JPS63292040A - 原子吸光分光光度計 - Google Patents

原子吸光分光光度計

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JPS63292040A
JPS63292040A JP62127793A JP12779387A JPS63292040A JP S63292040 A JPS63292040 A JP S63292040A JP 62127793 A JP62127793 A JP 62127793A JP 12779387 A JP12779387 A JP 12779387A JP S63292040 A JPS63292040 A JP S63292040A
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cathode discharge
atomic absorption
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塚田 正道
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北川 正敏
Toyoji Okumoto
奥本 豊治
Hayato Tobe
早人 戸辺
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、原子吸光分光光度計に係り、特に、複数の元
素を同時に測定分析するために、複数の光源からの光線
を一つの試料原子化部に効率的に導入する方式に関する
ものである。
〔従来の技術〕 原子吸光分光光度計においては、第5図に示すように、
2個の光源から放射される2本の光線を半透過鏡により
1本の光線にして試料の原子化部に導く方式が知られて
いる(Elik Lundberg。
G11ls Johansson、 Anal、 Ch
em、、 48 、1922−1925 (1976)
)  。
また、第7図に示すように、連続スペクトルを放射する
1個の光源を用いて、多元素同時測定を行う原子吸光分
光光度計がある( J 、M、Harnly。
T、C,O’ Haver、 B 、 Golden、
 W、R,Wolf、Anal。
Chem、、51.2007−2014 (1979)
)。
一方、化学燃焼炎を試料の原子化方法として。
これに3個の中空陰極ランプの3本の光線を導く方式の
マルチチャンネル原子吸光分光光度計が知られている。
第3図はその原理的構成を示すブロック図である(保田
和雄、長谷用敬彦、Ii’原子吸光分析J講談社サイエ
ンティフィック、頁121−122 (1972))。
原子吸取線の波長と他の元素の近接線の波長は、例えば
、R,J、Lovett、 D、L、Velch、 M
、L。
Parson、 Applied 5peetrosc
opy、 29 、470−477 (1975))に
記載されている。その主な波長を第9図に示す。
〔発明が解決しようとする問題点〕
多元素同時分析原子吸光分光光度計の従来の一例を示す
第5図において、1は電源、2,3,4゜5は電源1か
らの電力により点灯する空洞陰極放電管(光源)である
。光源2の空洞陰極は元素亜鉛(Zn)を含み、放電動
作時には、亜鉛の共鳴吸収線すなわち波長213.85
6 n mの輝線を放射する。同様に5光源3の空洞陰
極はカドミウム(Cd )を含み、波長228.802
 n mの輝線を、光源4は鉛(pb)の波長283.
3nm の輝線を、光源5はひ素(As)の波長193
.7nmの輝線を放射する。6は反射鏡、7,8.9は
半透過反射鏡である。4本の光線はこれらの反射鏡によ
り1本の光線10に合成され、円筒形加熱炉11に入射
し透過して、多波長分光器13の入射スリット14に入
る。
加熱炉11には、分析試料液滴12が導入される。この
試料12は、温度制御装置15の昇温プログラムに従い
制御される電源16からの電力により、乾燥され、灰化
され、最後に最高温度に昇温される。こうして、分析試
料液滴12に熔解していた溶質を加熱分解し、原子蒸気
を得る。
入射スリット14から入った光線は、回折格子17によ
り波長の順に分散され、亜鉛の共鳴吸収線は、光電変換
器18に入射し、増幅器19で信号増幅され、信号処理
装置23に入る。同様に、カドミウム、鉛、ひ素の共鳴
吸収線も、それぞれの光電変換器に入射し、増幅器20
,21.22により増幅され、信号処理装置23に入る
。信号処理装置23は、加熱炉11内で分析試料12の
溶質元素を加熱原子化したときに、光線10に含まれる
4つの波長の輝線の電気信号を読み取り、4種の元素の
量を計算し求め、表示装置24にその結果を表示する。
すなわち、原子蒸気の中に、亜鉛、カドミウム。
鉛、ひ素が含まれていると、光線10の中でその元素の
共鳴吸収線9例えば亜鉛の場合は波長213.856 
n mのMllflAが吸収される。したがって、4つ
の光電変換器でそれらの波長におけるスペクトルの強度
を測定すれば1分析試料12に含まれる微量の4種類の
元素を同時に測定できることになる。空洞陰極放電管2
,3,4.5を他の元素のものと交換し、多波長分光器
13をそれら原子の共鳴吸収線の波長に設定し直すと、
他の4種類の元素も同時測定可能である。
本従来例の装置には、次のような2つの重大な欠点があ
る。
第1の欠点は、2つの共鳴吸収線が接近している場合、
出射スリットの後に、光電変換器を直接設置するのが困
難なことである。
通常のエシエレット回折格子を用いる分光光度計の分解
能は、分解能の高いもので、約0.5nmZmであるか
ら、第9図において、例えばAQ308.215 n 
mとV2O3,211n mの波長差0.004nmは
、分光器の出射スリット位置において、距離0.008
 mである。一方、光電変換素子として、第9図の波長
領域すなわち紫外領域で使用される最も高感度かつ信号
のS/N比を高く保てるものとして、光電子増倍管が知
られている。この寸法は小さいものでも約51mとなる
ので、上に示した2つの共鳴吸収線の出射スリット直後
に配置することは、極めて困難である。このような関係
にある波長の組み合わせは、第9図に示すように。
多くある。従って、1個の分光器を用いて、任意の分析
元素の組み合わせを、高い吸収感度で同時に測定するこ
とは、実際的に困難であった。
分散能の高い回折格子として1例えば、ニジエル形の回
折格子を用いる分光光度計も知られている。しかし、高
次光を利用するために5出射スリツトから取り出せる光
の量は、エシエレット形の回折格子と比較して、極めて
少ないので、信号のS/N比が低下し、原子吸光光度計
として実用化されている例は少ない。
第2の欠点は、光源の光量が減少するために、光信号の
S/N比が低下することである。
空洞陰極放電管2の光は、光透過鏡7,8を通過するた
めに、光量は多くとも1/4にならざるを得ない。実際
には、半透過鏡7,8による先の吸収損失および反射損
失もあるので、さらに大きな光量損失を見込まなければ
ならない。
4つの光源からの4本の光線を1本の光線に合成する際
の上記例の欠点を改善する方法として、第6図に示す合
成方法が知られている。異なる元素の空洞陰極をもつ空
洞陰極放電管2,3,4゜5から放射された異波長の光
線は、回折格子9Aに入射し、1つの光線10に合成さ
れる。
良く知られているように1回折格子9Aの法線と各光線
とのなす角度をθZ、  OS、  θ4.θ6とし、
同じく法線と光線10のなす角度をφとすると。
つぎの関係式が成立する。
λs=d ・(sinθ++sinφ)(1)ただし、
dは回折格子の溝の間隔(圃)、λは光線の波長、iは
2,3,4,5である。したがって、放射される共鳴吸
収線の波長λ宣に応じて、光線の位置すなわち回折格子
9Aの法線と入射する光線のなす角度θ1を予め定めて
おくと、4種類の方向から回折格子に入射する光線を1
つの光線10に合成できる。
この方法によれば、第5図の例にあって第2の欠点は解
消できる。しかし、回折格子に入射する光線と回折する
光線の間には、式(1)の関係があるから、第5図の例
の第1の欠点と同様に、光源側で空洞陰極放電管を相隣
合うように配置できない場合がしばしば発生する。しか
も、空洞陰極放電管の光線を取り出す方向に垂直な方向
の幅は、世界的に共通化されており、約38a+(1,
5インチ)と大きいから、分光器の出射スリットにおけ
る光電子増倍管の設置の困難さに比べて、実用化は更に
難しい。
上述の光源部の困難を解決するには、第7図に示すよう
に、連続スペクトル含む光線10Aを放射する光源1例
えばキセノンランプ2Aを用いる例が知られている。他
の構成は第5図および第6図の従来例と同じである。
キセノンランプ2Aは、主として紫外域から可視域に分
布する連続スペクトルを放射し、第9図に示した元素の
共鳴吸収波長をほとんど含んでいる。したがって、光源
側での上記第2の欠点は改善されている。しかし、第1
の欠点すなわち光電変換器側の問題に対しては全く効果
がない6すべて、光源として空調陰極放電管を用いてい
る。
それは、次の事情による。良く知られているように、原
子共鳴吸収線の波長幅は、原子の種類によりわずかな違
いがあるが、紫外域の190nmから近赤外域の860
nmの範囲にある。一方、エシエレット形の回折格子を
用いる分光光度計の分解能は、先に述べたように、高い
分解能を持つものでも、0.5nm/mnの程度である
から、0.004  nmの原子のスペクトル幅程度の
スペクトルを出射スリットから取り出すには、約0.0
08nnのスリットが必要となる。また、分光器の波長
が、例えば設置環境の温度変動等により、0.0004
  nm (これは出射スリット位置において0.00
08 nwに相当する。)変化すると、出射スリットか
ら出る光の量は約10%減少する。
このように極めて小さな値は1通常のエシエレット形の
回折格子を用いる分光光度計では、実用できる形では実
現しがたいものである。
そこで分析対象元素の共鳴吸収線の波長とそのスペクト
ル幅もほとんど等しい輝線スペクトルを放射する光源と
して、分析対象元素の材料を陰極に用いる空洞陰極放電
管が利用されてきた。
結局、キセノンランプを用いる第7図の例は、分光器に
対して分散能と波長安定性とに極めた過大な要求を伴い
、実用性に乏しい。
第3図の従来例は、上記3例の加熱炉に代えて、化学燃
焼炎を用いる例である。本例においては、そ−れぞれ異
なる原子吸収線が、空洞陰極放電管2゜3.4から化学
燃焼炎30の中央部に向けて放射される。水溶液分析試
料12Aは霧吹き31により霧状にされて、化学燃焼炎
30の中に導入され、蒸発気化し、原子状に解離される
。これら原子群の中に、前記空洞陰極放電管の空洞陰極
を構成する物質の元素と一致するものがあれば、原子吸
光現象により光が吸収される。空洞陰極放電管から放射
された原子スペクトル光線は、化学燃焼炎30を透過し
て、それぞれ1つずつの分光器32゜33.34に入射
し、前記原子吸収線の波長成分が選択される。その後の
処理は、上記従来例と同様であり、3つの異なる元素を
同時に測定できる。
3つの光線を透過させる試料の原子化装置としての化学
燃焼炎は次の条件を備えなければならない。
化学燃焼炎30を透過する3つの光線は、時間的にその
進行方向が変化しないことが必要である。
もし、光線の進行方向が変化すると、分光器に入射する
光量が変わり、原子吸収による光量の変化との区別が困
雑になるからである。したがって、化学燃焼炎は、安定
して時間的に連続し燃焼し続けなければならない。
もう1つの条件としては、化学燃焼炎の内部およびその
周囲の温度勾配が、入射光線の進行方向に対して左右対
称であり、温度勾配によって作られる空気の密度勾配に
よる光の屈折現象が生じないか生じても変化しないこと
が必要である。
上述の2つの条件を満たす化学燃焼炎としては、燃焼ガ
スと酸素または酸素を含む助燃ガスとの2種類のガスの
噴出孔を同心円状とし、温度分布が同心円状となる炎を
形成する方法が一般的に利用されている。この化学燃焼
炎の同心円の中心に向かって進行する光線は、炎を透過
する際に左右いずれかに屈折することが少ない。また、
炎が上下方向に長く伸びているため、上下方向の温度勾
配が少なく、したがって上下方向の屈折も僅かである。
このような化学燃焼炎を、このごろ最も多く利用されて
いる黒鉛管電気炉(第5図〜第7図の加熱炉11)と置
き換えることは困難である。
電気炉方式の原子化装置においては、試料を装填しであ
る黒鉛管を約1〜3秒の短時間に室温から約3000℃
まで加熱し、短時間iご密度の高い原子蒸気を作るよう
になっており、しかも光線の透過方向に制限があるから
である。
以上述べたことを総合すると、上記従来例はいずれも、
学術的には意味があっても、実用性すなわち操作性9分
析元素の変更の容易性、測定性能等を考慮したとき、そ
れぞれ欠点があるため、同時多元素分析の実用化の要求
が強いにも拘わらず。
今日まで実用に供せられていない。したがって、依然と
して、1元素ずつ逐次分析しているのが現状である。
本発明の目的は、複数の光源からの光線を1つの試料原
子化部に効率的に導入し多元素を同時に分析可能な原子
吸光分光光度計を提供することである。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、上記目的を達成するために、分析すべき試料
を加熱して乾燥、灰化、原子化し原子蒸気を生成する円
筒形加熱炉と、検出すべき元素の輝線スペクトルを含む
光線を同時に発生し加熱炉の中心軸に対して軸対称の一
定角度で入射させる前記各元素に対応した数の空洞陰極
放電管と、前記一定角度に対応して前記加熱炉の後方に
/軸対称に設置され原子蒸気により輝線スペクトルを吸
収された各光線をそれぞれ分光し受光する分光検出系と
、分光検出された輝線スペクトルの原子共鳴吸収の比率
から分析試料中の元素の濃度または量を演算し求める信
号処理装置とからなり種類の異なる複数の元素を同時に
測定する原子吸光分光光度計を提案するものである。
本発明はまた、分析すべき試料を加熱して乾燥。
灰化、原子化し原子蒸気を生成する円筒形加熱炉と、検
出すべき元素の輝線スペクトルを含む光線を同時に発生
する前記各元素に対応した数の空洞陰極放電管と、空洞
陰極放電管からの光線を折り返し加熱炉の中心軸の周り
に集中させ前記軸に対して軸対称の一定角度で入射させ
る光学系と、前記一定角度に対応して加熱炉の後方に設
置され原子蒸気により輝線スペクトルを吸収された各光
線を折り返し中心軸から遠ざける光学系と、それぞれの
透過光線を分光し受光する分光検出系と、分光検出され
た輝線スペクトルの原子共鳴吸収の比率から分析試料中
の元素の濃度または量を演算し求める信号処理装置とか
らなり種類の異なる複数の元素を同時に測定する原子吸
光分光光度計を提案するものである。
いずれの場合も、信号処理装置には、空洞陰極放電管か
ら円筒形加熱炉に入射した光線が加熱炉の温度上昇によ
り進行方向に曲げられ分光検出系に正確に入射しないこ
とによる誤差を補正する手段を備えることが望ましい。
〔作用〕
第2図は本発明の基本的考え方を示すブロック図である
。本発明においては、円筒形加熱炉には光線を1本にし
て入射させなければならないという従来の固定的考え方
から離れて、互いにある小さな角度を持つ複数の光線を
円筒形加熱炉に入射させるようにして、従来技術の欠点
を根本的に解消しである。
すなわち、各光源2,3等からの光線を小さな角度をも
って円筒形加熱炉11に入射させ、それぞれを独立した
光電変換素子で受光し、信号処理するようにしである。
したがって、2つの共鳴吸収線が接近していても、光電
変換器を出射スリットの後に設置する際の困難が解消さ
れる。また、各光源は独立しており、しかも半透過鏡の
ようなものを介在させないから、十分な光量が得られる
[実施例] 次に、第1図、第3図、第4図を参照して、本発明の具
体的実施例を説明する。
第1図は、本発明の一実施例を示すブロック図である。
空洞陰極放電管2から放射された光線49は、球面鏡等
の凹面!41.42により、円筒形加熱炉11に導かれ
る。加熱炉11を透過した光線49は、凹面鏡43.4
4により、分光器13Aに導入される。分光器13Aで
選択された特定元素の共鳴吸収線は、光電変換器18A
により電気信号に変換され、増幅器19から信号処理装
置23に入る。一方の光源3からの光線も同様の経路を
通り、信号処理装置23に入る。
本装置の特徴は、光JtS49と50とが、1本の光線
に合成されず、一定の小さな角度25をもって交差した
状態で加熱炉11に導入されていることである。
加熱炉11には、分析試料液滴12が導入される。この
試料12は、温度制御装置1−5の昇温プログラムに従
い制御される電源16からの電力により、乾燥され、灰
化され、最後に原子状態に解離される。したがって、空
洞陰極放電管2,3から放射された光線49.50は1
円筒形加熱炉11の中に発生した原子蒸気の密度に応じ
て吸収される。信号処理装置23は、光線49.50の
吸収による光量の変化に基づき1分析元素の密度を求め
、その結果を表示装置24に表示させる。
空洞陰極放電管2.3からそれぞれ銅(Cu)とクロミ
ウム(Cr)の原子スペクトルが放射されるようにすれ
ば、2つの分析元素すなわち銅とクロミウムを同時に測
定できる。
第1図の実施形態は平面的であるが、これを第3図のよ
うに立体的に配置すれば、4つの元素を同時に測定可能
となる。ここでは、繁雑を避けるために、加熱炉11を
出た後の光線を図示していないけれども、8個の凹面鏡
を配置し、それぞれの光線を4つの分光器に導入する。
このようにすれば、4元素を同時に測定可能な原子吸光
分光光度計が得られる。
さて、第1図の実施例において、円筒形加熱炉゛11は
、一般的に、加熱最高温度を3000℃以上に高めるた
めに、極力小さく作られ、外形8〜10mmφで、長さ
20〜3C)eのものが多い。すなわち、電源16から
供給される電力が例えば5kwで一定としたとき、円筒
形加熱炉11の温度は、その体積が小さいほど高くなる
。したがって、加熱炉11に入射する2つの光線のなす
角度25はあまり大きくできず、制限がある。
一方、空洞陰極放電管2,3は、既に述べたように、国
際的に共通化されていて、外径が381(1,5インチ
)である。そのため、第7図に示すごとく、空洞陰極放
電管2,3を直接配置したのでは、これらから放射され
る光線49.50の作る角度には、空洞陰極放電管2,
3の外径寸法で決まる制限があり、あまり小さくできな
い。
そこで、実際には、第1図に示すように、空洞陰極放電
管2,3から放射された光線49.50を、それぞれ凹
面鏡41.46を用いて、互いに揚力接近させて配置し
た2つの凹面鏡42.46に入射させる。こうすれば、
空洞陰極放電管2゜3をある程度離しながら、両光線4
9,50め舜す角度25を小さくできる。しかも、光線
を折り返すので、空洞陰極放電管2,3と加熱炉11と
の距離を短縮可能である。
第1図および第2図の実施例によれば、従来の例にあっ
た重大な2つの欠点が解消される。
まず、2つの共鳴吸収線の波長が極めて接近し、例えば
Cd 228.802 n mとA s 228.80
1 n mの組合せのように、その差が0.001  
nmとなり、従来の分光器では分離して同時測光するこ
とが困難だった場合でも、容易に分離して同時に測光す
ることが可能である。
また、光源の空洞陰極放電管から放射される光量をほと
んど損失なく加熱炉に導入できる。
ここで、円筒形加熱炉11には、その中心軸に−fiさ
せて、1本の光線を入射させなければならないとする従
来の考え方を再検討してみる。第4図において、光源(
空洞陰極放電管)2から放射された光線49は、円筒形
加熱炉11の中心軸に対して、角度φで入射すると仮定
する。温度制御装置15により制御された電源16から
の電流が、円筒形加熱炉11に供給される。加熱炉11
の表面温度が常温の20℃から3000℃に上昇すると
、加熱炉表面層の空気に密度の勾配ができ、光線49は
光線49Aとなり、光の進行方向に角度Δφの変化が生
ずる。円筒形加熱炉11が軸対称の場合、その中心軸と
光線49のなす角度φを小さくするほど、角度変化Δφ
が小さくなり、角度φが零のとき、角度変化Δφは零に
なることが経験的に知られている。
そのために、従来は、円筒形加熱炉には、その中心軸に
一致させ、1本の光線を入射させていたわけである。
本発明の上記実施例においては、光線49゜50等は、
加熱炉11に僅かながら斜めに入射し、分光器の入射ス
リットに向かうので、角度変化Δφが光量の減少として
測定されるおそれがある。
そのような見掛は上の光量変化は、試料を入れないで加
熱したときの見掛は上の光量変化を予め測定し、信号処
理装置に例えばROM化し記憶しておき、実際の試料分
析時に得られる原子吸光信号を補正すれば、減殺できる
。温度の再現性は、もともと原子吸光測定の精度を維持
するために重要であり、毎回の温度には十分な再現性が
あるから、円筒形加熱炉の中心軸と各光線が一致しない
ことによる角度変化Δφを、上記補正方式により。
実質的に補正可能である。
もう1つの補正方法として、複光束測光法がある。各光
源からの光線を原子吸収する光線としないかまたは吸収
程度が低い光線とに分けて、2種類の光線が同時に放射
されるように工夫すれば、円筒形加熱炉の加熱時にこれ
を通過する光線が曲げられる効果は、上記2つの光線に
対して共通であり、同じ程度に影響するので、両光線の
信号に比を求め、補正できる。
具体的方法の例として、円筒形加熱炉に磁場を印加し、
ゼーマン効果を利用する偏光2光束測光法が知られてい
る。
〔発明の効果〕
本発明においては、各光源からの光線を小さな角度をも
って円筒形加熱炉に入射させ、それぞれ独立した分光器
で分光し、光電変換素子で受光し、て、信号処理するよ
うにしであるので、2つの共鳴吸収線が接近していても
、光電変換器を出射スリットの後に設置する際の困難が
解消される。また、各光源が独立しており、半透過鏡の
ようなものを介在させないから、十分な光量が得られる
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による原子吸光分光光度計の一実施例を
示すブロック図、第2図iよ本発明の考えかたを示す図
、第3図は4つの空洞陰極放電管を用いる場合の光源側
の構成を示す斜7視図、第4図は光線が加熱炉に斜めに
入射することによる誤差を排除する方法を示す図、第5
図は半透過鏡を用いて1本の光線を合成する従来例を示
す図、第6図は回折格子を用いて1本の光線を合成する
従来例を示す図、第7図は光源に連続スペクトルを発生
するキセノンランプを用いる従来例を示す図。 第3図は化学燃焼炎を用いる従来例を示す図、第9図は
原子吸収線と他元素の近接線の波長の例を示す図である
。 2〜5・・・空洞陰極放電管(光源)、2A・・・キセ
ノンランプ、7〜9−・・半透過鏡、10・・・合成光
線、10A・・・連続スペクトル光線、11・・・円筒
形加熱炉、12・・・試料、12A・・・水溶液分析試
料、13・・・多波長分光器、13A、13B・・・分
光器、15・・・温度制御装置、17・・・回折格子、
18・・・光電子増倍管、19〜22・・・増幅器、2
3・・・信号処理袋ゝ−5 置、24・・・表示装置、30・・・化学燃焼炎、31
・・・霧吹き、32〜34・・・分光器、41〜48・
・・凹面鏡、49.50・・・光線。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、分析すべき試料を加熱して乾燥、灰化、原子化し原
    子蒸気を生成する円筒形加熱炉と、 検出すべき元素の輝線スペクトルを含む光線を同時に発
    生し前記加熱炉の中心軸に対して軸対称の一定角度で入
    射させる前記各元素に対応した数の空洞陰極放電管と、 前記一定角度に対応して前記加熱炉の後方に軸対称に設
    置され前記原子蒸気により前記輝線スペクトルを吸収さ
    れた前記各光線をそれぞれ分光し受光する分光検出系と
    、 分光検出された輝線スペクトルの原子共鳴吸収の比率か
    ら分析試料中の元素の濃度または量を演算し求める信号
    処理装置と からなり種類の異なる複数の元素を同時に測定する原子
    吸光分光光度計。 2、特許請求の範囲第1項において、 前記信号処理装置が、 前記空洞陰極放電管から前記円筒形加熱炉に入射した光
    線が加熱炉の温度上昇により進行方向を曲げられ前記分
    光検出系に正確に入射しないことによる誤差を補正する
    手段を備えたことを特徴とする原子吸光分光光度計。 3、分析すべき試料を加熱して乾燥、灰化、原子化し原
    子蒸気を生成する円筒形加熱炉と、 検出すべき元素の輝線スペクトルを含む光線を同時に発
    生する前記各元素に対応した数の空洞陰極放電管と、 前記空洞陰極放電管からの光線を折り返し前記加熱炉の
    中心軸の周りに集中させ前記軸に対して軸対称の一定角
    度で入射させる光学系と、前記一定角度に対応して前記
    加熱炉の後方に設置され前記原子蒸気により前記輝線ス
    ペクトルを吸収された前記各光線を折り返し前記中心軸
    から遠ざける光学系と、 それぞれの透過光線を分光し受光する分光検出系と、 分光検出された輝線スペクトルの原子共鳴吸収の比率か
    ら分析試料中の元素の濃度または量を演算し求める信号
    処理装置と からなり種類の異なる複数の元素を同時に測定する原子
    吸光分光光度計。 4、特許請求の範囲第3項において、 前記信号処理装置が、 前記空洞陰極放電管から前記円筒形加熱炉に入射した光
    線が加熱炉の温度上昇により進行方向を曲げられ前記分
    光検出系に正確に入射しないことにより誤差を補正する
    手段を備えたことを特徴とする原子吸光分光光度計。
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