JPS6325749Y2 - - Google Patents
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- JPS6325749Y2 JPS6325749Y2 JP16536682U JP16536682U JPS6325749Y2 JP S6325749 Y2 JPS6325749 Y2 JP S6325749Y2 JP 16536682 U JP16536682 U JP 16536682U JP 16536682 U JP16536682 U JP 16536682U JP S6325749 Y2 JPS6325749 Y2 JP S6325749Y2
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Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の技術分野〕
本考案は共振器を構成する複数の反射鏡のうち
レーザ光を外部に出力させる出力側反射鏡への結
露を防止したレーザ装置に関する。[Detailed Description of the Invention] [Technical Field of the Invention] The present invention relates to a laser device that prevents dew condensation on an output-side reflecting mirror that outputs laser light to the outside among a plurality of reflecting mirrors constituting a resonator.
たとえば、CO2レーザなどのレーザ装置は、真
空構造の本体内にレーザ媒質となるガスを循環さ
せるとともに、上記本体内の一部に電極および複
数枚の反射鏡を対向させて配置することにより共
振器を形成している。そして、上記電極でレーザ
媒質を励起することにより、複数枚の反射鏡のう
ち、他の反射鏡よりも反射率が低く形成されてい
るとともに一側面が大気に露出して設けられた出
力側の反射鏡からレーザ光が出力されるようにな
つている。
For example, a laser device such as a CO 2 laser circulates a gas serving as a laser medium within a vacuum-structured main body, and also generates resonance by arranging electrodes and multiple reflecting mirrors facing each other in a part of the main body. It forms a vessel. By exciting the laser medium with the electrode, the output side of the plurality of reflecting mirrors is formed with a lower reflectance than the other reflecting mirrors and one side is exposed to the atmosphere. Laser light is output from the reflecting mirror.
ところで、このようなレーザ装置においては、
上記各反射鏡がレーザ光を吸収して熱歪を生じ、
損傷することがあるので、これを防止するために
各反射鏡を常温よりも低い温度に制御された冷却
水で冷却するようにしている。 By the way, in such a laser device,
Each of the above reflecting mirrors absorbs laser light and causes thermal distortion,
To prevent damage, each reflecting mirror is cooled with cooling water controlled at a temperature lower than room temperature.
しかしながら、このようなレーザ装置による
と、レーザ光を発振させている間はとくに問題が
ないのだが、その発振を停止させると、反射鏡が
冷却水によつて大気温度よりも低い温度に冷却さ
れる。すると、複数枚の反射鏡のうち、出力側の
反射鏡の大気に露出した一側面に結露することが
あるので、この反射鏡が汚れ、発振効率の低下を
招いたり、汚れによる熱吸収が大きくなつて熱損
するなどの問題があつた。 However, with such a laser device, there is no particular problem while the laser beam is oscillating, but when the oscillation is stopped, the reflecting mirror is cooled by cooling water to a temperature lower than atmospheric temperature. Ru. As a result, condensation may form on one side of the output mirror among the multiple reflectors that is exposed to the atmosphere, which may cause the reflector to become dirty, resulting in a decrease in oscillation efficiency, or the dirt absorbing a large amount of heat. There were problems such as aging and heat loss.
本考案はレーザ光の発振が停止したときに、大
気に露出した出力側の反射鏡の一側面に結露する
ことがないようにしたレーザ装置を提供すること
にある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a laser device that prevents dew condensation from forming on one side surface of an output-side reflecting mirror exposed to the atmosphere when laser light oscillation stops.
冷却水が循環されるホルダに出力側の反射鏡を
保持し、この反射鏡の大気に露出する外面側に筒
状の遮へい体によつて空間部を形成し、この空間
部に光源を配置することにより、レーザ光の発振
が停止したときに上記ホルダへの冷却水の循環を
停止するとともに光源を発光させて上記反射鏡を
光の幅射により加熱し、この反射鏡への結露を防
止するようにしたものである。
The output-side reflector is held in a holder through which cooling water is circulated, a space is formed by a cylindrical shield on the outer surface of the reflector that is exposed to the atmosphere, and a light source is placed in this space. By doing so, when the oscillation of the laser beam stops, the circulation of cooling water to the holder is stopped, and the light source is emitted to heat the reflecting mirror by the beam of light, thereby preventing dew condensation on the reflecting mirror. This is how it was done.
以下、本考案の一実施例を図面を参照して説明
する。図中１は内部が真空に形成され、この内部
にたとえばCO2−N2−H2の混合ガスなどのレー
ザ媒質が高速で循環されるレーザ装置の本体であ
る。この本体１の側壁の一部にはホルダ２が気密
に取着されている。このホルダ２は透孔３が穿設
され、この透孔３には段部４が形成されていて、
この段部４には共振器５を形成する出力側の反射
鏡６がその内面周辺部を接合させて設けられてい
る。上記反射鏡６の外面側周辺部は、上記透孔３
に螺着された押えリング７によりＯリング８を介
して気密に保持されている。また、ホルダ２の周
壁には冷却水の流路９がほぼ環状に穿設され、そ
の一端には供給管１０が接続され、他端には排出
管１１が接続されている。供給管１０には第１の
電磁弁１２が設けられている。また、供給管１０
と排出管１１とはバイパス管１３で接続され、こ
のバイパス管１３には第２の電磁弁１４が設けら
れている。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the figure, reference numeral 1 denotes the main body of a laser device, which has a vacuum inside and in which a laser medium such as a mixed gas of CO 2 -N 2 -H 2 is circulated at high speed. A holder 2 is airtightly attached to a part of the side wall of the main body 1. This holder 2 has a through hole 3 formed therein, and a stepped portion 4 is formed in the through hole 3.
An output-side reflecting mirror 6 forming a resonator 5 is provided on this stepped portion 4 with its inner peripheral portion joined together. The outer periphery of the reflecting mirror 6 has the through hole 3
It is held airtight by a presser ring 7 screwed onto the O-ring 8. Further, a cooling water passage 9 is bored in the peripheral wall of the holder 2 in a substantially annular shape, and a supply pipe 10 is connected to one end of the cooling water passage 9, and a discharge pipe 11 is connected to the other end. A first solenoid valve 12 is provided in the supply pipe 10 . In addition, the supply pipe 10
and the discharge pipe 11 are connected by a bypass pipe 13, and this bypass pipe 13 is provided with a second solenoid valve 14.
また、上記ホルダ２の本体１の外部に突出した
端部には遮へい体としての筒状体１５が嵌着され
ていて、この筒状体１５によつて上記反射鏡６の
外面側に空間部１６を形成している。この筒状体
１５の周壁には上記反射鏡６に向つて傾斜した複
数の取付孔１７…が穿設され、この取付孔１７…
には光源である白熱電球１８…が保持されてい
る。 Further, a cylindrical body 15 as a shield is fitted to the end of the holder 2 that protrudes to the outside of the main body 1, and this cylindrical body 15 creates a space on the outer surface side of the reflecting mirror 6. 16 is formed. A plurality of mounting holes 17 are formed in the peripheral wall of the cylindrical body 15 and are inclined toward the reflecting mirror 6.
holds an incandescent light bulb 18 as a light source.
上記第１、第２の電磁弁１２，１４と白熱電球
１８…とは制御装置１９に接続されていて、この
制御装置１９からの信号によつて後述するごとく
作動するようになつている。また、制御装置１９
にはパワーメータ２０を介してパワーセンサ２１
が接続されている。このパワーセンサ２１は共振
器５から出力されるレーザ光Ｌの光軸上に配置さ
れていて、レーザ光Ｌが発振されているか否かを
検知してその検知信号を制御装置１９に入力する
ようになつている。 The first and second electromagnetic valves 12, 14 and the incandescent light bulbs 18 are connected to a control device 19, and are operated by signals from the control device 19 as described below. In addition, the control device 19
A power sensor 21 is connected via a power meter 20 to
is connected. This power sensor 21 is arranged on the optical axis of the laser beam L output from the resonator 5, and is configured to detect whether or not the laser beam L is oscillated and input the detection signal to the control device 19. It's getting old.
なお、レーザ装置の本体１内の上記出力側の反
射鏡６と対向する位置には、この反射鏡６とで共
振器５を構成する高反射鏡２２が配置され、また
一対の反射鏡６，２２間にはレーザ媒質を励起す
る電極２３が設けられている。 A high-reflection mirror 22, which together with the reflector 6 constitutes the resonator 5, is disposed in the main body 1 of the laser device at a position facing the output-side reflector 6, and a pair of reflectors 6, An electrode 23 for exciting the laser medium is provided between the electrodes 22 .
つぎに、上記レーザ装置の作用について説明す
る。まず、電極２１に電圧を加えてレーザ媒質を
励起し、レーザ光Ｌを出力側の反射鏡６から出力
すると、このレーザ光Ｌがパワーセンサ２１によ
つて検知され、この検知信号がパワーメータ２０
を介して制御装置１９に入力される。すると、制
御装置１９から第１の電磁弁１２に信号が出され
てこの第１の電磁弁１２が開放される。したがつ
て、供給管１０から冷却水がホルダ２の流路９に
流れ、このホルダ２を介して反射鏡６を冷却す
る。 Next, the operation of the above laser device will be explained. First, a voltage is applied to the electrode 21 to excite the laser medium and the laser beam L is output from the output side reflecting mirror 6. This laser beam L is detected by the power sensor 21, and this detection signal is sent to the power meter 20.
is inputted to the control device 19 via. Then, a signal is sent from the control device 19 to the first solenoid valve 12, and the first solenoid valve 12 is opened. Therefore, cooling water flows from the supply pipe 10 into the flow path 9 of the holder 2 and cools the reflecting mirror 6 through the holder 2.
一方、レーザ光Ｌの発振を停止させると、パワ
ーセンサ２１によつて検知されるエネルギが低下
し、そのことがパワーメータ２０を介して制御装
置１９に入力される。すると、この信号によつて
第１の電磁弁１２が閉じられ、第２の電磁弁１４
が開放されるとともに、白熱電球１８…に通電さ
れる。したがつて、供給管１０からの冷却水はバ
イパス管１３を通つて排出管１１から排出される
ため、ホルダ２が冷却されなくなるとともに、白
熱電球１８…から放出される熱によつて空間部１
６内の大気が加熱されるため、これによつて出力
側の反射鏡６も加熱されることになる。したがつ
て、この反射鏡６の温度上昇と、この反射鏡６の
外面側に接触する大気の温度上昇によつて反射鏡
６の外面側に結露するのを防ぐことができる。 On the other hand, when the oscillation of the laser beam L is stopped, the energy detected by the power sensor 21 decreases, and this is inputted to the control device 19 via the power meter 20. Then, the first solenoid valve 12 is closed by this signal, and the second solenoid valve 14 is closed.
is opened, and the incandescent light bulbs 18 are energized. Therefore, since the cooling water from the supply pipe 10 passes through the bypass pipe 13 and is discharged from the discharge pipe 11, the holder 2 is no longer cooled, and the space 1 is affected by the heat released from the incandescent light bulbs 18.
Since the atmosphere inside the mirror 6 is heated, the reflecting mirror 6 on the output side is also heated. Therefore, it is possible to prevent dew condensation on the outer surface of the reflecting mirror 6 due to the temperature rise of the reflecting mirror 6 and the temperature rise of the atmosphere that comes into contact with the outer surface of the reflecting mirror 6.
なお、本考案は上記一実施例に限定されず、た
とえばレーザ装置としてCO2レーザ以外のもので
あつてもよい。また、光源としては白熱電球でな
くコイルヒータなど赤外線を多量に発するもので
あつてもよい。さらに、レーザ光が発振されてい
るか否かを検知する手段は、電極に電圧が印加さ
れているか否かによつて行なうようにしてもよ
い。 Note that the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, and for example, the laser device may be other than a CO 2 laser. Furthermore, the light source may be one that emits a large amount of infrared rays, such as a coil heater, instead of an incandescent light bulb. Furthermore, the means for detecting whether or not the laser beam is oscillated may be determined by whether or not a voltage is applied to the electrodes.
以上述べたように本考案は、反射鏡の外面側に
空間部を形成し、この空間部に光源を配置し、レ
ーザ光の発振が停止されたときに上記光源を発光
させるとともに上記反射鏡を冷却する冷却水の循
環を停止させるようにした。したがつて、上記光
源により反射鏡と、この反射鏡の外面に接触する
大気とが温度上昇するので、上記反射鏡の外面側
に結露するのを防ぐことができる。
As described above, the present invention forms a space on the outer surface of a reflecting mirror, arranges a light source in this space, causes the light source to emit light when the laser beam oscillation is stopped, and also causes the reflecting mirror to emit light. The circulation of cooling water was stopped. Therefore, the temperature of the reflecting mirror and the atmosphere that comes into contact with the outer surface of the reflecting mirror increases due to the light source, so that dew condensation can be prevented from forming on the outer surface of the reflecting mirror.
図面は本考案の一実施例を示す概略的構成図で
ある。
２……ホルダ、５……共振器、６……出力側の
反射鏡、１０……供給管（配管系）、１１……排
出管（配管系）、１３……バイパス管（配管系）、
１２，１４……電磁弁（配管系）、１５……筒状
体（遮へい体）、１６……空間部、１８……白熱
電球（光源）、１９……制御装置。
The drawing is a schematic diagram showing an embodiment of the present invention. 2... Holder, 5... Resonator, 6... Output side reflector, 10... Supply pipe (piping system), 11... Discharge pipe (piping system), 13... Bypass pipe (piping system),
12, 14... Solenoid valve (piping system), 15... Cylindrical body (shielding body), 16... Space part, 18... Incandescent light bulb (light source), 19... Control device.
Claims (1)
したホルダと、このホルダに上記反射鏡を冷却す
る冷却水を循環させる配管系と、上記反射鏡の外
面側に筒状の遮へい体によつて形成された空間部
と、この空間部に設けられた上記反射鏡を光の幅
射により加熱するための光源と、上記共振器での
レーザ光の発振が停止したときに上記ホルダへの
冷却水の循環を止めるとともに上記光源を発光さ
せる制御装置とを具備したレーザ装置。 A holder that holds a resonator, a reflector on the output side of the resonator, a piping system that circulates cooling water for cooling the reflector through the holder, and a cylindrical shield on the outer surface of the reflector. A space thus formed, a light source provided in the space for heating the reflecting mirror by beam radiation, and a light source for heating the reflecting mirror provided in the space, and a light source for heating the holder when the laser beam oscillation in the resonator stops. A laser device comprising a control device that stops circulation of cooling water and causes the light source to emit light.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16536682U JPS5970358U (en) | 1982-10-30 | 1982-10-30 | Laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16536682U JPS5970358U (en) | 1982-10-30 | 1982-10-30 | Laser device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5970358U JPS5970358U (en) | 1984-05-12 |
| JPS6325749Y2 true JPS6325749Y2 (en) | 1988-07-13 |
Family
ID=30362314
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16536682U Granted JPS5970358U (en) | 1982-10-30 | 1982-10-30 | Laser device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5970358U (en) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6126275A (en) * | 1984-07-16 | 1986-02-05 | Shibuya Kogyo Co Ltd | Cooling device for laser optical component |
| JPH0311902Y2 (en) * | 1984-09-26 | 1991-03-20 | ||
| JPH073656Y2 (en) * | 1986-07-26 | 1995-01-30 | 日本電気株式会社 | Gas laser oscillator |
-
1982
- 1982-10-30 JP JP16536682U patent/JPS5970358U/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5970358U (en) | 1984-05-12 |
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