JPS6328516Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6328516Y2 JPS6328516Y2 JP1982037791U JP3779182U JPS6328516Y2 JP S6328516 Y2 JPS6328516 Y2 JP S6328516Y2 JP 1982037791 U JP1982037791 U JP 1982037791U JP 3779182 U JP3779182 U JP 3779182U JP S6328516 Y2 JPS6328516 Y2 JP S6328516Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- emitter
- electron gun
- terminal
- chamber
- terminal plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 27
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、電子銃室内に於いて電子銃電源と、
電子銃各電極を接続又は切り離す機構を設けた電
子銃に関する。
電子銃各電極を接続又は切り離す機構を設けた電
子銃に関する。
電界放出型電子銃は、第1図に示すようにエミ
ツタ1と引出し電極2の間に、引出し電圧として
引出し電源7より十数KV程度の電圧が印加さ
れ、又エミツタ1と接地電極(陽極)3の間に
は、加速電源8より加速電圧として数十〜百KV
程度の電圧が印加される構造となつている。とこ
ろで、前記エミツタ1の先端の曲率半径は、数
1000Åと極微小であるため引出し電極2と接地電
極3の間に起る微小放電のため、エミツタが損傷
する場合がある。この微小放電は引出し電極2と
接地電極3の絶縁破壊により発生するが、この引
出し電極2と、接地電極3の間で絶縁破壊による
放電が発生すると、引出し電極2は瞬間的にOV
となり、エミツタ1と引出し電極2の間に加速電
圧である例えば100KV程度の高電圧が印加され
ることになり引出し電極2と、エミツタ1の間で
新たな放電が発生しエミツタを損傷させる結果と
なるためである。
ツタ1と引出し電極2の間に、引出し電圧として
引出し電源7より十数KV程度の電圧が印加さ
れ、又エミツタ1と接地電極(陽極)3の間に
は、加速電源8より加速電圧として数十〜百KV
程度の電圧が印加される構造となつている。とこ
ろで、前記エミツタ1の先端の曲率半径は、数
1000Åと極微小であるため引出し電極2と接地電
極3の間に起る微小放電のため、エミツタが損傷
する場合がある。この微小放電は引出し電極2と
接地電極3の絶縁破壊により発生するが、この引
出し電極2と、接地電極3の間で絶縁破壊による
放電が発生すると、引出し電極2は瞬間的にOV
となり、エミツタ1と引出し電極2の間に加速電
圧である例えば100KV程度の高電圧が印加され
ることになり引出し電極2と、エミツタ1の間で
新たな放電が発生しエミツタを損傷させる結果と
なるためである。
ところで、この引出し電極2と接地電極3の間
の放電を防止する方法として、従来より高電圧で
電子を加速する電子銃においては、通常の運転を
開始する前に所謂“コンデシヨニング”と称する
処理を行つている。この“コンデシヨニング”
は、エミツタ1と引出し電極2を短絡し、これら
と接地電極3の間に通常運転される加速電圧より
数割高い電圧を印加することにより強制的に微小
放電を起し放電の原因となる電極表面の微小突起
がゴミ等を取り除き、放電を起りにくい状態にす
るものである。この“コンデシヨニング”処理を
行うには各電極間の接続や遮断を行うスイツチン
グ手段を設ける必要がある。このスイツチング手
段を設ける場合電子銃電源側に近い箇所に設ける
こともできるが、この場合これらを接続するケー
ブル等が有する固有抵抗等の関係で“コンデシヨ
ニング”を行つた場合エミツタ1と、引出し電極
2の間に電位差が生ずるという不都合があつた。
このため、従来はこの“コンデシヨニング”処理
に伴う各電極間の接続や遮断は、第1図のエミツ
タ1と絶縁ケーブル5の間にスイツチング手段4
を設けることにより行つていた。ところで、この
スイツチング手段は高電圧を電子銃室近傍で接続
又は遮断するため、ガス中又は絶縁油中で動作さ
せなければならず構造が複雑となり装置が大型に
なるという欠点があつた。
の放電を防止する方法として、従来より高電圧で
電子を加速する電子銃においては、通常の運転を
開始する前に所謂“コンデシヨニング”と称する
処理を行つている。この“コンデシヨニング”
は、エミツタ1と引出し電極2を短絡し、これら
と接地電極3の間に通常運転される加速電圧より
数割高い電圧を印加することにより強制的に微小
放電を起し放電の原因となる電極表面の微小突起
がゴミ等を取り除き、放電を起りにくい状態にす
るものである。この“コンデシヨニング”処理を
行うには各電極間の接続や遮断を行うスイツチン
グ手段を設ける必要がある。このスイツチング手
段を設ける場合電子銃電源側に近い箇所に設ける
こともできるが、この場合これらを接続するケー
ブル等が有する固有抵抗等の関係で“コンデシヨ
ニング”を行つた場合エミツタ1と、引出し電極
2の間に電位差が生ずるという不都合があつた。
このため、従来はこの“コンデシヨニング”処理
に伴う各電極間の接続や遮断は、第1図のエミツ
タ1と絶縁ケーブル5の間にスイツチング手段4
を設けることにより行つていた。ところで、この
スイツチング手段は高電圧を電子銃室近傍で接続
又は遮断するため、ガス中又は絶縁油中で動作さ
せなければならず構造が複雑となり装置が大型に
なるという欠点があつた。
本考案は以上の欠点に鑑みなされたもので、内
部が真空に排気される電子銃室内に配置されるエ
ミツタ11と、該エミツタを加熱するためのヒー
タ11aと、該エミツタから電子を引出しするた
めの引出し電極12と、前記電子銃室外に配置さ
れたヒーター加熱電源28、引出し電源29及び
加速電源30と、これら各電源28,29,30
よりのケーブルを頭部室蓋24を貫通して該室内
に導入するための絶縁ブツシング25を備えた電
子銃において、前記ブツシングは真空を維持しつ
つその導入軸を回転軸として回転可能にされてお
り、該ブツシングの回転と一体的に回転し前記引
出し電源29に接続された導電性端子板21が前
記室内に設けられており、前記エミツタに接続さ
れた導電性端子板18bと前記引出し電極に接続
された導電性端子板18aが共に前記室内に固定
されており、前記端子板21,18a,18bの
位置及び形状は前記ブツシングのある回転角度に
おいて前記端子板21に端子板18aと18bが
共に接触しこの角度とは異なつたある角度におい
て前記端子板21に端子板18aのみが接触する
ようになつていることを特徴としており、このよ
うに成すことにより各電極と、電源との接続およ
び切り離しを真空を保つた電子銃室内でできる電
子銃を実現したものである。
部が真空に排気される電子銃室内に配置されるエ
ミツタ11と、該エミツタを加熱するためのヒー
タ11aと、該エミツタから電子を引出しするた
めの引出し電極12と、前記電子銃室外に配置さ
れたヒーター加熱電源28、引出し電源29及び
加速電源30と、これら各電源28,29,30
よりのケーブルを頭部室蓋24を貫通して該室内
に導入するための絶縁ブツシング25を備えた電
子銃において、前記ブツシングは真空を維持しつ
つその導入軸を回転軸として回転可能にされてお
り、該ブツシングの回転と一体的に回転し前記引
出し電源29に接続された導電性端子板21が前
記室内に設けられており、前記エミツタに接続さ
れた導電性端子板18bと前記引出し電極に接続
された導電性端子板18aが共に前記室内に固定
されており、前記端子板21,18a,18bの
位置及び形状は前記ブツシングのある回転角度に
おいて前記端子板21に端子板18aと18bが
共に接触しこの角度とは異なつたある角度におい
て前記端子板21に端子板18aのみが接触する
ようになつていることを特徴としており、このよ
うに成すことにより各電極と、電源との接続およ
び切り離しを真空を保つた電子銃室内でできる電
子銃を実現したものである。
以下、図面により本考案の一実施例について詳
述する。第2図は、本考案の一実施例を示す電子
銃の縦断面図で、第3図は第2図で示した各構成
要素の電気的接続状態を示す図である。図中11
は、電子線を発生するエミツタ、11aはエミツ
タ11を保持し加熱するヒータ、12は該エミツ
タの先端に電界放出を行うに必要な強電界を与え
る引出し電極、13は接地電極(陽極)、14は
エミツタ11を支えるエミツタ取付板、15は環
状のエミツタ導電性端子板(以下端子と略記す
る)17を固定する絶縁物からなるエミツタ端子
取付板、16は環状の引出し電極用端子18a
と、該端子18aとは独立して配置された導電部
材18bとを固定する引出し電極用端子取付板で
ある。該導電部材28bと、環状のエミツタ端子
17とは電気的に接続されている。絶縁ケーブル
26の一端には絶縁ブツシング25が形成され、
該絶縁ブツシング25の先端には、ケーブル端子
19及び絶縁ブツシング25の先端部の円周上に
は、ケーブル端子20,21が形成されている。
該ケーブル端子19は、エミツタ11のヒータ1
1aの一端に電気的に接続されたヒータ用端子2
2と常に接続している。該ケーブル端子20は環
状であり、該環状の外側は、環状のエミツタ端子
17の内側と接続している。該ケーブル端子21
は半環状に形成され、該半環状端子21の外側
は、前記端子18aと18bの内側に接触し得る
ように配置されている。30は加速電源であり、
該電源30からの加速電圧はケーブル端子20を
介して該環状のエミツタ端子17に印加される。
29は引出し電圧電源であり、該電源29からの
引出し電圧は半環状のケーブル端子21に印加さ
れる。28はヒータ11aの加熱電源であり、該
28はケーブル端子19とケーブル端子20とに
接続されている。尚23は引出し電極12を接地
電極13より絶縁するための固定する役目をす
る。例えば碍子よりなる絶縁板であり、24は電
子銃室の気密を保持する電子銃室蓋である。該絶
縁板23、電子銃室蓋24の中央部には、絶縁ブ
ツシング25が貫通するための穴があけられてお
り、絶縁ブツシング25はこの穴を貫通して配置
される該絶縁ブツシングに固定された端子19,
20,21はハンドル27の操作により電子銃室
外部から回転させられる。
述する。第2図は、本考案の一実施例を示す電子
銃の縦断面図で、第3図は第2図で示した各構成
要素の電気的接続状態を示す図である。図中11
は、電子線を発生するエミツタ、11aはエミツ
タ11を保持し加熱するヒータ、12は該エミツ
タの先端に電界放出を行うに必要な強電界を与え
る引出し電極、13は接地電極(陽極)、14は
エミツタ11を支えるエミツタ取付板、15は環
状のエミツタ導電性端子板(以下端子と略記す
る)17を固定する絶縁物からなるエミツタ端子
取付板、16は環状の引出し電極用端子18a
と、該端子18aとは独立して配置された導電部
材18bとを固定する引出し電極用端子取付板で
ある。該導電部材28bと、環状のエミツタ端子
17とは電気的に接続されている。絶縁ケーブル
26の一端には絶縁ブツシング25が形成され、
該絶縁ブツシング25の先端には、ケーブル端子
19及び絶縁ブツシング25の先端部の円周上に
は、ケーブル端子20,21が形成されている。
該ケーブル端子19は、エミツタ11のヒータ1
1aの一端に電気的に接続されたヒータ用端子2
2と常に接続している。該ケーブル端子20は環
状であり、該環状の外側は、環状のエミツタ端子
17の内側と接続している。該ケーブル端子21
は半環状に形成され、該半環状端子21の外側
は、前記端子18aと18bの内側に接触し得る
ように配置されている。30は加速電源であり、
該電源30からの加速電圧はケーブル端子20を
介して該環状のエミツタ端子17に印加される。
29は引出し電圧電源であり、該電源29からの
引出し電圧は半環状のケーブル端子21に印加さ
れる。28はヒータ11aの加熱電源であり、該
28はケーブル端子19とケーブル端子20とに
接続されている。尚23は引出し電極12を接地
電極13より絶縁するための固定する役目をす
る。例えば碍子よりなる絶縁板であり、24は電
子銃室の気密を保持する電子銃室蓋である。該絶
縁板23、電子銃室蓋24の中央部には、絶縁ブ
ツシング25が貫通するための穴があけられてお
り、絶縁ブツシング25はこの穴を貫通して配置
される該絶縁ブツシングに固定された端子19,
20,21はハンドル27の操作により電子銃室
外部から回転させられる。
以上の構成において、電子銃電源と電子銃各電
極を接続するためには、絶縁ブツシング25を電
子銃室蓋及び絶縁板23にあけられた穴を貫通し
て接続する。この時絶縁ブツシング25の先端の
ケーブル端子19,20,21の各端子が電子銃
室内のヒータ用端子22,エミツタ端子17,引
出し電極用端子18aあるいは端子18bに夫々
接触し接続される。第3図は、この接続状態を示
しており、第3図aは“コンデシヨニング”処理
を行う場合の接続状態を表している。“コンデシ
ヨニング”処理を行うには引出し電源29の出力
を零とし、加速電源30の電圧を通常の運転時よ
り約1〜2割高くすることにより行う。この場合
ケーブル端子21は端子18aと18bとの両方
に接触しており、端子21、端子17を介して引
出し電極12とエミツタ11は短絡され、これら
と接地電極13の間に高電圧が印加され“コンデ
シヨニング”処理が行われる。次に電界放出を行
う通常の操作は、絶縁ブツシング25に固定され
ているハンドル27により該ブツシング25を回
転させることにより行う。ハンドル27を右に
90゜回転するとケーブル端子21と加速電圧が印
加されている端子18bとの電気的接続は切り離
され、該端子21を介して接続されていたエミツ
タ11と引出し電極12の短絡は解除されて、ケ
ーブル端子21と引出し電極用端子18aのみが
接続される。ここで引出し電源29,加速電源3
0を規定の値に調整することにより、通常のオペ
レーシヨン操作を行うことができる。第3図b
は、通常のオペレーシヨン時の接続状態を表した
図である。以上、本考案について詳述したが、本
考案は実施例装置に限定されるものではなく、例
えば電界放出電子銃であつてもエミツタを加熱し
ない状態で電界放出を行うタイプの電子銃につい
ても適用することができる。
極を接続するためには、絶縁ブツシング25を電
子銃室蓋及び絶縁板23にあけられた穴を貫通し
て接続する。この時絶縁ブツシング25の先端の
ケーブル端子19,20,21の各端子が電子銃
室内のヒータ用端子22,エミツタ端子17,引
出し電極用端子18aあるいは端子18bに夫々
接触し接続される。第3図は、この接続状態を示
しており、第3図aは“コンデシヨニング”処理
を行う場合の接続状態を表している。“コンデシ
ヨニング”処理を行うには引出し電源29の出力
を零とし、加速電源30の電圧を通常の運転時よ
り約1〜2割高くすることにより行う。この場合
ケーブル端子21は端子18aと18bとの両方
に接触しており、端子21、端子17を介して引
出し電極12とエミツタ11は短絡され、これら
と接地電極13の間に高電圧が印加され“コンデ
シヨニング”処理が行われる。次に電界放出を行
う通常の操作は、絶縁ブツシング25に固定され
ているハンドル27により該ブツシング25を回
転させることにより行う。ハンドル27を右に
90゜回転するとケーブル端子21と加速電圧が印
加されている端子18bとの電気的接続は切り離
され、該端子21を介して接続されていたエミツ
タ11と引出し電極12の短絡は解除されて、ケ
ーブル端子21と引出し電極用端子18aのみが
接続される。ここで引出し電源29,加速電源3
0を規定の値に調整することにより、通常のオペ
レーシヨン操作を行うことができる。第3図b
は、通常のオペレーシヨン時の接続状態を表した
図である。以上、本考案について詳述したが、本
考案は実施例装置に限定されるものではなく、例
えば電界放出電子銃であつてもエミツタを加熱し
ない状態で電界放出を行うタイプの電子銃につい
ても適用することができる。
以上の様に本考案は、従来電子銃室外の近傍に
おいて行つていた電子銃電源と、電子銃各電極に
結線切り換えを、真空に保持された電子銃室内で
行うことにより、エミツタと引出し電極を最短距
離で確実に接続することができ、又装置の構造が
簡単となるため、操作がしやすく小型となりメン
テナンスが容易であるという効果が極めて大き
い。
おいて行つていた電子銃電源と、電子銃各電極に
結線切り換えを、真空に保持された電子銃室内で
行うことにより、エミツタと引出し電極を最短距
離で確実に接続することができ、又装置の構造が
簡単となるため、操作がしやすく小型となりメン
テナンスが容易であるという効果が極めて大き
い。
第1図は従来装置を説明するための図、第2図
は本考案の一実施例装置を示す縦断面図、第3図
は第2図に示した装置の電気的接続状態を示す図
である。 11……エミツタ、11a……ヒータ、12…
…引出し電極、13……接地電極、14……エミ
ツタ取付板、15……エミツタ端子取付板、16
……引出し電極用端子取付板、17……エミツタ
端子、18a……引出し電極用端子、18b……
導電部材、19,20,21……ケーブル端子、
22……ヒータ端子、23……絶縁板、24……
電子銃室蓋、25……絶縁ブツシング、26……
絶縁ケーブル、27……ハンドル、28……ヒー
タ、29……引出し電源、30……加速電源。
は本考案の一実施例装置を示す縦断面図、第3図
は第2図に示した装置の電気的接続状態を示す図
である。 11……エミツタ、11a……ヒータ、12…
…引出し電極、13……接地電極、14……エミ
ツタ取付板、15……エミツタ端子取付板、16
……引出し電極用端子取付板、17……エミツタ
端子、18a……引出し電極用端子、18b……
導電部材、19,20,21……ケーブル端子、
22……ヒータ端子、23……絶縁板、24……
電子銃室蓋、25……絶縁ブツシング、26……
絶縁ケーブル、27……ハンドル、28……ヒー
タ、29……引出し電源、30……加速電源。
Claims (1)
- 内部が真空に排気される電子銃室内に配置され
るエミツタ11と、該エミツタを加熱するための
ヒータ11aと、該エミツタから電子を引出しす
るための引出し電極12と、前記電子銃室外に配
置されたヒーター加熱電源28、引出し電源29
及び加速電源30と、これら各電源28,29,
30よりのケーブルを頭部室蓋24を貫通して該
室内に導入するための絶縁ブツシング25を備え
た電子銃において、前記ブツシングは真空を維持
しつつその導入軸を回転軸として回転可能にされ
ており、該ブツシングの回転と一体的に回転し前
記引出し電源29に接続された導電性端子板21
が前記室内に設けられており、前記エミツタに接
続された導電性端子板18bと前記引出し電極に
接続された導電性端子板18aが共に前記室内に
固定されており、前記端子板21,18a,18
bの位置及び形状は前記ブツシングのある回転角
度において前記端子板21に端子板18aと18
bが共に接触しこの角度とは異なつたある角度に
おいて前記端子板21に端子板18aのみが接触
するようになつていることを特徴とする電子銃。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3779182U JPS58141554U (ja) | 1982-03-17 | 1982-03-17 | 電子銃 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3779182U JPS58141554U (ja) | 1982-03-17 | 1982-03-17 | 電子銃 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58141554U JPS58141554U (ja) | 1983-09-24 |
JPS6328516Y2 true JPS6328516Y2 (ja) | 1988-08-01 |
Family
ID=30049162
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3779182U Granted JPS58141554U (ja) | 1982-03-17 | 1982-03-17 | 電子銃 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58141554U (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49115467A (ja) * | 1973-03-03 | 1974-11-05 |
-
1982
- 1982-03-17 JP JP3779182U patent/JPS58141554U/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49115467A (ja) * | 1973-03-03 | 1974-11-05 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS58141554U (ja) | 1983-09-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH07502862A (ja) | イオンビームガン | |
JPS6328516Y2 (ja) | ||
US2765421A (en) | Electron discharge devices | |
JP2662960B2 (ja) | イオン注入装置 | |
JPH05129047A (ja) | 差込スリーブ | |
JPS6293834A (ja) | イオン源 | |
JPH0559536B2 (ja) | ||
US3973158A (en) | Device comprising an ion source in which the ions are accelerated in a direction perpendicular to a magnetic field of high intensity | |
US3886343A (en) | Polyphase arc stripper | |
JP2003016987A (ja) | ショットキー電子銃及び電子線装置 | |
JPH0615388Y2 (ja) | 電子線発生装置 | |
JPS6340017B2 (ja) | ||
JP2988764B2 (ja) | 直流電圧型加速器の加速管 | |
GB379342A (en) | Improvements in and relating to electric switches of the vacuum type | |
JP3211415B2 (ja) | 回転陽極x線管装置 | |
JP3349642B2 (ja) | イオンビーム加工装置の点検方法 | |
US6049076A (en) | Ion mobility spectrometer | |
GB953524A (en) | Plasma switching electric discharge tube | |
US4628226A (en) | Method and arrangement for preventing cathode damage when switching on field emission electron guns | |
JPH0212374B2 (ja) | ||
JPH01319235A (ja) | 電子線発生装置 | |
JPH08167397A (ja) | イオン銃 | |
US2958006A (en) | Universal bases for thermionic valve tubes | |
JP2930701B2 (ja) | 電界放出型電子銃 | |
JPH09259801A (ja) | 電子銃 |