JPS6328518A - 微細穴放電加工装置 - Google Patents
微細穴放電加工装置Info
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- JPS6328518A JPS6328518A JP16692786A JP16692786A JPS6328518A JP S6328518 A JPS6328518 A JP S6328518A JP 16692786 A JP16692786 A JP 16692786A JP 16692786 A JP16692786 A JP 16692786A JP S6328518 A JPS6328518 A JP S6328518A
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 15
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 claims description 8
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
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Landscapes
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、インクジェットプリンタ用ノズル、グラフィ
ックディスプレイ用高精度電子針アバ−チャ、光フアイ
バコネクタ、繊維ノズル、自動車燃料噴射ノズル等の微
細穴の加工に用い、特に穴位置が外周面に対し、同心と
なるように加工するのに適する微細穴放電加工装置に関
するものである。
ックディスプレイ用高精度電子針アバ−チャ、光フアイ
バコネクタ、繊維ノズル、自動車燃料噴射ノズル等の微
細穴の加工に用い、特に穴位置が外周面に対し、同心と
なるように加工するのに適する微細穴放電加工装置に関
するものである。
従来の技術
上記のような微細穴の加工を実現するためには、加工装
置として、高精度な電標回転機構、微小放電技術、高精
度電極構造体等の技術が必要であり、これらの技術につ
いては特開昭５７−３３９２２号公報、特開昭５７−１
３８５４５号公報、特開昭５７−１８９７２６号公報、
特開昭５９−５９３２２号公報等に記載されている。以
上の技術は単に高精度な穴加工を実現する技術であり、
円柱状のワークの中心に微細穴を加工するには、次のよ
うな装置が用いられている。
置として、高精度な電標回転機構、微小放電技術、高精
度電極構造体等の技術が必要であり、これらの技術につ
いては特開昭５７−３３９２２号公報、特開昭５７−１
３８５４５号公報、特開昭５７−１８９７２６号公報、
特開昭５９−５９３２２号公報等に記載されている。以
上の技術は単に高精度な穴加工を実現する技術であり、
円柱状のワークの中心に微細穴を加工するには、次のよ
うな装置が用いられている。
（１）ワークの外周面の位置を顕微鏡による観察等によ
って検出し、その外周面を基準きして中心位置に微細放
電電極を位置決めして加工する。
って検出し、その外周面を基準きして中心位置に微細放
電電極を位置決めして加工する。
（２）ワークに微細穴を加工し、この微細穴を基準とし
てワーク外周面を研削する。
てワーク外周面を研削する。
（３）微細放電電極の回転機構の回転動を基準としてワ
ークを位置決めし、微細穴の加工を行う。すなわち、微
細放電電極回転軸に測定子を取付け、測定子をワーク外
周面に当てて回転させ、測定子の変位量を小さくするよ
うにワークの位置決めを行い、ワークの中心を微細放電
電極の回転軸中心に一致させ、微細穴の加工を行う。
ークを位置決めし、微細穴の加工を行う。すなわち、微
細放電電極回転軸に測定子を取付け、測定子をワーク外
周面に当てて回転させ、測定子の変位量を小さくするよ
うにワークの位置決めを行い、ワークの中心を微細放電
電極の回転軸中心に一致させ、微細穴の加工を行う。
発明が解決しようとする問題点
しかし上記（１）の装置では、円柱状ワークの外周面位
置の検出に顕微鏡を用い、ヘアラインをエツジに合わせ
て測定するが、検出精度は１０ミクロンオーダで、さら
に中心を算出して位置決めする精度はそれ以上の誤差と
なる。したがって加工される微細穴の同心度を１ミクロ
ンオーダで加工するこきは非常に困難である。また上記
（２）の装置では、微細穴の中心の検出が同様に困難で
あるので、ミクロンオーダの同心度で研削するのは難し
い。
置の検出に顕微鏡を用い、ヘアラインをエツジに合わせ
て測定するが、検出精度は１０ミクロンオーダで、さら
に中心を算出して位置決めする精度はそれ以上の誤差と
なる。したがって加工される微細穴の同心度を１ミクロ
ンオーダで加工するこきは非常に困難である。また上記
（２）の装置では、微細穴の中心の検出が同様に困難で
あるので、ミクロンオーダの同心度で研削するのは難し
い。
また上記（（９）の装置では、微細放電電極の回転軸に
測定子を取付けるので、回転精度が著しく低下し、外周
面を１ミクロンオーダの精度で検出するのは非常に困難
である。
測定子を取付けるので、回転精度が著しく低下し、外周
面を１ミクロンオーダの精度で検出するのは非常に困難
である。
そこで、本発明は、円柱状のワークにその外周面を基準
とする同心の微細穴を高精度に加工することができるよ
うにした微細穴放電加工装置を提供しようとするもので
ある。
とする同心の微細穴を高精度に加工することができるよ
うにした微細穴放電加工装置を提供しようとするもので
ある。
問題点を解決するための手段
そして上記問題点を解決するための本発明の技術的な手
段は、微細放電電極と、この微細放電電極を回転させな
がら軸方向に移動させる手段と、上記微細放電電極と軸
心が一致されたワークと、このワークを回転させながら
軸方向に移動させる手段と、上記微細放電電極及びワー
ク外周面の放電加工を行うための成形放電電極と、この
成形放電電極を上記微細放電電極とワークの軸方向と直
交方向に移動させる手段とを備えたものである。
段は、微細放電電極と、この微細放電電極を回転させな
がら軸方向に移動させる手段と、上記微細放電電極と軸
心が一致されたワークと、このワークを回転させながら
軸方向に移動させる手段と、上記微細放電電極及びワー
ク外周面の放電加工を行うための成形放電電極と、この
成形放電電極を上記微細放電電極とワークの軸方向と直
交方向に移動させる手段とを備えたものである。
作 用
上記技術的手段による作用は次のようになる。
すなわち、微細放電電極とワークの外周面を成形放電電
極との放電加工により高い真円度で加工することができ
、これら微細放電電極上ワークの放電加工によりワーク
と微細穴を加工する。このとき、微細放電電極とワーク
は軸心が一致されているので、ワークの中心に外周面と
の同心度がミクロン以下の高精度で微細穴加工を行うこ
とができる。
極との放電加工により高い真円度で加工することができ
、これら微細放電電極上ワークの放電加工によりワーク
と微細穴を加工する。このとき、微細放電電極とワーク
は軸心が一致されているので、ワークの中心に外周面と
の同心度がミクロン以下の高精度で微細穴加工を行うこ
とができる。
実施例
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明
する。
する。
第１図乃至第３図は本発明の一実施例における微細穴放
電加工装置を示し、第１図は一部破断正面図、第２図は
その一部破断右側面図、第３図（ａ）乃至（Ｃ）は放電
回路説明図である。
電加工装置を示し、第１図は一部破断正面図、第２図は
その一部破断右側面図、第３図（ａ）乃至（Ｃ）は放電
回路説明図である。
第１図及び第２図に示すように基台１上（こテーブル２
が左右方向に微小移動可能に支持されている。テーブル
２上には加工槽３が支持され、加工槽３内は加工液４に
より満たされている。基台１上にはテーブル２及び加工
槽３の左右においてｖ軸受５が取付けられ、各Ｖ軸受５
！こは軸６が水平方向で、回転可能に、かつ軸方向に移
動可能に支持され、これらの軸６は高精度に研削され、
かつ同径に形成され、高さ、真直度が一致され、サブミ
クロンの精度で軸心が一致されている。各軸６の先端部
は加工槽３内に挿通され、シール甘子によりシールされ
ている。各軸６の先端には対向して微細放電電極８とワ
ーク９が取付けられ、これら微細放電電極８とワーク９
は加工液４に浸漬されている。各ｖ軸受５の底部上には
モータ１０が支持され、各モータ１０の出力軸上に取付
けられたプーリ１１と、各軸θ上に取付けられたプーリ
１２とに丸ヘルド１３が掛けられている。従ってモータ
１ｏの駆動によりプーリ１１、丸ベルト１３及びプーリ
１２を介して軸６及び微細放電電極８、ワーク９が回転
される。各軸６の後側においで、てこ１４が垂直方向に
設けられ、各てこ１４はその中間部が支点１５により揺
動可能に支持されている。基台１上には各Ｖ軸受５の外
側において支持部材１６が取付けられ、各支持部材１６
に送りねじ１７が水平方向て進退可能に螺合されている
。
が左右方向に微小移動可能に支持されている。テーブル
２上には加工槽３が支持され、加工槽３内は加工液４に
より満たされている。基台１上にはテーブル２及び加工
槽３の左右においてｖ軸受５が取付けられ、各Ｖ軸受５
！こは軸６が水平方向で、回転可能に、かつ軸方向に移
動可能に支持され、これらの軸６は高精度に研削され、
かつ同径に形成され、高さ、真直度が一致され、サブミ
クロンの精度で軸心が一致されている。各軸６の先端部
は加工槽３内に挿通され、シール甘子によりシールされ
ている。各軸６の先端には対向して微細放電電極８とワ
ーク９が取付けられ、これら微細放電電極８とワーク９
は加工液４に浸漬されている。各ｖ軸受５の底部上には
モータ１０が支持され、各モータ１０の出力軸上に取付
けられたプーリ１１と、各軸θ上に取付けられたプーリ
１２とに丸ヘルド１３が掛けられている。従ってモータ
１ｏの駆動によりプーリ１１、丸ベルト１３及びプーリ
１２を介して軸６及び微細放電電極８、ワーク９が回転
される。各軸６の後側においで、てこ１４が垂直方向に
設けられ、各てこ１４はその中間部が支点１５により揺
動可能に支持されている。基台１上には各Ｖ軸受５の外
側において支持部材１６が取付けられ、各支持部材１６
に送りねじ１７が水平方向て進退可能に螺合されている
。
各送りねじ１７の後端にはモータ１８が連係され。
各送りねじ１７の先端はてこ１４の基端部に当接されて
いる。各てこ１４の先端部を軸８の後端面との間には鋼
球１９が介在されている。従ってモータ１８の駆動によ
り送りねじ１７を前進させることによりてこ１４及び鋼
球１９を介して軸６及び微細放電電極８、ワーク９を直
線状に前方へ微動させることができ、また送りねじ１７
を後退させることにより丸ベルト１３の捩れが復元しよ
うとするので、軸６及び微細放電電極８、ワーク９を後
退させることができる。上記微細放電電極８及びワーク
９の外周面の放電加工を行う成形放電電極２０は２軸位
置決めテーブル２１上で、微細放電電極８とワーク９の
軸方向と直交方向に移動可能に支持され、先端部が加工
槽３内に挿入され、シール材２２によりシールされてい
る。この成形放電電極２ｏはマイクロメータ２３の作動
により進退を微調整し得るようになっている。
いる。各てこ１４の先端部を軸８の後端面との間には鋼
球１９が介在されている。従ってモータ１８の駆動によ
り送りねじ１７を前進させることによりてこ１４及び鋼
球１９を介して軸６及び微細放電電極８、ワーク９を直
線状に前方へ微動させることができ、また送りねじ１７
を後退させることにより丸ベルト１３の捩れが復元しよ
うとするので、軸６及び微細放電電極８、ワーク９を後
退させることができる。上記微細放電電極８及びワーク
９の外周面の放電加工を行う成形放電電極２０は２軸位
置決めテーブル２１上で、微細放電電極８とワーク９の
軸方向と直交方向に移動可能に支持され、先端部が加工
槽３内に挿入され、シール材２２によりシールされてい
る。この成形放電電極２ｏはマイクロメータ２３の作動
により進退を微調整し得るようになっている。
第３図（ａ）に示すように微細放電電極８と成形放電電
極２ｏには電源Ｖ、抵抗Ｒ、コンデンサＣを有する放電
回路２４が接続される。そして微細放電電極８側は軸方
向に移動するのて、軸６にブラシ２５を介して接続され
ている。第３図（ｂ）に示すようにワ一り９と成形放電
電極２ｏには同様に放電回路２４が接続される。そして
ワーク９側は軸方向に移動するので、軸６にブラシ２６
を介して接続されている。第３図（ｃ）に示すように微
細放電電極８側とワーク９側の軸６に同様に放電回路２
４がブラシ２５により接続されている。
極２ｏには電源Ｖ、抵抗Ｒ、コンデンサＣを有する放電
回路２４が接続される。そして微細放電電極８側は軸方
向に移動するのて、軸６にブラシ２５を介して接続され
ている。第３図（ｂ）に示すようにワ一り９と成形放電
電極２ｏには同様に放電回路２４が接続される。そして
ワーク９側は軸方向に移動するので、軸６にブラシ２６
を介して接続されている。第３図（ｃ）に示すように微
細放電電極８側とワーク９側の軸６に同様に放電回路２
４がブラシ２５により接続されている。
次に上記実施例の動作について説明する。
まず、第３図（ａ）に示すように微細放電電極８七成形
放電電極２Ｑとに放電回路２４により放電電圧を印加し
、上記のようにモータ１ｏ、１８の駆動により軸６及び
微細放電電極８を回転させながら前進させ、微細放電電
極８を所望の外径に加工する。このとき、軸６及び微細
放電電極８はＶ軸受６により高精度回転しているので、
微細放電電極８を真円度よく加工することができる。次
に第３図（ｂ）に示すようにワーク９と成形放電電極２
０とに放電回路２４により放電電圧を印加し、上記のよ
うにモータ１０．１８の駆動により軸６及びワーク９を
回転させながら前進させ、ワーク９を所望の外径に加工
する。このとき、軸６及びワーク９はＶ軸受６により高
精度回転しているので、ワーク９を真円度よく加工する
ことができる。従って微細放電電極８とワーク９の軸心
が一致する。しかる後、第３図（ｃ）に示すように微細
放電電極８七ワーク９とに放電回路２４により放電電圧
を印加し、微細放電電極８を回転させながら前進させ、
ワーク９を前進させることにより、ワーク９の中心に穴
加工を行う。このとき、上記のように微細放電電極８と
ワーク９の軸心が一致しているので、ワーク９に加工さ
れた微細穴はその外周面に対し高精度な同心度を得るこ
とができる。
放電電極２Ｑとに放電回路２４により放電電圧を印加し
、上記のようにモータ１ｏ、１８の駆動により軸６及び
微細放電電極８を回転させながら前進させ、微細放電電
極８を所望の外径に加工する。このとき、軸６及び微細
放電電極８はＶ軸受６により高精度回転しているので、
微細放電電極８を真円度よく加工することができる。次
に第３図（ｂ）に示すようにワーク９と成形放電電極２
０とに放電回路２４により放電電圧を印加し、上記のよ
うにモータ１０．１８の駆動により軸６及びワーク９を
回転させながら前進させ、ワーク９を所望の外径に加工
する。このとき、軸６及びワーク９はＶ軸受６により高
精度回転しているので、ワーク９を真円度よく加工する
ことができる。従って微細放電電極８とワーク９の軸心
が一致する。しかる後、第３図（ｃ）に示すように微細
放電電極８七ワーク９とに放電回路２４により放電電圧
を印加し、微細放電電極８を回転させながら前進させ、
ワーク９を前進させることにより、ワーク９の中心に穴
加工を行う。このとき、上記のように微細放電電極８と
ワーク９の軸心が一致しているので、ワーク９に加工さ
れた微細穴はその外周面に対し高精度な同心度を得るこ
とができる。
なお、ワーク９側を回転させてもよく、むしろ加工速度
を上げることができる。
を上げることができる。
発明の効果
以上述べたように本発明によれば、微細放電電極とワー
クをそれそ″れ回転させながら軸方向に移動させるよう
にし、これら微細放電電極及びワーク外周面の放電加工
を行うための成形放電電極を微細放電電極とワークの軸
方向と直交方向に移動させるようにしているので、微細
放電電極おワークの外周面を成形放電重臣との放電加工
：こより高い真円度で加工することができる。従ってこ
れら微細放電電極とワークの放電加工によりワークに微
細穴を加工する際、微細放電電極とワークは軸心が一致
されているので、ワークの中心に外周面との同心度が高
精度で微細穴加工を行うことができる。
クをそれそ″れ回転させながら軸方向に移動させるよう
にし、これら微細放電電極及びワーク外周面の放電加工
を行うための成形放電電極を微細放電電極とワークの軸
方向と直交方向に移動させるようにしているので、微細
放電電極おワークの外周面を成形放電重臣との放電加工
：こより高い真円度で加工することができる。従ってこ
れら微細放電電極とワークの放電加工によりワークに微
細穴を加工する際、微細放電電極とワークは軸心が一致
されているので、ワークの中心に外周面との同心度が高
精度で微細穴加工を行うことができる。
第１図乃至第３図は本発明の一実施例における微細穴放
電加工装置を示し、第１図は一部破断正面図、第２図は
その一部破断右側面図、第３図（ａ）乃至（ｃ）は放電
回路説明図である。 ３・・加工槽、４・・・加工液、５− Ｖ軸受、６・・
軸、８・・・微細放電電極、９・・・ワーク、１ｏ・・
・モータ、１４・・てこ、１了・・・ねじ、１８・・・
モータ、２０・・・成形放電電極、２４・・・放電回路
、２５・・ブラシ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第３図
電加工装置を示し、第１図は一部破断正面図、第２図は
その一部破断右側面図、第３図（ａ）乃至（ｃ）は放電
回路説明図である。 ３・・加工槽、４・・・加工液、５− Ｖ軸受、６・・
軸、８・・・微細放電電極、９・・・ワーク、１ｏ・・
・モータ、１４・・てこ、１了・・・ねじ、１８・・・
モータ、２０・・・成形放電電極、２４・・・放電回路
、２５・・ブラシ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第３図
Claims (1)
- 微細放電電極と、この微細放電電極を回転させながら軸
方向に移動させる手段と、上記微細放電電極と軸心が一
致されたワークと、このワークを回転させながら軸方向
に移動させる手段と、上記微細放電電極及びワーク外周
面の放電加工を行うための成形放電電極と、この成形放
電電極を上記微細放電電極とワークの軸方向と直交方向
に移動させる手段とを備えたことを特徴とする微細穴放
電加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16692786A JPS6328518A (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 | 微細穴放電加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16692786A JPS6328518A (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 | 微細穴放電加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6328518A true JPS6328518A (ja) | 1988-02-06 |
Family
ID=15840238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16692786A Pending JPS6328518A (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 | 微細穴放電加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6328518A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7041933B2 (en) * | 2003-04-14 | 2006-05-09 | Meyer Tool, Inc. | Complex hole shaping |
| JP2008238372A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Honda Motor Co Ltd | 細穴の放電加工方法 |
-
1986
- 1986-07-16 JP JP16692786A patent/JPS6328518A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7041933B2 (en) * | 2003-04-14 | 2006-05-09 | Meyer Tool, Inc. | Complex hole shaping |
| JP2008238372A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Honda Motor Co Ltd | 細穴の放電加工方法 |
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