JPS6325069B2 - - Google Patents
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
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Description
本発明は、放電、例えばグロー放電、アーク放
電等を利用して、光導電層を所定の支持体上に形
成するに有効な光導電部材の製造法に関する。 例えば、シリコン原子を母体とするアモルフア
ス材料で構成される光導電層を形成する為の原料
物質をガス状態で減圧にし得る堆積室内に導入し
グロー放電によるプラズマ化を利用して所定の支
持体上に所望の特性を有する光導電層を形成しよ
うとする場合、殊に、大面積の層の場合には、全
面積に亘つてその層厚並びに、電気的、光学的、
光電的等の物理特性の均一化及び品質の均一化を
計り乍ら、その層形成速度を増大させることは、
通常の真空蒸着法に較べて非常に困難が附纒う。 例えば、SiH4又はSi2H6或いはSiF4,SiF4と
SiH4の混合したもの等のガスを放電エネルギー
を使つて分解し支持体上に水素原子又は、ハロゲ
ン原子(X)のいずれか一方を少なくとも含むア
モルフアスシリコン(以後、a―Si(H,X)と
記す)層を形成して、この層の電気物性を利用し
様とする場合、この層の電気特性が層形成時の層
堆積速度及び支持体温度に大きく依存する為、層
の全領域における電気物性の均一化と層品質の向
上を計るには、層堆積速度を低下させ、支持体温
度を高める必要がある。 他方、生産性、量産性の向上を計る点から、層
堆積速度を増大させる為に放電パワー及びガス流
量を増大させることが考えられるが、層堆積速度
の増大の為に放電パワー及び/又はガス流量を増
すと形成される層は電気的、光学的及び光導電的
特性の低下、及びそれ等の特性の場所依存性の増
大の傾向が顕著であつて、良品質の層を形成する
ことが極めて困難であるのが現状である。従つ
て、シリコン原子を母体とするアモルフアス材料
で構成される光導電層を有する光導電部材の製造
の工業化を計るには、光感度及び繰返し使用特性
及び使用環境特性に深く関連する層品質の向上と
特性上の均一一様化を保持して、再現性を含め
て、生産性、量産性の向上を計る必要がある。 本発明は、上記の諸点に鑑み成されたものであ
つて、生産的、量産的に極めて優れ、且つ大面積
に亘つて電気的、光学的及び光導電的特性、層品
質の点及び層のパルク的緻密さと充填性の点に於
いて極めて良好な光導電層が容易に得ることが出
来る光導電部材の製造法を提案することを目的と
する。 又、本発明は大きな面積の層であつても全面積
に亘つて、その物理的特性及び層厚が実質的に均
一であつて、使用環境特性、殊に多湿高温下に於
ける光導電的、電気的特性に優れている層が再現
性良く高効率・高速度で経済的に形成され得る光
導電部材の製造法を提案することも目的とする。 本発明の光導電部材の製造法は、所望圧に減圧
されている堆積室内に光導電層形成用の原料物質
をガス状態で導入し、該原料物質のガス雰囲気中
で放電を生起させることにより、光導電層形成用
の支持体上に光導電層を形成する光導電部材の製
造法に於いて、前記原料物質が炭素原子を構成原
子として含む物質と一般式 SioH2o+2(但し、nは正整数) ……(A) で表わされる化合物と 一般式 SinHlXk(但し、m,kは正整数、lは0又は
正整数で、l+k=2m+2,Xはハロゲン原子
を示す) ……(B) で表わされる化合物とで構成され、前記一般式(A)
又は(B)で表される化合物の夫々の前記堆積室内に
導入される割合が、n又はmの中のいずれか最低
次の化合物に対して、これよりもn又はmが高次
の化合物が1vol%以上となる様に前記堆積室に前
記原料物質を導入する事を特徴とする。この様な
特徴を有する本発明の光導電部材の製造法によれ
ば従来法に較べて著しく高効率・高速度で物理的
特性、光学的特性、電気的特性及び光電的特性に
優れ、層自体が緻密であつて層充填度が高く、多
湿高温下での使用環境特性に優れ、然も形成され
る層の全領域においてそれ等の特性及び層厚が均
一一様で、且つ大面積のものが経済的に容易に形
成し得るものである。 殊に、本発明の製造法により得られた光導電部
材は、電子写真用として適用させた場合にその特
性を最大限有効に利用することが出来る。 本発明に於いて、前記一般式(A)及び(B)で表わさ
れる化合物としては、光導電層形成用の堆積室内
に導入される際には生産上の簡便さと原料の輸送
性の点からガス状態で導入される必要がある為
に、常温常圧状態でガス状の又は少なくとも層形
成条件下に於いて容易にガス化し得るものが採用
される。 本発明に於ける一般式(A)又は(B)で表わされる化
合物は、作成される光導電層を構成する構成原子
としてのSiの生成用の出発物質として使用される
ものである。具体的には一般式(A)で示される化合
物としてはSiH4,Si2H6,Si3H8,Si4H10,
Si5H12,Si6H14,Si7H16,Si8H18等のガス状態の
又はガス化し得るシラン類が有効に使用されるも
のとして挙げられる。 一般式(B)で示される化合物としては、例えば
SiX4,Si2X6,Si3X8,SiHX3,SiH2X2,SiH3X
(XはF,Cl,Br,I)が挙げられ、具体的には
SiH4,SiCl4,SiBr4,Sil4,Si2F6,Si2Cl6,
Si2Br6,Si2I6,Si3F8,Si3Cl8,SiHF3,SiHCl3,
SiHBr3,SiHI3,SiH2F2,SiH2Cl2,SiH3F,
SiH3Cl等が有効なものとして挙げられる。 本発明に於いては、そのより好適な例として前
記一般式(A)で示される化合物と一般式(B)で示され
る化合物とを、いずれか一方の一般式で示される
化合物が少なくとも2種含まれる様にして、光導
電層形成用の原料物質を構成し、この原料物質を
ガス状態で堆積室中に導入し、この原料物質のガ
ス雰囲気中にてグロー放電やアーク放電等の放電
を生起させることにより支持体上に光導電層の形
成を行うものである。 本発明に於いて一般式(A)で示される化合物より
少なくとも2種選択して原料物質を構成する場
合、選択される化合物の中nが高次の化合物を構
成するものとしてはSi2H6,Si3H8,Si4H10が好
ましいものとして挙げられ、これ等は混合して用
いたり、或いはこれ等の中の少なくとも1つを主
成分となし、nが5以上の化合物を混合してnが
高次の化合物を構成する事も出来る。 殊に、nが高次の化合物を構成するものとし
て、Si3H8又はSi4H10のいずれの1つか又は2つ
以上とするか、或いは、これ等のいずれか又は2
つを主成分とし、nが最低次の化合物として、
Si2H6を使用する混合系はより好ましいものであ
る。 又、この混合系に次いではnが最低次の化合物
として、Si2H6の代りにSiH4とし、nが高次の化
合物を構成するものとして、Si2H6,Si3H8,
Si4H10の中より少なくとも1つを選択し、主成分
として使用する混合系が好ましいものである。 一般式(B)で示される化合物より少なくとも2種
選択して原料物質を構成する場合には、選択され
る化合物の中、mが高次の化合物を構成するもの
としては、Si2F6,Si2Cl6,Si2Br6,Si3F8が好ま
しいものとして挙げられ、これ等は混合して用い
たり、或いはこれ等の中の少なくとも1つを主成
分となし、これにmが高次の他の化合物を混合し
てmが高次の化合物の混合物を構成する事も出来
る。 殊にmが高次の化合物を構成するものとして、
Si2F6,Si2Cl6,Si2Br6のいずれか1つか又は2つ
以上とするか或いは、これ等のいずれか2つ以上
を主成とし、mが最低次の化合物としてSiF4,
SiCl4を使用する混合系はより好ましいものであ
る。 本発明に於いては、光導電層形成用の原料物質
として、前記の一般式(A)又は(B)で示される化合物
の夫々から1種づつ選択するか又はいずれか一方
から少なくとも1種と他方から少なくとも2種と
を選択し、これ等を堆積室内に導入する割合が、
n又はmのいずれか最低次の化合物に対して、こ
れよりもn又はmが高次の化合物が通常は1vol%
以上となる様にして構成される混合系のガス雰囲
気中で放電を生起させるものであるが、前記の割
合関係は、好適には5vol%以上、最適には10vol
%とされるのが望ましいものである。 前記の割合関係の上限としては、混合系の原料
物質を構成する化合物の種類によつて所望に従つ
て適宜最適値が決定されるものであるが、通常の
場合99vol%、好適には97vol%とされるのが望ま
しいものである。 本発明に於いて光導電層形成用の原料物質を構
成する物質の1つである炭素原子を構成原子とし
て含む物質(炭素原子含有物質)は形成される光
導電層中に炭素原子を導入する為のものであつて
通常状態でガス状態の又は容易にガス化し得るも
のが使用される。その様な炭素原子導入用の原料
ガスとなる物質として、本発明に於いて有効に使
用されるものとしては、CとHとを構成原子とす
る、例えば炭素数1〜5の飽和炭化水素、炭素数
2〜5のエチレン系炭化水素、炭素数2〜4のア
セチレン系炭化水素等が挙げられる。 具体的には、飽和炭化水素としてはメタン
(CH4)、エタン(C2H6)、プロパン(C3H8)n
―ブタン(n―C4H10)、ペンタン(C5H12)、エ
チレン系炭化水素としては、エチレン(C2H4)、
プロピレン(C3H6)、ブテン―1(C4H8)、ブテ
ン―2(C4H8)、イソブチレン(C4H8)、ペンテ
ン(C5H10)、アセチレン系炭化水素としては、
アセチレン(C2H2)、メチルアセチレン
(C3H4)、ブチン(C4H6)等が挙げられる。 SiとCとHとを構成原子とする原料ガスとして
は、Si(CH3)4,Si(C2H5)4等のケイ化アルキルを
挙げることが出来る。 これ等の他に、CCl4,CHF3,CH2F2,CH3F,
CH3Cl,CH3Br,CH3I,C2H5Cl等のハロゲン置
換パラフイン系炭化水素、SF4,SF6等のフツ素
化硫黄化合物、Si(CH3)4,Si(C2H5)4,等のケイ
化アルキルやSiCl(CH3)3,SiCl2(CH3)2,
SiCl3CH3等のハロゲン含有ケイ化アルキル等の
シランの誘導体も有効なものとして挙げることが
出来る。 又、別には、一酸化炭素(CO)、二酸化炭素
(CO2)等も有効なものとして挙げることが出来
る。これ等の中で殊にメタン(CH4)、エチレン
(C2H4)、プロパン(C3H8)は有効である。本発
明に於いて炭素原子含有物質が堆積室内に導入さ
れる際の、一般式(A)及び(B)で示される化合物の総
容量に対する割合は、通常の場合15vol%以下、
好適には8vol%以下、最適には5vol%以下とされ
るのが望ましいものである。 本発明に於いては好ましい1つの例として前記
の一般式(A)及び(B)で表わされる化合物より選択さ
れる3種以上の化合物及び炭素原子含有物質の
各々は堆積室内に導入される際に、予め前記の割
合に混合されて後に堆積室内に導入されても良い
し、又、前記の割合になる様に各々が別々に堆積
室内に導入されても良い。 本発明に於いて、前記の一般式(A)及び(B)で示さ
れる化合物より選択され、3種以上が組合されて
使用される具体的な例が第1表第2表及び第3表
に示される。 第1表及び第2表には、一般式(A)で示される化
合物より少なくとも2種選択し、一般式(B)で示さ
れる化合物より少なくとも1種選択する場合の例
が挙げられている。 これ等の組合せ例に於いて、一般式(B)で示され
る化合物として好適に使用されるのは、mが最低
次の化合物としては、SiF4,SiCl4,mが高次の
化合物としては、Si2Cl6,Si2Br6,Si3F8が挙げら
れる。又、炭素原子含有物質としては、メタン
(CH4)、エチレン(C2H4)、プロパン(C3H8)
を好ましい組合せ相手物質として挙げることが出
来る。 第3表には、一般式(B)で示される化合物より少
なくとも2種選択し、一般式(A)で示される化合物
より少なくとも1種選択する場合の例が挙げられ
ている。 これ等の組合せ例に於いて一般式(A)で示される
化合物として、好適に使用されるのは、nが最低
次の化合物としては、SiH4,Si2H6,nが高次の
化合物としては、nが2以上の化合物、殊には、
nが2,3,4,5の化合物が挙げられる。又、
炭素原子含有物質としては、メタン(CH4)、エ
チレン(C2H4)、プロパン(C3H8)を好ましい
組合せ相手物質として挙げることが出来る。 第1表及び第2表に示される組合せ例に於い
て、より好ましいのは組合せ例1〜27であり、殊
に組合せ例17〜27の場合には、より顕著な効果が
示される。 第3表に示される組合せ例に於いて、より好ま
しいのは組合せ例1〜10であり、殊に組合せ例1
〜3,5〜8の場合には、より顕著な効果が示さ
れる。
電等を利用して、光導電層を所定の支持体上に形
成するに有効な光導電部材の製造法に関する。 例えば、シリコン原子を母体とするアモルフア
ス材料で構成される光導電層を形成する為の原料
物質をガス状態で減圧にし得る堆積室内に導入し
グロー放電によるプラズマ化を利用して所定の支
持体上に所望の特性を有する光導電層を形成しよ
うとする場合、殊に、大面積の層の場合には、全
面積に亘つてその層厚並びに、電気的、光学的、
光電的等の物理特性の均一化及び品質の均一化を
計り乍ら、その層形成速度を増大させることは、
通常の真空蒸着法に較べて非常に困難が附纒う。 例えば、SiH4又はSi2H6或いはSiF4,SiF4と
SiH4の混合したもの等のガスを放電エネルギー
を使つて分解し支持体上に水素原子又は、ハロゲ
ン原子(X)のいずれか一方を少なくとも含むア
モルフアスシリコン(以後、a―Si(H,X)と
記す)層を形成して、この層の電気物性を利用し
様とする場合、この層の電気特性が層形成時の層
堆積速度及び支持体温度に大きく依存する為、層
の全領域における電気物性の均一化と層品質の向
上を計るには、層堆積速度を低下させ、支持体温
度を高める必要がある。 他方、生産性、量産性の向上を計る点から、層
堆積速度を増大させる為に放電パワー及びガス流
量を増大させることが考えられるが、層堆積速度
の増大の為に放電パワー及び/又はガス流量を増
すと形成される層は電気的、光学的及び光導電的
特性の低下、及びそれ等の特性の場所依存性の増
大の傾向が顕著であつて、良品質の層を形成する
ことが極めて困難であるのが現状である。従つ
て、シリコン原子を母体とするアモルフアス材料
で構成される光導電層を有する光導電部材の製造
の工業化を計るには、光感度及び繰返し使用特性
及び使用環境特性に深く関連する層品質の向上と
特性上の均一一様化を保持して、再現性を含め
て、生産性、量産性の向上を計る必要がある。 本発明は、上記の諸点に鑑み成されたものであ
つて、生産的、量産的に極めて優れ、且つ大面積
に亘つて電気的、光学的及び光導電的特性、層品
質の点及び層のパルク的緻密さと充填性の点に於
いて極めて良好な光導電層が容易に得ることが出
来る光導電部材の製造法を提案することを目的と
する。 又、本発明は大きな面積の層であつても全面積
に亘つて、その物理的特性及び層厚が実質的に均
一であつて、使用環境特性、殊に多湿高温下に於
ける光導電的、電気的特性に優れている層が再現
性良く高効率・高速度で経済的に形成され得る光
導電部材の製造法を提案することも目的とする。 本発明の光導電部材の製造法は、所望圧に減圧
されている堆積室内に光導電層形成用の原料物質
をガス状態で導入し、該原料物質のガス雰囲気中
で放電を生起させることにより、光導電層形成用
の支持体上に光導電層を形成する光導電部材の製
造法に於いて、前記原料物質が炭素原子を構成原
子として含む物質と一般式 SioH2o+2(但し、nは正整数) ……(A) で表わされる化合物と 一般式 SinHlXk(但し、m,kは正整数、lは0又は
正整数で、l+k=2m+2,Xはハロゲン原子
を示す) ……(B) で表わされる化合物とで構成され、前記一般式(A)
又は(B)で表される化合物の夫々の前記堆積室内に
導入される割合が、n又はmの中のいずれか最低
次の化合物に対して、これよりもn又はmが高次
の化合物が1vol%以上となる様に前記堆積室に前
記原料物質を導入する事を特徴とする。この様な
特徴を有する本発明の光導電部材の製造法によれ
ば従来法に較べて著しく高効率・高速度で物理的
特性、光学的特性、電気的特性及び光電的特性に
優れ、層自体が緻密であつて層充填度が高く、多
湿高温下での使用環境特性に優れ、然も形成され
る層の全領域においてそれ等の特性及び層厚が均
一一様で、且つ大面積のものが経済的に容易に形
成し得るものである。 殊に、本発明の製造法により得られた光導電部
材は、電子写真用として適用させた場合にその特
性を最大限有効に利用することが出来る。 本発明に於いて、前記一般式(A)及び(B)で表わさ
れる化合物としては、光導電層形成用の堆積室内
に導入される際には生産上の簡便さと原料の輸送
性の点からガス状態で導入される必要がある為
に、常温常圧状態でガス状の又は少なくとも層形
成条件下に於いて容易にガス化し得るものが採用
される。 本発明に於ける一般式(A)又は(B)で表わされる化
合物は、作成される光導電層を構成する構成原子
としてのSiの生成用の出発物質として使用される
ものである。具体的には一般式(A)で示される化合
物としてはSiH4,Si2H6,Si3H8,Si4H10,
Si5H12,Si6H14,Si7H16,Si8H18等のガス状態の
又はガス化し得るシラン類が有効に使用されるも
のとして挙げられる。 一般式(B)で示される化合物としては、例えば
SiX4,Si2X6,Si3X8,SiHX3,SiH2X2,SiH3X
(XはF,Cl,Br,I)が挙げられ、具体的には
SiH4,SiCl4,SiBr4,Sil4,Si2F6,Si2Cl6,
Si2Br6,Si2I6,Si3F8,Si3Cl8,SiHF3,SiHCl3,
SiHBr3,SiHI3,SiH2F2,SiH2Cl2,SiH3F,
SiH3Cl等が有効なものとして挙げられる。 本発明に於いては、そのより好適な例として前
記一般式(A)で示される化合物と一般式(B)で示され
る化合物とを、いずれか一方の一般式で示される
化合物が少なくとも2種含まれる様にして、光導
電層形成用の原料物質を構成し、この原料物質を
ガス状態で堆積室中に導入し、この原料物質のガ
ス雰囲気中にてグロー放電やアーク放電等の放電
を生起させることにより支持体上に光導電層の形
成を行うものである。 本発明に於いて一般式(A)で示される化合物より
少なくとも2種選択して原料物質を構成する場
合、選択される化合物の中nが高次の化合物を構
成するものとしてはSi2H6,Si3H8,Si4H10が好
ましいものとして挙げられ、これ等は混合して用
いたり、或いはこれ等の中の少なくとも1つを主
成分となし、nが5以上の化合物を混合してnが
高次の化合物を構成する事も出来る。 殊に、nが高次の化合物を構成するものとし
て、Si3H8又はSi4H10のいずれの1つか又は2つ
以上とするか、或いは、これ等のいずれか又は2
つを主成分とし、nが最低次の化合物として、
Si2H6を使用する混合系はより好ましいものであ
る。 又、この混合系に次いではnが最低次の化合物
として、Si2H6の代りにSiH4とし、nが高次の化
合物を構成するものとして、Si2H6,Si3H8,
Si4H10の中より少なくとも1つを選択し、主成分
として使用する混合系が好ましいものである。 一般式(B)で示される化合物より少なくとも2種
選択して原料物質を構成する場合には、選択され
る化合物の中、mが高次の化合物を構成するもの
としては、Si2F6,Si2Cl6,Si2Br6,Si3F8が好ま
しいものとして挙げられ、これ等は混合して用い
たり、或いはこれ等の中の少なくとも1つを主成
分となし、これにmが高次の他の化合物を混合し
てmが高次の化合物の混合物を構成する事も出来
る。 殊にmが高次の化合物を構成するものとして、
Si2F6,Si2Cl6,Si2Br6のいずれか1つか又は2つ
以上とするか或いは、これ等のいずれか2つ以上
を主成とし、mが最低次の化合物としてSiF4,
SiCl4を使用する混合系はより好ましいものであ
る。 本発明に於いては、光導電層形成用の原料物質
として、前記の一般式(A)又は(B)で示される化合物
の夫々から1種づつ選択するか又はいずれか一方
から少なくとも1種と他方から少なくとも2種と
を選択し、これ等を堆積室内に導入する割合が、
n又はmのいずれか最低次の化合物に対して、こ
れよりもn又はmが高次の化合物が通常は1vol%
以上となる様にして構成される混合系のガス雰囲
気中で放電を生起させるものであるが、前記の割
合関係は、好適には5vol%以上、最適には10vol
%とされるのが望ましいものである。 前記の割合関係の上限としては、混合系の原料
物質を構成する化合物の種類によつて所望に従つ
て適宜最適値が決定されるものであるが、通常の
場合99vol%、好適には97vol%とされるのが望ま
しいものである。 本発明に於いて光導電層形成用の原料物質を構
成する物質の1つである炭素原子を構成原子とし
て含む物質(炭素原子含有物質)は形成される光
導電層中に炭素原子を導入する為のものであつて
通常状態でガス状態の又は容易にガス化し得るも
のが使用される。その様な炭素原子導入用の原料
ガスとなる物質として、本発明に於いて有効に使
用されるものとしては、CとHとを構成原子とす
る、例えば炭素数1〜5の飽和炭化水素、炭素数
2〜5のエチレン系炭化水素、炭素数2〜4のア
セチレン系炭化水素等が挙げられる。 具体的には、飽和炭化水素としてはメタン
(CH4)、エタン(C2H6)、プロパン(C3H8)n
―ブタン(n―C4H10)、ペンタン(C5H12)、エ
チレン系炭化水素としては、エチレン(C2H4)、
プロピレン(C3H6)、ブテン―1(C4H8)、ブテ
ン―2(C4H8)、イソブチレン(C4H8)、ペンテ
ン(C5H10)、アセチレン系炭化水素としては、
アセチレン(C2H2)、メチルアセチレン
(C3H4)、ブチン(C4H6)等が挙げられる。 SiとCとHとを構成原子とする原料ガスとして
は、Si(CH3)4,Si(C2H5)4等のケイ化アルキルを
挙げることが出来る。 これ等の他に、CCl4,CHF3,CH2F2,CH3F,
CH3Cl,CH3Br,CH3I,C2H5Cl等のハロゲン置
換パラフイン系炭化水素、SF4,SF6等のフツ素
化硫黄化合物、Si(CH3)4,Si(C2H5)4,等のケイ
化アルキルやSiCl(CH3)3,SiCl2(CH3)2,
SiCl3CH3等のハロゲン含有ケイ化アルキル等の
シランの誘導体も有効なものとして挙げることが
出来る。 又、別には、一酸化炭素(CO)、二酸化炭素
(CO2)等も有効なものとして挙げることが出来
る。これ等の中で殊にメタン(CH4)、エチレン
(C2H4)、プロパン(C3H8)は有効である。本発
明に於いて炭素原子含有物質が堆積室内に導入さ
れる際の、一般式(A)及び(B)で示される化合物の総
容量に対する割合は、通常の場合15vol%以下、
好適には8vol%以下、最適には5vol%以下とされ
るのが望ましいものである。 本発明に於いては好ましい1つの例として前記
の一般式(A)及び(B)で表わされる化合物より選択さ
れる3種以上の化合物及び炭素原子含有物質の
各々は堆積室内に導入される際に、予め前記の割
合に混合されて後に堆積室内に導入されても良い
し、又、前記の割合になる様に各々が別々に堆積
室内に導入されても良い。 本発明に於いて、前記の一般式(A)及び(B)で示さ
れる化合物より選択され、3種以上が組合されて
使用される具体的な例が第1表第2表及び第3表
に示される。 第1表及び第2表には、一般式(A)で示される化
合物より少なくとも2種選択し、一般式(B)で示さ
れる化合物より少なくとも1種選択する場合の例
が挙げられている。 これ等の組合せ例に於いて、一般式(B)で示され
る化合物として好適に使用されるのは、mが最低
次の化合物としては、SiF4,SiCl4,mが高次の
化合物としては、Si2Cl6,Si2Br6,Si3F8が挙げら
れる。又、炭素原子含有物質としては、メタン
(CH4)、エチレン(C2H4)、プロパン(C3H8)
を好ましい組合せ相手物質として挙げることが出
来る。 第3表には、一般式(B)で示される化合物より少
なくとも2種選択し、一般式(A)で示される化合物
より少なくとも1種選択する場合の例が挙げられ
ている。 これ等の組合せ例に於いて一般式(A)で示される
化合物として、好適に使用されるのは、nが最低
次の化合物としては、SiH4,Si2H6,nが高次の
化合物としては、nが2以上の化合物、殊には、
nが2,3,4,5の化合物が挙げられる。又、
炭素原子含有物質としては、メタン(CH4)、エ
チレン(C2H4)、プロパン(C3H8)を好ましい
組合せ相手物質として挙げることが出来る。 第1表及び第2表に示される組合せ例に於い
て、より好ましいのは組合せ例1〜27であり、殊
に組合せ例17〜27の場合には、より顕著な効果が
示される。 第3表に示される組合せ例に於いて、より好ま
しいのは組合せ例1〜10であり、殊に組合せ例1
〜3,5〜8の場合には、より顕著な効果が示さ
れる。
【表】
【表】
【表】
【表】
本発明に於いては、原料物質の混合ガス系は光
導電層形成用の堆積室内に於いて、所定の濃度及
びガス圧を得る目的で雰囲気ガス、或いは他の層
形成用の原料ガスを混合して使用しても良い。 本発明に於いて使用される雰囲気ガスとして
は、形成される光導電層に悪影響を及ぼさず、該
層を構成する構成原子の1つとなる原子で構成さ
れているものか又は、全くイナートなものが採用
される。 この様な雰囲気ガスと成り得る物質としては、
He,Ne,Ar等の稀ガス、フツ素、塩素、臭素、
ヨウ素のハロゲンガス、BrF,ClF,ClF3,
BrF5,BrF3,IF7,IF5,ICl,IBr等のガス状の
又はガス化し得るハロゲン間化合物、HF,HCl,
HBr等のハロゲン化水素ガス及びH2を挙げるこ
とが出来る。 これ等の雰囲気ガスとなる物質の中、殊に稀ガ
ス、H2等の有効なものとして使用することが出
来る。他の層形成用原料ガスとなるものとして
は、形成される光導電層の伝導型を支配する不純
物原子を構成要素として含む物質で、ガス状態の
又は容易にガス化し得るものが挙げられる。 本発明の光導電部材の製造法に於いては、同じ
特性及び層品質の光導電層を形成する場合には、
従来法に較べて遥かに高速度で且つ経済的に層形
成出来る上に支持体温度及び放電パワーを格段に
上げることが出来る。 例えば本発明の目的を達成する特性と層品質を
有する光導電層を得る場合、支持体温度として
は、150℃以上、放電パワーとしては、100W以上
とすることが出来る。 次に、本発明の光導電部材の製造法によつて形
成される光導電部材の典型的な例を挙げて、本発
明を更に説明する。 第1図は、本発明によつて得られる典型的な光
導電部材の構成例を説明する為に模式的に示した
模式的構成図である。 第1図に示す光導電部材100は、電子写真用
又は撮像装置用として適用させ得るものであつ
て、光導電部材用としての支持体101の上に必
要に応じて設けられる中間層102、本発明の製
造法に従つて設けられる光導電層103とで構成
される層構造を有している。 支持体101としては、導電性でも電気絶縁性
であつても良い。導電性支持体としては、例え
ば、NiCr、ステンレス、Al,Cr,Mo,Au,Ir,
Hb,Ta,V,Ti,Pt,Pd等の金属又はこれ等
の合金が挙げられる。 電気絶縁性支持体としては、ポリエステル、ポ
リエチレン、ポリカーボネート、セルローズアセ
テート、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリ
塩化ビニリデン、ポリスチレン、ポリアミド等の
合成樹脂のフイルム又はシート、ガラス、セラミ
ツク、紙等が通常使用される。これ等の電気絶縁
性支持体は、好適には少なくともその一方の表面
を導電処理され、該導電処理された表面側に他の
層が設けられるのが望ましい。 例えば、ガラスであれば、その表面がNiCr,
Al,Cr,Mo,Au,Ir,Nb,Ta,V,Ti,Pt,
Pd,In2O3,SnO2,ITO(In2O3+SnO2)等の薄
膜を設けることによつて導電処理され、或いはポ
リエステルフイルム等の合成樹脂フイルムであれ
ば、NiCr,Al,Ag,Pb,Zn,Ni,Au,Cr,
Mo,Ir,Nb,Ta,V,Ti,Pt等の金属で真空
蒸着、電子ビーム蒸着、スパツタリング等で処理
し、又は前記金属でラミネート処理して、その表
面が導電処理される。支持体の形状としては、円
筒状、ベルト状、板状等、任意の形状とし得、所
望によつて、その形状は決定されるが、例えば、
第1図の光導電部材100を電子写真用像形成部
材として使用するのであれば連続高速複写の場合
には、無端ベルト状又は円筒状とするのが望まし
い。 中間層102は例えばシリコン原子、及び炭素
原子又は窒素原子又は酸素原子とを母体とし、必
要に応じて水素原子又はハロゲン原子(X)を含
む、非光導電性のアモルフアス材料で構成され、
支持体101の側から光導電層103中へのキヤ
リアの流入を効果的に阻止し且つ電磁波の照射に
よつて光導電層103中に生じ、支持体101の
側に向つて移動するフオトキヤリアの光導電層1
03の側から支持体101の側への通過を容易に
許す機能を有するものである。 中間層102を形成するには、光導電層103
の形成まで連続的に行うことが出来るからグロー
放電法が採用されるが、その場合には中間層形成
用の原料ガスを、必要に応じてHe,Ar等の稀釈
ガスと所定量の混合比で混合して、支持体101
の設置してある真空堆積用の堆積室に導入し、導
入されたガス雰囲気中でグロー放電を生起させる
ことでガスプラズマ化して前記支持体101上に
中間層102を形成すれば良い。 中間層102形成用の原料ガスに成り得るもの
として有効に使用される出発物質は、SiとHとを
構成原子とするSiH4,Si2H6,Si3H8,Si4H10等
のシラン(Silane)類等の水素化硅素、Nを構成
原子とする或いはNとHとを構成原子とする例え
ば窒素(N2)、アンモニア(NH3)、ヒドラジン
(H2NNH2)、アジカ水素(HN3)、アジ化アンモ
ニウム(NH4N3)等のガス状の又はガス化し得
る窒素、窒化物及びアジ化物等の窒素化合物、C
とHを構成原子とする例えば炭素数1〜5の飽和
炭化水素、炭素数1〜5のエチレン系炭化水素、
炭素数2〜4のアセチレン系炭化水素等、具体的
には、飽和炭化水素としてはメタン(CH4)、エ
タン(C2H6)、プロパン(C3H8)、n―ブタン
(n―C4H10)、ペンタン(C5H12)、エチレン系炭
化水素としては、エチレン(C2H4)、プロピレン
(C3H6)、ブテン―1(C4H8)、ブテン―2
(C4H8)、イソブチレン(C4H8)、ペンテン
(C5H10)、アセチレン系炭化水素としては、アセ
チレン(C2H2)、メチルアセチレン(C3H4)、ブ
チン(C4H6)等、更に、これ等の他に例えば、
酸素(O2)、オゾン(O3)、一酸化炭素(CO)、
二酸化炭素(CO2)、一酸化窒素(NO)、二酸化
窒素(NO2)、一酸化二窒素(N2O)等を挙げる
ことが出来る。 これらの中間層102形成用の出発物質は、所
定の原子が構成原子として、形成される中間層1
02中に含まれる様に、層形成の際に適宜選択さ
れて使用される。 中間層102を構成する上記以外の物質として
は、電気絶縁性の金属酸化物を挙げることが出来
る。 中間層102を構成する電気絶縁性の金属酸化
物としては、TiO2,Ce2O3,ZrO2,HfO2,
GeO2,CaO,BeO,P2O5,Y2O3,Cr2O3,
Al2O3,MgO,MgO・Al2O3,SiO2・MgO等が
好ましいものとして挙げることが出来る。これ等
は2種以上を併用して中間層102を形成しても
良いものである。 中間層102の層厚としては、通常の場合、30
〜1000Å、好適には50〜600Åとされるのが望ま
しいものである。 光導電層103は、下記に示す半導体特性を有
し、シリコン原子を母体とし、H及びXを含むア
モルフアス材料a―Si;(H,X)で構成される。 p型a―Si;(H,X)…アクセプターのみ
を含むもの。或いは、ドナーとアクセプターと
の両方を含み、アクセプターの濃度(Na)が
高いもの。 n型a―Si;(H,X)…ドナーのみを含む
もの。或いはドナーとアクセプターの両方を含
み、ドナーの濃度(Nd)が高いもの。 i型a―Si;(H,X)…NaNdOのも
の又は、NaNdのもの。 光導電層103の層厚としては、読取装置、固
体撮像装置或いは電子写真用像形成部材等の適用
するものの目的に適合させて所望に従つて適宜決
定される。 第1図に示される光導電層103の層厚として
は、光導電層103の機能及び中間層102の機
能が各々有効に活されてる様に中間層102との
層厚関係に於いて適宜所望に従つて決められるも
のであり、通常の場合、中間層102の層厚に対
して数百〜数千倍以上の層厚とされるのが好まし
いものである。 具体的な値としては、通常1〜100μ、好適に
は2〜50μの範囲とされるのが望ましい。 第1図に示す光導電部材の光導電層中に含有さ
れるHの量は通常の場合1〜40atomic%好適に
は5〜30atomic%とされるのが望ましい。 光導電層103をn型又はp型とするには、層
形成の際に、n型不純物又は、p型不純物、或い
は両不純物を形成される層中にその量を制御し乍
らドーピングしてやる事によつて成される。光導
電層中にドーピングされる不純物としては、p型
不純物として周期律表第族Aの元素、例えば、
B,Al,Ga,In,Tl等が好適なものとして挙げ
られ、n型不純物としては、周期律表第族Aの
元素、例えば、N,P,As,Sb,Bi等が好適な
ものとして挙げられるが、殊にB,Ga,P,Sb
等が最適である。 本発明に於いて所望の伝導型を有する為に光導
電層103中にドーピングされる不純物の量は、
所望される電気的、光学的特性に応じて適宜決定
されるが、周期律表第族Aの不純物の場合は3
×10-2atomic%以下の量範囲でドーピングして
やれば良く、周期律表第族Aの不純物の場合に
は5×10-3atomic%以下の量範囲でドーピング
してやれば良い。 光導電層103中に不純物をドーピングするに
は、層形成の際に不純物導入用の原料物質をガス
状態で堆積室中に光導電層103を形成する主原
料物質と共に導入してやれば良い。この様な不純
物導入用の原料物質としては、常温常圧でガス状
態の又は、少なくとも層形成条件下で容易にガス
化し得るものが採用される。 その様な不純物導入用の出発物質として具体的
には、PH3,P2H4,PF3,PF5,PCl3,AsH3,
AsF3,AsF5,ASCl3,SbH3,SbF3,SbF5,
BiH3,BF3,BCl3,BBr3,B2H6,B4H10,
B5H9,B5H11,B6H10,B6H12,AlCl3、等を挙
げることが出来る。 実施例 1 完全にシールドされたクリーンルーム中に設置
された第2図に示す装置を用い、以下の如き操作
によつて電子写真用像形成部材を作成した。 表面が清浄された0.5mm厚10cm角のモリブデン
(基板)202を堆積室201内の所定位置にあ
る固定部材203に緊固に固定した。ターゲツト
205,206は多結晶高純度シリコン(99.999
%)を高純度グラフアイト(99.999%)上に設置
したものである。基板202は、固定部材203
内の加熱ヒーター204によつて±0.5℃の精度
で加熱される。温度は、熱電対(アルメルークロ
メル)によつて基板裏面を直接測定されるように
なされた。次いで系内の全バルブが閉じられてい
ることを確認してからメインバルブ231を全開
して1旦5×10-7torr程度まで真空にされ(この
とき、系の全バルブは閉じられている)、補助バ
ルブ229および流出バルブ224,225,2
28が開かれフローメータ237,238,24
1内が十分に脱気された後、流出バルブ224,
225,228と補助バルブ229が閉じられ
た。Ar(純度99.999%)ガスボンベ213のバル
ブ218を開け、出口圧力計236の読みが1
Kg/cm2になる様に調整された後、流入バルブ22
3が開けられ、続いて流出バルブ228が徐々に
開けられ、Arガスを室201内に流入させた。
ピラニーゲージ242の指示が5×10-4torrにな
るまで、流出バルブ228が徐々に開けられ、こ
の状態で流量が安定してから、メインバルブ23
1が徐々に閉じられ、室内圧が1×10-2torrにな
るまで開口が絞られた。シヤツター208を開と
して、フローメータ241が安定するのを確認し
てから、高周波電源243をON状態にし、ター
ゲツト205,206および固定部材203間に
13.56MHz,100Wの交流電力が入力された。この
条件で安定した放電を続ける様にマツチングを取
りながら層を形成した。この様にして1分間放電
を続けて100Å厚の中間層を形成した。その後高
周波電源243をOFF状態にし、放電を一旦中
止させた。引き続いて流出バルブ228、流入バ
ルブ223を閉じ、メインバルブ231を全開し
て室201内のガスを抜き、5×10-7torrまで真
空にした。その後ヒータ204の入力電圧を上昇
させ、基板温度を検知しながら入力電圧を変化さ
せ、300℃の一定値になるまで安定させた。 その後、補助バルブ229、次いで流出バルブ
228を全開し、フローメーター241内も十分
脱気真空状態にされた。補助バルブ229、流出
バルブ228を閉じた後、B2H6を10vol ppm含
むSi2H6ガス(以後B2H6/Si2H6と略す。純度
99.999%)ボンベ209のバルブ214,SiH4ガ
ス(純度99.999%)ボンベ210のバルブ21
5,SiF4ガス(純度99.999%)ボンベ211のバ
ルブ216,C2H4ガス(純度99.999%)ボンベ
212のバルブ217を開け、出口圧ゲージ23
2,233,234,235の圧を1Kg/cm2に調
整し、流入バルブ219,220,221,22
2,223を徐々に開けてフローメーター23
7,238,239,240,241内へ
B2H6/Si2H6ガス、SiH4ガス、SiF4ガス、C2H4,
Arガスを各々流入させた。引続いて、流出バル
ブ224,225,226,227,228を
徐々に開け、次いで補助バルブ229を徐々に開
けた。このときB2H6/Si2H6ガス流量、SiH4ガ
ス流量、SiF4ガス流量、Arガス流量との比が
28:1:3:68になるように流入バルブ219,
220,221,223を調整し、且つC2H4ガ
ス流量が、B2H6/Si2H6ガス流量、SiH4ガス流
量、SiF4ガス流量の和の0.2vol%に調整した。次
にピラニーゲージ242の読みを注視しながら補
助バルブ229の開口を調整し、室201内が1
×10-2torrになるまで補助バルブ229を開け
た。室201内圧が安定してから、メインバルブ
231を徐々に閉じ、ピラニーゲージ242の指
示が0.2torrになるまで開口を絞つた。ガス流入
が安定し内圧が安定するのを確認しシヤツター2
08(電極を兼ねる)を閉とし続いて高周波電源
243のスイツチをON状態にして、電極20
3、シヤツター208間に13.56MHzの高周波電
力を投入し室201内にグロー放電を発生させ、
100Wの入力電力とした。グロー放電を1時間持
続させて光導電層を形成した後、加熱ヒーター2
04をOFF状態にし、高周波電源243もOFF
状態とし、基板温度が100℃になるのを待つてか
ら流出バルブ224,225,226,227,
228及び流入バルブ219,220,221,
222,223を閉じ、メインバルブ231を全
開にして室201内を10-2torr以下にした後、メ
インバルブ231を閉じ室201内をリークバル
ブ230によつて大気圧として基板を取り出し
た。この場合、形成された層の全厚は約28μであ
つた。こうして得られた像形成部材を、帯電露光
実験装置に設置し、6.0KVで0.2sec間コロナ帯
電を行い、直ちに光像を照射した。光像は、タン
グステンランプ光源を用い、1.5lux・secの光量
を透過型のテストチヤートを通して照射させた。 その後直ちに、荷電性の現像剤(トナーとキ
ヤリアーを含む)を部材表面にカスケードするこ
とによつて、部材表面上に良好なトナー画像を得
た。部材上のトナー画像を5.0KVのコロナ帯電
で転写紙上に転写した所、解像力に優れ、階調再
現性のよい鮮明な高濃度の画像が得られた。 次に上記像形成部材に就て、帯電露光実験装置
で5.5KVで0.2sec間のコロナ帯電を行い、直ち
に1.5lux・secの光量で画像露光を行い、その後
直ちに荷電性の現像剤を部材表面にカスケード
し、次に転写紙上に転写・定着したところ極めて
鮮明な画像が得られた。 この結果と先の結果から、本実施例で得られた
電子写真用像形成部材は、帯電極性に対する依存
性がなく両極性像形成部材の特性を具備している
ことが判つた。 実施例 2 Arガスボンベ213を、C2H4を0.3vol%含む
Arガスボンベに、C2H4ガスボンベ212を、
Si2H6ガスボンベに、B2H6を10vol ppm含む、
Si2H6ガスボンベ209を、B2H6を、100vol
ppm含む、Si2H6ガスボンベに代えた以外は、実
施例1と同様の操作、条件にてモリブデン基板上
に中間層を形成した後、第3A表に示す如くガス
の種類、流量相対値で、実施例1と同様の操作、
条件にて中間層上に光導電層を形成した。このよ
うにして得られた像形成部材を使用して実施例1
と同様にトナー像を形成したところ試料Aは
5.5KVのコロナ帯電、次いで画像露光、荷電性
トナーの組み合わせの方が、良好なトナー像が得
られた。 一方試料Bは、逆に6.0KVのコロナ帯電、次
いで画像露光、荷電性トナーの組合わせの方が
良好なトナー像が得られた。
導電層形成用の堆積室内に於いて、所定の濃度及
びガス圧を得る目的で雰囲気ガス、或いは他の層
形成用の原料ガスを混合して使用しても良い。 本発明に於いて使用される雰囲気ガスとして
は、形成される光導電層に悪影響を及ぼさず、該
層を構成する構成原子の1つとなる原子で構成さ
れているものか又は、全くイナートなものが採用
される。 この様な雰囲気ガスと成り得る物質としては、
He,Ne,Ar等の稀ガス、フツ素、塩素、臭素、
ヨウ素のハロゲンガス、BrF,ClF,ClF3,
BrF5,BrF3,IF7,IF5,ICl,IBr等のガス状の
又はガス化し得るハロゲン間化合物、HF,HCl,
HBr等のハロゲン化水素ガス及びH2を挙げるこ
とが出来る。 これ等の雰囲気ガスとなる物質の中、殊に稀ガ
ス、H2等の有効なものとして使用することが出
来る。他の層形成用原料ガスとなるものとして
は、形成される光導電層の伝導型を支配する不純
物原子を構成要素として含む物質で、ガス状態の
又は容易にガス化し得るものが挙げられる。 本発明の光導電部材の製造法に於いては、同じ
特性及び層品質の光導電層を形成する場合には、
従来法に較べて遥かに高速度で且つ経済的に層形
成出来る上に支持体温度及び放電パワーを格段に
上げることが出来る。 例えば本発明の目的を達成する特性と層品質を
有する光導電層を得る場合、支持体温度として
は、150℃以上、放電パワーとしては、100W以上
とすることが出来る。 次に、本発明の光導電部材の製造法によつて形
成される光導電部材の典型的な例を挙げて、本発
明を更に説明する。 第1図は、本発明によつて得られる典型的な光
導電部材の構成例を説明する為に模式的に示した
模式的構成図である。 第1図に示す光導電部材100は、電子写真用
又は撮像装置用として適用させ得るものであつ
て、光導電部材用としての支持体101の上に必
要に応じて設けられる中間層102、本発明の製
造法に従つて設けられる光導電層103とで構成
される層構造を有している。 支持体101としては、導電性でも電気絶縁性
であつても良い。導電性支持体としては、例え
ば、NiCr、ステンレス、Al,Cr,Mo,Au,Ir,
Hb,Ta,V,Ti,Pt,Pd等の金属又はこれ等
の合金が挙げられる。 電気絶縁性支持体としては、ポリエステル、ポ
リエチレン、ポリカーボネート、セルローズアセ
テート、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリ
塩化ビニリデン、ポリスチレン、ポリアミド等の
合成樹脂のフイルム又はシート、ガラス、セラミ
ツク、紙等が通常使用される。これ等の電気絶縁
性支持体は、好適には少なくともその一方の表面
を導電処理され、該導電処理された表面側に他の
層が設けられるのが望ましい。 例えば、ガラスであれば、その表面がNiCr,
Al,Cr,Mo,Au,Ir,Nb,Ta,V,Ti,Pt,
Pd,In2O3,SnO2,ITO(In2O3+SnO2)等の薄
膜を設けることによつて導電処理され、或いはポ
リエステルフイルム等の合成樹脂フイルムであれ
ば、NiCr,Al,Ag,Pb,Zn,Ni,Au,Cr,
Mo,Ir,Nb,Ta,V,Ti,Pt等の金属で真空
蒸着、電子ビーム蒸着、スパツタリング等で処理
し、又は前記金属でラミネート処理して、その表
面が導電処理される。支持体の形状としては、円
筒状、ベルト状、板状等、任意の形状とし得、所
望によつて、その形状は決定されるが、例えば、
第1図の光導電部材100を電子写真用像形成部
材として使用するのであれば連続高速複写の場合
には、無端ベルト状又は円筒状とするのが望まし
い。 中間層102は例えばシリコン原子、及び炭素
原子又は窒素原子又は酸素原子とを母体とし、必
要に応じて水素原子又はハロゲン原子(X)を含
む、非光導電性のアモルフアス材料で構成され、
支持体101の側から光導電層103中へのキヤ
リアの流入を効果的に阻止し且つ電磁波の照射に
よつて光導電層103中に生じ、支持体101の
側に向つて移動するフオトキヤリアの光導電層1
03の側から支持体101の側への通過を容易に
許す機能を有するものである。 中間層102を形成するには、光導電層103
の形成まで連続的に行うことが出来るからグロー
放電法が採用されるが、その場合には中間層形成
用の原料ガスを、必要に応じてHe,Ar等の稀釈
ガスと所定量の混合比で混合して、支持体101
の設置してある真空堆積用の堆積室に導入し、導
入されたガス雰囲気中でグロー放電を生起させる
ことでガスプラズマ化して前記支持体101上に
中間層102を形成すれば良い。 中間層102形成用の原料ガスに成り得るもの
として有効に使用される出発物質は、SiとHとを
構成原子とするSiH4,Si2H6,Si3H8,Si4H10等
のシラン(Silane)類等の水素化硅素、Nを構成
原子とする或いはNとHとを構成原子とする例え
ば窒素(N2)、アンモニア(NH3)、ヒドラジン
(H2NNH2)、アジカ水素(HN3)、アジ化アンモ
ニウム(NH4N3)等のガス状の又はガス化し得
る窒素、窒化物及びアジ化物等の窒素化合物、C
とHを構成原子とする例えば炭素数1〜5の飽和
炭化水素、炭素数1〜5のエチレン系炭化水素、
炭素数2〜4のアセチレン系炭化水素等、具体的
には、飽和炭化水素としてはメタン(CH4)、エ
タン(C2H6)、プロパン(C3H8)、n―ブタン
(n―C4H10)、ペンタン(C5H12)、エチレン系炭
化水素としては、エチレン(C2H4)、プロピレン
(C3H6)、ブテン―1(C4H8)、ブテン―2
(C4H8)、イソブチレン(C4H8)、ペンテン
(C5H10)、アセチレン系炭化水素としては、アセ
チレン(C2H2)、メチルアセチレン(C3H4)、ブ
チン(C4H6)等、更に、これ等の他に例えば、
酸素(O2)、オゾン(O3)、一酸化炭素(CO)、
二酸化炭素(CO2)、一酸化窒素(NO)、二酸化
窒素(NO2)、一酸化二窒素(N2O)等を挙げる
ことが出来る。 これらの中間層102形成用の出発物質は、所
定の原子が構成原子として、形成される中間層1
02中に含まれる様に、層形成の際に適宜選択さ
れて使用される。 中間層102を構成する上記以外の物質として
は、電気絶縁性の金属酸化物を挙げることが出来
る。 中間層102を構成する電気絶縁性の金属酸化
物としては、TiO2,Ce2O3,ZrO2,HfO2,
GeO2,CaO,BeO,P2O5,Y2O3,Cr2O3,
Al2O3,MgO,MgO・Al2O3,SiO2・MgO等が
好ましいものとして挙げることが出来る。これ等
は2種以上を併用して中間層102を形成しても
良いものである。 中間層102の層厚としては、通常の場合、30
〜1000Å、好適には50〜600Åとされるのが望ま
しいものである。 光導電層103は、下記に示す半導体特性を有
し、シリコン原子を母体とし、H及びXを含むア
モルフアス材料a―Si;(H,X)で構成される。 p型a―Si;(H,X)…アクセプターのみ
を含むもの。或いは、ドナーとアクセプターと
の両方を含み、アクセプターの濃度(Na)が
高いもの。 n型a―Si;(H,X)…ドナーのみを含む
もの。或いはドナーとアクセプターの両方を含
み、ドナーの濃度(Nd)が高いもの。 i型a―Si;(H,X)…NaNdOのも
の又は、NaNdのもの。 光導電層103の層厚としては、読取装置、固
体撮像装置或いは電子写真用像形成部材等の適用
するものの目的に適合させて所望に従つて適宜決
定される。 第1図に示される光導電層103の層厚として
は、光導電層103の機能及び中間層102の機
能が各々有効に活されてる様に中間層102との
層厚関係に於いて適宜所望に従つて決められるも
のであり、通常の場合、中間層102の層厚に対
して数百〜数千倍以上の層厚とされるのが好まし
いものである。 具体的な値としては、通常1〜100μ、好適に
は2〜50μの範囲とされるのが望ましい。 第1図に示す光導電部材の光導電層中に含有さ
れるHの量は通常の場合1〜40atomic%好適に
は5〜30atomic%とされるのが望ましい。 光導電層103をn型又はp型とするには、層
形成の際に、n型不純物又は、p型不純物、或い
は両不純物を形成される層中にその量を制御し乍
らドーピングしてやる事によつて成される。光導
電層中にドーピングされる不純物としては、p型
不純物として周期律表第族Aの元素、例えば、
B,Al,Ga,In,Tl等が好適なものとして挙げ
られ、n型不純物としては、周期律表第族Aの
元素、例えば、N,P,As,Sb,Bi等が好適な
ものとして挙げられるが、殊にB,Ga,P,Sb
等が最適である。 本発明に於いて所望の伝導型を有する為に光導
電層103中にドーピングされる不純物の量は、
所望される電気的、光学的特性に応じて適宜決定
されるが、周期律表第族Aの不純物の場合は3
×10-2atomic%以下の量範囲でドーピングして
やれば良く、周期律表第族Aの不純物の場合に
は5×10-3atomic%以下の量範囲でドーピング
してやれば良い。 光導電層103中に不純物をドーピングするに
は、層形成の際に不純物導入用の原料物質をガス
状態で堆積室中に光導電層103を形成する主原
料物質と共に導入してやれば良い。この様な不純
物導入用の原料物質としては、常温常圧でガス状
態の又は、少なくとも層形成条件下で容易にガス
化し得るものが採用される。 その様な不純物導入用の出発物質として具体的
には、PH3,P2H4,PF3,PF5,PCl3,AsH3,
AsF3,AsF5,ASCl3,SbH3,SbF3,SbF5,
BiH3,BF3,BCl3,BBr3,B2H6,B4H10,
B5H9,B5H11,B6H10,B6H12,AlCl3、等を挙
げることが出来る。 実施例 1 完全にシールドされたクリーンルーム中に設置
された第2図に示す装置を用い、以下の如き操作
によつて電子写真用像形成部材を作成した。 表面が清浄された0.5mm厚10cm角のモリブデン
(基板)202を堆積室201内の所定位置にあ
る固定部材203に緊固に固定した。ターゲツト
205,206は多結晶高純度シリコン(99.999
%)を高純度グラフアイト(99.999%)上に設置
したものである。基板202は、固定部材203
内の加熱ヒーター204によつて±0.5℃の精度
で加熱される。温度は、熱電対(アルメルークロ
メル)によつて基板裏面を直接測定されるように
なされた。次いで系内の全バルブが閉じられてい
ることを確認してからメインバルブ231を全開
して1旦5×10-7torr程度まで真空にされ(この
とき、系の全バルブは閉じられている)、補助バ
ルブ229および流出バルブ224,225,2
28が開かれフローメータ237,238,24
1内が十分に脱気された後、流出バルブ224,
225,228と補助バルブ229が閉じられ
た。Ar(純度99.999%)ガスボンベ213のバル
ブ218を開け、出口圧力計236の読みが1
Kg/cm2になる様に調整された後、流入バルブ22
3が開けられ、続いて流出バルブ228が徐々に
開けられ、Arガスを室201内に流入させた。
ピラニーゲージ242の指示が5×10-4torrにな
るまで、流出バルブ228が徐々に開けられ、こ
の状態で流量が安定してから、メインバルブ23
1が徐々に閉じられ、室内圧が1×10-2torrにな
るまで開口が絞られた。シヤツター208を開と
して、フローメータ241が安定するのを確認し
てから、高周波電源243をON状態にし、ター
ゲツト205,206および固定部材203間に
13.56MHz,100Wの交流電力が入力された。この
条件で安定した放電を続ける様にマツチングを取
りながら層を形成した。この様にして1分間放電
を続けて100Å厚の中間層を形成した。その後高
周波電源243をOFF状態にし、放電を一旦中
止させた。引き続いて流出バルブ228、流入バ
ルブ223を閉じ、メインバルブ231を全開し
て室201内のガスを抜き、5×10-7torrまで真
空にした。その後ヒータ204の入力電圧を上昇
させ、基板温度を検知しながら入力電圧を変化さ
せ、300℃の一定値になるまで安定させた。 その後、補助バルブ229、次いで流出バルブ
228を全開し、フローメーター241内も十分
脱気真空状態にされた。補助バルブ229、流出
バルブ228を閉じた後、B2H6を10vol ppm含
むSi2H6ガス(以後B2H6/Si2H6と略す。純度
99.999%)ボンベ209のバルブ214,SiH4ガ
ス(純度99.999%)ボンベ210のバルブ21
5,SiF4ガス(純度99.999%)ボンベ211のバ
ルブ216,C2H4ガス(純度99.999%)ボンベ
212のバルブ217を開け、出口圧ゲージ23
2,233,234,235の圧を1Kg/cm2に調
整し、流入バルブ219,220,221,22
2,223を徐々に開けてフローメーター23
7,238,239,240,241内へ
B2H6/Si2H6ガス、SiH4ガス、SiF4ガス、C2H4,
Arガスを各々流入させた。引続いて、流出バル
ブ224,225,226,227,228を
徐々に開け、次いで補助バルブ229を徐々に開
けた。このときB2H6/Si2H6ガス流量、SiH4ガ
ス流量、SiF4ガス流量、Arガス流量との比が
28:1:3:68になるように流入バルブ219,
220,221,223を調整し、且つC2H4ガ
ス流量が、B2H6/Si2H6ガス流量、SiH4ガス流
量、SiF4ガス流量の和の0.2vol%に調整した。次
にピラニーゲージ242の読みを注視しながら補
助バルブ229の開口を調整し、室201内が1
×10-2torrになるまで補助バルブ229を開け
た。室201内圧が安定してから、メインバルブ
231を徐々に閉じ、ピラニーゲージ242の指
示が0.2torrになるまで開口を絞つた。ガス流入
が安定し内圧が安定するのを確認しシヤツター2
08(電極を兼ねる)を閉とし続いて高周波電源
243のスイツチをON状態にして、電極20
3、シヤツター208間に13.56MHzの高周波電
力を投入し室201内にグロー放電を発生させ、
100Wの入力電力とした。グロー放電を1時間持
続させて光導電層を形成した後、加熱ヒーター2
04をOFF状態にし、高周波電源243もOFF
状態とし、基板温度が100℃になるのを待つてか
ら流出バルブ224,225,226,227,
228及び流入バルブ219,220,221,
222,223を閉じ、メインバルブ231を全
開にして室201内を10-2torr以下にした後、メ
インバルブ231を閉じ室201内をリークバル
ブ230によつて大気圧として基板を取り出し
た。この場合、形成された層の全厚は約28μであ
つた。こうして得られた像形成部材を、帯電露光
実験装置に設置し、6.0KVで0.2sec間コロナ帯
電を行い、直ちに光像を照射した。光像は、タン
グステンランプ光源を用い、1.5lux・secの光量
を透過型のテストチヤートを通して照射させた。 その後直ちに、荷電性の現像剤(トナーとキ
ヤリアーを含む)を部材表面にカスケードするこ
とによつて、部材表面上に良好なトナー画像を得
た。部材上のトナー画像を5.0KVのコロナ帯電
で転写紙上に転写した所、解像力に優れ、階調再
現性のよい鮮明な高濃度の画像が得られた。 次に上記像形成部材に就て、帯電露光実験装置
で5.5KVで0.2sec間のコロナ帯電を行い、直ち
に1.5lux・secの光量で画像露光を行い、その後
直ちに荷電性の現像剤を部材表面にカスケード
し、次に転写紙上に転写・定着したところ極めて
鮮明な画像が得られた。 この結果と先の結果から、本実施例で得られた
電子写真用像形成部材は、帯電極性に対する依存
性がなく両極性像形成部材の特性を具備している
ことが判つた。 実施例 2 Arガスボンベ213を、C2H4を0.3vol%含む
Arガスボンベに、C2H4ガスボンベ212を、
Si2H6ガスボンベに、B2H6を10vol ppm含む、
Si2H6ガスボンベ209を、B2H6を、100vol
ppm含む、Si2H6ガスボンベに代えた以外は、実
施例1と同様の操作、条件にてモリブデン基板上
に中間層を形成した後、第3A表に示す如くガス
の種類、流量相対値で、実施例1と同様の操作、
条件にて中間層上に光導電層を形成した。このよ
うにして得られた像形成部材を使用して実施例1
と同様にトナー像を形成したところ試料Aは
5.5KVのコロナ帯電、次いで画像露光、荷電性
トナーの組み合わせの方が、良好なトナー像が得
られた。 一方試料Bは、逆に6.0KVのコロナ帯電、次
いで画像露光、荷電性トナーの組合わせの方が
良好なトナー像が得られた。
【表】
【表】
実施例 3
実施例1と同様の操作、条件にてモリブデン基
板上に中間層を形成した後、第4表に示す如くガ
スの種類(必要に応じて第2図のボンベ数を増加
して)流量相対値で実施例1と同様の操作、条件
にて中間層上に光導電層を形成した。このように
して得られた像形成部材を生産性(堆積速度)、
特性(高温高湿中での画質、くり返し動作)の両
面から検討した結果、本発明の目的を達成するに
は、混合原料ガスのうち前記一般式で表わされる
化合物のn又はmの中のいずれか最低次の化合物
に対してこれよりもmが高次の化合物が1vol%含
まれるようにし且つC2H4ガス流量の値が前記一
般式で示される原料ガス流量の15vol%以下にし
て光導電層を形成する必要があることが判つた。 尚、第4表において◎は優、〇は良、△は可、
×は不可の評価基準を示す。
板上に中間層を形成した後、第4表に示す如くガ
スの種類(必要に応じて第2図のボンベ数を増加
して)流量相対値で実施例1と同様の操作、条件
にて中間層上に光導電層を形成した。このように
して得られた像形成部材を生産性(堆積速度)、
特性(高温高湿中での画質、くり返し動作)の両
面から検討した結果、本発明の目的を達成するに
は、混合原料ガスのうち前記一般式で表わされる
化合物のn又はmの中のいずれか最低次の化合物
に対してこれよりもmが高次の化合物が1vol%含
まれるようにし且つC2H4ガス流量の値が前記一
般式で示される原料ガス流量の15vol%以下にし
て光導電層を形成する必要があることが判つた。 尚、第4表において◎は優、〇は良、△は可、
×は不可の評価基準を示す。
【表】
【表】
第1図は本発明の製造法で作成される光導電部
材の一実施態様例の層構造を説明する為の模式的
構成図、第2図は本発明の製造法を具現化する為
の装置の一例を示す模式的説明図である。 100……光導電部材、101……支持体、1
02……障壁層、103……非晶質層。
材の一実施態様例の層構造を説明する為の模式的
構成図、第2図は本発明の製造法を具現化する為
の装置の一例を示す模式的説明図である。 100……光導電部材、101……支持体、1
02……障壁層、103……非晶質層。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 所望圧に減圧されている堆積室内に光導電層
形成用の原料物質をガス状態で導入し、該原料物
質のガス雰囲気中で放電を生起させることによ
り、光導電層形成用の支持体上に光導電層を形成
する光導電部材の製造法に於いて、前記原料物質
が炭素原子を構成原子として含む物質と 一般式 SioH2o+2(但し、nは正整数) ……(A) で表わされる化合物と 一般式 SinHlXk(但し、m,kは正整数で、かつlは
0又は正整数で、l+k=2m+2,Xはハロゲ
ン原子を示す) ……(B) で表わされる化合物とで構成され、前記一般式(A)
又は(B)で表わされる化合物の夫々の前記堆積室内
に導入される割合が、n又はmの中のいずれか最
底次の化合物に対して、これよりもn又はmが高
次の化合物が1vol%以上となる様に前記堆積室に
前記原料物質を導入する事を特徴とする光導電部
材の製造法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56060155A JPS57174450A (en) | 1981-04-21 | 1981-04-21 | Production of photoconductive member |
US06/354,898 US4468443A (en) | 1981-03-12 | 1982-03-04 | Process for producing photoconductive member from gaseous silicon compounds |
DE19823209055 DE3209055A1 (de) | 1981-03-12 | 1982-03-12 | Verfahren zur herstellung eines fotoleitfaehigen elements |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56060155A JPS57174450A (en) | 1981-04-21 | 1981-04-21 | Production of photoconductive member |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS57174450A JPS57174450A (en) | 1982-10-27 |
JPS6325069B2 true JPS6325069B2 (ja) | 1988-05-24 |
Family
ID=13133972
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56060155A Granted JPS57174450A (en) | 1981-03-12 | 1981-04-21 | Production of photoconductive member |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS57174450A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4637938A (en) * | 1983-08-19 | 1987-01-20 | Energy Conversion Devices, Inc. | Methods of using selective optical excitation in deposition processes and the detection of new compositions |
DE60006320T2 (de) | 1999-07-09 | 2004-09-16 | Seiko Epson Corp. | Lastpuffervorrichtung für einen Drucker |
JP2007030959A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Sato Corp | ラベル貼付装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57152462A (en) * | 1981-03-16 | 1982-09-20 | Canon Inc | Manufacture of photoconductive member |
JPS57152464A (en) * | 1981-03-16 | 1982-09-20 | Canon Inc | Manufacture of photoconductive member |
-
1981
- 1981-04-21 JP JP56060155A patent/JPS57174450A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57152462A (en) * | 1981-03-16 | 1982-09-20 | Canon Inc | Manufacture of photoconductive member |
JPS57152464A (en) * | 1981-03-16 | 1982-09-20 | Canon Inc | Manufacture of photoconductive member |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS57174450A (en) | 1982-10-27 |