JPS63294254A - 定電荷発生装置 - Google Patents

定電荷発生装置

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JPS63294254A
JPS63294254A JP13032687A JP13032687A JPS63294254A JP S63294254 A JPS63294254 A JP S63294254A JP 13032687 A JP13032687 A JP 13032687A JP 13032687 A JP13032687 A JP 13032687A JP S63294254 A JPS63294254 A JP S63294254A
Authority
JP
Japan
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charge
switch
capacitor
constant
voltage
Prior art date
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Pending
Application number
JP13032687A
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English (en)
Inventor
Masahiko Shida
志田 雅彦
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Fuji Facom Corp
Original Assignee
Fuji Facom Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 コンデンサ群に所定間隔で充電し、充放電に寄与するコ
ンデンサの数を制御してコンデンサの放電電荷を−・定
に保つ様に制御することにより定電筒を簡単に発生でき
る装置。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、圧電トランスジユーザ等の様に出力容量が小
さい素子の出力増幅器の校正用の電荷発生器に関し、一
定の電荷を供給する定電前発生装置に関するものである
〔従来技術〕
加速度センサ等に使用される圧電トランスジユーザは、
その出力容量が数百PFから1万PF程度の非常に小さ
い容量を持っており、ごうしたセンサを使用する際には
、通常電荷増幅器を用い、センサに接続されるケーブル
他の浮遊容量により出力が分割されても、影響の無い様
に構成されている。
またその、電荷増幅器としては、米国ENDEVCo社
製電荷増幅器が従来知られているが、これらの利得精度
は±1%程度であり、より精度の高い測定をする場合に
は、その利得を常時校正する必要がある。
通常、電圧、電流増幅器における校正方法としては、定
電圧源、定電流源等を用意し、その定電圧源、又は定電
流源を使用して電圧増幅器または電流増幅器で規定の入
力信号に対して増幅さセ、その出力値か、理論出力値と
どの程度相違するかを測定し、その差によって、電圧増
幅器或いは電流増幅器の半固定抵抗等の可変素子の値を
変化させ校正している。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、従来、電荷増幅器に対しては定電荷発生
源が無く、電荷増幅器に対する校正として、定電荷発生
源による校正は校正が用意であるにも係わらず採用する
ことができなかった。
本発明の目的は、こうした従来の要望に泥め、安価で、
コンパクトな定電流発生源置を提供するにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明においては、一定の電流を一定の時間コンデンサ
に充電後、充電した電荷を全て放電すれば、放電される
電荷量は予め定めた量だけ発生できる点に着目したもの
である。
第1図は、本発明の原理図である。
図中1は定電流発生源、2はこの定電流発生源1の発生
ずる電流を充電し、充電した電荷を放電することで電荷
供給を行う?!数のコンデンサ20〜2nにより構成さ
れたコンデン勺群、3は定電流発生源1に対して複数の
一1ンデンザ20〜2nの各々を並列接続する複数のス
イッチ手段、4は複数のコンデンサ20〜2nに対して
定電流源1が発生ずる電流を所定の時間間隔で供給する
第2のスイッチ手段、5はコンデンサ群2の充電電荷量
をスイッチの断接を制御して定量以下に保持する制御手
段である。
〔作用〕
スイッチ3の各々30〜3nば充電時には、開−J ″
′ いた状態にある。
定電流源1は、一定の電流Iを供給している。
第2スイツチ4はその電流Iを時間Tの間出力する。
即ち、第2スイツチ4から発生される電荷IQはQ= 
I XTにて決まり、この電荷か最初コンデンサ20に
充電される。
コンデンサ20に充電が進むと、その出力電圧■○UT
は所定の電圧を越える様になる。制御手段Sは、この時
点で、スイッチ30を接続してコンデンサ21をコンデ
ンサ20に並列接続する。
これにより、出力電圧v o u ’rは一旦VOUT
=Q/CO+CIの式で定まる値に低下する。以下これ
を繰返し順次スイッチ31〜3n−1が作動し、コンデ
ンサ20〜2nに充電が完了する。
第2スイツチ4が電流の供給を止めた後、被試験体であ
る、電荷増幅器の電荷入力端子に、出力端OU Tを接
続する。これにより次にコンデンサ群2から出力端OU
Tに電荷が供給される。
各コンデンサから放電が開始されると、その出力端OU
Tには、コンデン・す20〜2nの合成容量×総電荷量
Qの電圧がイバ給される。
即ち各コンデンサ20〜2nの容量を各々CO〜Cnと
すると、合成容量CGばCG = CO+C1→−C2
→−・・・十Cnであり。出力端OUTの電圧VOUT
は■○UT=Q/CGである。
このコンデンサ20〜2nの充電電荷が全て放電された
時点で、予め定めた定電前を発生できる。
又再度第2スイツチ4を作動すると」二記と同様に動作
を繰り返すことにより、常時一定の電荷が供給できるこ
ととなる。
〔実施例〕
第2図は本発明の第1実施例の回路図である。
図中、第1図と同じ番号または記号は同一物を示す。
また、41はプログラマプルワンショノトパルス発生器
であり、外部から設定された時間だけオン状態となる信
号を発生ずる。
42はスイッチであり、プログラマブルワンショソ1−
パルス発生器41の出力信号がオン状態の期間定電流源
の出力をコンデンサ群2に供給するもの。
50は基準電圧VMAXを発生ずる発生回路、51は出
力電圧VOUTと基準電圧VMAXとを比較する電圧コ
ンパレータ、52ばスイッチドライブ/デコーダであり
、電圧コンパレータ51の出力信号の状態に応じてスイ
ッチ30〜3n−1を選択的にオンオフするものである
以下、動作を説明する。
校正を行う操作者は、本定電荷発生装置に設けられた図
示されない設定スイッチ、ダイヤル或いはボリューム等
の入力機械を使用して、木定電荷発生装置で発生ずべき
電荷量を設定する。
その設定値は、図示されないマイクロコンピュータ等の
制御卸回路によって、プログラマブルワンショソトパル
ス発生器41に、スイッチ42をオン状態とする期間と
して設定される。
即ち、マイクロコンピュータは、定電流源1の発生する
電流値■が、装置設計時点で判明しているので、設定さ
れた総電荷量をその電流値■にて割り算することにより
設定すべき時間データを算出する。
或いはプログラマブルワンショソl−パルス発生器41
に設定すべき値が発生ずべき総電荷量に対応して複数種
類格納されたテーブルメモリを使用し、設定された総電
荷量の値をアドレスとしてテーブルメモリを索引するこ
とにより設定すべき時間データを算出する。
こうして得られた設定値がプログラマブルワンショノト
パルス発生器41に設定される。
しかる後、操作者は図示されない起動スイッチを操作す
る。これにより、プログラマブルワンショソトパルス発
生器41が起動される。
プログラマブルワンショソトパルス発生器(以下パルス
発生器と称する)41は、スイッチ42を設定された期
間1゛だ&Jオン状態とする。
一方、上記した起動信号は、スイッチトライブ/デコー
ド52にも供給される。
スイッチドライブ/デコード(以下デコーダと称する)
52は、例えば、電圧コンパレータ(以下比較器と称す
る)51の立ち」−かり回数を計数するカウンタと、カ
ウンタの計数値を示す計数出力をデコードする論理回路
群と、論理回路群の複数の出力信号線に各々設けられた
スイッチ30〜3nのドライブ回路とより成る。
上記起動信号はデコーダ52の」二記カウンタをリセッ
トし、その計数値を起算値、例えば値「0」にする。
上記デコーダの論理回路群はその値に対応するスイッチ
のドライブ回路に対する信号を論理「1」とするが、こ
の場合、ドライブ回路に対する全ての信号論理を「0」
とする。
これにより、定電流源1に対してコンデンサ20だけが
接続された状態となる。
スイッチ42の動作により、定電流源1から供給される
一定電流(電流値■)がスイッチ42を介してコンデン
サ20に供給される。
コンデンサ20に電荷が供給されると、その出力電圧V
OUTが次第に上昇する。
出力電圧VOUTは比較器51に供給されており、また
電圧発生回路50からはコンデンサ群2の各コンデンサ
の許容耐圧以下の所定の電圧VMAXが比較器51の仕
較電圧として供給されている。
コンデンサ20の充電が進め、出力電圧VOUTが電圧
VMAXに達すると、比較器51は出力信号を立ち」二
げる。
この立ち上がりは図示されない信号成形回路で微分され
、一定電圧でスライスされてパルス信号となり、上記し
たデコーダ52のカウンタに供給される。
これにより、カウンタは値を「1」とする。
カウンタの値が「1」となると、論理回路群がスイッチ
30を作動ずべく特定の信号線を論理「1」とする。こ
れにより、ドライブ回路が作動しスイッチ30を作動さ
せる。
スイッチ30がオン状態となると、コンデンサ20とコ
ンデンサ21とが定電流rj、1に対して並列接続され
ることとなる。
これにより、出力電圧v o u ”Fは、それまでに
供給されている全電荷をQとし、各コンデンサ20〜2
nの容量をCO〜Cnすると、VOUT=Q÷(CO十
C1)となり、低下する。
これにより、比較器51は信号を立ち下げる。
電流Iが引き続き定電流源1から供給されると低下した
出力電圧はまた徐々に上胃し、以下スイッチ31〜3n
−1が順番に動作して、コンデンサ群2に、スイッチ4
2の作動時間Tと定電流源1からの電流Iとにより定ま
る量の電荷が蓄積される。
一旦、蓄積が終了すると、即ち、時間T後、この装置の
出力OUTは校正対象の装置、例えは、電荷増幅器の入
力端に接続される。
これにより、電荷増幅器に対してコンデンサ群2は放電
を開始し、その入力端に対して電荷を供給する。
コンデンサ群2に充電された、はぼ全ての電荷が被校正
対象の電荷増幅器の入力端に供給されると本定電荷発生
装置に最初の段階で前記した様に設定された電荷量が供
給されることとなる。
尚、出力電圧v o u ”「のほぼ0ポル1−の位置
にスライス電圧を持つ電圧比較器を別途用意し、全電荷
が供給完了した段階でその電圧比較器の出力信号、即し
、出力電圧がiJぼ0ボルトになり、はぼ全ての電荷が
被校正対象に供給されたことを示す信号を用いて、設定
された電荷が出力完了したことを表示する様にしても良
い。
また、上記したコンデンサ群の代わりに、耐圧の大きい
大容量のコンデンサを用いることも考えられるが、大容
量でコンパクトなコンデンサは、通常理想的な容量特性
を持つものが無く、精度の良い電荷発生は難しい。
〔発明の効果〕
以上説明した様に本発明によれば、個々のコンデンサは
容量の小さいものが使用できるので、精度が高い定電圧
発生装置が実現でき、且つ容量の小さいコンデンサは小
型であるので、コンパクトで安価な定電圧発生装置が実
現できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の原理図、第2図は本発明の実施例回路
図である。 図中、1は定電流源、2はコンデンサ群、3はスイッチ
群、20〜2nはコンデンサ、30〜3n−1はスイッ
チ、4は第2スイツチ、5は制御手段である。 ン

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)定電流発生源(1)と、 該定電流発生源の発生する電流を充電し、充電した電荷
    を放電することで電荷供給を行う複数のコンデンサによ
    り構成されたコンデンサ群(2)と、該定電流発生源に
    対して該複数のコンデンサの各々を並列接続する複数の
    スイッチ手段(3)と、該複数のコンデンサに対して該
    定電流源が発生する電流を所定の時間間隔で供給する第
    2のスイッチ手段(4)と、 該各コンデンサの充電電荷量を該スイッチの断接を制御
    して一定量以下に保持する制御手段(5)とを備えるこ
    とを特徴とする定電荷発生装置。
JP13032687A 1987-05-27 1987-05-27 定電荷発生装置 Pending JPS63294254A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0838051A1 (en) * 1995-06-30 1998-04-29 Mts Systems Corporation Pulse generator
US8754382B2 (en) 2011-09-21 2014-06-17 Canon Kabushiki Kaisha Charged particle beam drawing apparatus and method of manufacturing article

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