JPS63274773A - プラズマcvd装置 - Google Patents
プラズマcvd装置Info
- Publication number
- JPS63274773A JPS63274773A JP10997087A JP10997087A JPS63274773A JP S63274773 A JPS63274773 A JP S63274773A JP 10997087 A JP10997087 A JP 10997087A JP 10997087 A JP10997087 A JP 10997087A JP S63274773 A JPS63274773 A JP S63274773A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- window
- substrate
- electrode
- substrate holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明はアモルファスシリコン(a−3i )、窒化シ
リコン(SiN)等の成膜に用いられるプラズマCVD
(PCVD)装置に関する。
リコン(SiN)等の成膜に用いられるプラズマCVD
(PCVD)装置に関する。
(発明の概要〕
本発明はPCVD装置の基板を従来より効率良く加熱す
るためのものである。
るためのものである。
(従来の技術〕
従来第2図のようにシーズヒーターを内含したヒートプ
レートによる加熱が行なわれていた。ヒートプレートは
SUS製なので周囲に熱が伝導し、基板ホルダー以外の
部分を暖めることにエネルギーが使われることが多かっ
た。しかも、図から明らかなようにこの反応室内で最も
高温になるのは基板ではなくヒートプレートである。従
って温度によってはヒートプレート表面でガスの熱分解
反応が生こることがあった。またヒーターの断線等の故
障が生じた際、−たんヒートプレートを反応室から外さ
ねばならず手間がかかるという欠点があった。
レートによる加熱が行なわれていた。ヒートプレートは
SUS製なので周囲に熱が伝導し、基板ホルダー以外の
部分を暖めることにエネルギーが使われることが多かっ
た。しかも、図から明らかなようにこの反応室内で最も
高温になるのは基板ではなくヒートプレートである。従
って温度によってはヒートプレート表面でガスの熱分解
反応が生こることがあった。またヒーターの断線等の故
障が生じた際、−たんヒートプレートを反応室から外さ
ねばならず手間がかかるという欠点があった。
本発明は従来のかかる問題点を解決するためになされた
ものであり、効率的に基板ホルダーを加熱し且つ保守点
検しやすいヒーターを有するPCvo*mを提供するこ
とを目的とする。
ものであり、効率的に基板ホルダーを加熱し且つ保守点
検しやすいヒーターを有するPCvo*mを提供するこ
とを目的とする。
前記問題点を解決するために本発明ではヒータ−を反応
室と別体とし、かつヒーターによる熱線を透過する窓を
基板ホルダーとヒーターの間に設けた。
室と別体とし、かつヒーターによる熱線を透過する窓を
基板ホルダーとヒーターの間に設けた。
(作用〕
本発明のような構造のPCVD装置においてはヒーター
の熱線は効率良く基板ホルダーに吸収され、しかもガス
の熱分解反応が生じる危険はなくその上ヒーターの保守
点検は容易に行うことができる。
の熱線は効率良く基板ホルダーに吸収され、しかもガス
の熱分解反応が生じる危険はなくその上ヒーターの保守
点検は容易に行うことができる。
第1図に本発明のPCVD装置の断面構造図を示す。1
は反応室で5US304.5tJS316等から成る。
は反応室で5US304.5tJS316等から成る。
2はRF電極、3はアースシールドでともに5US30
4等から成る。4は基板ホルダーで5LJS304等か
ら成り、紙面に垂直方向に移動できる。5は基板でガラ
ス、石英等から成る。6は窓で石英、ガラス等から成る
。7は窓6と反応室1を隔てるOリングでEPR,パイ
トン等から成る。8はヒーターで赤外線ランプ等から成
り9は熱の反射板で鏡面の金属板等から成る。
4等から成る。4は基板ホルダーで5LJS304等か
ら成り、紙面に垂直方向に移動できる。5は基板でガラ
ス、石英等から成る。6は窓で石英、ガラス等から成る
。7は窓6と反応室1を隔てるOリングでEPR,パイ
トン等から成る。8はヒーターで赤外線ランプ等から成
り9は熱の反射板で鏡面の金属板等から成る。
第3図にヒーター8の放射率と窓6の透過率を示す。第
3図でわかるように、ヒーター8はほぼ4趨以下の波長
の、熱線を出す。一方窓6は、石英でできているとする
と3珈以下の波長の光は殆んど透過する。従ってヒータ
ー8は窓6を暖めることには殆んど使われず、ヒーター
8から出る熱線は、大部分は基板ホルダー4に到達し、
基板ホルダー4は熱伝導によって基板5を暖める。従っ
てヒーター8は基板ホルダー4以外を加熱する他にはほ
とんど使われない。またヒーター8に故障が生じた際は
反応室1の真空を破ることなく修理することができる。
3図でわかるように、ヒーター8はほぼ4趨以下の波長
の、熱線を出す。一方窓6は、石英でできているとする
と3珈以下の波長の光は殆んど透過する。従ってヒータ
ー8は窓6を暖めることには殆んど使われず、ヒーター
8から出る熱線は、大部分は基板ホルダー4に到達し、
基板ホルダー4は熱伝導によって基板5を暖める。従っ
てヒーター8は基板ホルダー4以外を加熱する他にはほ
とんど使われない。またヒーター8に故障が生じた際は
反応室1の真空を破ることなく修理することができる。
また、ヒーター8の熱は窓6より基板ホルダー4に吸収
される方が多く、反応室1の中で基板ホルダー1以外の
部分が基板ホルダー1以上の温度になることはありえな
い。従って基板ホルダー1の温度をある一定温度以下に
保てば、反応室1の中でガスが熱分解を起こすおそれは
ない。
される方が多く、反応室1の中で基板ホルダー1以外の
部分が基板ホルダー1以上の温度になることはありえな
い。従って基板ホルダー1の温度をある一定温度以下に
保てば、反応室1の中でガスが熱分解を起こすおそれは
ない。
以上で述べたように、本発明のPCVD装置iではヒー
ターは効率良く基板を暖めしかも反応室内で最もB瀉に
なるのは基板ホルダー及び基板であってガスの熱分解反
応が生じるおそれはなく、且つヒーターの保守点検が容
易に行えるという効果がある。
ターは効率良く基板を暖めしかも反応室内で最もB瀉に
なるのは基板ホルダー及び基板であってガスの熱分解反
応が生じるおそれはなく、且つヒーターの保守点検が容
易に行えるという効果がある。
第1図は本発明のPCVD装置の断面図、第2図は従来
のpcvo装置の断面図、第3図はヒーターの放射率と
窓の透過率を示す説明図である。
のpcvo装置の断面図、第3図はヒーターの放射率と
窓の透過率を示す説明図である。
Claims (1)
- 反応室と該反応室内に設けられたRF電極と該RF電極
に相対して設けられた基板ホルダーと該基板ホルダーを
はさんで前記RF電極の反対側に設けられた窓と該窓に
対向して前記反応室の外側に設けられたヒーターとから
成るプラズマCVD装置において、前記窓の材料は前記
ヒーターの熱線を透過させるものであることを特徴とす
るプラズマCVD装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10997087A JPS63274773A (ja) | 1987-05-06 | 1987-05-06 | プラズマcvd装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10997087A JPS63274773A (ja) | 1987-05-06 | 1987-05-06 | プラズマcvd装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63274773A true JPS63274773A (ja) | 1988-11-11 |
Family
ID=14523773
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10997087A Pending JPS63274773A (ja) | 1987-05-06 | 1987-05-06 | プラズマcvd装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63274773A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100466307B1 (ko) * | 1997-10-25 | 2005-05-19 | 삼성전자주식회사 | 반도체소자제조장치및이를이용한디가스공정,식각공정및열처리공정 |
-
1987
- 1987-05-06 JP JP10997087A patent/JPS63274773A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100466307B1 (ko) * | 1997-10-25 | 2005-05-19 | 삼성전자주식회사 | 반도체소자제조장치및이를이용한디가스공정,식각공정및열처리공정 |
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