超電導材料の
量産性が向上する。
Further, even materials that do not exhibit superconductivity due to insufficient oxygen due to inappropriate sintering conditions, etc., become superconducting by heat treatment according to the method of the present invention. Therefore, the conditions for sintering and physical vapor deposition are more relaxed than in the past, and the mass productivity of oxide superconducting materials is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の方法を実施するのに用いるオゾン炉の
一例の概略図であり、 第2図は別な例の概略図である。 (主な参照番号)
FIG. 1 is a schematic diagram of one example of an ozone furnace used to carry out the method of the present invention, and FIG. 2 is a schematic diagram of another example. (main reference number)

Claims (27)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)周期律表IIa、IIIa族元素から選択された1種
の元素α、周期律表IIa、IIIa族元素でαと同じもの
を含む元素から選択された1種の元素βおよび周期律表
I b、IIb、IIIb、IVa、VIIIa族元素から選択され
た少なくとも1種の元素γを含有する原料酸化物をオゾ
ンを含む雰囲気中で熱処理して酸化物超電導体を生成す
ることを特徴とする超電導材料の作製方法。
(1) One element α selected from the elements of groups IIa and IIIa of the periodic table, one element β selected from the elements of groups IIa and IIIa of the periodic table that include the same elements as α, and the periodic table
An oxide superconductor is produced by heat-treating a raw material oxide containing at least one element γ selected from group Ib, IIb, IIIb, IVa, and VIIIa elements in an ozone-containing atmosphere. A method for producing superconducting materials.
(2)上記酸化物超電導体または/および原料酸化物が
、 一般式:(α_1_−_xβ_x)γ_yO_z(但し
、α、β、γは、上記定義の元素であり、xはα+βに
対するβの原子比で、0.1≦x≦0.9であり、yお
よびzは(α_1_−_xβ_x)を1とした場合に0
.4≦y≦3.0、1≦z≦5となる原子比である) で表される組成の酸化物であることを特徴とする特許請
求の範囲第1項に記載の超電導材料の作製方法。
(2) The oxide superconductor or/and the raw material oxide have the general formula: (α_1_−_xβ_x)γ_yO_z (where α, β, and γ are the elements defined above, and x is the atomic ratio of β to α+β. and 0.1≦x≦0.9, and y and z are 0 when (α_1_−_xβ_x) is 1.
.. 4≦y≦3.0, 1≦z≦5 atomic ratio) The method for producing a superconducting material according to claim 1, wherein the oxide is an oxide having a composition represented by the following: .
(3)上記酸化物超電導体または/および原料酸化物が
、ペロブスカイト型または擬似ペロブスカイト型酸化物
であることを特徴とする特許請求の範囲第1項または第
2項に記載の超電導材料の作製方法。
(3) The method for producing a superconducting material according to claim 1 or 2, wherein the oxide superconductor and/or the raw material oxide is a perovskite or pseudo-perovskite oxide. .
(4)上記原料酸化物が、BaおよびYの酸化物、炭酸
塩、硝酸塩または硫酸塩の粉末と、Al、Fe、Co、
Ni、Zn、Cu、Ag、Tiによって構成される群か
ら選択される少なくとも1種の元素の酸化物、炭酸塩、
硝酸塩または硫酸塩の粉末とを混合して250乃至12
00℃の温度で仮焼結したものであることを特徴とする
特許請求の範囲第1項乃至第3項のいずれか1項に記載
の超電導材料の作製方法。
(4) The raw material oxide is Ba and Y oxide, carbonate, nitrate or sulfate powder, Al, Fe, Co,
an oxide or carbonate of at least one element selected from the group consisting of Ni, Zn, Cu, Ag, and Ti;
250 to 12 by mixing with nitrate or sulfate powder
The method for producing a superconducting material according to any one of claims 1 to 3, wherein the superconducting material is pre-sintered at a temperature of 00°C.
(5)上記原料酸化物が、BaおよびLaの酸化物、炭
酸塩、硝酸塩または硫酸塩の粉末と、Al、Fe、Co
、Ni、Zn、Cu、Ag、Tiによって構成される群
から選択される少なくとも1種の元素の酸化物、炭酸塩
、硝酸塩または硫酸塩の粉末とを混合して220乃至1
230℃の温度で仮焼結したものであることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項乃至第3項のいずれか1項に記
載の超電導材料の作製方法。
(5) The raw material oxide is a powder of Ba and La oxides, carbonates, nitrates, or sulfates, and Al, Fe, Co
, mixed with powder of oxide, carbonate, nitrate, or sulfate of at least one element selected from the group consisting of Ni, Zn, Cu, Ag, and Ti.
The method for producing a superconducting material according to any one of claims 1 to 3, wherein the superconducting material is temporarily sintered at a temperature of 230°C.
(6)上記原料酸化物が、SrおよびLaの酸化物、炭
酸塩、硝酸塩または硫酸塩の粉末と、Al、Fe、Co
、Ni、Zn、Cu、Ag、Tiによって構成される群
から選択される少なくとも1種の元素の酸化物、炭酸塩
、硝酸塩または硫酸塩の粉末とを混合して234乃至1
260℃の温度で仮焼結したものであることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項乃至第3項のいずれか1項に記
載の超電導材料の作製方法。
(6) The raw material oxide is a powder of Sr and La oxides, carbonates, nitrates, or sulfates, and Al, Fe, Co
, mixed with powder of oxide, carbonate, nitrate, or sulfate of at least one element selected from the group consisting of Ni, Zn, Cu, Ag, and Ti.
The method for producing a superconducting material according to any one of claims 1 to 3, wherein the superconducting material is temporarily sintered at a temperature of 260°C.
(7)上記原料酸化物が、BaおよびYの酸化物、炭酸
塩、硝酸塩または硫酸塩の粉末と、Al、Fe、Co、
Ni、Zn、Cu、Ag、Tiによって構成される群か
ら選択される少なくとも1種の元素の酸化物、炭酸塩、
硝酸塩または硫酸塩の粉末とを混合して仮焼結後、70
0乃至1500℃の範囲の温度で本焼結したものである
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第4項のい
ずれか1項に記載の超電導材料の作製方法。
(7) The raw material oxide is Ba and Y oxide, carbonate, nitrate or sulfate powder, Al, Fe, Co,
an oxide or carbonate of at least one element selected from the group consisting of Ni, Zn, Cu, Ag, and Ti;
After mixing with nitrate or sulfate powder and pre-sintering, 70
5. The method for producing a superconducting material according to any one of claims 1 to 4, wherein the superconducting material is main-sintered at a temperature in the range of 0 to 1500°C.
(8)上記原料酸化物が、BaおよびLaの酸化物、炭
酸塩、硝酸塩または硫酸塩の粉末と、Al、Fe、Co
、Ni、Zn、Cu、Ag、Tiによって構成される群
から選択される少なくとも1種の元素の酸化物、炭酸塩
、硝酸塩または硫酸塩の粉末とを混合して仮焼結後、6
50乃至1580℃の範囲の温度で本焼結したものであ
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第5項の
いずれか1項に記載の超電導材料の作製方法。
(8) The raw material oxide is powder of Ba and La oxides, carbonates, nitrates, or sulfates, and Al, Fe, Co
, mixed with powder of oxide, carbonate, nitrate, or sulfate of at least one element selected from the group consisting of Ni, Zn, Cu, Ag, and Ti, and pre-sintered.
A method for producing a superconducting material according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the superconducting material is main-sintered at a temperature in the range of 50 to 1580°C.
(9)上記原料酸化物が、SrおよびLaの酸化物、炭
酸塩、硝酸塩または硫酸塩の粉末と、Al、Fe、Co
、Ni、Zn、Cu、Ag、Tiによって構成される群
から選択される少なくとも1種の元素の酸化物、炭酸塩
、硝酸塩または硫酸塩の粉末とを混合して仮焼結後、6
80乃至1530℃の範囲の温度で本焼結したものであ
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第6項の
いずれか1項に記載の超電導材料の作製方法。
(9) The raw material oxide is a powder of oxides, carbonates, nitrates or sulfates of Sr and La, and Al, Fe, Co
, mixed with powder of oxide, carbonate, nitrate, or sulfate of at least one element selected from the group consisting of Ni, Zn, Cu, Ag, and Ti, and pre-sintered.
7. The method for producing a superconducting material according to any one of claims 1 to 6, wherein the superconducting material is main-sintered at a temperature in the range of 80 to 1530°C.
(10)上記原料酸化物が、BaおよびYの酸化物、炭
酸塩、硝酸塩または硫酸塩の粉末と、Al、Fe、Co
、Ni、Zn、Cu、Ag、Tiによって構成される群
から選択される少なくとも1種の元素の酸化物、炭酸塩
、硝酸塩または硫酸塩の粉末とを混合して250乃至1
200℃の温度で仮焼結したものを蒸着源として物理蒸
着したものであることを特徴とする特許請求の範囲第1
項乃至第4項のいずれか1項に記載の超電導材料の作製
方法。
(10) The raw material oxide is a powder of Ba and Y oxides, carbonates, nitrates, or sulfates, and Al, Fe, Co
, mixed with a powder of an oxide, carbonate, nitrate or sulfate of at least one element selected from the group consisting of Ni, Zn, Cu, Ag, and Ti.
Claim 1, characterized in that the material is physically vapor deposited using a material pre-sintered at a temperature of 200° C. as a vapor deposition source.
4. A method for producing a superconducting material according to any one of Items 4 to 4.
(11)上記原料酸化物が、BaおよびLaの酸化物、
炭酸塩、硝酸塩または硫酸塩の粉末と、Al、Fe、C
o、Ni、Zn、Cu、Ag、Tiによって構成される
群から選択される少なくとも1種の元素の酸化物、炭酸
塩、硝酸塩または硫酸塩の粉末とを混合して220乃至
1230℃の温度で仮焼結したものを蒸着源として物理
蒸着したものであることを特徴とする特許請求の範囲第
1項乃至第5項のいずれか1項に記載の超電導材料の作
製方法。
(11) The raw material oxide is an oxide of Ba and La,
Carbonate, nitrate or sulfate powder and Al, Fe, C
mixed with powder of oxide, carbonate, nitrate or sulfate of at least one element selected from the group consisting of O, Ni, Zn, Cu, Ag, and Ti at a temperature of 220 to 1230°C. A method for producing a superconducting material according to any one of claims 1 to 5, characterized in that physical vapor deposition is performed using a temporarily sintered material as a vapor deposition source.
(12)上記原料酸化物が、SrおよびLaの酸化物、
炭酸塩、硝酸塩または硫酸塩の粉末と、Al、Fe、C
o、Ni、Zn、Cu、Ag、Tiによって構成される
群から選択される少なくとも1種の元素の酸化物、炭酸
塩、硝酸塩または硫酸塩の粉末とを混合して234乃至
1260℃の温度で仮焼結したものを蒸着源として物理
蒸着したものであることを特徴とする特許請求の範囲第
1項乃至第6項のいずれか1項に記載の超電導材料の作
製方法。
(12) The raw material oxide is an oxide of Sr and La,
Carbonate, nitrate or sulfate powder and Al, Fe, C
mixed with powder of oxide, carbonate, nitrate or sulfate of at least one element selected from the group consisting of O, Ni, Zn, Cu, Ag, and Ti at a temperature of 234 to 1260°C. 7. A method for producing a superconducting material according to any one of claims 1 to 6, characterized in that physical vapor deposition is performed using a temporarily sintered material as a vapor deposition source.
(13)上記原料酸化物が、BaおよびYの酸化物、炭
酸塩、硝酸塩または硫酸塩の粉末と、Al、Fe、Co
、Ni、Zn、Cu、Ag、Tiによって構成される群
から選択される少なくとも1種の元素の酸化物、炭酸塩
、硝酸塩または硫酸塩の粉末とを混合して仮焼結後、7
00乃至1500℃の範囲の温度で本焼結したものを蒸
着源として物理蒸着したものであることを特徴とする特
許請求の範囲第1項乃至第4項のいずれか1項に記載の
超電導材料の作製方法。
(13) The raw material oxide is a powder of Ba and Y oxides, carbonates, nitrates, or sulfates, and Al, Fe, Co
, mixed with powder of oxide, carbonate, nitrate, or sulfate of at least one element selected from the group consisting of Ni, Zn, Cu, Ag, and Ti, and pre-sintered.
The superconducting material according to any one of claims 1 to 4, wherein the superconducting material is physically vapor-deposited using a material sintered at a temperature in the range of 00 to 1500°C as a vapor deposition source. How to make
(14)上記原料酸化物が、BaおよびLaの酸化物、
炭酸塩、硝酸塩または硫酸塩の粉末と、Al、Fe、C
o、Ni、Zn、Cu、Ag、Tiによって構成される
群から選択される少なくとも1種の元素の酸化物、炭酸
塩、硝酸塩または硫酸塩の粉末とを混合して仮焼結後、
650乃至1580℃の範囲の温度で本焼結したものを
蒸着源として物理蒸着したものであることを特徴とする
特許請求の範囲第1項乃至第5項のいずれか1項に記載
の超電導材料の作製方法。
(14) The raw material oxide is an oxide of Ba and La,
Carbonate, nitrate or sulfate powder and Al, Fe, C
After pre-sintering with a powder of an oxide, carbonate, nitrate or sulfate of at least one element selected from the group consisting of o, Ni, Zn, Cu, Ag, and Ti,
The superconducting material according to any one of claims 1 to 5, wherein the superconducting material is physically vapor-deposited using a material sintered at a temperature in the range of 650 to 1580° C. as a vapor deposition source. How to make
(15)上記原料酸化物が、SrおよびLaの酸化物、
炭酸塩、硝酸塩または硫酸塩の粉末と、Al、Fe、C
o、Ni、Zn、Cu、Ag、Tiによって構成される
群から選択される少なくとも1種の元素の酸化物、炭酸
塩、硝酸塩または硫酸塩の粉末とを混合して仮焼結後、
680乃至1530℃の範囲の温度で本焼結したものを
蒸着源として物理蒸着したものであることを特徴とする
特許請求の範囲第1項乃至第6項のいずれか1項に記載
の超電導材料の作製方法。
(15) The raw material oxide is an oxide of Sr and La,
Carbonate, nitrate or sulfate powder and Al, Fe, C
After pre-sintering with a powder of an oxide, carbonate, nitrate or sulfate of at least one element selected from the group consisting of o, Ni, Zn, Cu, Ag, and Ti,
The superconducting material according to any one of claims 1 to 6, wherein the superconducting material is physically vapor-deposited using a material sintered at a temperature in the range of 680 to 1530°C as a vapor deposition source. How to make
(16)上記酸化物超電導体または/および原料酸化物
の原子比Y/(Y+Ba)が0.06乃至0.94の範
囲であることを特徴とする特許請求の範囲第1項から第
13項のいずれか1項に記載の超電導材料の作製方法。
(16) Claims 1 to 13, characterized in that the atomic ratio Y/(Y+Ba) of the oxide superconductor and/or raw material oxide is in the range of 0.06 to 0.94. A method for producing a superconducting material according to any one of the above.
(17)上記酸化物超電導体または/および原料酸化物
の原子比Y/(Y+Ba)が0.1乃至0.4であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第16項に記載の超電導
材料の作製方法。
(17) The superconducting material according to claim 16, wherein the atomic ratio Y/(Y+Ba) of the oxide superconductor or/and the raw material oxide is 0.1 to 0.4. Fabrication method.
(18)上記酸化物超電導体または/および原料酸化物
の原子比Ba/(La+Ba)が0.04乃至0.96
の範囲であることを特徴とする特許請求の範囲第1項か
ら第14項のいずれか1項に記載の超電導材料の作製方
法。
(18) The atomic ratio Ba/(La+Ba) of the oxide superconductor or/and raw material oxide is 0.04 to 0.96
15. The method for producing a superconducting material according to any one of claims 1 to 14, wherein the superconducting material is within the range of .
(19)上記酸化物超電導体または/および原料酸化物
の原子比Ba/(La+Ba)が0.08乃至0.45
であることを特徴とする特許請求の範囲第18項に記載
の超電導材料の作製方法。
(19) The atomic ratio Ba/(La+Ba) of the oxide superconductor or/and raw material oxide is 0.08 to 0.45
A method for producing a superconducting material according to claim 18, characterized in that:
(20)上記酸化物超電導体または/および原料酸化物
の原子比Sr/(La+Sr)が0.03乃至0.95
の範囲であることを特徴とする特許請求の範囲第1項か
ら第15項のいずれか1項に記載の超電導材料の作製方
法。
(20) The atomic ratio Sr/(La+Sr) of the oxide superconductor or/and raw material oxide is 0.03 to 0.95
16. The method for producing a superconducting material according to any one of claims 1 to 15, wherein the superconducting material is within the range of .
(21)上記酸化物超電導体または/および原料酸化物
の原子比Sr/(La+Sr)が0.05乃至0.1で
あることを特徴とする特許請求の範囲第20項に記載の
超電導材料の作製方法。
(21) The superconducting material according to claim 20, wherein the oxide superconductor or/and the raw material oxide have an atomic ratio Sr/(La+Sr) of 0.05 to 0.1. Fabrication method.
(22)オゾンを含む酸素雰囲気中で熱処理することを
特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第21項のいずれ
か1項に記載の超電導材料の作製方法。
(22) A method for producing a superconducting material according to any one of claims 1 to 21, characterized in that heat treatment is performed in an oxygen atmosphere containing ozone.
(23)上記オゾン分圧が、10Torr以上であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第22項のい
ずれか1項に記載の超電導材料の作製方法。
(23) The method for producing a superconducting material according to any one of claims 1 to 22, wherein the ozone partial pressure is 10 Torr or more.
(24)上記熱処理が、500℃乃至1500℃の範囲
における加熱処理を含むことを特徴とする特許請求の範
囲第1項乃至第23項のいずれか1項に記載の超電導材
料の作製方法。
(24) The method for producing a superconducting material according to any one of claims 1 to 23, wherein the heat treatment includes heat treatment in a range of 500°C to 1500°C.
(25)上記熱処理が、オゾンを含む雰囲気中で冷却す
る過程を含むことを特徴とする特許請求の範囲第1項乃
至第24項のいずれか1項に記載の超電導材料の作製方
法。
(25) The method for producing a superconducting material according to any one of claims 1 to 24, wherein the heat treatment includes a step of cooling in an atmosphere containing ozone.
(26)上記熱処理が、10℃/分以下の冷却速度で徐
冷する過程を含むことを特徴とする特許請求の範囲第1
項乃至第25項のいずれか1項に記載の超電導材料の作
製方法。
(26) Claim 1, wherein the heat treatment includes a step of slow cooling at a cooling rate of 10° C./min or less.
26. A method for producing a superconducting material according to any one of Items 25 to 25.
(27)上記熱処理が、100℃/分以上の冷却速度で
急冷する過程を含むことを特徴とする特許請求の範囲第
1項乃至第26項のいずれか1項に記載の超電導材料の
作製方法。
(27) The method for producing a superconducting material according to any one of claims 1 to 26, wherein the heat treatment includes a step of rapidly cooling at a cooling rate of 100° C./min or more. .
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