JPH0623691B2 - 原子吸光分光光度計 - Google Patents

原子吸光分光光度計

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JPH0623691B2
JPH0623691B2 JP62127793A JP12779387A JPH0623691B2 JP H0623691 B2 JPH0623691 B2 JP H0623691B2 JP 62127793 A JP62127793 A JP 62127793A JP 12779387 A JP12779387 A JP 12779387A JP H0623691 B2 JPH0623691 B2 JP H0623691B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、原子吸光分光光度計に係り、特に、複数の元
素を同時に測定分析するために、複数の光源からの光線
を一つの試料原子化部に効率的に導入する方式に関する
ものである。
〔従来の技術〕
原子吸光分光光度計においては、第5図に示すように、
2個の光源から放射される2本の光線を半透過鏡により
1本の光線にして試料の原子化部に導く方式が知られて
いる(Elik Lundberg,Gills Johansson,Anal.Che
m.,48,1922−1925(1976))。
また、第7図に示すように、連続スペクトルを放射する
1個の光源を用いて、多元素同時測定を行う原子吸光分
光光度計がある(J.M.Harnly,T.C.O′Haver,
B.Golden,W...Wolf,Anal.Chem.,51,2007
−2014(1979))。
一方、化学燃焼炎を試料の原子化方法として、これに3
個の中空陰極ランプの3本の光線を導く方式のマルチチ
ヤンネル原子吸光分光光度計が知られている。第8図は
その原理的構成を示すブロツク図である(保田和雄,長
谷川敬彦,『原子吸光分析』講談社サイエンテイフイツ
ク,頁121−122(1972))。
原子吸収線の波長と他の元素の近接線の波長は、例え
ば、R.J.Lovett,D.L.Welch,M.L.Parson, Applie
d Spectroscopy,29,470−477(1975))
に記載されている。その主な波長を第9図に示す。
〔発明が解決しようとする問題点〕
多元素同時分析原子吸光分光光度計の従来の一例を示す
第5図において、1は電源、2,3,4,5は電源1か
らの電力により点灯する空洞陰極放電管(光源)であ
る。光源2の空洞陰極は元素亜鉛(Zn)を含み、放電
動作時には、亜鉛の共鳴吸収線すなわち波長213.856 n
mの輝線を放射する。同様に、光源3の空洞陰極はカド
ミウム(Cd)を含み、波長228.802 nmの輝線を、光
源4は鉛(Pb)の波長283.3nmの輝線を、光源
5はひ素(As)の波長193.7nmの輝線を放射す
る。6は反射鏡、7,8,9は半透過反射鏡である。4
本の光線はこれらの反射鏡により1本の光線10に合成
され、円筒形加熱炉11に入射し透過して、多波長分光
器13の入射スリツト14に入る。
加熱炉11には、分析試料液滴12が導入される。この
試料12は、温度制御装置15の昇温プログラムに従い
制御される電源16からの電力により、乾燥され、灰化
され、最後に最高温度に昇温される。こうして、分析試
料液滴12に溶解していた溶質を加熱分解し、原子蒸気
を得る。
入射スリツト14から入つた光線は、回折格子17によ
り波長の順に分散され、亜鉛の共鳴吸収線は、光電変換
器18に入射し、増幅器19で信号増幅され、信号処理
装置23に入る。同様に、カドミウム,鉛,ひ素の共鳴
吸収線も、それぞれの光電変換器に入射し、増幅器2
0,21,22により増幅され、信号処理装置23に入
る。信号処理装置23は、加熱炉11内で分析試料12
の溶質元素を加熱原子化したときに、光線10に含まれ
る4つの波長の輝線の電気信号を読み取り、4種の元素
の量を計算し求め、表示装置24にその結果を表示す
る。
すなわち、原子蒸気の中に、亜鉛,カドミウム,鉛,ひ
素が含まれていると、光線10の中でその元素の共鳴吸
収線,例えば亜鉛の場合は波長213.856 nmの輝線が吸
収される。したがつて、4つの光電変換器でそれらの波
長におけるスペクトルの強度を測定すれば、分析試料1
2に含まれる微量の4種類の元素を同時に測定できるこ
とになる。空洞陰極放電管2,3,4,5を他の元素の
ものと交換し、多波長分光器13をそれら原子の共鳴吸
収線の波長に設定し直すと、他の4種類の元素も同時測
定可能である。
本従来例の装置には、次のような2つの重大な欠点があ
る。
第1の欠点は、2つの共鳴吸収線が接近している場合、
出射スリツトの後に、光電変換器を直接設置するのが困
難なことである。
通常のエシエレツト回折格子を用いる分光光度計の分解
能は、分解能の高いもので、約0.5nm/mmであるか
ら、第9図において、例えばAl308.215nmとV308.2
11nmの波長差0.004nmは、分光器の出射スリツ
ト位置において、距離0.008mmである。一方、光電
変換素子として、第9図の波長領域すなわち紫外領域で
使用される最も高感度かつ信号のS/N比を高く保てる
ものとして、光電子増倍管が知られている。この寸法は
小さいものでも約5mmとなるので、上に示した2つの共
鳴吸収線の出射スリツト直後に配置することは、極めて
困難である。このような関係にある波長の組み合わせ
は、第9図に示すように、多くある。従つて、1個の分
光器を用いて、任意の分析元素の組み合わせを、高い吸
収感度で同時に測定することは、実際的に困難であつ
た。
分散能の高い回折格子として、例えば、エシエル形の回
折格子を用いる分光光度計も知られている。しかし、高
次光を利用するために、出射スリツトから取り出せる光
の量は、エシエレツト形の回折格子と比較して、極めて
少ないので、信号のS/N比が低下し、原子吸光光度計
として実用化されている例は少ない。
第2の欠点は、光源の光量が減少するために、光信号の
S/N比が低下することである。
空洞陰極放電管2の光は、光透過鏡7,8を通過するた
めに、光量は多くとも1/4にならざるを得ない。実際
には、半透過鏡7,8による光の吸収損失および反射損
失もあるので、さらに大きな光量損失を見込まなければ
ならない。
4つの光源からの4本の光線を1本の光線に合成する際
の上記例の欠点を改善する方法として、第6図に示す合
成方法が知られている。異なる元素の空洞陰極をもつ空
洞陰極放電管2,3,4,5から放射された異波長の光
線は、回折格子9Aに入射し、1つの光線10に合成さ
れる。
良く知られているように、回折格子9Aの法線と各光線
とのなす角度をθ2,θ3,θ4,θ5とし、同じく法線と
光線10のなす角度をφとすると、つぎの関係式が成立
する。
λi=d・(sinθi+sinφ) (1) ただし、dは回折格子の溝の間隔(mm)、λは光線の波
長、iは2,3,4,5である。したがつて、放射され
る共鳴吸収線の波長λに応じて、光線の位置すなわち
回折格子9Aの法線と入射する光線のなす角度θを予
め定めておくと、4種類の方向から回折格子に入射する
光線を1つの光線10に合成できる。
この方法によれば、第5図の例にあつて第2の欠点は解
消できる。しかし、回折格子に入射する光線と回折する
光線の間には、式(1)の関係があるから、第5図の例
の第1の欠点と同様に、光源側で空洞陰極放電管を相隣
合うように配置できない場合がしばしば発生する。しか
も、空洞陰極放電管の光線を取り出す方向に垂直な方向
の幅は、世界的に共通化されており、約38mm(1.5
インチ)と大きいから、分光器の出射スリツトにおける
光電子増倍管の設置の困難さに比べて、実用化は更に難
しい。
上述の光源部の困難を解決するには、第7図に示すよう
に、連続スペクトル含む光線10Aを放射する光源、例
えばキセノンランプ2Aを用いる例が知られている。他
の構成は第5図および第6図の従来例と同じである。
キセノンランプ2Aは、主として紫外域から可視域に分
布する連続スペクトルを放射し、第9図に示した元素の
共鳴吸収波長をほとんど含んでいる。したがつて、光源
側での上記第2の欠点は改善されている。しかし、第1
の欠点すなわち光電変換器側の問題に対しては全く効果
がない。
さらに、次のような欠点もある。従来、世界的に実用化
されている原子吸光分光光度計は、ほとんどすべて、光
源として空洞陰極放電管を用いている。それは、次の事
情による。良く知られているように、原子共鳴吸収線の
波長幅は、原子の種類によりわずかな違いがあるが、紫
外域の190nmから近赤外域の860nmの範囲にあ
る。一方、エシエレツト形の回折格子を用いる分光光度
計の分解能は、先に述べたように、高い分解能を持つも
のでも、0.5nm/mmの程度であるから、0.004
nmの原子のスペクトル幅程度のスペクトルを出射スリ
ツトから取り出すには、約0.008mmのスリツトが必
要となる。また、分光器の波長が、例えば設置環境の温
度変動等により、0.0004nm(これは出射スリツ
ト位置において0.0008mmに相当する。)変化する
と、出射スリツトから出る光の量は約10%減少する。
このように極めて小さな値は、通常のエシエレツト形の
回折格子を用いる分光光度計では、実用できる形では実
現しがたいものである。
そこで分析対象元素の共鳴吸収線の波長とそのスペクト
ル幅もほとんど等しい輝線スペクトルを放射する光源と
して、分析対象元素の材料を陰極に用いる空洞陰極放電
管が利用されてきた。
結局、キセノンランプを用いる第7図の例は、分光器に
対して分散能と波長安定性とに極めた過大な要求を伴
い、実用性に乏しい。
第8図の従来例は、上記3例の加熱炉に代えて、化学燃
焼炎を用いる例である。本例においては、それぞれ異な
る原子吸収線が、空洞陰極放電管2,3,4から化学燃
焼炎30の中央部に向けて放射される。水溶液分析試料
12Aは霧吹き31により霧状にされて、化学燃焼炎3
0の中に導入され、蒸発気化し、原子状に解離される。
これら原子群の中に、前記空洞陰極放電管の空洞陰極を
構成する物質の元素と一致するものがあれば、原子吸光
現象により光が吸収される。空洞陰極放電管から放射さ
れた原子スペクトル光線は、化学燃焼炎30を透過し
て、それぞれ1つずつの分光器32,33,34に入射
し、前記原子吸収線の波長成分が選択される。その後の
処理は、上記従来例と同様であり、3つの異なる元素を
同時に測定できる。
3つの光線を透過させる試料の原子化装置としての化学
燃焼炎は次の条件を備えなければならない。
化学燃焼炎30を透過する3つの光線は、時間的にその
進行方向が変化しないことが必要である。もし、光線の
進行方向が変化すると、分光器に入射する光量が変わ
り、原子吸収による光量の変化との区別が困難になるか
らである。したがつて、化学燃焼炎は、安定して時間的
に連続し燃焼し続けなければならない。
もう1つの条件としては、化学燃焼炎の内部およびその
周囲の温度勾配が、入射光線の進行方向に対して左右対
称であり、温度勾配によつて作られる空気の密度勾配に
よる光の屈折現象が生じないか生じても変化しないこと
が必要である。
上述の2つの条件を満たす化学燃焼炎としては、燃焼ガ
スと酸素または酸素を含む助燃ガスとの2種類のガスの
噴出孔を円心円状とし、温度分布が同心円状となる炎を
形成する方法が一般的に利用されている。この化学燃焼
炎の同心円の中心に向かつて進行する光線は、炎を透過
する際に左右いずれかに屈折することが少ない。また、
炎が上下方向に長く伸びているため、上下方向の温度勾
配が少なく、したがつて上下方向の屈折も僅かである。
このような化学燃焼炎を、このごろ最も多く利用されて
いる黒鉛管電気炉(第5図〜第7図の加熱炉11)と置
き換えることは困難である。
電気炉方式の原子化装置においては、試料を装填してあ
る黒鉛管を約1〜3秒の短時間に室温から約3000℃
まで加熱し、短時間に密度の高い原子蒸気を作るように
なつており、しかも光線の透過方向に制限があるからで
ある。
以上述べたことを総合すると、上記従来例はいずれも、
学術的には意味があつても、実用性すなわち操作性,分
析元素の変更の容易性,測定性能等を考慮したとき、そ
れぞれ欠点があるため、同時多元素分析の実用化の要求
が強いにも拘わらず、今日まで実用に供せられていな
い。したがつて、依然として、1元素ずつ逐次分析して
いるのが現状である。
本発明の目的は、複数の光源からの光線を1つの試料原
子化部に効率的に導入し多元素を同時に分析可能な原子
吸光分光光度計を提供することである。
〔課題点を解決するための手段〕
本発明は、上記目的を達成するために、分析すべき試料
を加熱して乾燥,灰化,原子化し原子蒸気を生成する円
筒形加熱炉と、検出すべき元素の輝線スペクトルを含む
光線を同時に発生し加熱炉の中心軸に対して軸対称の一
定角度で入射させる前記各元素に対応した数の空洞陰極
放電管と、前記一定角度に対応して前記加熱炉の後方に
軸対称に設置され原子蒸気により輝線スペクトルを吸収
された各光線をそれぞれ分光し受光する分光検出系と、
分光検出された輝線スペクトルの原子共鳴吸収の比率か
ら分析試料中の元素の濃度または量を演算し求める信号
処理装置とからなり種類の異なる複数の元素を同時に測
定する原子吸光分光光度計を提案するものである。
本発明はまた、分析すべき試料を加熱して乾燥,灰化,
原子化し原子蒸気を生成する円筒形加熱炉と、検出すべ
き元素の輝線スペクトルを含む光線を同時に発生する前
記各元素に対応した数の空洞陰極放電管と、空洞陰極放
電管からの光線を折り返し加熱炉の中心軸の周りに集中
させ前記軸に対して軸対称の一定角度で入射させる光学
系と、前前記一定角度に対応して加熱炉の後方に設置さ
れ原子蒸気により輝線スペクトルを吸収された各光線を
折り返し中心軸から遠ざける光学系と、それぞれの透過
光線を分光し受光する分光検出系と、分光検出された輝
線スペクトルの原子共鳴吸収の比率から分析試料中の元
素の濃度または量を演算し求める信号処理装置とからな
り種類の異なる複数の元素を同時に測定する原子吸光分
光光度計を提案するものである。
いずれの場合も、信号処理装置には、空洞陰極放電管か
ら円筒形加熱炉に入射した光線が加熱炉の温度上昇によ
り進行方向に曲げられ分光検出系に正確に入射しないこ
とによる誤差を補正する手段を備えることが望ましい。
〔作用〕
第2図は本発明の基本的考え方を示すブロツク図であ
る。本発明においては、円筒形加熱炉には光線を1本に
して入射させなければならないという従来の固定的考え
方から離れて、互いにある小さな角度を持つ複数の光線
を円筒形加熱炉に入射させるようにして、従来技術の欠
点を根本的に解消してある。
すなわち、各光源2,3等からの光線を小さな角度をも
つて円筒形加熱炉11に入射させ、それぞれを独立した
光電変換素子で受光し、信号処理するようにしてある。
したがつて、2つの共鳴吸収線が接近していても、光電
変換器を出射スリツトの後に設置する際の困難が解消さ
れる。また、各光源は独立しており、しかも半透過鏡の
ようなものを介在させないから、十分な光量が得られ
る。
〔実施例〕
次に、第1図,第3図,第4図を参照して、本発明の具
体的実施例を説明する。
第1図は、本発明の一実施例を示すブロツク図である。
空洞陰極放電管2から放射された光線49は、球面鏡等
の凹面鏡41,42により、円筒形加熱炉11に導かれ
る。加熱炉11を透過した光線49は、凹面鏡43,4
4により、分光器13Aに導入される。分光器13Aで
選択された特定元素の共鳴吸収線は、光電変換器18A
により電気信号に変換され、増幅器19から信号処理装
置23に入る。一方の光源3からの光源も同様の経路を
通り、信号処理装置23に入る。
本装置の特徴は、光線49と50とが、1本の光線に合
成されず、一定の小さな角度25をもつて交差した状態
で加熱炉11に導入されていることである。
加熱炉11には、分析試料液滴12が導入される。この
試料12は、温度制御装置15の昇温プログラムに従い
制御される電源16からの電力により、乾燥され、灰化
され、最後に原子状態に解離される。したがつて、空洞
陰極放電管2,3から放射された光線49,50は、円
筒形加熱炉11の中に発生した原子蒸気の密度に応じて
吸収される。信号処理装置23は、光線49,50の吸
収による光量の変化に基づき、分析元素の密度を求め、
その結果を表示装置24に表示させる。空洞陰極放電管
2,3からそれぞれ銅(Cu)とクロミウム(Cr)の
原子スペクトルが放射されるようにすれば、2つの分析
元素すなわち銅とクロミウムを同時に測定できる。
第1図の実施形態は平面的であるが、これを第3図のよ
うに立体的に配置すれば、4つの元素を同時に測定可能
となる。ここで、繁雑を避けるために、加熱炉11を出
た後の光線を図示していないけれども、8個の凹面鏡を
配置し、それぞれの光線を4つの分光器に導入する。こ
のようにすれば、4元素を同時に測定可能な原子吸光分
光光度計が得られる。
さて、第1図の実施例において、円筒形加熱炉11は、
一般的に、加熱最高温度を3000℃以上に高めるため
に、極力小さく作られ、外形8〜10mmφで、長さ20
〜30mmのものが多い。すなわち、電源16から供給さ
れる電力が例えば5kwで一定としたとき、円筒形加熱
炉11の温度は、その体積が小さいほど高くなる。した
がつて、加熱炉11に入射する2つの光線のなす角度2
5はあまり大きくできず、制限がある。
一方、空洞陰極放電管2,3は、既に述べたように、国
際的に共通化されていて、外径が38mm(1.5イン
チ)である。そのため、第7図に示すごとく、空洞陰極
放電管2,3を直接配置したのでは、これらから放射さ
れる光線49,50の作る角度には、空洞陰極放電管
2,3の外径寸法で決まる制限があり、あまり小さくで
きない。
そこで、実際には、第1図に示すように、空洞陰極放電
管2,3から放射された光線49,50を、それぞれ凹
面鏡41,46を用いて、互いに極力接近させて配置し
た2つの凹面鏡42,46に入射させる。こうすれば、
空洞陰極放電管2,3をある程度離しながら、両光線4
9,50のなす角度25を小さくできる。しかも、光線
を折り返すので、空洞陰極放電管2,3と加熱炉11と
の距離を短縮可能である。
第1図および第2図の実施例によれば、従来の例にあつ
た重大な2つの欠点が解消される。
まず、2つの共鳴吸収線の波長が極めて接近し、例えば
Cd228.802nmとAs228.801nmの組合せのように、
その差が0.001nmとなり、従来の分光器では分離
して同時測光することが困難だつた場合でも、容易に分
離して同時に測光することが可能である。
また、光源の空洞陰極放電管から放射される光量をほと
んど損失なく加熱炉に導入できる。
ここで、円筒形加熱炉11には、その中心軸に一致させ
て、1本の光線を入射させなければならないとする従来
の考え方を再検討してみる。第4図において、光源(空
洞陰極放電管)2から放射された光線49は、円筒形加
熱炉11の中心軸に対して、角度φで入射すると仮定す
る。温度制御装置15により制御された電源16からの
電流が、円筒形加熱炉11に供給される。加熱炉11の
表面温度が常温の20℃から3000℃に上昇すると、
加熱炉表面層の空気に密度の勾配ができ、光線49は光
線49Aとなり、光の進行方向に角度Δφの変化が生ず
る。円筒形加熱炉11が軸対称の場合、その中心軸と光
線49のなす角度φを小さくするほど、角度変化Δφが
小さくなり、角度φが零のとき、角度変化Δφは零にな
ることが経験的に知られている。
そのために、従来は、円筒形加熱炉には、その中心軸に
一致させ、1本の光線を入射させていたわけである。
本発明の上記実施例においては、光線49,50等は、
加熱炉11に僅かながら斜めに入射し、分光器の入射ス
リツトに向かうので、角度変化Δφが光量の減少として
測定されるおそれがある。
そのような見掛け上の光量変化は、試料を入れないで加
熱したときの見掛け上の光量変化を予め測定し、信号処
理装置に例えばROM化し記憶しておき、実際の試料分
析時に得られる原子吸光信号を補正すれば、減殺でき
る。温度の再現性は、もともと原子吸光測定の精度を維
持するために重要であり、毎回の温度には十分な再現性
があるから、円筒形加熱炉の中心軸と各光線が一致しな
いことによる角度変化Δφを、上記補正方式により、実
質的に補正可能である。
もう1つの補正方法として、複光束測光法がある。各光
源からの光線を原子吸収する光線としないかまたは吸収
程度が低い光線とに分けて、2種類の光線が同時に放射
されるように工夫すれば、円筒形加熱炉の加熱時にこれ
を通過する光線が曲げられる効果は、上記2つの光線に
対して共通であり、同じ程度に影響するので、両光線の
信号に比を求め、補正できる。
具体的方法の例として、円筒形加熱炉に磁場を印加し、
ゼーマン効果を利用する偏光2光束測光法が知られてい
る。
〔発明の効果〕
本発明においては、各光源からの光線を小さな角度をも
つて円筒形加熱炉に入射させ、それぞれ独立した分光器
で分光し、光電変換素子で受光し、て、信号処理するよ
うにしてあるので、2つの共鳴吸収線が接近していて
も、光電変換器を出射スリツトの後に設置する際の困難
が解消される。また、各光源が独立しており、半透過鏡
のようなものを介在させないから、十分な光量が得られ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による原子吸光分光光度計の一実施例を
示すブロツク図、第2図は本発明の考えかたを示す図、
第3図は4つの空洞陰極放電管を用いる場合の光源側の
構成を示す斜視図、第4図は光線が加熱炉に斜めに入射
することによる誤差を排除する方法を示す図、第5図は
半透過鏡を用いて1本の光線を合成する従来例を示す
図、第6図は回折格子を用いて1本の光線を合成する従
来例を示す図、第7図は光源に連続スペクトルを発生す
るキセノンランプを用いる従来例を示す図、第8図は化
学燃焼炎を用いる従来例を示す図、第9図は原子吸収線
と他元素の近接線の波長の例を示す図である。 2〜5……空洞陰極放電管(光源)、2A……キセノン
ランプ、7〜9……半透過鏡、10……合成光線、10
A……連続スペクトル光線、11……円筒形加熱炉、1
2……試料、12A……水溶液分析試料、13……多波
長分光器、13A,13B……分光器、15……温度制
御装置、17……回折格子、18……光電子増倍管、1
9〜22……増幅器、23……信号処理装置、24……
表示装置、30……化学燃焼炎、31……霧吹き、32
〜34……分光器、41〜48……凹面鏡、49,50
……光線。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 奥本 豊治 茨城県勝田市市毛882番地 株式会社日立 製作所那珂工場内 (72)発明者 戸辺 早人 茨城県勝田市市毛882番地 株式会社日立 製作所那珂工場内 (56)参考文献 特公 昭46−12432(JP,B1)

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】分析すべき試料を加熱して乾燥,灰化,原
    子化し原子蒸気を生成する円筒形加熱炉と、 検出すべき元素の輝線スペクトルを含む光線を同時に発
    生し前記加熱炉の中心軸に対して軸対称の一定角度で入
    射させる前記各元素に対応した数の空洞陰極放電管と、 前記一定角度に対応して前記加熱炉の後方に軸対称に設
    置され前記原子蒸気により前記輝線スペクトルを吸収さ
    れた前記各光線をそれぞれ分光し受光する分光検出系
    と、 分光検出された輝線スペクトルの原子共鳴吸収の比率か
    ら分析試料中の元素の濃度または量を演算し求める信号
    処理装置と からなり種類の異なる複数の元素を同時に測定する原子
    吸光分光光度計。
  2. 【請求項2】特許請求の範囲第1項において、 前記信号処理装置が、 前記空洞陰極放電管から前記円筒形加熱炉に入射した光
    線が加熱炉の温度上昇により進行方向を曲げられ前記分
    光検出系に正確に入射しないことによる誤差を補正する
    手段を備えたことを特徴とする原子吸光分光光度計。
  3. 【請求項3】分析すべき試料を加熱して乾燥,灰化,原
    子化し原子蒸気を生成する円筒形加熱炉と、 検出すべき元素の輝線スペクトルを含む光線を同時に発
    生する前記各元素に対応した数の空洞陰極放電管と、 前記空洞陰極放電管からの光線を折り返し前記加熱炉の
    中心軸の周りに集中させ前記軸に対して軸対称の一定角
    度で入射させる光学系と、 前記一定角度に対応して前記加熱炉の後方に設置され前
    記原子蒸気により前記輝線スペクトルを吸収された前記
    各光線を折り返し前記中心軸から遠ざける光学系と、 それぞれの透過光線を分光し受光する分光検出系と、 分光検出された輝線スペクトルの原子共鳴吸収の比率か
    ら分析試料中の元素の濃度または量を演算し求める信号
    処理装置と からなり種類の異なる複数の元素を同時に測定する原子
    吸光分光光度計。
  4. 【請求項4】特許請求の範囲第3項において、 前記信号処理装置が、 前記空洞陰極放電管から前記円筒形加熱炉に入射した光
    線が加熱炉の温度上昇により進行方向を曲げられ前記分
    光検出系に正確に入射しないことにより誤差を補正する
    手段を備えたことを特徴とする原子吸光分光光度計。
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