JPS6325946A - 微動テ−ブル装置 - Google Patents
微動テ−ブル装置Info
- Publication number
- JPS6325946A JPS6325946A JP61167822A JP16782286A JPS6325946A JP S6325946 A JPS6325946 A JP S6325946A JP 61167822 A JP61167822 A JP 61167822A JP 16782286 A JP16782286 A JP 16782286A JP S6325946 A JPS6325946 A JP S6325946A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- hole
- moving direction
- parallelism
- guides
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000008094 contradictory effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、半導体製造装置や精密位置合せ装置等に用い
られる微動テーブル装置。
られる微動テーブル装置。
（従来の技術）
ウェハの露光装置等に用いられるマスク（或いはレチク
ル）、ウェハの位置合わせテーブルは、上下に転写光用
レンズやアライメント用光学系に挾まれて複雑な構造と
なるため、薄型でかつ高精度な三軸微動テーブルが望ま
れている。
ル）、ウェハの位置合わせテーブルは、上下に転写光用
レンズやアライメント用光学系に挾まれて複雑な構造と
なるため、薄型でかつ高精度な三軸微動テーブルが望ま
れている。
第３図２に従来の三軸微動テーブルを示す４；第３図は
下部テーブルＩＩこ中央テーブル移動用ガイド２、ネジ
送り機ｗ３及び駆動用モータ４を設け、中央テーブル５
に上部テーブル移動用ガイド６、ねじ送り機構７及び、
駆動用モータ８を設け、上部テーブル９に回転テーブル
１０を具備した三軸テーブルである。このような三輪テ
ーブルでは各テーブルごとにクロスローラガイド２で上
下方向及びテーブル移動方向を支持している。クロスロ
ーラガイド２は上下方向には各テーブルの自重で、移動
方向には予圧を与えている。このクロスローラガイド２
で支持するために、各テーブルを薄くすると装置全体の
剛性が弱くなる。また、位置合せ時の平行度の管理は各
クロスローラガイド２の製作精度及び組立精度に係わる
。
下部テーブルＩＩこ中央テーブル移動用ガイド２、ネジ
送り機ｗ３及び駆動用モータ４を設け、中央テーブル５
に上部テーブル移動用ガイド６、ねじ送り機構７及び、
駆動用モータ８を設け、上部テーブル９に回転テーブル
１０を具備した三軸テーブルである。このような三輪テ
ーブルでは各テーブルごとにクロスローラガイド２で上
下方向及びテーブル移動方向を支持している。クロスロ
ーラガイド２は上下方向には各テーブルの自重で、移動
方向には予圧を与えている。このクロスローラガイド２
で支持するために、各テーブルを薄くすると装置全体の
剛性が弱くなる。また、位置合せ時の平行度の管理は各
クロスローラガイド２の製作精度及び組立精度に係わる
。
（発明が解決しようとする問題点）
上述したように従来の微動テーブル装置にありでは、剛
性が弱くなる及び装置全体が厚くなるという相反する問
題が生じていた。また平行度の管理にも問題があった。
性が弱くなる及び装置全体が厚くなるという相反する問
題が生じていた。また平行度の管理にも問題があった。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的と
するところは、剛性が強く薄型の微動テーブル装置を提
供することにある。
するところは、剛性が強く薄型の微動テーブル装置を提
供することにある。
（問題点を解決するための手段）
本発明の微動テーブル装置においては、中央に貫通孔を
有してベース上に載置される第１のテーブルと、この貫
通孔に挿通されて第１のテーブル同様にベース上に載置
される第２のテーブルを設け、同一のベース上に複数の
移動テーブルを支持するようにしている。
有してベース上に載置される第１のテーブルと、この貫
通孔に挿通されて第１のテーブル同様にベース上に載置
される第２のテーブルを設け、同一のベース上に複数の
移動テーブルを支持するようにしている。
（作 用）
このように構成されたものにおいては、移動テーブルを
支持する際の平行度の管理は、同一ベース上における各
テーブルの平行度を管理すればよい。また、平行度の管
理にはある程度部材の厚みが必要であり、従来よりも平
行度の管理面が減少することにより全体を薄く構成でき
る。また、同一ベース上に支持したことにより装置の剛
性を高めることができる。
支持する際の平行度の管理は、同一ベース上における各
テーブルの平行度を管理すればよい。また、平行度の管
理にはある程度部材の厚みが必要であり、従来よりも平
行度の管理面が減少することにより全体を薄く構成でき
る。また、同一ベース上に支持したことにより装置の剛
性を高めることができる。
（実施例）
以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明の三軸微動テーブルの一実施例を示す
構成図、第２図は、概略断面図である。
構成図、第２図は、概略断面図である。
ベース１６上にテーブル１７を載せ、それを移動方向と
直交する両側からガイド１８によりはさみ込み、ベース
１６上にガイド１８を固定する。ベース１６上に固定し
た駆動用モータ１９とネジ送り機構２０によりテーブル
１７はベース１６上をガイド１８に沿って移動する。こ
こでネジ送り機構２０のナツト部２０ａはテーブル１７
に固定されでいる。
直交する両側からガイド１８によりはさみ込み、ベース
１６上にガイド１８を固定する。ベース１６上に固定し
た駆動用モータ１９とネジ送り機構２０によりテーブル
１７はベース１６上をガイド１８に沿って移動する。こ
こでネジ送り機構２０のナツト部２０ａはテーブル１７
に固定されでいる。
テーブル１７の略中夫には、テーブル２１が移動できる
大きさの孔が設けられており、ベース１６上にテーブル
１７の中央の孔を通してテーブル２１を載せ、それをテ
ーブル２１の移動方向と直交する両側からガイド２２に
よりはさみ込み、テーブル１７上にガイド２２を固定す
る。テーブル１７沿ツて移動する。ここでネジ送り機構
２４のナツト部２４ａはテーブル２１に固定されている
。
大きさの孔が設けられており、ベース１６上にテーブル
１７の中央の孔を通してテーブル２１を載せ、それをテ
ーブル２１の移動方向と直交する両側からガイド２２に
よりはさみ込み、テーブル１７上にガイド２２を固定す
る。テーブル１７沿ツて移動する。ここでネジ送り機構
２４のナツト部２４ａはテーブル２１に固定されている
。
ここでガイド１８とガイド２２とは互いに交差した方向
になる様に配置しているので、駆動用モータ１９と駆動
用モータ２３を交互、または同時に駆動させるとテーブ
ル２１はベース１６上を直交する二方向に移動する。回
転テーブルを設ける場合、回転テーブル２５はテーブル
２１上に具備されており前記とは別途ガイド、送りネジ
機構、駆動用モータを備えている。
になる様に配置しているので、駆動用モータ１９と駆動
用モータ２３を交互、または同時に駆動させるとテーブ
ル２１はベース１６上を直交する二方向に移動する。回
転テーブルを設ける場合、回転テーブル２５はテーブル
２１上に具備されており前記とは別途ガイド、送りネジ
機構、駆動用モータを備えている。
このように、テーブル１７にテーブル２１の移動範囲を
考慮した孔を設け、ベース１６上に載置したテーブル１
７の孔を通してテーブル２１をベース１６上に載置した
構成になっている。この場合、平行度の管理はベース１
６及び、テーブル１７とテーブル２１のベース１６との
接触面に限られる。したが１で、平行度の管理が容易に
なると共に移動精度が向上する。第３図に示す従来装置
では各テーブルを重ねて配置しているために、各テーブ
ル毎に平行度を管理せねばならず、平行度の管理にはあ
る程度部材の厚さが不可欠なことから必然的に装置全体
が厚くなっていた。しかし、本発明のように、同一ベー
ス１６上に２つのテーブル１７．２１を載置したことに
より薄型化が可能であると共に同一ベース上であるため
に上下方向の剛性も高くできる。また、通常のＤＣモー
タでも駆動できるため制御も簡単である。
考慮した孔を設け、ベース１６上に載置したテーブル１
７の孔を通してテーブル２１をベース１６上に載置した
構成になっている。この場合、平行度の管理はベース１
６及び、テーブル１７とテーブル２１のベース１６との
接触面に限られる。したが１で、平行度の管理が容易に
なると共に移動精度が向上する。第３図に示す従来装置
では各テーブルを重ねて配置しているために、各テーブ
ル毎に平行度を管理せねばならず、平行度の管理にはあ
る程度部材の厚さが不可欠なことから必然的に装置全体
が厚くなっていた。しかし、本発明のように、同一ベー
ス１６上に２つのテーブル１７．２１を載置したことに
より薄型化が可能であると共に同一ベース上であるため
に上下方向の剛性も高くできる。また、通常のＤＣモー
タでも駆動できるため制御も簡単である。
以上詳述したように本発明によれば、薄型で剛性が高く
平行度の管理の容易な微動テーブル装置を提供できる。
平行度の管理の容易な微動テーブル装置を提供できる。
第１図は、本発明の微動テーブル装置の一実施例を示す
斜視図、第２図は、第１図における概略断面図、第３図
は、第１の従来例を示す斜視図１− ′
−である。 １６・・・ベース、１７・・・テーブル、１８・・・ガ
イド、１９・・・駆動用モータ、２０・・・ネジ送り機
構、２１・・・テーブル、２２・・・ガイド、２３・・
・駆動用モータ、２４・・・ネジ送り機構、２５・・・
回転テーブル。
斜視図、第２図は、第１図における概略断面図、第３図
は、第１の従来例を示す斜視図１− ′
−である。 １６・・・ベース、１７・・・テーブル、１８・・・ガ
イド、１９・・・駆動用モータ、２０・・・ネジ送り機
構、２１・・・テーブル、２２・・・ガイド、２３・・
・駆動用モータ、２４・・・ネジ送り機構、２５・・・
回転テーブル。
Claims (1)
- ベースと、このベース上に載置され中央に貫通孔を有
する第１のテーブルと、この第１のテーブルを第１の移
動方向に移動可能にガイドする第１のガイド手段と、前
記第１のテーブルを第１の移動方向に移動させるための
第１の駆動手段と、前記第１のテーブルの貫通孔に挿通
されて前記ベース上に載置される第２のテーブルと、こ
の第２のテーブルを前記第１の移動方向には前記第１の
テーブルと一体的に移動可能とし、第２の移動方向には
単独で移動可能なようにガイドする第２のガイド手段と
、前記第２のテーブルを前記第２の移動方向に移動させ
るための第２の駆動手段とを具備したことを特徴とする
微動テーブル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61167822A JPS6325946A (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | 微動テ−ブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61167822A JPS6325946A (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | 微動テ−ブル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6325946A true JPS6325946A (ja) | 1988-02-03 |
Family
ID=15856737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61167822A Pending JPS6325946A (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | 微動テ−ブル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6325946A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4948330A (en) * | 1988-02-08 | 1990-08-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Alignment stage device |
-
1986
- 1986-07-18 JP JP61167822A patent/JPS6325946A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4948330A (en) * | 1988-02-08 | 1990-08-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Alignment stage device |
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