JPS63277517A - 複合ペロブスカイト化合物前駆体ゾルの製造方法 - Google Patents
複合ペロブスカイト化合物前駆体ゾルの製造方法Info
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- JPS63277517A JPS63277517A JP11257087A JP11257087A JPS63277517A JP S63277517 A JPS63277517 A JP S63277517A JP 11257087 A JP11257087 A JP 11257087A JP 11257087 A JP11257087 A JP 11257087A JP S63277517 A JPS63277517 A JP S63277517A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01G—COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
- C01G23/00—Compounds of titanium
- C01G23/003—Titanates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2002/00—Crystal-structural characteristics
- C01P2002/30—Three-dimensional structures
- C01P2002/34—Three-dimensional structures perovskite-type (ABO3)
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- Inorganic Chemistry (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、複合ペロブスカイト化合物前駆体ゾルの製造
方法に関するものである。詳しく述べるとBaおよび/
またはPb−Tiおよび/または3n系複合ペロブスカ
イト化合物前駆体ゾルの製造方法に関するものでおる。
方法に関するものである。詳しく述べるとBaおよび/
またはPb−Tiおよび/または3n系複合ペロブスカ
イト化合物前駆体ゾルの製造方法に関するものでおる。
(従来の技術〉
現在、ペロブスカイト化合物や複合ペロブスカイト化合
物は、コンデンサ、圧電素子、焦電素子、サーミスタ、
バリスタ、その他の各種センサ、電子デバイス等の形成
に使用されている。
物は、コンデンサ、圧電素子、焦電素子、サーミスタ、
バリスタ、その他の各種センサ、電子デバイス等の形成
に使用されている。
相当する金属アルコキシド化合物を種々用いて、加水分
解することにより複合へロブスカイト化合物を製造する
方法は公知である。例えば、2種類の二価金属のアルコ
キシドとアンチモンアルコキシドまたは二価金属のアル
コキシドと三価金属のアルコキシドとアンチモンアルコ
キシドとを混合して反応させ、該反応生成物を加水分解
する方法(特開昭60−86.026号)、バリウム、
ストロンチウム、カルシウム、鉛等の金属アルコキシド
と、希土類元素、アクチノイド、鉄、コバルト、マンガ
ン等のアルコキシドと、ニオブ、アンチモンまたはタン
タルのアルコキシドとの混合反応生成物を加水分解する
方法(特開昭58−199.716号)、鉛イソプロポ
キシドと、ジルコニウムイソプロポキシドと、チタニウ
ムイソプロポキシドとの混合物を加水分解する方法(特
開昭58−82.121号〉、鉛イソプロポキシドと、
ジルコニウムイソプロポキシドと、チタニウムイソプロ
ポキシドと、ランタンイソプロポキシドとの混合物を加
水分解する方法(特開昭57−82.120号)等があ
る。
解することにより複合へロブスカイト化合物を製造する
方法は公知である。例えば、2種類の二価金属のアルコ
キシドとアンチモンアルコキシドまたは二価金属のアル
コキシドと三価金属のアルコキシドとアンチモンアルコ
キシドとを混合して反応させ、該反応生成物を加水分解
する方法(特開昭60−86.026号)、バリウム、
ストロンチウム、カルシウム、鉛等の金属アルコキシド
と、希土類元素、アクチノイド、鉄、コバルト、マンガ
ン等のアルコキシドと、ニオブ、アンチモンまたはタン
タルのアルコキシドとの混合反応生成物を加水分解する
方法(特開昭58−199.716号)、鉛イソプロポ
キシドと、ジルコニウムイソプロポキシドと、チタニウ
ムイソプロポキシドとの混合物を加水分解する方法(特
開昭58−82.121号〉、鉛イソプロポキシドと、
ジルコニウムイソプロポキシドと、チタニウムイソプロ
ポキシドと、ランタンイソプロポキシドとの混合物を加
水分解する方法(特開昭57−82.120号)等があ
る。
(発明が解決しようとする問題点)
しかしながら、このような方法で得られる複合ペロブス
カイト化合物は、いずれも粉末状として析出してくるの
で、このような粉末を利用する場合、前記素子において
物性の優れた薄膜や微細なパターンを形成させようとし
ても、該粉末を含有するペーストでは正確ないし鮮明な
ものを得ることは困難である。
カイト化合物は、いずれも粉末状として析出してくるの
で、このような粉末を利用する場合、前記素子において
物性の優れた薄膜や微細なパターンを形成させようとし
ても、該粉末を含有するペーストでは正確ないし鮮明な
ものを得ることは困難である。
したがって、本発明の目的は、複合ペロブスカイト化合
物前駆体ゾルの製造方法を提供することにある。本発明
の他の目的は、[3aおよび/またはPb−Tiおよび
/または3n系複合ペロブスカイト化合物前駆体ゾルの
製造方法を提供することにある。
物前駆体ゾルの製造方法を提供することにある。本発明
の他の目的は、[3aおよび/またはPb−Tiおよび
/または3n系複合ペロブスカイト化合物前駆体ゾルの
製造方法を提供することにある。
(問題点を解決するための手段)
上記開目的は、焼成後の組成が一般式I(Ba、 Pb
1−x ) (T i、 5n1−、 ) 03 (I
)(ただし、式中、 x = 0.55 0.9 ≦y≦1.00.
55≦x≦0.9 −(9/7)x+225/140≦
y≦1.O2かつ0.9 ≦x≦1.0 0.45≦
y≦1.0である)となるように、バリウムおよび鉛よ
りなる群から選ばれた少なくとも1種の金属のアルコキ
シドとチタンおよび錫よりなる群から選ばれた少なくと
も1種の金属のアルコキシドとを混合する工程と、該混
合物を加水分解する工程とよりなることを特徴とする複
合ペロブスカイト化合物前駆体ゾルの製造方法により達
成される。本発明はまた、原料アルコキシドの混合およ
び加水分解は水混和性有機溶媒に溶解した状態で行なわ
れる複合ペロブスカイト化合物前駆体ゾルの製造方法で
ある。本発明はざらに、混合工程において0〜100℃
の温度で混合を行ない、かつ加水分解工程において5〜
35℃の温度で反応を行うことを特徴とする複合ペロブ
スカイト化合物前駆体ゾルの製造方法である。本発明は
また、一般式Iにおいて、 x=0.55 0.95≦y≦1.Olかつ0.5
5≦x≦ 1.0x+y≧1.5でy≦1であり、かつ
ゾルは透明である複合ペロブスカイト化合物前駆体ゾル
の製造方法である。
1−x ) (T i、 5n1−、 ) 03 (I
)(ただし、式中、 x = 0.55 0.9 ≦y≦1.00.
55≦x≦0.9 −(9/7)x+225/140≦
y≦1.O2かつ0.9 ≦x≦1.0 0.45≦
y≦1.0である)となるように、バリウムおよび鉛よ
りなる群から選ばれた少なくとも1種の金属のアルコキ
シドとチタンおよび錫よりなる群から選ばれた少なくと
も1種の金属のアルコキシドとを混合する工程と、該混
合物を加水分解する工程とよりなることを特徴とする複
合ペロブスカイト化合物前駆体ゾルの製造方法により達
成される。本発明はまた、原料アルコキシドの混合およ
び加水分解は水混和性有機溶媒に溶解した状態で行なわ
れる複合ペロブスカイト化合物前駆体ゾルの製造方法で
ある。本発明はざらに、混合工程において0〜100℃
の温度で混合を行ない、かつ加水分解工程において5〜
35℃の温度で反応を行うことを特徴とする複合ペロブ
スカイト化合物前駆体ゾルの製造方法である。本発明は
また、一般式Iにおいて、 x=0.55 0.95≦y≦1.Olかつ0.5
5≦x≦ 1.0x+y≧1.5でy≦1であり、かつ
ゾルは透明である複合ペロブスカイト化合物前駆体ゾル
の製造方法である。
。 (作用)
本発明において使用される金属アルコキシドとしては、
例えば、一般式II M (OR)。 (II )(た
だし、式中、Mはバリウム、鉛、チタンまたは錫、nは
金属Mの原子価であり、またRは炭素原子数1〜20、
好ましくは1〜7、より好ましくは1〜4のアルキル基
である。
例えば、一般式II M (OR)。 (II )(た
だし、式中、Mはバリウム、鉛、チタンまたは錫、nは
金属Mの原子価であり、またRは炭素原子数1〜20、
好ましくは1〜7、より好ましくは1〜4のアルキル基
である。
バリウムアルコキシドとしては、例えば、バリウムメト
キシド、バリウムエトキシド、バリウムイソプロポキシ
ド、バリウムn−プロポキシド、バリウムブトキシド類
等がある。
キシド、バリウムエトキシド、バリウムイソプロポキシ
ド、バリウムn−プロポキシド、バリウムブトキシド類
等がある。
鉛アルコキシドとしては、鉛メトキシド、鉛エトキシド
、鉛イソプロポキシド、Ign −プロポキシト、鉛ブ
トキシド類等がある。
、鉛イソプロポキシド、Ign −プロポキシト、鉛ブ
トキシド類等がある。
チタニウムアルコキシドとしては、チタニウムメトキシ
ド、チタニウムエトキシド、チタニウムイソプロポキシ
ド、チタニウムn−プロポキシド、チタニウムブトキシ
ド類等がある。
ド、チタニウムエトキシド、チタニウムイソプロポキシ
ド、チタニウムn−プロポキシド、チタニウムブトキシ
ド類等がある。
錫アルコキシドとしては、錫メトキシド、錫エトキシド
、錫イソプロポキシド、錫n−プロポキシド、錫ブトキ
シド類等がある。
、錫イソプロポキシド、錫n−プロポキシド、錫ブトキ
シド類等がある。
これらの金属アルコキシドは、前記一般式Iにおいて、
Xとyとがつぎの関係を満足するようにバリウムおよび
鉛よりなる群から選ばれた少なくとも1種の金属のアル
コキシドと、錫およびチタンよりなる群から選ばれた少
なくとも1種の金属のアルコキシドとを使用することに
より前記一般式■で表わされる組成を有する複合ペロブ
スカイト化合物前駆体がゾル状物として得られる(第1
図参照)。
Xとyとがつぎの関係を満足するようにバリウムおよび
鉛よりなる群から選ばれた少なくとも1種の金属のアル
コキシドと、錫およびチタンよりなる群から選ばれた少
なくとも1種の金属のアルコキシドとを使用することに
より前記一般式■で表わされる組成を有する複合ペロブ
スカイト化合物前駆体がゾル状物として得られる(第1
図参照)。
0≦x≦0.55 0.9≦y≦1.00.55≦x
≦0.79−(9/7)x+225/140≦y≦1.
0゜か”)0.9≦x≦1.0 0.45≦y≦1.
0また、一般式■おいて x=0.55 0.95≦y≦1.0.かつ0.55
≦x≦1.0x+y≧1.5でy≦1とすれば、特に好
ましい結果が得られる。
≦0.79−(9/7)x+225/140≦y≦1.
0゜か”)0.9≦x≦1.0 0.45≦y≦1.
0また、一般式■おいて x=0.55 0.95≦y≦1.0.かつ0.55
≦x≦1.0x+y≧1.5でy≦1とすれば、特に好
ましい結果が得られる。
本発明方法を行なうには、まず混合工程において、前記
金属アルコキシドが混合される。この金属アルコキシド
の混合は、通常、水混和性有機溶媒に溶解した状態で行
なわれる。その濃度は、有機溶媒に対して金属アルコキ
シドの合計として1X10°2モル/d以下、好ましく
は5X10−3モル/m1以下である。水混和性有機溶
媒としては、例えば、エチレングリコールモノアルキル
エーテル、例えばエチレングリコールモノメチルエーテ
ル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレン
グリコールモノイソプロピルエーテル エチレングリコ
ールモノブチルエーテル、メタノール、エタノール、イ
ソプロパツール、ブタノール類、エチレングリコール、
プロピレングリコール、グリセリン等がある。
金属アルコキシドが混合される。この金属アルコキシド
の混合は、通常、水混和性有機溶媒に溶解した状態で行
なわれる。その濃度は、有機溶媒に対して金属アルコキ
シドの合計として1X10°2モル/d以下、好ましく
は5X10−3モル/m1以下である。水混和性有機溶
媒としては、例えば、エチレングリコールモノアルキル
エーテル、例えばエチレングリコールモノメチルエーテ
ル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレン
グリコールモノイソプロピルエーテル エチレングリコ
ールモノブチルエーテル、メタノール、エタノール、イ
ソプロパツール、ブタノール類、エチレングリコール、
プロピレングリコール、グリセリン等がある。
金属アルコキシドがベンゼン、トルエン、キシレン等の
水不混和性有機溶媒の溶液である場合には、まずこれら
の溶媒を蒸発させたのち、前記水混和性溶媒を添加して
これに溶解させ、得られた各金属アルコキシド溶液を所
定の割合で混合するっこの際の液温は0〜100℃、特
に10〜80℃に保つことが好ましい。これは、混合時
の液温が100’Cを越えると、溶媒である水混和性有
機溶媒の沸点を越える場合が多く、一方、0℃未満では
、冷却を必要として経済的でないからである。
水不混和性有機溶媒の溶液である場合には、まずこれら
の溶媒を蒸発させたのち、前記水混和性溶媒を添加して
これに溶解させ、得られた各金属アルコキシド溶液を所
定の割合で混合するっこの際の液温は0〜100℃、特
に10〜80℃に保つことが好ましい。これは、混合時
の液温が100’Cを越えると、溶媒である水混和性有
機溶媒の沸点を越える場合が多く、一方、0℃未満では
、冷却を必要として経済的でないからである。
なお、この場合、金属アルコキシドの代りに前記溶媒中
に金属を添加してインシチュ(in 5itu)に金属
アルコキシドを形成させてもよい。
に金属を添加してインシチュ(in 5itu)に金属
アルコキシドを形成させてもよい。
金属アルコキシドの混合終了後、該混合液に水と水混和
性有機溶媒、好ましくは溶媒として用いた水混和性有機
溶媒との混合物を徐々に添加しながら撹拌下に加水分解
反応を行なう。水の添加量は金属アルコキシド1モル当
り0.1〜10モル、好ましくは0.5〜4モルである
。加水分解反応は、5〜35℃、好ましくは10〜25
℃で行なわれてる。すなわち、5°C未満では反応速度
が遅く長時間を要するので、不経済であり、一方、35
℃を越えると、生成する複合ペロブスカイト化合物が沈
澱を生じるためゾル状として得られなくなるからである
。
性有機溶媒、好ましくは溶媒として用いた水混和性有機
溶媒との混合物を徐々に添加しながら撹拌下に加水分解
反応を行なう。水の添加量は金属アルコキシド1モル当
り0.1〜10モル、好ましくは0.5〜4モルである
。加水分解反応は、5〜35℃、好ましくは10〜25
℃で行なわれてる。すなわち、5°C未満では反応速度
が遅く長時間を要するので、不経済であり、一方、35
℃を越えると、生成する複合ペロブスカイト化合物が沈
澱を生じるためゾル状として得られなくなるからである
。
このようにして得られる複合ペロブスカイト化合物前駆
体ゾルは、キャスティング法、フローコーター法、ドク
ターナイフ法等によりフィルム状ないしシート状に形成
することもできるし、また各種基板上に全面あるいは所
定のパターンに印刷法その他の方法により画いたのち、
400℃以上、好ましくは600℃以上の温度で焼成す
ることにより複合ペロブスカイト化合物が生成し、これ
により種々の素子やセンサが得られる。
体ゾルは、キャスティング法、フローコーター法、ドク
ターナイフ法等によりフィルム状ないしシート状に形成
することもできるし、また各種基板上に全面あるいは所
定のパターンに印刷法その他の方法により画いたのち、
400℃以上、好ましくは600℃以上の温度で焼成す
ることにより複合ペロブスカイト化合物が生成し、これ
により種々の素子やセンサが得られる。
(実施例)
次に、実施例を挙げて本発明方法をざらに詳細に説明す
る。
る。
実施例1〜17および比較例1〜35
所定量の金属バリウムを脱水したエタノールに撹拌しな
がら溶解し、バリウムエトキシドのエタノール溶液20
〜50dを得た。この溶液に第1表で示した組成となる
ように、必らかしめff1M法によって濃度を決定した
チタニウムテトライソプロポキシドのエタノール溶液(
濃度:3.28〜3.36X10°3モル/d)を加え
た。ざらに鉛イソプロポキシドのエタノール(濃度:1
.27〜3゜43X10−4モル/d)および錫エトキ
シドのエタノール溶液く濃度:2.71〜7.09XI
O−3モル/rnl>を撹拌しながら所定量を加え、均
一な溶液とした。これらの混合工程は20℃の温度で行
った。ついで化学量論量よりわずかに多い2dの水をエ
タノールで希釈して全量を50m1とした水−エタノー
ル混合溶液を徐々に加えて20′Cで加水分解を行った
。結果を第1表に示す。
がら溶解し、バリウムエトキシドのエタノール溶液20
〜50dを得た。この溶液に第1表で示した組成となる
ように、必らかしめff1M法によって濃度を決定した
チタニウムテトライソプロポキシドのエタノール溶液(
濃度:3.28〜3.36X10°3モル/d)を加え
た。ざらに鉛イソプロポキシドのエタノール(濃度:1
.27〜3゜43X10−4モル/d)および錫エトキ
シドのエタノール溶液く濃度:2.71〜7.09XI
O−3モル/rnl>を撹拌しながら所定量を加え、均
一な溶液とした。これらの混合工程は20℃の温度で行
った。ついで化学量論量よりわずかに多い2dの水をエ
タノールで希釈して全量を50m1とした水−エタノー
ル混合溶液を徐々に加えて20′Cで加水分解を行った
。結果を第1表に示す。
(以下余白)
庄蚊桝 組 旦
p工匂LL1 − (続き) 97一 第1表の結果を図示すると、第1図のとおりである。同
図において、白円印および山王角印の番号は実施例番号
であり、黒円印の番号は比較例番号である。第1図から
明らかなように、実線より右上部分の領域では得られる
複合ペロブスカイト化合物前駆体が無色ないし白色透明
ゾル状である。
p工匂LL1 − (続き) 97一 第1表の結果を図示すると、第1図のとおりである。同
図において、白円印および山王角印の番号は実施例番号
であり、黒円印の番号は比較例番号である。第1図から
明らかなように、実線より右上部分の領域では得られる
複合ペロブスカイト化合物前駆体が無色ないし白色透明
ゾル状である。
(発明の効果)
以上述べたように、本発明は、焼成後の組成が一般弐■
(BaxSrl−x)(Zr、5n1−、、)03 (
I)(ただし、式中、 O≦x≦0.55 0.9≧y≦1゜00.55≦x
≦0.79−(9/7)x+225/140≦y≦1.
0゜かツ0.9≦x≦1.0 ()、45≦y≦1
.0である)となるように、バリウムおよび鉛よりなる
群から選ばれた少なくとも1種の金属のアルコキシドと
チタンおよび錫よりなる群から選ばれた少なくとも1種
の金属アルコキシドとを混合する工程と、該混合物を加
水分解する工程とよりなることを特徴とする複合ペロブ
スカイト化合物前駆体ゾルの製造方法であるから、従来
加水分解法では複合ペロブスカイト化合物が沈澱ないし
扮末状でしか得られなかったのに対して、前記組成範囲
内にすることによりゾル状物として得られることを可能
にしたのである。
I)(ただし、式中、 O≦x≦0.55 0.9≧y≦1゜00.55≦x
≦0.79−(9/7)x+225/140≦y≦1.
0゜かツ0.9≦x≦1.0 ()、45≦y≦1
.0である)となるように、バリウムおよび鉛よりなる
群から選ばれた少なくとも1種の金属のアルコキシドと
チタンおよび錫よりなる群から選ばれた少なくとも1種
の金属アルコキシドとを混合する工程と、該混合物を加
水分解する工程とよりなることを特徴とする複合ペロブ
スカイト化合物前駆体ゾルの製造方法であるから、従来
加水分解法では複合ペロブスカイト化合物が沈澱ないし
扮末状でしか得られなかったのに対して、前記組成範囲
内にすることによりゾル状物として得られることを可能
にしたのである。
このような前駆体はゾル状物であるので、コンデンサ、
圧電素子、焦電素子、サーミスタ、バリタ、その他各種
センサ、電子デバイス等の形成に使用した場合、均一な
薄膜が極めて簡単に形成できるだけでなく、また、種々
のパターンを形成させる場合、印刷法等により微細なパ
ターンないし形状が正確かつ鮮明に画けるという利点で
ある。
圧電素子、焦電素子、サーミスタ、バリタ、その他各種
センサ、電子デバイス等の形成に使用した場合、均一な
薄膜が極めて簡単に形成できるだけでなく、また、種々
のパターンを形成させる場合、印刷法等により微細なパ
ターンないし形状が正確かつ鮮明に画けるという利点で
ある。
第1図は、本発明による複合ペロブスカイト化合物前駆
体ゾルの領域を示す図面である。
体ゾルの領域を示す図面である。
Claims (4)
- (1)焼成後の組成が一般式 I (Ba_xPb_1_−_x)(Ti_ySn_1_−
_y)O_3( I ) (ただし、式中、 x=0.55 0.9≦y≦1.0 0.55≦x≦0.9 −(9/7)x+225/14
0≦y≦1.0、かつ0.9≦x≦1.0 0.45≦
y≦1.0である)となるように、バリウムおよび鉛よ
りなる群から選ばれた少なくとも1種の金属のアルコキ
シドとチタンおよび錫よりなる群から選ばれた少なくと
も1種の金属のアルコキシドとを混合する工程と、該混
合物を加水分解する工程とよりなることを特徴とする複
合ペロブスカイト化合物前駆体ゾルの製造方法。 - (2)原料アルコキシドの混合および加水分解は水混和
性有機溶媒に溶解した状態で行なわれる特許請求の範囲
第1項に記載の複合ペロブスカイト化合物前駆体ゾルの
製造方法。 - (3)混合工程において0〜100℃の温度で混合を行
ない、かつ加水分解工程において5〜35℃の温度で反
応を行うことを特徴とする特許請求の範囲第1項または
第2項に記載の複合ペロブスカイト化合物前駆体ゾルの
製造方法。 - (4)一般式 I において、 x=0.55 0.95≦y≦1.0、かつ0.55≦
x≦1.0 x+y≧1.5でy≦1であり、かつゾル
は透明である特許請求の範囲第1項ないし第3項のいず
れか一つに記載の複合ペロブスカイト化合物前駆体ゾル
の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11257087A JPS63277517A (ja) | 1987-05-11 | 1987-05-11 | 複合ペロブスカイト化合物前駆体ゾルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11257087A JPS63277517A (ja) | 1987-05-11 | 1987-05-11 | 複合ペロブスカイト化合物前駆体ゾルの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63277517A true JPS63277517A (ja) | 1988-11-15 |
Family
ID=14590016
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11257087A Pending JPS63277517A (ja) | 1987-05-11 | 1987-05-11 | 複合ペロブスカイト化合物前駆体ゾルの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63277517A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002275390A (ja) * | 2001-03-15 | 2002-09-25 | Fukuoka Prefecture | 結晶性ゲル分散コーティング溶液及び結晶性ゲル分散コーティング溶液を用いた薄膜形成方法 |
JP2005075714A (ja) * | 2003-09-03 | 2005-03-24 | Jsr Corp | ペロブスカイト型結晶粒子の製造方法 |
US7419579B2 (en) | 2004-03-22 | 2008-09-02 | Seiko Epson Corporation | Method for manufacturing a ferroelectric film |
JP2009007247A (ja) * | 2001-08-03 | 2009-01-15 | Nippon Soda Co Ltd | 金属−酸素を有する分散質 |
-
1987
- 1987-05-11 JP JP11257087A patent/JPS63277517A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002275390A (ja) * | 2001-03-15 | 2002-09-25 | Fukuoka Prefecture | 結晶性ゲル分散コーティング溶液及び結晶性ゲル分散コーティング溶液を用いた薄膜形成方法 |
JP2009007247A (ja) * | 2001-08-03 | 2009-01-15 | Nippon Soda Co Ltd | 金属−酸素を有する分散質 |
JP2005075714A (ja) * | 2003-09-03 | 2005-03-24 | Jsr Corp | ペロブスカイト型結晶粒子の製造方法 |
US7419579B2 (en) | 2004-03-22 | 2008-09-02 | Seiko Epson Corporation | Method for manufacturing a ferroelectric film |
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