JPS63114825A - 放電加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、特にインクジェットプリンタノズル光ファイ
バコタクタ、燃料噴射ノズル、合成繊維ノズル、電子銃
アパーチャ、外科手術用針等のように直径１０ミクロン
から５００ミクロンの微細な径で、寸法及び形状精度が
要求され、しかも径の数倍ないし数十倍の深さの穴を形
成するのに適する放電加工装置に関するものである。

従来の技術 従来、この種の放電加工装置さしては、例えば特開昭５
７−３３９２２号公報や電気加工技術Ｖｏ１．８゜Ｎ０
２１　（１９８４）、３〜６頁に記載されている構成が
知られている。以下、第５図を参照しながら従来の放電
加工装置について説明する。

第６図に示すように電極１０１が穴を高精度に加工し得
るように回転可能に設けられている。この電１１０１と
絶縁液１０２中に浸されている被加工物１０３とに電極
１０４が接続され、この電源１０４により電極１０１と
被加工物１０３とに放電電力が供給印加され、相互の間
の放電により、被加工物１０３の電極１０１に対向する
部分が溶融除去され、電極１０１よす放電ギャップ１０
５分だけ大きな直径の穴１０７が加工される。従って電
極１０１の直径は、加工する穴径に対応させる必要があ
り、あらかじめ所定の径のワイヤー等を使用するか、ま
たは逆放電成形により所定の直径に加工する。

上記穴加工の途中で除去された被加工物は、切粉１０６
となって絶縁液１０２中に拡散していくが、穴が次第に
深くなると切粉１０６の排出が次第に困難となり、放電
ギャップ１０５中に堆積し、電極１０１と被加工物１０
３の間を短絡させる。

従って正常な放電が行なわれなくなり、終には、加工が
停止してしまうため、加工が可能な穴の深さには、加工
電極径及び加工エネルギー値などの条件によシ決定され
る一定の限界がある。その対策の一つの方式としては、
第７図に示すように円柱の一部を切欠いた半月状断面形
状の電極１１３を用いて放電ギャップ１０５内を広くし
、切粉１０６を放電ギャップ１０５よυ排出し易くし、
放電ギャップ１０５中に堆積しないようにする。

他の方式としては、第８図に示すような円筒状の電極１
０８を用いる。この円筒状の電極１０８はロータリーシ
ー／Ｌ／１０９ｔ−介して絶縁液流路１１０の一端に連
通され、絶縁液流路１１０の他端は絶縁液１０２中に開
放されている。絶縁液流路１１０の途中には、ポンプ１
１１が設けられている。この従来例においても、円筒状
の電極１０８と被加工物１０３の間の放電によって被加
工物１０３の電極１０８に対向する部分が溶融除去され
、電極１０８よシ放電ギャップ１０５分だけ大きい径の
穴１０７が加工される。この加工の際、ポンプ１１１に
よって吸上げられた絶縁液１０２は流路１１０よシロー
タリシー／Ｌ／１０９を通シ、円筒状の電極１０８の穴
１１２よシ排出される。この排、出される絶縁液１０２
によシ切粉１０６を放電ギャップ１０５より排出し、放
電ギャップ１０５中に堆積しないようにする。従って加
工速度が向上し、深穴の加工が容易となる。

発明が解決しようとする問題点 しかし、前者においては、直径数十ミクロンの細い電極
に切欠き部を形成するには切削などの機械加工では材料
が曲がり、たわみを生じるため、加工が困難であり、逆
放電成形方法においても、電極の回転を停止させる必要
があるため、二次電極（成形用ブロック）と溶着を起こ
すなど、加工が非常に困難であった。

一方、後者においては、直径１００ミクロンないし３０
０ミクロン程度の微細径の穴を加工する場合には、円筒
状の電極１０８の直径を小さくする必要があシ、従って
絶縁液１０２の流通を円滑に行いがたく、またポンプ１
１１の圧力を著しく高めなければ絶縁液１０２を供給す
ることができない。また直径１００ミクロン以下の微細
径の穴加工を行うための円筒状電極１０８は、製作その
ものが困難で６Ｄ、結局、比較的大きい径の穴加工にし
か有効でなかった。

いずれにしても、いかなる形状の電極を使用しても被加
工物１０３には電極の直径よシ放電ギャップ分、大きな
径の穴が加工される。従って加工する目的の穴径に対応
させて電極を選択準備し、取り付けるか、または所望の
電極直径になるよう逆放電成形加工を行う必要がある。

しかし、前者においては、限定された種類の電極しかな
く、所望の径の電極を入手するのは容易でなく、しかも
微細な直径のワイヤーを用いると、曲が９、反りなどが
存在し、精度の高い穴加工は困難である。

一方、後者の場合には、成形が比較的熟練を要するむつ
かしい作業であシ、成形に手間がかかる。

そこで、本発明は、直径が数十ミクロンないし３００ミ
クロンの微細径で、深い穴でも簡単な構造で確実に加工
することができ、また異なる直径の穴加工を一種類の直
径の電極で簡単に実施することができるようにした放電
加工装置を提供しようとするものである。

問題点を解決するための手段 そして上記問題点を解決するための本発明の技術的な手
段は、被加工物を設置する容器と、この容器内に入れら
れ、上記被加工物を浸漬する絶縁液と、上記被加工物の
放電加工を行なう電極と、この電極を回転させる手段と
、上記電極を軸心の平行に任意の位置に移動させて保持
する電極位置微動装置と、上記電極と被加工物との相対
距離を調整する駆動手段と、上記電極と被加工物との間
で生じさせる放電電力を供給する電源とを備えたもので
ある。

作　　用 上記技術的手段による作用は次のようになる。

すなわち、電極を回転中心に対しずらせて位置させるよ
うに電極位置微動装置によシ調整し、目的の穴径に対応
させて加工を行なうことができる。

従って被加工物と電極との放電ギャップをステップ的に
変化させることができ、これによシ切粉を放電ギャップ
部よシ外部に！実に排出し、穴加工を行なうことができ
る。また上記のように電極位置を調整することにより一
種類の径の電極で、任意の直径の穴加工を行なうことが
できる。

実施例 以下、本発明の実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。

まず、本発明の第１実施例について説明する。

第１図は本発明の第１実施例における放電加工装置を示
す概要斜視図である。

第１図において、１は絶縁材製の容器（加工槽）、２は
容器１内に入れられた絶縁液（放電加工液）、ａは被加
工物で、容器１内に固定され、絶縁液２中に浸漬されて
いる。４は電極、５は電極４を保持する回転マンドレμ
で、電極位置微動装置６が備えられている。これら電極
４及び回転ヤンドレ／Ｌ１５等は回転手段７により矢印
Ｘ方向に回転され、また駆動手段８によシ矢印Ｙａ方向
、すなわち被加工物３の厚さ方向に駆動される。９は加
工用の電源で、電極４と被加工物３に接続され、電極４
と被加工物３との間で放電を行なわせるための放電電力
を供給する。

第２図（ａ＞は回転マンドレ／１１５及び電極位置微動
装置６の詳細を示す斜視図、同図（ｂ＞はその縦断面図
である。第２図（ａ）、（ｂ）に示すように回転マンド
レ／Ｉ１５は筒状に形成され、先端部内側には中心部を
通る細長い案内穴１ｏが形成され、この案内穴１０の長
手方向の両側内壁は平行に対向する案内面１１に形成さ
れている。この案内穴１ｏ内にはセラミックなどよシな
る電極ガイド１２が案内面１１．１１に沿って移動可能
に挿入され、電極ガイド１２の貫通孔１３にワイヤよシ
なる電極４が摺動可能に押通されて保持されている。回
転マンドレ／１１５の先端部に案内面１１と直角方向に
形成されたねじ六に固定ねじ１４が螺入され、この固定
ねじ１４により電極ガイド１２を一方の案内面１１に押
圧して固定することができるようになっている。回転マ
ンドレ）ｖ５の先端部には案内面１１と１１の間で、固
定ねじ１４と直角方向に穴１５が形成され、この穴１５
にマイクロメータヘッド１６の先端部が押通されている
。従って固定ねじ１４を緩め、マイクロメータヘッド１
６前、後進によって電極ガイド１２を案内面１１．１１
に沿って微動させ、電極４を軸心と平行に移動させるこ
とができる。電極４の後端部は回転マンドレル５の後側
部内において、ニッケルなどよりなる保持筒１７に圧入
されて固定状態に保持されている。

回転マンドレル５の後側部には放射方向にねじ孔１８が
形成され（−個のみ図示）、このねじ孔１８に螺入され
た止めねじ１９により保持筒１７が回転マンドレ）ｖ５
に対し固定されると同時に、電極４は保持筒１７と止め
ねじ１９により外部への電気的導通が確保されている。

次に上記実施例の動作について説明する。今、第３図（
ａ）に示すように電極４が回転マンドレ／１１５のほぼ
回転中心２ｏ上に位置しているとする。まず、第１図に
示す電源９を投入すると共に、回転手段７によシミ極４
を回転させながら駆動手段８によシ被加工物３に接近さ
せ、電極４と被加工物３とに電源９により電圧を印加す
る。電極４と被加工物３との相互間の放電により第３図
（、）、（ｂ）に示すように被加工物３に電極４より放
電ギャップ２１分だけ大きな穴２２を加工することがで
きる。

被加工物３の除去された部分は切粉となって絶縁液２中
に拡散する。また電極４の直径より大きい直径の穴加工
を行なう場合には、電極位置微動装置６の固定ねじ１４
を緩め、マイクロメータヘッド１６の作動により電極ガ
イド１２及び電極４をその軸心と平行移動させ、第４図
（、）に示すように電極４の位置を回転インドシル５０
回転中心２〇二９所定の偏心量２３にずらし、固定ねじ
１４によシミ極ガイド１２を回転マンドレ／１１５に固
定する。そして電極４を偏心回転することにより上記と
同様に被加工物３に第４図（、）、（ｂ）に示すような
穴２４を加工することができる。

この時の偏心量２３と加工穴径の関係は次式で表わされ
る。

Ａ＝β＋ｄ＋ｇ Ａ：加工穴径 β：偏心量 ｄ：電極の半径寸法 ｇ：放電ギャップ すなわち、電極４の直径を変更することなく、偏心量２
３を調整することにょシ任意の径の穴加工を自由に行な
うことができる。また電極４は第４図（、）、（ｂ）に
示すように遊星運動し、加工する穴径に対し、放電ギャ
ップ部２１の対向する面において、隙間が大となるので
、切粉の排出が容易とな夛、穴径に対し数十倍の深穴加
工を行なうこと力子できる。

次に本発明の第２実施例について説明する。第５図（、
）は本発明の第２実施例に用いる電極の形状を示す斜視
図、第５図（ｂ）はその電極を形成するための原理説明
図である。

本実施例においては、特に直径数十ミクロン程度の電極
４の直径に近い径の深穴加工を行なう場合に適する。

上記従来例で説明したように第８図に示す円筒状の電１
ｉ１０８により加工を行なうと、被加工物１０３は切粉
１０６となって絶縁液１０２中に拡散されるが、穴１０
７が深くなると切粉１０６の排出が困難となシ、放電ギ
ャップ部１０５に堆積し、電極１０８と被加工物１０３
とを短絡させる。

従って正常な放電が行なわれなくなシ加工が停止してし
まう。

そこで、本実施例にあっては、第５図（、）に示すよう
に断面がほぼ半月状の電極４を用いて被加工物３の穴加
工を行なう。このような電極４を用いることにより切粉
の排出を容易に行なうことができ、放電ギャップ部への
堆積を防止して深穴加工を行なうことができることは上
記従来例の第７図において説明した通シである。

また上記従来例の説明より明らかなように断面半月状の
電極の製作は非常に困難であった。つまり穴径が数十ミ
クロン程度の加工においては、電極径も非常に小さくな
シ、研削などの機械加工では、不可能であシ、また逆放
電成形を用いても、切欠部は電極の回転を停止して成形
する必要があるため、電極と逆放電成形ブロックが溶着
し作業が困難てあった。しかし、本発明の放電加工装置
を用いることにより上記半月状の電極４を容易に製作で
きる。この製作プロセスを第５図（ｂ）を参照して説明
すると、電極４の中心２５を回転中心２０より偏心量２
３だけ、電極位置微動装置６により調整して固定する。

一方、被加工物３に代えて容器１内に電極成形ブロック
２６を設置する。

そして上記のように電極４を回転手段７に回転させなが
ら駆動手段により電極成形ブロック２６の側面に接近さ
せると、放電を開始し、電極４の外周一部に成形除去部
２７のみが加工されて除去され、一部が切欠かれた半月
状の電極４を得ることができる。

発明の効果 以上の説明より明らかなように本発明によれば、容器内
に設置され、絶縁液に浸漬された被加工物に穴加工を行
なう電極を電極位置微動装置により軸心と平行に任意の
位置に移動させて保持するようにしている。従って、１
００ないし３００ミクロンの微細径で深い穴を加工する
場合でも樺実に切粉を排出して穴加工を行なうことがで
きる。また異なる穴径の加工を一種類の直径の電極で容
易に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図は本発明の第１実施例における放電
加工装置を示し、第１図は要部の斜視図、第２図（ａ）
は電極位置微動装置を示す斜視図、同図（ｂ）はその縦
断面図、第３図（ａ）と（ｂ）及び第４図！りと（ｂｌ
はそれぞれ穴加工動作説明用の一部破断概略正面図と電
極及び加工穴の関係を示す平面図、第５図（−）は本発
明の第２実施例に用いる電極の絡挽回、同図（ｂｌはそ
の電極を形成するための原理説明図、第６図は従来の放
電加工装置を示す要部の断面図、第７図は従来の放電加
工装置に用いる半月状電極の斜視図、第８図は従来の放
電加工装置の他の例を示す要部の断面図である。 １・・・・・・容器、２・・・・・・絶縁液、３・・・
・・・被加工物、４・・・・・・電極、５・・・・・・
回転マンドレル、６・・・・・・電極位置微動装置、７
・・・・・・回転手段、８・・・・・・駆動手段、９・
・・・・・電源、１２・・・・・・電極ガイド、１６・
・・・・・マイクロメータヘッド、１７・・・・・・保
持筒。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図 ７日 第２図（２１） 第２図（ｂ） ／Ｚ’％Ｌ１７７″／ＩＩ− 第３図（３）　　　　第４図（１） 第５図（ａ） 第５図（ｂ） 第６図 第７図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被加工物を設置する容器と、この容器内に入れられ、上
   記被加工物を浸漬する絶縁液と、上記被加工物の放電加
   工を行なう電極と、この電極を回転させる手段と、上記
   電極を軸心と平行に任意の位置に移動させて保持する電
   極位置微動装置と、上記電極と加工物との相対距離を調
   整する駆動手段と、上記電極と被加工物との間で生じさ
   せる放電電力を供給する電源とを備えたことを特徴とす
   る放電加工装置。